JP6710795B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6710795B2 JP6710795B2 JP2019046207A JP2019046207A JP6710795B2 JP 6710795 B2 JP6710795 B2 JP 6710795B2 JP 2019046207 A JP2019046207 A JP 2019046207A JP 2019046207 A JP2019046207 A JP 2019046207A JP 6710795 B2 JP6710795 B2 JP 6710795B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- substrate
- waveguide
- hydrogen
- microwave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
図1は、第1の実施形態に従ったMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)装置1(以下、単に装置1ともいう)の構成の一例を示す概略図である。装置1は、例えば、GaN、AlN、GaAlN、InN等の半導体膜の成膜を行うエピタキシャル装置でよい。装置1は、チャンバ10と、ステージ20と、ヒータ25と、第1供給部30と、第2供給部40と、マイクロ波導波管50と、フィルタ60と、駆動部70と、コントローラ80とを備えている。
一方、ラジカルは、フィルタ60を通過することができる。従って、フィルタ60は、上下方向に直進しようとするイオンを除去しつつ、ラジカルを基板W側へ通過させることができる。尚、小数のイオンは、散乱してフィルタ60を通過する場合もあるが、後述するように、60kHz程度の低周波の電界は印加されていないので、基板Wにダメージを与えない。
c×√(1−λ2/4b2} (式1)
ここで、cは導波管50の外の空間におけるマイクロ波の伝送速度である。式1から、導波管50内におけるマイクロ波の伝送速度は、長辺bが大きいほど速いことがわかる。よって、式1からも、長辺bは、大きいことが好ましいと言える。例えば、マイクロ波の周波数が約2.45GHz帯である場合、長辺bを約6.12cmより大きくすることによって、マイクロ波は高速で導波管50内を伝播することができる。
本実施形態では、例えば、4つの導波管50a〜50dが、チャンバ10の上面の略中心を中心とする同心円C上に均等配置されている。導波管50a〜50eの開口は、第2供給部40(ステージ20、基板W)へ向けられており、マイクロ波を下方へ向かって照射する。また、導波管50a〜50eは、それぞれの長径bが互いに略平行になるように配置されている。
図4は、第1の実施形態の変形例による複数の導波管50の配置の一例を示す上面図である。1つの導波管50f_1は、チャンバ10の上面の略中心または略重心に配置されている。また、他の複数の導波管50a_1〜50e_1は、チャンバ10の上面の略中心または略重心を中心とする同心円上に略等間隔で配置されている。本変形例では、例えば、5つの導波管50a_1〜50e_1が、チャンバ10の上面の略中心を中心とする同心円Cに略等間隔で略均等に配置されている。導波管50a_1〜50f_1の開口は、第2供給部40(ステージ20、基板W)へ向かっており、マイクロ波を下方へ向かって照射する。また、導波管50a_1〜50e_1は、それぞれの長径bが中心Oを中心として放射方向に延伸するように配置されている。本変形例のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図5は、第2の実施形態に従ったMOCVD装置2(以下、単に装置2ともいう)の構成の一例を示す概略図である。第2の実施形態によれば、導波管50は、チャンバ10(ラジカル生成部15)の側壁に設けられている。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
また、導波管50の開口は、チャンバ10の内面に対して略垂直方向へ向かっており、チャンバ10の内面に対して略垂直方向へマイクロ波を射出する。導波管50の開口は、第1の実施形態と同様に、例えば、短辺aおよび長辺bの長方形を有する。
図7は、第2の実施形態の変形例による複数の導波管50の配置の一例を示す断面図である。図7は、基板Wまたはステージ20の表面に対して略平行方向に切断した断面を示す。複数の導波管50a_3〜50e_3は、第2の実施形態と同様に、チャンバ10(ラジカル生成部15)の側壁に設けられているが、その個数は、5個である。本変形例のその他の構成は、第2の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図8(A)および図8(B)は、第2供給部40のシャワーヘッドSHの構成例を示す断面図である。シャワーヘッドSHは、V族元素含有ガスのラジカルを基板Wに供給するために、基板Wに対向する底面に多数の孔HLを有する。孔HLは、ラジカルを基板Wに略均等に供給するために、シャワーヘッドSHの底面に略均等に設けられている。また、後述するように、孔HLの深さを適切に調節することによって、V族元素含有ガスが孔HLを通過する際に効率良くラジカル化あるいはイオン化することができる。
Claims (4)
- 反応室と、ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物ガスを供給する第1供給部と、窒素ガスおよび水素ガスを供給する第2供給部と、マイクロ波を前記反応室に導波する導波部と、を備える半導体製造装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記反応室内に収容された基板へ前記有機化合物ガスを供給し、前記ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物を該基板に付着させ、
前記反応室内に窒素ガスおよび水素ガスを供給し、
前記導波部から前記窒素ガスおよび前記水素ガスにマイクロ波を照射して、該窒素ガスを窒素イオンおよび窒素ラジカルに、該水素ガスを水素イオンおよび水素ラジカルに、プラズマ分解し、
前記窒素ラジカルおよび前記水素ラジカルを前記基板上に付着した前記ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物と結合させて、GaN、AlN、InN、AlGaN、InGaNのいずれかをエピタキシャル成長させることを具備する、半導体装置の製造方法。 - 前記導波部は、約2.45GHz帯のマイクロ波、または、約5.8GHz帯のマイクロ波を前記窒素ガスに照射する、請求項1に記載の方法。
- 前記半導体製造装置は、前記第1供給部と前記第2供給部および前記導波部との間に設けられたフィルタをさらに備え、
前記プラズマ分解後、前記フィルタによって、前記窒素イオンおよび前記水素イオンを前記基板側へ通過させず、前記窒素ラジカルおよび前記水素ラジカルを前記基板側へ通過させることをさらに具備する、請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 反応室と、ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物ガスを供給する第1供給部と、酸素ガスおよび水素ガスを供給する第2供給部と、マイクロ波を前記反応室に導波する導波部と、を備える半導体製造装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記反応室内に収容された基板へ前記有機化合物ガスを供給し、前記ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物を該基板に付着させ、
前記反応室内に酸素ガスおよび水素ガスを供給し、
前記導波部から前記酸素ガスおよび前記水素ガスにマイクロ波を照射して、該酸素ガスを酸素イオンおよび酸素ラジカルに、該水素ガスを水素イオンおよび水素ラジカルに、プラズマ分解し、
前記酸素ラジカルおよび前記水素ラジカルを前記基板上に付着した前記ガリウム、アルミニウムまたはインジウムの有機化合物と結合させて、Al2O3、Ga2O3、In2O3のいずれかを成膜させることを具備する、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019046207A JP6710795B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019046207A JP6710795B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | 半導体装置の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016050086A Division JP6527482B2 (ja) | 2016-03-14 | 2016-03-14 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019145803A JP2019145803A (ja) | 2019-08-29 |
JP6710795B2 true JP6710795B2 (ja) | 2020-06-17 |
Family
ID=67772657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019046207A Active JP6710795B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6710795B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3659101B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2005-06-15 | 富士ゼロックス株式会社 | 窒化物半導体素子及びその製造方法 |
JP2001217193A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | AlNバッファ層の作成方法、AlNバッファ層、GaN単結晶膜の作成方法およびGaN単結晶膜 |
US7740704B2 (en) * | 2004-06-25 | 2010-06-22 | Tokyo Electron Limited | High rate atomic layer deposition apparatus and method of using |
US7314835B2 (en) * | 2005-03-21 | 2008-01-01 | Tokyo Electron Limited | Plasma enhanced atomic layer deposition system and method |
JP5697333B2 (ja) * | 2007-05-25 | 2015-04-08 | 国立大学法人東北大学 | 化合物系薄膜及びその形成方法、並びにその薄膜を用いた電子装置 |
CA2653581A1 (en) * | 2009-02-11 | 2010-08-11 | Kenneth Scott Alexander Butcher | Migration and plasma enhanced chemical vapour deposition |
JP6406811B2 (ja) * | 2013-11-20 | 2018-10-17 | 国立大学法人名古屋大学 | Iii 族窒化物半導体装置の製造装置および製造方法ならびに半導体ウエハの製造方法 |
JP6324810B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-05-16 | 株式会社トクヤマ | 気相成長装置 |
-
2019
- 2019-03-13 JP JP2019046207A patent/JP6710795B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019145803A (ja) | 2019-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101851436B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP6527482B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP6338462B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6096547B2 (ja) | プラズマ処理装置及びシャワープレート | |
JP5587325B2 (ja) | 化学蒸着堆積のための方法および装置 | |
JP5643232B2 (ja) | 金属窒化膜を蒸着させるための装置及び方法 | |
KR102330144B1 (ko) | Iii족 질화물 반도체 장치의 제조 장치 및 제조 방법 및 반도체 웨이퍼의 제조 방법 | |
CN107574420A (zh) | 用于光激发处理的设备及方法 | |
TWI621732B (zh) | 密封膜之形成方法及密封膜製造裝置 | |
KR101675106B1 (ko) | 화학 기상 증착 장치 및 방법 | |
JP6710795B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20090241310A1 (en) | Rlsa cvd deposition control using halogen gas for hydrogen scavenging | |
TW201406211A (zh) | 加熱機構、成膜裝置及成膜方法 | |
US20190153617A1 (en) | Production Method and Production Device for Nitrogen Compound | |
JP6110106B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP6516482B2 (ja) | Iii族窒化物半導体素子の製造装置および製造方法ならびに半導体ウエハの製造方法 | |
JP7066178B2 (ja) | Iii族窒化物半導体素子の製造装置および製造方法ならびに半導体ウエハの製造方法 | |
KR100877404B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치의 제어 방법, 플라즈마 처리 장치 및 기록 매체 | |
JP4390604B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2019153791A (ja) | Iii族窒化物半導体素子の製造方法および基板の洗浄方法 | |
JP7100871B2 (ja) | Iii族窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP2011222670A (ja) | 気相成長装置 | |
JPH10172912A (ja) | 量子構造の形成方法 | |
JP4469199B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2023057215A (ja) | 窒素化合物の製造方法及び製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200527 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6710795 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |