JP2018067408A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. プラズマからイオンビームを引き出して照射するイオンビーム照射装置であって、
   ビーム照射方向に重ねて配置され、それぞれが複数の円形のアパーチャを有する複数の板状のグリッド電極と、
   それぞれの前記グリッド電極へ電圧を印加する電源部と、
   前記電源部によりそれぞれの前記グリッド電極へ印加される電圧を制御する制御部と、
   を備え、
   前記複数のグリッド電極は、プラズマからビーム照射方向に向けて１番目及び２番目に配置される第１グリッド電極及び第２グリッド電極、並びに、前記第２グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第３グリッド電極及び第４グリッド電極を順に有し、
   前記第１グリッド電極の複数の円形のアパーチャ及び前記第２グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、ビーム照射方向に沿って同軸であり、
   前記第３グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、前記第１グリッド電極及び前記第２グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向にそれぞれオフセットしている、
   イオンビーム照射装置。
2. 前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第３グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第３グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第３グリッド電極との間に第１電位差を与えることにより、前記複数の円形のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第３グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる、請求項１に記載のイオンビーム照射装置。
3. 前記制御部は、複数のイオンビームを前記第３グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる際の傾斜目標角度が大きいほど前記第１電位差を大きく制御する請求項２に記載のイオンビーム照射装置。
4. 前記第４グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第５グリッド電極をさらに備え、
   前記第４グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、前記第１グリッド電極及び前記第２グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向であって、前記第３グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向と交差する方向にそれぞれオフセットしている、請求項１に記載のイオンビーム照射装置。
5. 前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第４グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第４グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第４グリッド電極との間に第２電位差を与えることにより、前記複数の円形のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第４グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる、請求項４に記載のイオンビーム照射装置。
6. 前記制御部は、複数のイオンビームを前記第４グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる際の傾斜目標角度が大きいほど前記第２電位差を大きく制御する請求項５に記載のイオンビーム照射装置。
7. 前記制御部は、イオンビームを前記第４グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向に傾ける場合には、前記第２電位差を負とし、イオンビームを前記第４グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向の逆方向に傾ける場合には、前記第２電位差を正とする、請求項５に記載のイオンビーム照射装置。
8. 請求項１に記載のイオンビーム照射装置と、
   前記イオンビーム照射装置のビーム照射方向に配置され、基板を保持する載置面を有する載置台と、
   を備える基板処理装置。
9. 前記グリッド電極における複数の円形のアパーチャが形成される領域は、前記載置台の前記載置面の面積よりも小さく、一方向に長い四角形である請求項８に記載の基板処理装置。
10. プラズマからイオンビームを引き出して照射するイオンビーム照射装置であって、
    ビーム照射方向に重ねて配置され、それぞれが複数のアパーチャを有する複数の板状のグリッド電極と、
    それぞれの前記グリッド電極へ電圧を印加する電源部と、
    前記電源部によりそれぞれの前記グリッド電極へ印加される電圧を制御する制御部と、
    を備え、
    前記複数のグリッド電極は、プラズマからビーム照射方向に向けて１番目及び２番目に配置される第１グリッド電極及び第２グリッド電極、並びに、前記第２グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第３グリッド電極及び第４グリッド電極を順に有し、
    前記第１グリッド電極のアパーチャ及び前記第２グリッド電極のアパーチャの中心軸は、ビーム照射方向に沿って同軸であり、
    前記第３グリッド電極のアパーチャの中心軸は、前記第１グリッド電極及び前記第２グリッド電極のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向にそれぞれオフセットしており、
    前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第３グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第３グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第３グリッド電極との間に第１電位差を与えることにより、前記複数のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第３グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させ、
    前記制御部は、イオンビームを前記第３グリッド電極のアパーチャの中心軸のオフセット方向に傾ける場合には、前記第１電位差を負とし、イオンビームを前記第３グリッド電極のアパーチャの中心軸のオフセット方向の逆方向に傾ける場合には、前記第１電位差を正とする、イオンビーム照射装置。