JP6721486B2 - イオンビーム照射装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る基板処理装置の構成を示す概略断面図である。図1に示される基板処理装置1は、基板にイオンビームを照射してエッチング処理をする装置である。基板処理装置1は、略円筒状の処理容器10を備えている。処理容器10は、例えば、その表面が陽極酸化処理されたアルミニウムから構成されている。この処理容器10は保安接地されている。処理容器10の内部空間は、仕切り11によって2つの空間に区画されている。上部の空間はプラズマが生成されるプラズマ室S1、下部の空間は、基板が処理される処理室S2である。処理容器10の下部には、処理容器10の内部を減圧する排気装置12が接続されており、プラズマ室S1及び処理室S2の圧力が所定の圧力に調整される。排気装置12は、例えば、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプである。プラズマ室S1の圧力は真空計13により測定され、処理室S2の圧力は真空計14により測定される。
第2実施形態に係るイオンビーム照射装置及び基板処理装置は、第1実施形態に係るイオンビーム照射装置及び基板処理装置1と比べてグリッド電極40にさらに1枚のグリッド電極が追加され、第3グリッド電極40cだけでなく、第4グリッド電極40dもオフセットしている点が相違する。以下では、第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する記載は省略する。
上述した第1実施形態では、グリッド電極40が円形である場合を説明した。しかしながら、グリッド電極は円形に限定されず、長方形や正方形であってもよい。図13は、グリッド電極におけるアパーチャが形成された領域と載置台の載置面との関係を説明する図である。図13に示すように、本発明に係るイオンビームの方向制御の機能を用いることにより、グリッド電極における複数のアパーチャが形成される領域を載置面の面積よりも小さくすることができる。領域の形状としては、例えば一方向に長い四角形である。このように構成することにより、複数のアパーチャが形成される領域を基板のサイズに合わせて拡大させる必要がない。したがって、プラズマ室の真空度を適切に保つことができるとともに、任意の大きさの基板に機器構成を変更することなく対応することができる。
上述した実施形態では、第3グリッド電極40cがプラズマからビーム照射方向に向けて3番目に配置され、第4グリッド電極40dがプラズマからビーム照射方向に向けて4番目に配置される例を説明したが、これに限定されない。つまり、第2グリッド電極40bと第3グリッド電極40cとの間、及び、第3グリッド電極40cと第4グリッド電極40dとの間に、任意の枚数のグリッド電極を挿入してもよい。
Claims (8)
- プラズマからイオンビームを引き出して照射するイオンビーム照射装置であって、
ビーム照射方向に重ねて配置され、それぞれが複数の円形のアパーチャを有する複数の板状のグリッド電極と、
それぞれの前記グリッド電極へ電圧を印加する電源部と、
前記電源部によりそれぞれの前記グリッド電極へ印加される電圧を制御する制御部と、
を備え、
前記複数のグリッド電極は、プラズマからビーム照射方向に向けて1番目及び2番目に配置される第1グリッド電極及び第2グリッド電極、前記第2グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第3グリッド電極及び第4グリッド電極、並びに、前記第4グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第5グリッド電極を順に有し、
前記第1グリッド電極の複数の円形のアパーチャ及び前記第2グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、ビーム照射方向に沿って同軸であり、
前記第3グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、前記第1グリッド電極及び前記第2グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向にそれぞれオフセットしており、
前記第4グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸は、前記第1グリッド電極及び前記第2グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向であって、前記第3グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向と交差する方向にそれぞれオフセットしており、
前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第4グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第4グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第4グリッド電極との間に第2電位差を与えることにより、前記複数の円形のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第4グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる、イオンビーム照射装置。 - 前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第3グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第3グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第3グリッド電極との間に第1電位差を与えることにより、前記複数の円形のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第3グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる、請求項1に記載のイオンビーム照射装置。
- 前記制御部は、複数のイオンビームを前記第3グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる際の傾斜目標角度が大きいほど前記第1電位差を大きく制御する請求項2に記載のイオンビーム照射装置。
- 前記制御部は、複数のイオンビームを前記第4グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる際の傾斜目標角度が大きいほど前記第2電位差を大きく制御する請求項1に記載のイオンビーム照射装置。
- 前記制御部は、イオンビームを前記第4グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向に傾ける場合には、前記第2電位差を負とし、イオンビームを前記第4グリッド電極の複数の円形のアパーチャの中心軸のオフセット方向の逆方向に傾ける場合には、前記第2電位差を正とする、請求項1に記載のイオンビーム照射装置。
- 請求項1に記載のイオンビーム照射装置と、
前記イオンビーム照射装置のビーム照射方向に配置され、基板を保持する載置面を有する載置台と、
を備える基板処理装置。 - 前記グリッド電極における複数の円形のアパーチャが形成される領域は、前記載置台の前記載置面の面積よりも小さく、一方向に長い四角形である請求項6に記載の基板処理装置。
- プラズマからイオンビームを引き出して照射するイオンビーム照射装置であって、
ビーム照射方向に重ねて配置され、それぞれが複数のアパーチャを有する複数の板状のグリッド電極と、
それぞれの前記グリッド電極へ電圧を印加する電源部と、
前記電源部によりそれぞれの前記グリッド電極へ印加される電圧を制御する制御部と、
を備え、
前記複数のグリッド電極は、プラズマからビーム照射方向に向けて1番目及び2番目に配置される第1グリッド電極及び第2グリッド電極、前記第2グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第3グリッド電極及び第4グリッド電極、並びに、前記第4グリッド電極よりもビーム照射方向の下流側に配置された第5グリッド電極を順に有し、
前記第1グリッド電極のアパーチャ及び前記第2グリッド電極のアパーチャの中心軸は、ビーム照射方向に沿って同軸であり、
前記第3グリッド電極のアパーチャの中心軸は、前記第1グリッド電極及び前記第2グリッド電極のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向にそれぞれオフセットしており、
前記第4グリッド電極の複数のアパーチャの中心軸は、前記第1グリッド電極及び前記第2グリッド電極の複数のアパーチャの中心軸に対してビーム照射方向と直交する方向であって、前記第3グリッド電極の複数のアパーチャの中心軸のオフセット方向と交差する方向にそれぞれオフセットしており、
前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第3グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第3グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第3グリッド電極との間に第1電位差を与えることにより、前記複数のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第3グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させ、
前記制御部は、イオンビームを前記第3グリッド電極のアパーチャの中心軸のオフセット方向に傾ける場合には、前記第1電位差を負とし、イオンビームを前記第3グリッド電極のアパーチャの中心軸のオフセット方向の逆方向に傾ける場合には、前記第1電位差を正とし、
前記制御部は、前記複数のグリッド電極のうち、前記第4グリッド電極よりもビーム照射方向の上流側であって前記第4グリッド電極に最も近い前記グリッド電極と、前記第4グリッド電極との間に第2電位差を与えることにより、前記複数のアパーチャから照射される複数のイオンビームを前記第4グリッド電極のオフセット方向又はオフセット方向の逆方向に傾斜させる、
イオンビーム照射装置。
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