JP6715739B2 - ハースユニット、蒸発源および成膜装置 - Google Patents
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Description
前記ハース本体は、冷却用の第1の通路をそれぞれ含む複数の領域を有する。
前記第1のハースブロックは、第1の収容部と、第1の取付部と、を有する。第1の収容部は、第1の蒸着材料を収容し第2の通路を有する。第1の取付部は、前記複数の領域の一部に設置され前記第2の通路と前記第1の通路を連通させる第3の通路を有する。
前記第2のハースブロックは、第2の収容部と、第2の取付部と、を有する。第2の収容部は、第2の蒸着材料を収容する。第2の取付部は、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第2の収容部と前記第1の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第1の取付部と互換形状を有する。
これにより、冷却性能が異なるハースブロック同士を相互に交換することができる。
これにより、冷却性能が高く脱着可能な第1のハースブロックがハースユニット内に設けられる。
これにより、冷却性能が弱い脱着可能な第2のハースブロックがハースユニット内に設けられる。
これにより、冷却性能が弱い脱着可能な第2のハースブロックがハースユニット内に設けられる。
これにより、前記第2のハースブロックと前記第2の取付部との間の熱伝導がスペーサ部材によって調整される。
これにより、第2のハースブロックから熱輻射がシールド板によって防止される。
図1は、本実施形態に係る成膜装置の全体構成を示す概略側面図である。
図2Aは、本実施形態に係るハースユニットの概略上面図である。図2Bは、図2AのA1−A2線における概略断面図である。
ハースブロック210は、ハース本体200上に設置される取付部211(第1の取付部)と、取付部211上に位置する収容部212(第1の収容部)と、を有する。収容部212には、電子銃40から出射された電子ビーム41が照射される。ハースブロック210においては、収容部212と取付部211とが一体となっている。ハースブロック210は、例えば、ネジ500によってハース本体20の領域201にネジ止めされている。
ハースユニット20Aにおいては、複数のハースブロック210のいずれか、および複数のハースブロック220のいずれかは、ハース本体200から独立して取り外すことができる。これにより、特定のハースブロックのみを容易に交換することができる。
図5Aは、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略上面図である。図5Bは、図5AのA1−A2線における概略断面図である。
図6Aは、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略上面図である。図6Bは、図6AのA1−A2線における概略断面図である。
図7は、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略側面図である。図7は、図2AのA1−A2線における断面に対応している。
10b…底部
10u…上部
20A、20B、20C、20D…ハースユニット
20c…軸心
30…成膜源
40…電子銃
41…電子ビーム
50…シャッタ
60…支持ホルダ
61…軸部
62…駆動ユニット
100…成膜装置
200…ハース本体
201…領域
205、205a、205b、205c…通路
205e…バイパス通路
210…ハースブロック
211…取付部
212…収容部
212h…孔部
215c、215ca、215cb…通路
220…ハースブロック
221…取付部
221r…リセス部
222…収容部
222h…孔部
222w…側壁
223…スペーサ部材
224…シールド部材
225…溝
250…Oリング
500…ネジ
Claims (8)
- 冷却用の第1の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第1の蒸着材料を収容し第2の通路を有する第1の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第2の通路と前記第1の通路を連通させる第3の通路を有する第1の取付部と、を有する少なくとも1つの第1のハースブロックと、
第2の蒸着材料を収容する第2の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第2の収容部と前記第1の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第1の取付部と互換形状を有する第2の取付部と、を有する少なくとも1つの第2のハースブロックと、
を具備するハースユニット。 - 請求項1に記載のハースユニットであって、
前記第1のハースブロックは、前記第1の収容部と前記第1の取付部とが一体となって設けられている
ハースユニット。 - 請求項1または2に記載のハースユニットであって、
前記第2の収容部は、容器であり、前記第2の取付部は、前記容器を支持する板状部材である
ハースユニット。 - 請求項3に記載のハースユニットであって、
前記板状部材は、前記ハース本体に対向する溝を有し、前記溝は、前記第1の通路に連通する
ハースユニット。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載のハースユニットであって、
前記第2のハースブロックは、前記第2の収容部と前記第2の取付部との間に配置されたスペーサ部材をさらに有する
ハースユニット。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載のハースユニットであって、
前記第2のハースブロックは、前記第2の取付部上に設けられ前記第2の収容部の周囲の少なくとも一部を遮蔽するシールド部材をさらに有する
ハースユニット。 - 冷却用の第1の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第1の蒸着材料を収容し第2の通路を有する第1の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第2の通路と前記第1の通路を連通させる第3の通路を有する第1の取付部と、を有する少なくとも1つの第1のハースブロックと、
第2の蒸着材料を収容する第2の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第2の収容部と前記第1の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第1の取付部と互換形状を有する第2の取付部と、を有する少なくとも1つの第2のハースブロックと、
を有するハースユニットと、
前記第1の収容部または前記第2の収容部に、電子ビームを照射することが可能な電子銃と、
を具備する蒸発源。 - 冷却用の第1の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第1の蒸着材料を収容し第2の通路を有する第1の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第2の通路と前記第1の通路を連通させる第3の通路を有する第1の取付部と、を有する少なくとも1つの第1のハースブロックと、
第2の蒸着材料を収容する第2の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第2の収容部と前記第1の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第1の取付部と互換形状を有する第2の取付部と、を有する少なくとも1つの第2のハースブロックと、
を有するハースユニットと、
前記第1の収容部または前記第2の収容部に、電子ビームを照射することが可能な電子銃と、
前記ハースユニットと前記電子銃を収容する真空槽と、
を具備する成膜装置。
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