JP2018059134A

JP2018059134A - ハースユニット、蒸発源および成膜装置

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Publication number: JP2018059134A
Application number: JP2016195499A
Authority: JP
Inventors: 純也久保; Junya Kubo; 聡今村; Satoshi Imamura; 慶小川; Kei Ogawa; 文嗣柳堀; Fumitsugu Yanagihori; 良太郎鈴木; Ryotaro Suzuki
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2016-10-03
Filing date: 2016-10-03
Publication date: 2018-04-12
Anticipated expiration: 2036-10-03
Also published as: TWI653354B; CN107893213A; CN107893213B; JP6715739B2; TW201814073A

Abstract

【課題】相互に交換することができるハースユニット、蒸発源および成膜装置を提供する。【解決手段】本発明の一形態に係るハースユニットは、ハース本体と、少なくとも１つの第１のハースブロックと、少なくとも１つの第２のハースブロックと、を具備する。ハース本体は、冷却用の第１の通路をそれぞれ含む複数の領域を有する。第１のハースブロックは、第１の収容部と、第１の取付部と、を有する。第１の収容部は、第１の蒸着材料を収容し第２の通路を有する。第１の取付部は、複数の領域の一部に設置され第２の通路と第１の通路を連通させる第３の通路を有する。第２のハースブロックは、第２の収容部と、第２の取付部と、を有する。第２の収容部は、第２の蒸着材料を収容する。第２の取付部は、複数の領域の他の一部に設置され第２の収容部と第１の通路との連通を遮断し複数の領域のそれぞれに対して第１の取付部と互換形状を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、蒸着材料を蒸発させるハースユニット、蒸発源および成膜装置に関する。

成膜装置の蒸着源として、ハースブロックを複数備えたハースがある。複数のハースブロックのそれぞれには、例えば、蒸着材料が収容される。そして、複数のハースブロックのそれぞれに収容された蒸着材料のうち、選択された蒸着材料が加熱されることによってハースブロックから蒸発し、この蒸着材料が基板に堆積する。

ハースについては、メンテナンスを容易にする観点から、複数のハースブロックのそれぞれを独立して脱着できる構造が提供されている（例えば、特許文献１参照）。これらの複数のハースブロックのそれぞれは同じ構造で構成されている。

特開２０１５−０４５０６３号公報

しかし、ハースに異種の蒸着材料を収容させ、同一バッチでハースブロックを切り替えながら異種の蒸着材料を成膜源から蒸発させる場合、蒸着材料の特性に応じて冷却性能が異なるハースブロックが必要になる場合がある。また、蒸着材料の種類によっては、冷却性能が異なるハースブロック同士間で、それらの数を相互に変更する必要も生じる。上記の構造では、成膜源内で、冷却性能が異なるハースブロック同士を相互に交換することができない。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、冷却性能が異なるハースブロック同士を相互に交換することができるハースユニット、蒸発源および成膜装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るハースユニットは、ハース本体と、少なくとも１つの第１のハースブロックと、少なくとも１つの第２のハースブロックと、を具備する。
前記ハース本体は、冷却用の第１の通路をそれぞれ含む複数の領域を有する。
前記第１のハースブロックは、第１の収容部と、第１の取付部と、を有する。第１の収容部は、第１の蒸着材料を収容し第２の通路を有する。第１の取付部は、前記複数の領域の一部に設置され前記第２の通路と前記第１の通路を連通させる第３の通路を有する。
前記第２のハースブロックは、第２の収容部と、第２の取付部と、を有する。第２の収容部は、第２の蒸着材料を収容する。第２の取付部は、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第２の収容部と前記第１の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第１の取付部と互換形状を有する。
これにより、冷却性能が異なるハースブロック同士を相互に交換することができる。

上記のハースユニットにおいては、前記第１のハースブロックは、前記第１の収容部と前記第１の取付部とが一体となって設けられてもよい。
これにより、冷却性能が高く脱着可能な第１のハースブロックがハースユニット内に設けられる。

上記のハースユニットにおいては、前記第２の収容部は、容器であり、前記第２の取付部は、前記容器を支持する板状部材であってもよい。
これにより、冷却性能が弱い脱着可能な第２のハースブロックがハースユニット内に設けられる。

上記のハースユニットにおいては、前記板状部材は、前記ハース本体に対向する溝を有し、前記溝は、前記第１の通路に連通してもよい。
これにより、冷却性能が弱い脱着可能な第２のハースブロックがハースユニット内に設けられる。

上記のハースユニットにおいては、前記第２のハースブロックは、前記第２の収容部と前記第２の取付部との間に設けられたスペーサ部材をさらに有してもよい。
これにより、前記第２のハースブロックと前記第２の取付部との間の熱伝導がスペーサ部材によって調整される。

上記のハースユニットにおいては、前記第２のハースブロックは、前記第２の取付部上に設けられ前記第２の収容部の周囲の少なくとも一部を遮蔽するシールド板をさらに有してもよい。
これにより、第２のハースブロックから熱輻射がシールド板によって防止される。

また、本発明の一形態に係る蒸発源は、上記のハースユニットと、電子銃と、を具備する。前記電子銃は、前記第１の収容部または前記第２の収容部に、電子ビームを照射することができる。

また、本発明の一形態に係る成膜装置は、上記のハースユニットと、電子銃と、真空槽と、を具備する。前記真空槽は、前記ハースユニットと前記電子銃を収容する。

以上述べたように、本発明によれば、冷却性能が異なるハースブロック同士を相互に交換することができるハースユニット、蒸発源および成膜装置が提供される。

本実施形態に係る成膜装置の全体構成を示す概略側面図である。図（Ａ）は、本実施形態に係るハースユニットの概略上面図である。図（Ｂ）は、図（Ａ）のＡ１−Ａ２線における概略断面図である。本実施形態のハースユニットの作用を説明する概念側面図である。本実施形態のハースユニットの作用を説明する概念上面図である。図（Ａ）は、本実施形態に係るハースユニットの概略上面図である。図（Ｂ）は、図（Ａ）のＡ１−Ａ２線における概略断面図である。図（Ａ）は、本実施形態に係るハースユニットの概略上面図である。図（Ｂ）は、図（Ａ）のＡ１−Ａ２線における概略断面図である。本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略側面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。各図面には、ＸＹＺ軸座標が導入される場合がある。

［成膜装置の全体構成］
図１は、本実施形態に係る成膜装置の全体構成を示す概略側面図である。

図１に示す成膜装置１００は、真空槽１０と、成膜源（蒸発源）３０と、支持ホルダ６０と、を具備する。

真空槽１０は、真空容器であり、減圧状態を維持することができる。真空槽１０をＸ−Ｙ平面で切断したときの形状は、例えば、矩形状である。真空槽１０には、真空槽１０外から真空槽１０内にガスを供給することが可能なガス供給機構が設けられてもよい。

成膜源３０は、真空槽１０内に設けられている。成膜源３０は、例えば、真空槽１０内の底部１０ｂに設けられている。成膜源３０は、ハースユニット２０Ａと、電子銃４０と、を有する。ハースユニット２０Ａは、Ｚ軸方向に延伸する軸心２０ｃの周りに回転可能である。ハースユニット２０Ａは、蒸着材料を収容可能な複数のハースブロック（坩堝）を有する。ハースユニット２０Ａの詳細については、後述する。

電子銃４０は、ハースユニット２０Ａの特定のハースブロックに向かって電子ビーム４１を照射することができる。電子銃４０は、例えば、Ｙ軸方向においてハースユニット２０Ａに並んで配置されている。電子銃４０は、Ｘ軸方向においてハースユニット２０Ａに並んで配置することもできる。ハースユニット２０Ａが回転し、特定の位置で停止することにより、電子ビーム４１が照射される蒸着材料が選択される。

電子ビーム４１が照射された蒸着材料は、電子銃４０によりハースユニット２０Ａ内で加熱される。これにより、蒸着材料は、ハースユニット２０Ａから支持ホルダ６０に向かい蒸発する。図１には、蒸発した蒸着材料の飛遊する範囲の外延が模式的に線６５で表されている。

ハースユニット２０Ａの直上には、支持ホルダ６０に飛遊する蒸着材料を強制的に遮断するシャッタ５０が設けられる。なお、成膜源３０には、回転によって電子ビーム４１を遮断する別のシャッタ（不図示）が設けられてもよい。

支持ホルダ６０は、真空槽１０内に設けられている。支持ホルダ６０は、Ｚ軸方向において成膜源３０に対向する。支持ホルダ６０は、ドーム型構造を有する。支持ホルダ６０は、複数のワークＷ１を支持することができる。ワークＷ１は、例えば、円形状の半導体ウェーハである。ワークＷ１の平面形状は、例えば、矩形状であってもよい。

支持ホルダ６０の中心部（ドーム構造の最上部）は、軸部６１に連結されている。軸部６１は、Ｚ軸方向に延伸する。支持ホルダ６０は、軸部６１のまわりに回転可能である。軸部６１は、真空槽１０の上部１０ｕ上に設けられた駆動ユニット６２に連結されている。軸部６１の回転は、駆動ユニット６２によって制御されている。成膜装置１００では、支持ホルダ６０が回転しながらワークＷ１への成膜処理が可能である。

［ハースユニットの構成］
図２Ａは、本実施形態に係るハースユニットの概略上面図である。図２Ｂは、図２ＡのＡ１−Ａ２線における概略断面図である。

図２Ａおよび図２Ｂに示すハースユニット２０Ａは、ハース本体２００と、ハース本体２００上に設けられた少なくとも１つのハースブロック（第１のハースブロック）２１０と、ハース本体２００上に設けられた少なくとも１つのハースブロック（第２のハースブロック）２２０と、を具備する。

ハース本体２００は、例えば、銅（Ｃｕ）等の金属製の基体である。ハース本体２００は、ハースブロックが設置される複数の領域２０１を有する。複数の領域２０１は、ハースユニット２０Ａの軸心２０ｃから放射状に配置されている。例えば、複数の領域２０１のそれぞれは、軸心２０ｃを中心として、ハースユニット２０Ａの周方向Ｓ１に並ぶ。ここで、周方向Ｓ１とは、軸心２０ｃを中心とする円の円周に沿った方向である。複数の領域２０１のそれぞれの平面形状（Ｘ−Ｙ平面における形状）は、相互に同じである。

領域２０１は、Ｚ軸方向からハースユニット２０Ａを見たとき、一例として、軸心２０ｃからハースユニット２０Ａの外側に延びる線Ｒ１および線Ｒ２と、軸心２０ｃに近い円弧Ｃ１と、円弧Ｃ１より外側に位置する円弧Ｃ２と、によって囲まれた領域である。ここで、円弧Ｃ１または円弧Ｃ２は、軸心２０ｃを同心とする円の円周の一部である。線Ｒ１および線Ｒ２は、円弧Ｃ２の半径から円弧Ｃ１の半径を除いた線である。本実施形態では、領域２０１の平面形状を扇形とする。但し、領域２０１の平面形状は、扇形に限らない。例えば、領域２０１の平面形状は、円形、三角形、長方形等の矩形であってもよい。また、図２Ａでは、１２個の領域２０１が例示されているが、この数に限らない。

複数の領域２０１のそれぞれには、冷却用の媒体（例えば、純水、水溶液、ガス）が流通可能な通路（第１の通路）２０５が設けられている。通路２０５は、通路２０５ａと通路２０５ｂと通路２０５ｃとを含む。例えば、通路２０５ａ、通路２０５ｂおよび通路２０５ｃのそれぞれは、媒体をハース本体２００の上面から再びハース本体２００の上面に還流させることができる通路である。さらに、通路２０５ａ、通路２０５ｂおよび通路２０５ｃのそれぞれは、隣り合う領域２０１に跨って形成されている。図２Ｂに示す通路２０５は、模式的に描かれたものでこの形状に限らない。

ハースブロック２１０は、例えば、銅等の金属製の容器である。
ハースブロック２１０は、ハース本体２００上に設置される取付部２１１（第１の取付部）と、取付部２１１上に位置する収容部２１２（第１の収容部）と、を有する。収容部２１２には、電子銃４０から出射された電子ビーム４１が照射される。ハースブロック２１０においては、収容部２１２と取付部２１１とが一体となっている。ハースブロック２１０は、例えば、ネジ５００によってハース本体２０の領域２０１にネジ止めされている。

収容部２１２は、蒸着材料を収容する孔部２１２ｈを有する。収容部２１２の内部には、冷却用の媒体が流通する通路２１５ｂ（第２の通路）が設けられている。通路２１５ｂは、収容部２１２の内部において、例えば、孔部２１２ｈの周りを旋回する。これにより、孔部２１２ｈ内の蒸着材料が電子銃４１で加熱されても、収容部２１２は効率よく冷却される。

取付部２１１は、複数の領域２０１の一部に設置される。例えば、少なくとも１つの取付部２１１が複数の領域２０１の一部に設置される。これにより、取付部２１１と一体となった収容部２１２、すなわち、少なくとも１つのハースブロック２１０が複数の領域２０１の一部に設置される。図２Ａでは、一例として、９個の領域２０１のそれぞれにハースブロック２１０が設置された状態が示されている。

取付部２１１の平面形状は、例えば、領域２０１の平面形状に対応する形状になっている。例えば、取付部２１１は、複数の領域２０１のいずれにも取付け可能である。例えば、取付部２１１の平面形状は、軸心２０ｃからハースユニット２０Ａの外側に向かうほど、幅が広くなっている。

取付部２１１は、冷却用の媒体が流通する通路２１５ｃ（第３の通路）を有する。通路２１５ｃは、通路２１５ｃａと通路２１５ｃａとを含む。通路２１５ｃａおよび通路２１５ｃａは、通路２１５ｂに連通している。例えば、取付部２１１がハース本体２００に設置されることにより、通路２１５ｂと通路２１５ｃａとが連通し、通路２１５ｂと通路２１５ｃｂとが連通する。これにより、通路２０５ａ、通路２１５ｃａ、通路２１５ｂ、通路２１５ｃｂおよび通路２０５ｂが直列状に連通する。なお、図２Ｂに示す通路２１５ｂ、２１５ｃａ、２１５ｃｂは、模式的に描かれたものでこの形状に限らない。

ハースブロック２２０は、ハースブロック２２０の下部材である取付部２２１（第２の取付部）と、上部材である収容部２２２（第２の収容部）と、を有する。ハースブロック２２０においては、取付部２２１と、収容部２２２と、は一体的になっていない。例えば、収容部２２２は、容器であり、取付部２２１は、収容部２２２を支持する板状部材である。

収容部２２２は、取付部２２１上に載置されている。例えば、収容部２２２の一部は、取付部２２１に設けられたリセス部２２１ｒに嵌合されている。収容部２２２は、その内部に冷却用の通路が設けられていない。また、収容部２２２は、取付部２２１上に複数設けられてもよい。収容部２２２は、蒸着材料を収容する孔部２２２ｈを有する。孔部２２２ｈに収容される蒸着材料は、孔部２１２ｈに収容される蒸着材料と異なってもよく、同じでもよい。収容部２２２の材料は、タングステン（Ｗ）等の高融点材料、銅、炭素（Ｃ）、アルミナ（ＡｌＯ_ｘ）、窒化ホウ素（ＢＮ）等のセラミックのいずれかを含む。収容部２２２には、電子銃４０から出射された電子ビーム４１が照射される。

収容部２２２の側壁２２２ｗは、リセス部２２１ｒに勘合された一部を除き、周方向Ｓ１において収容部２１２、２２２とは離れている。例えば、周方向Ｓ１において、収容部２２２と収容部２１２との間または収容部２２２と収容部２２２との間の距離は、隣り合う収容部２１２と収容部２１２との間の距離よりも長い。さらに、収容部２２２の側壁２２２ｗは、リセス部２２１ｒに勘合された一部を除き、他の部材に接していない。

取付部２２１は、ハース本体２００上に設置され、複数の領域２０１の他の一部に設置される。これにより、少なくとも１つのハースブロック２２０が複数の領域２０１の他の一部に設置される。ここで、複数の領域２０１の他の一部とは、複数の領域２０１の中のハースブロック２１０が設置された領域２０１以外の領域２０１である。例えば、図２Ａでは、３個の領域２０１のそれぞれにハースブロック２２０が設置された状態が例示されているが、この数に限らない。なお、取付部２２１は、例えば、ネジ５００によって領域２０１にネジ止めされている。取付部２２１の材料は、タングステン（Ｗ）等の高融点材料、銅、炭素（Ｃ）、アルミナ（ＡｌＯ_ｘ）、窒化ホウ素（ＢＮ）等のセラミックのいずれかを含む。

取付部２２１には、その上面から下面に貫通する通路が設けられていない。これにより、取付部２２１が収容部２２２とハース本体２００との間に介設されると、収容部２２２と通路２０５ｂ、２０５ｃとの連通が遮断される。但し、取付部２２１は、ハース本体２００に対向する溝２２５を有する。

例えば、取付部２２１が領域２０１に設置されることにより、溝２２５と通路２０５とが連通する。例えば、取付部２２１がハース本体２００に設置されると、通路２０５ｂ、溝２２５および通路２０５ｃが直列状に連通する。これにより、ハース本体２００において、通路２０５ｂと通路２０５ｃとを連通させるバイパス通路が不要になる。つまり、溝２２５の存在によって、通路２０５ｃから流れてくる媒体が再び通路２０５ｂに還流することができる。例えば、仮に、収容部２２２の内部に通路が設けられたとしても、取付部２２１が領域２０１に設置されることにより、溝２２５内を流れる媒体は、収容部２２にまで到達しなくなる。なお、図２Ｂに示す溝２２５は、模式的に描かれたものでこの形状に限らない。

ハースユニット２０Ａにおいて、取付部２２１は、複数の領域２０１のそれぞれに対して取付部２１１と互換形状を有する。例えば、Ｘ−Ｙ平面において、取付部２２１の平面形状は、取付部２１１の平面形状と同じである。つまり、取付部２２１の平面形状は、領域２０１の平面形状に対応する形状になっている。例えば、取付部２２１は、複数の領域２０１のいずれにも取付け可能である。これにより、ハースブロック２１０が設置されている領域２０１から、取付部２１１を取り外し、この領域２０１に、ハースブロック２２０の取付部２２１を設置することができる。また、逆に、ハースブロック２２０が設置されている領域２０１から、取付部２２１を取り外し、この領域２０１に取付部２１１を設置することができる。

なお、ハースユニット２０Ａにおいては、各通路からの媒体の漏れを防ぐために、ハース本体２０と取付部２１１との間およびハース本体２０と取付部２２１との間には、各通路を取り囲むＯリング２５０が用いられる。

［ハースユニットの作用］
ハースユニット２０Ａにおいては、複数のハースブロック２１０のいずれか、および複数のハースブロック２２０のいずれかは、ハース本体２００から独立して取り外すことができる。これにより、特定のハースブロックのみを容易に交換することができる。

これにより、ハースユニット２０Ａのメンテナンスは容易になる。

また、ハースユニット２０Ａにおいては、ハース本体２００上にハースブロック２１０が設置され、その横にハースブロック２２０が設置されると、通路２０５ａ、通路２１５ｃａ、通路２１５ｂ、通路２１５ｃｂ、通路２０５ｂ、溝２２５および通路２０５ｃにより直列状の通路が形成される。

ここで、ハースブロック２１０の収容部２１２は、通路２１５ｂ、２１５ｃを流れる媒体によって冷却される。一方、ハースブロック２２０の収容部２２２は、冷却用の通路を持たない。さらに、収容部２２２の側壁２２２ｗは、リセス部２２１ｒに勘合された一部を除き、他の部材に接していない。これにより、収容部２２２の冷却効果は、収容部２１２の冷却効果に比べて弱くなっている。

ここで、成膜プロセスにおいては、異種の蒸着材料を同一バッチでハースユニット２０Ａに収容し、ハースブロックを切り替えながら、ハースブロックごとに異種の材料を蒸発させる場合がある。このプロセスによれば、例えば、ワークＷ１に多層膜が形成される。本実施形態では、同一バッチで異種の蒸着材料を成膜源から蒸発させる場合、蒸着材料の特性に応じて冷却性能が異なるハースブロックを選択することができる。例えば、蒸発温度が低い蒸着材料（アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）等）については、これらの材料は、冷却効果の低いハースブロック２２０に収容される。そして、これらの材料に低パワーの電子ビーム４１を照射して、材料を蒸発させる。

仮に、蒸発温度が低い材料を冷却効果の高いハースブロック２１０に収容すると、これらの材料自体がハースブロック２１０によって冷やされ、高パワーの電子ビームが必要になる。この結果、製造コストが上昇する。なお、ハースブロック２２０には、低蒸発温度の材料のほか、ハースブロック材と合金を形成し難い蒸着材料が収容されてもよい。

一方、蒸発温度が高い材料（チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）等）については、これらの材料は、冷却効果の高いハースブロック２１０に収容される。そして、これらの材料に高パワーの電子ビーム４１を照射し、材料を蒸発させる。ここで、ハースブロック２１０は、媒体により冷却されている。これにより、高パワーの電子ビーム４１を材料に投入しても、ハースブロック２１０が溶解することはない。

また、ハースユニット２０Ａにおいては、蒸着材料の種類に応じて、冷却性能が異なるハースブロック同士で、それらの数を相互に変更することができる。図３、図４Ａおよび図４Ｂに、その様子が表されている。

図３は、本実施形態のハースユニットの作用を説明する概念側面図である。図４Ａおよび図４Ｂは、本実施形態のハースユニットの作用を説明する概念上面図である。

図３には、図２Ｂに示す状態から、ハースブロック２１０とハースブロック２２０とを入れ替えた状態が示されている。取付部２１１は、領域２０１に対し取付部２２１と互換形状を有している。これにより、ハースブロック２１０とハースブロック２２０とを入れ替えても、取付部２２１の溝２２５は、ハース本体２００の通路２０５ａと通路２０５ｂとに繋がる。一方、取付部２１１の通路２１５ｃａは、ハース本体２００の通路２０５ｂに繋がり、取付部２１１の通路２１５ｃｂは、ハース本体２００の通路２０５ｃに繋がる。

図４Ａおよび図４Ｂには、冷却性能が異なるハースブロック同士間で、それらの数を相互に変更する様子が表されている。例えば、蒸着材料の種類が複数になり、この中の１つの蒸着材料が蒸発温度の低い材料であるときは、複数のハースブロックの中、ハースブロック２２０は１個で足りる（図４Ａ）。一方、蒸着材料の種類が複数になり、蒸発温度の低い材料の数が半分のときは、ハースブロック２１０の数とハースブロック２１０の数を同じにすることができる（図４Ｂ）。このように、ハースユニット２０Ａによれば、冷却性能が異なるハースブロック同士間で、それらの数を相互に変更することができる。

また、ハースユニット２０Ａにおいては、周方向Ｓ１に隣り合うハースブロック２１０間同士を冷却パイプで繋ぐことを要しない。ハースユニット２０Ａにおいては、ハースブロック２１０をハースユニット２０Ａ上に設置することで、ハースブロック２１０の通路２１５ｂ、２１５ｃと、ハース本体２００の通路２０５と、が連通する。さらに、ハースブロック２２０の取付部２２１をハースユニット２０Ａ上に設置することで、取付部２２１の溝２２５と、ハース本体２００の通路２０１と、が連通する。

これにより、冷却パイプを用いた場合よりも周方向Ｓ１におけるハースブロック間の距離が縮まり、ハースブロック２１０、２２０がハース本体２００に密になって配置される。この結果、冷却パイプを用いた場合よりも、ハース本体２００に設置できるハースブロック数が増加する。ハースユニット２０Aによれば、蒸着材料の選択の自由度が増す。

［ハースユニットの変形例１］
図５Ａは、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略上面図である。図５Ｂは、図５ＡのＡ１−Ａ２線における概略断面図である。

図５Ａおよび図５Ｂに示すハースユニット２０Ｂでは、ハースブロック２２０が収容部２２２と取付部２２１との間に配置されたスペーサ部材２２３をさらに有する。スペーサ部材２２３は、導電性を有する。スペーサ部材２２３は、板状部材である。スペーサ部材２２３の材料は、炭素、モリブデン（Ｍｏ）等のいずれかの材料を含む。

これにより、収容部２２２と取付部２２１との間の熱伝導が抑えられる。この結果、蒸発温度が低い材料を収容部２２２に収容したときは、より低いパワーの電子ビーム４１で足りる。この結果、製造コストの上昇が抑えられる。また、スペーサ部材２２３は、導電性を有する。これにより、収容部２２２に収容された蒸着材料に電子ビーム４１が照射されても、収容部２２２には電荷が帯電し難くなっている。なお、スペーサ部材２２３の熱伝導を調整するために、スペーサ部材に貫通孔等が設けられてよい。

［ハースユニットの変形例２］
図６Ａは、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略上面図である。図６Ｂは、図６ＡのＡ１−Ａ２線における概略断面図である。

図６Ａおよび図６Ｂに示すハースユニット２０Ｃでは、取付部２２１上に設けられたシールド部材２２４をさらに備える。シールド部材２２４は、収容部２２２の周囲の少なくとも一部に設けられる。例えば、シールド部材２２４は、収容部２２２の周囲を囲む。シールド部材２２４は、円筒状部材である。シールド部材２２４の材料は、タングステン（Ｗ）等の高融点材料、銅、炭素（Ｃ）、アルミナ（ＡｌＯ_ｘ）、窒化ホウ素（ＢＮ）等のセラミックのいずれかを含む容器である。

これにより、収容部２２２に収容された蒸着材料から熱が放出されても、シールド部材２２４により隣の収容部２２２への熱の輻射が遮蔽される。また、シールド部材２２４が無いと、収容部２２２から蒸発した蒸着材料が迷走し、電子銃４０に付着する可能性がある。本実施形態では、シールド部材２２４が収容部２２２の周囲の少なくとも一部に設けられ、蒸着材料の電子銃４０まで飛遊を防止する。

［ハースユニットの変形例３］
図７は、本実施形態に係るハースユニットの変形例の概略側面図である。図７は、図２ＡのＡ１−Ａ２線における断面に対応している。

図７に示すハースユニット２０Ｄにおいては、ハース本体２００が通路２０５ａと通路２０５ｂとが連通するバイパス通路２０５ｄと、通路２０５ｂと通路２０５ｃとが連通するバイパス通路２０５ｅと、を有している。また、取付部２２１は、溝２２５を有していない。

取付部２２１が溝２２５を有してなくとも、バイパス通路２０５ｅによって通路２０５ｂと通路２０５ｃとが連通することができる。これにより、取付部２２１に溝２２５を形成する必要がなくなり、より抵コストに取付部２２１を製造することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。

１０…真空槽
１０ｂ…底部
１０ｕ…上部
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ…ハースユニット
２０ｃ…軸心
３０…成膜源
４０…電子銃
４１…電子ビーム
５０…シャッタ
６０…支持ホルダ
６１…軸部
６２…駆動ユニット
１００…成膜装置
２００…ハース本体
２０１…領域
２０５、２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃ…通路
２０５ｅ…バイパス通路
２１０…ハースブロック
２１１…取付部
２１２…収容部
２１２ｈ…孔部
２１５ｃ、２１５ｃａ、２１５ｃｂ…通路
２２０…ハースブロック
２２１…取付部
２２１ｒ…リセス部
２２２…収容部
２２２ｈ…孔部
２２２ｗ…側壁
２２３…スペーサ部材
２２４…シールド部材
２２５…溝
２５０…Ｏリング
５００…ネジ

Claims

冷却用の第１の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第１の蒸着材料を収容し第２の通路を有する第１の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第２の通路と前記第１の通路を連通させる第３の通路を有する第１の取付部と、を有する少なくとも１つの第１のハースブロックと、
第２の蒸着材料を収容する第２の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第２の収容部と前記第１の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第１の取付部と互換形状を有する第２の取付部と、を有する少なくとも１つの第２のハースブロックと、
を具備するハースユニット。
請求項１に記載のハースユニットであって、
前記第１のハースブロックは、前記第１の収容部と前記第１の取付部とが一体となって設けられている
ハースユニット。
請求項１または２に記載のハースユニットであって、
前記第２の収容部は、容器であり、前記第２の取付部は、前記容器を支持する板状部材である
ハースユニット。
請求項３に記載のハースユニットであって、
前記板状部材は、前記ハース本体に対向する溝を有し、前記溝は、前記第１の通路に連通する
ハースユニット。
請求項１〜４のいずれか１つに記載のハースユニットであって、
前記第２のハースブロックは、前記第２の収容部と前記第２の取付部との間に配置されたスペーサ部材をさらに有する
ハースユニット。
請求項１〜５のいずれか１つに記載のハースユニットであって、
前記第２のハースブロックは、前記第２の取付部上に設けられ前記第２の収容部の周囲の少なくとも一部を遮蔽するシールド部材をさらに有する
ハースユニット。
冷却用の第１の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第１の蒸着材料を収容し第２の通路を有する第１の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第２の通路と前記第１の通路を連通させる第３の通路を有する第１の取付部と、を有する少なくとも１つの第１のハースブロックと、
第２の蒸着材料を収容する第２の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第２の収容部と前記第１の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第１の取付部と互換形状を有する第２の取付部と、を有する少なくとも１つの第２のハースブロックと、
を有するハースユニットと、
前記第１の収容部または前記第２の収容部に、電子ビームを照射することが可能な電子銃と、
を具備する蒸発源。
冷却用の第１の通路をそれぞれ含む複数の領域を有するハース本体と、
第１の蒸着材料を収容し第２の通路を有する第１の収容部と、前記複数の領域の一部に設置され前記第２の通路と前記第１の通路を連通させる第３の通路を有する第１の取付部と、を有する少なくとも１つの第１のハースブロックと、
第２の蒸着材料を収容する第２の収容部と、前記複数の領域の他の一部に設置され前記第２の収容部と前記第１の通路との連通を遮断し前記複数の領域のそれぞれに対して前記第１の取付部と互換形状を有する第２の取付部と、を有する少なくとも１つの第２のハースブロックと、
を有するハースユニットと、
前記第１の収容部または前記第２の収容部に、電子ビームを照射することが可能な電子銃と、
前記ハースユニットと前記電子銃を収容する真空槽と、
を具備する成膜装置。