JP6713536B2 - 金属めっき法 - Google Patents
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Description
本発明は、基材を電気化学的に処理するための方法、すなわち基材への金属めっきに関する。さらに本発明は、基材ホルダ受け装置および電気化学的処理装置に関する。
多くの電気化学的プロセス、特に金属めっきでは、電解質流を使用して基材に金属イオンを運ぶことによって基材を処理する。典型的には、電解質中のイオンにより電荷を運んで基材を電気的に接続させることによって、このプロセスに電子を供給する。電解質流の化学的、水力学的および幾何学的特性によって基材に運ばれるイオンの量が決まり、特に基材の特定の領域に運ばれるイオンの量が決まる。典型的なプロセスでは、この基材上の特定の箇所に到達するイオンの量によって、処理の強度が決まる。
したがって従来技術に鑑み、本発明の目的は、より均一な結果が得られる、改良された電気化学的プロセスを提供することにあった。
本発明の主題は、請求項1に記載の、基材を電気化学的に処理するための方法である。
局所的に集中した複数の電解質流を用いて上記の方法を実施することが好ましい。その場合、上記の方法により、基材表面上のある1つの専用部分を、局所的に集中した複数の電解質流のうちの1つを用いて処理することが好ましい。好ましくは、基材表面上の専用部分は、基材表面の大部分にわたっており、より好ましくは基材表面全体にわたっており、その際、基材表面上で各専用部分の間に間隙が存在しないことが好ましい。基材表面の複数の専用部分の処理を、局所的に集中した複数の電解質流を用いて同時に行うことが好ましい。局所的に集中した複数の電解質流は、例えば、局所的に集中した電解質流の数と一致する数のノズルによって生成可能である。国際公開第2014/095356号(WO 2014/095356)には、第1の装置要素としてノズルプレートが開示されており、ここに本特許出願明細書の一部を構成するものとしてその内容を援用する。好ましくは、金属、好ましくは銅を基材に垂直にめっきするための装置であって、前記装置は、互いに平行に垂直に配置された少なくとも第1の装置要素と第2の装置要素とを備え、第1の装置要素は、複数の貫通導管を備えた少なくとも第1のアノード要素と、複数の貫通導管を備えた少なくとも第1のキャリア要素とを備え、前記少なくとも第1のアノード要素と前記少なくとも第1のキャリア要素とは、互いに堅固に接続されており;第2の装置要素は、処理すべき少なくとも第1の基材を受けることができるように適合された少なくとも第1の基材ホルダを備え、前記少なくとも第1の基材ホルダは、処理すべき少なくとも第1の基材を受けた後にその外側フレーム部に沿って該基材を少なくとも部分的に取り囲み、前記少なくとも第1の装置要素の第1のアノード要素と第2の装置要素の少なくとも第1の基材ホルダとの間の距離は、2〜15mmの範囲であり;前記第1の装置要素の第1のキャリア要素の複数の貫通導管は、キャリア要素表面上の垂線に対して10°〜60°の角度の直線の形態で第1のキャリア要素を貫通する装置が開示される。
1 第1の経路
2 第2の経路
4 機械フレーム部
5 電気化学的処理装置
10 パターン
11 基材ホルダ
12 得られる経路
20 基材ホルダクランプ装置
21 基材ホルダ接続装置
22 アーム
23 ケーブル
25 フレームブリッジ部
26 クランプ装置フレーム部
30 基材移動装置
42 アノードホルダ
51 電解質槽
100 基材ホルダ受け装置
111 基材
421 アノード
511 電解質
512 電解質液面高さ
SP、SP1〜SP9 停止点
Claims (12)
- アノード(421)および電解質(511)を用いて基材(111)に金属めっきを施すための方法であって、複数の各電解質ノズルから、局所的に集中した電解質流を基材表面のうちの処理すべき部分へと向かわせ、めっきを行う時に前記基材(111)と前記電解質流との間で相対的移動を行う方法であって、
第1の移動を第1の経路(1)に沿って行い、
少なくとも前記第1の経路(1)の一部に沿って、第2の移動を第2の経路(2)に沿って行い、
前記第1および第2の移動はそれぞれ、前記電解質流と前記基材との間での相対的移動であり、
前記第1の移動は非連続的であり、前記第1の移動を停止させた際に前記第2の移動を行うことを特徴とする方法。 - 第2の移動を、前記第1の経路(1)に沿って2回以上行うことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記第2の移動を1回目に実行する際の前記第2の経路(2)は、前記第2の移動を2回目に実行する際の前記第2の経路(2)と重なることを特徴とする、請求項2記載の方法。
- 前記第1の経路(1)は、前記第1の移動を停止させる停止点(SP、SP1〜SP9)を含み、前記停止点(SP、SP1〜SP9)で前記第2の移動を行うことを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 前記停止点(SP、SP1〜SP9)を行および列の状態で配置し、その結果、幾何学的パターン(10)は、行および列を有する配列となることを特徴とする、請求項4記載の方法。
- 前記第2の移動の前記第2の経路(2)は、閉曲線であることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 第1および第2の移動をすべて行った後で、前記電解質流と前記基材(111)との相対的終了位置は、前記第1および第2の移動の相対的開始位置と同一であるか、または前記相対的終了位置は、前記相対的開始位置の近傍の位置であることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 前記第1および第2の移動を、所定の期間の開始時に始めることによって行い、前記所定の期間の終了とともに最後の移動が終わり、前記第1および第2の移動の実行を繰り返し、前記実行は、期間の満了時に前記第1の経路(1)に沿った前記第1および第2のすべての移動の実行が終了した際に終わることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 前記第1の経路は、前記第2の経路の形態とは異なる形態を有することを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。
- 請求項1から9までのいずれか1項記載の方法であって、前記方法を、基材ホルダ(11)の所定の位置での前記基材ホルダのクランプ方向(SHCD)への前記基材ホルダ(11)のクランプ操作と、前記基材ホルダ(11)の解放操作とを行うための基材ホルダ受け装置(100)を用いて行い、前記基材ホルダ受け装置(100)は、前記基材ホルダ(11)を機械的に位置決めしかつ電気的に接触させるための少なくとも1つの基材ホルダ接続装置(21)を備え、前記基材ホルダ接続装置(21)は、該基材ホルダ接続装置(21)に対する前記基材ホルダ(11)の位置決めを位置決め方向で行うための独立した基材ホルダ位置決め装置(211)と、前記基材ホルダ(11)を電気的に接触させるための独立した基材ホルダ接触装置(212)とを備えることを特徴とする方法。
- 基材ホルダ(11)の所定の位置での前記基材ホルダのクランプ方向(SHCD)への前記基材ホルダ(11)のクランプ操作と、前記基材ホルダ(11)の解放操作とを行うための基材ホルダ受け装置(100)であって、前記基材ホルダ受け装置(100)は、前記基材ホルダ(11)を機械的に位置決めしかつ電気的に接触させるための少なくとも1つの基材ホルダ接続装置(21)を備え、前記基材ホルダ接続装置(21)は、該基材ホルダ接続装置(21)に対する前記基材ホルダ(11)の位置決めを位置決め方向で行うための独立した基材ホルダ位置決め装置(211)と、前記基材ホルダ(11)を電気的に接触させるための独立した基材ホルダ接触装置(212)とを備える基材ホルダ受け装置(100)であって、該基材ホルダ受け装置(100)は、請求項1から10までのいずれか1項記載の方法のいずれか1つを実施できるように構成されていることを特徴とする、基材ホルダ受け装置(100)。
- 電解質流体(511)中でカソードとして機能する基材(111)を処理するための電気化学的処理装置(5)であって、前記電気化学的処理装置(5)は、アノード(421)と請求項11記載の基材ホルダ受け装置(100)とを備え、前記アノード(421)の活性表面は、運転時に前記基材(111)に向けられ、前記アノード(421)から前記基材(111)までの距離は、25mm未満である、電気化学的処理装置(5)。
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