JP6700144B2 - マイクロニードルアレイ撮像方法及びマイクロニードルアレイ検査方法 - Google Patents
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Description
まず、マイクロニードルアレイの構成について説明する。
図1は、マイクロニードルアレイの一例を示す斜視図である。
図2は、マイクロニードルアレイの一部の断面図である。
マイクロニードルアレイを撮像するマイクロニードルアレイ撮像装置の構成について説明する。
図3は、マイクロニードルアレイ撮像装置の概略構成図である。
支持部20は、検査対象としてのマイクロニードルアレイ1を支持する。支持部20は、マイクロニードルアレイ1を支持するステージ22を備える。ステージ22は、水平な載置面22Aを備える。マイクロニードルアレイ1は、シート3の第2面3Bを下にして載置面22Aの上に載置される。これにより、マイクロニードルアレイ1が水平に支持される。また、ステージ22は、開口部24を備える。開口部24は、ステージ22に載置されたマイクロニードルアレイ1に照明光を照射するための照明窓として使用される。マイクロニードルアレイ1は、マイクロニードル2が配置された領域が、開口部24の上に位置するように、載置面22Aの上に載置される。
照明部30は、支持部20に支持されたマイクロニードルアレイ1のシート3の第2面3Bに照明光を照射する。照明部30は、平行光照射ユニット32を備える。平行光照射ユニット32は、図示しない光源及びレンズを備え、平行光を出射する。光源には、たとえば、白色LED(LED:Light Emitting Diode)が用いられる。平行光照射ユニット32は、ステージ22に向けて平行照明光を出射する。平行光照射ユニット32は、その光軸L1がステージ22の載置面22Aの中心Oを通るように設定される。
撮像部40は、撮像ユニット42を備える。撮像ユニット42は、撮像レンズ44及びカメラ46を備える。カメラ46は、いわゆるデジタルカメラであり、撮像レンズ44を通った光を撮像素子で受け、デジタル信号に変換して出力する。撮像ユニット42は、その撮像レンズ44の光軸L2が、ステージ22の載置面22Aの中心Oを通るように設定される。また、撮像ユニット42は、平行光照射ユニット32と同一平面上に配置される。すなわち、その光軸L2が平行光照射ユニット32の光軸L1と同一平面上に配置される。
ステージ22に載置されたマイクロニードルアレイ1に対して、シート3の第2面3Bに照明部30から平行光である照明光を照射し、シート3の第1面3A側からマイクロニードルアレイ1を撮像する。
照明部30は、マイクロニードル2の底面2aへの光の入射角αが90−θ度以上、かつ、マイクロニードル2の側面2bへの光の入射角βが臨界角γ未満となる条件で照明光を照射する。
撮像部40は、マイクロニードルアレイ1を撮像する方向が、照明光の照射方向と平行になる条件でマイクロニードルアレイ1を撮像する。すなわち、同軸上で撮像する。なお、ここでの「平行」は、ほぼ平行(ほぼ同軸)とみなせる状態を含むものである。
次に、上記のマイクロニードルアレイ撮像装置10を用いたマイクロニードルアレイ検査装置50について説明する。
図6は、マイクロニードルアレイ検査装置の概略構成を示すブロック図である。
マイクロニードルアレイ検査装置50によるマイクロニードルアレイ1の検査方法は、次のとおりである。
《装置構成》
図7は、マイクロニードルアレイ撮像装置の第2の実施の形態の概略構成図である。
照明部130は、拡散光を出射する拡散光照射ユニット134を備える。拡散光照射ユニット134は、光源部136及び拡散板138を備える。
ステージ22に載置されたマイクロニードルアレイ1に対して、シート3の第2面3Bに照明部130から拡散光である照明光を照射し、シート3の第1面3A側からマイクロニードルアレイ1を撮像する。
(1)基準マイクロニードルの設定
まず、基準マイクロニードルを設定する。基準マイクロニードル2xとは、出射面OSの最も近くに配置されるマイクロニードルのことである。
照明部130は、第1の条件として、基準マイクロニードル2xの底面2xaに入射する光のうち基準マイクロニードル2xの底面2xaに90−θ度未満の入射角で入射する光の強度が全体の1/10以下となるように、出射面OSを設定し、照明光を照射する。
第1の条件、すなわち、基準マイクロニードル2xの底面2xaに入射する光のうち基準マイクロニードル2xの底面2xaに90−θ度未満の入射角で入射する光の強度が全体の1/10以下という条件は、マイクロニードル2の側面2bの傾斜角度θから導かれる条件である。マイクロニードル2の底面2aに90−θ度未満の入射角で入射する光は、マイクロニードル2の先端に伝播される。しかし、照明光として拡散光を用いる場合、当該条件で入射する光を完全になくすことはできない。そこで、基準マイクロニードル2xの底面2xaに90−θ度未満の入射角で入射する光の強度を一定以下に抑えることを要件として規定している。すなわち、全体の1/10以下に抑えることを要件として規定している。当該条件で入射する光の強度を全体の1/10以下に抑えることにより、十分に先端が暗い状態を生成でき、検査に必要なコントラストの画像を撮像できる。
第2の条件、すなわち、基準マイクロニードル2xの底面2xaに入射する光のうち基準マイクロニードル2xの側面2xbに臨界角γ以上の入射角で入射する光の強度が全体の1/10以下という条件は、マイクロニードル2の内部で生じる全反射の観点から導かれる条件である。
撮像部40は、シート3に対して傾斜した方向からマイクロニードルアレイ1を撮像するように、撮像方向を設定する。すなわち、マイクロニードルアレイ1を斜めから撮像するように設定する。これにより、形状を検査しやすい画像を撮像できる。
上記実施の形態では、拡散光、特に完全拡散する光を照明光として使用する場合を例に説明したが、指向性をもって拡散する光、複数の入射角をもってマイクロニードルの底面に入射する光等を照明光として用いる場合も同様に取り扱うことができる。すなわち、平行光ではない光を照明光として使用する場合は、上記条件で照明部及び撮像部を設定することにより、マイクロニードル2の先端部分のみが暗く、他の部分は明るい状態を生成でき、形状等の検査に適したコントラストの高い画像を撮像できる。
《装置構成》
図11は、マイクロニードルアレイ撮像装置の第3の実施の形態の概略構成図である。
支持部220の構成は、上述した第1の実施の形態のマイクロニードルアレイ撮像装置10の支持部20と同じである。すなわち、マイクロニードルアレイ1が載置されるステージ222を備える。マイクロニードルアレイ1は、シート3の第2面3Bを下にしてステージ222の載置面222Aの上に載置される。ステージ222は、開口部224を備える。シート3の第1面3A側から照射された照明光は、マイクロニードルアレイ1を透過し、開口部224を抜けて、反射板234の反射面234Aに入射する。
撮像部240の構成は、上述した第1の実施の形態のマイクロニードルアレイ撮像装置10の撮像部40と同じである。すなわち、ステージ222の載置面222Aに載置されたマイクロニードルアレイ1をシート3の第1面3A側から撮像する撮像ユニット242を備える。撮像ユニット242は、レンズ244及びカメラ246を備える。なお、レンズ244は、同軸照明を実現するため、その光路上にハーフミラー244Aを備える。
照明部230は、平行光照射ユニット232及び反射板234を備える。平行光照射ユニット232は、図示しない光源及びレンズを備え、平行光を出射する。平行光照射ユニット232は、撮像ユニット242のレンズ244に備えられたハーフミラー244Aに向けて平行光である照明光を出射する。ハーフミラー244Aに入射した照明光は、進行方向が直角に折り曲げられて、撮像ユニット242のレンズ244と同じ光軸上を伝播する。これにより、撮像ユニット242のカメラ246と同軸で照明光を照射できる。平行光照射ユニット232及びハーフミラー244Aが光源部を構成する。
平行光照射ユニット232を駆動すると、平行光である照明光が撮像ユニット242のレンズ244に備えられたハーフミラー244Aに入射する。ハーフミラー244Aに入射した照明光は、レンズ244の光軸L2と同軸上を伝播して、ステージ222上のマイクロニードルアレイ1のシート3の第1面3Aに照射される。シート3の第1面3Aに照射された照明光は、シート3を透過して、反射板234の反射面234Aに入射する。そして、その反射面234Aで反射して、マイクロニードルアレイ1のシート3の第2面3Bに照射される。
〈照明光の照射方法の変形例〉
カメラ246と同軸方向から照明光を照射する方法は、上記の例に限定されない。たとえば、リング照明を利用して、カメラ246と同軸方向から照明光を照射する構成とすることもできる。
マイクロニードルアレイ1に対してシート3の第1面3A側から照明光を照射すると、正反射する光がカメラ246に入射して、コントラストを低下させる場合がある。この場合、偏光フィルタを使用することにより、正反射光の影響を抑制できる。正反射する光は、反射面で振動方向を持つ偏光となる。したがって、反射面と垂直な方向の直線偏光フィルタを撮像光軸上に挿入する。これにより、正反射光を抑制でき、クリアで高コントラストな画像を撮像できる。
《装置構成》
図12は、マイクロニードルアレイ撮像装置の第4の実施の形態の概略構成図である。
照明部330は、照明光照射ユニット332及び拡散反射板334を備える。照明光照射ユニット332は、図示しない光源及びレンズを備え、照明光を出射する。照明光は、平行光に限定されない。照明光照射ユニット332は、撮像ユニット242のレンズ244に備えられたハーフミラー244Aに向けて照明光を出射する。ハーフミラー244Aに入射した照明光は、進行方向が直角に折り曲げられて、撮像ユニット242のレンズ244と同じ光軸上を伝播する。照明光照射ユニット332及びハーフミラー244Aが光源部を構成する。
照明光照射ユニット332を駆動すると、照明光が撮像ユニット242のレンズ244に備えられたハーフミラー244Aに入射する。ハーフミラー244Aに入射した照明光は、レンズ244の光軸方向に伝播して、ステージ222上のマイクロニードルアレイ1のシート3の第1面3Aに照射される。シート3の第1面3Aに照射された照明光は、シート3を透過して、拡散反射板334の拡散反射面334Aに入射する。そして、その拡散反射面334Aで拡散反射して、マイクロニードルアレイ1のシート3の第2面3Bに照射される。
カメラ246と同軸方向から照明光を照射する方法は、上記の例に限定されない。たとえば、リング照明を利用して、カメラ246と同軸方向から照明光を照射する構成とすることもできる。また、偏光フィルタを使用して、正反射光の影響を抑制することもできる。
撮像部の光学系をテレセントリック光学系で構成してもよい。これにより、焦点がずれても像の大きさを変えずに撮像できる。また、視差によるゆがみのない画像を撮像できる。
本発明の対象となるマイクロニードルアレイは、上記実施の形態で説明した構成のものに限定されるものでない。透明又は半透明なシート上に透明又は半透明なマイクロニードルが複数配置されたマイクロニードルアレイであれば、本発明を適用できる。
2 マイクロニードル
2a マイクロニードルの底面
2b マイクロニードルの側面
2n マイクロニードルのニードル部
2s マイクロニードルの台座部
2x 基準マイクロニードル
2xa 基準マイクロニードルの底面
2xb 基準マイクロニードルの側面
3 シート
3A シートの第1面
3B シートの第2面
10 マイクロニードルアレイ撮像装置
20 支持部
22 ステージ
22A ステージの載置面
24 ステージの開口部
30 照明部
32 平行光照射ユニット
40 撮像部
42 撮像ユニット
44 撮像レンズ
46 カメラ
50 マイクロニードルアレイ検査装置
52 検査部
100 マイクロニードルアレイ撮像装置
130 照明部
134 拡散光照射ユニット
134A 拡散光照射ユニットの揺動軸
136 光源部
138 拡散板
200 マイクロニードルアレイ撮像装置
220 支持部
222 ステージ
222A ステージの載置面
224 ステージの開口部
230 照明部
232 平行光照射ユニット
234 反射板
234A 反射板の反射面
240 撮像部
242 撮像ユニット
244 レンズ
244A ハーフミラー
246 カメラ
300 マイクロニードルアレイ撮像装置
330 照明部
332 照明光照射ユニット
334 拡散反射板
334A 拡散反射面
334B 拡散反射板の揺動軸
A1 円弧
A2 円弧
L1 平行光照射ユニットの光軸
L2 撮像レンズの光軸
LD 照明部による照明光の照射方向
M1 薬剤を含む素材
M2 薬剤を含まない素材
O ステージの載置面の中心
OS 拡散光の出射面
PL2a マイクロニードルの底面に立てた法線
PL2b マイクロニードルの側面に立てた法線
SD 撮像部によるマイクロニードルアレイの撮像方向
TRD 最も小さな入射角で全反射する光の入射方向
Za 出射面から出射する光の範囲
Zb 基準マイクロニードルの底面に90−θ度未満の入射角で入射する光が出射する範囲
Zc 基準マイクロニードルの側面に臨界角以上の入射角で入射する光が出射する範囲
α マイクロニードルの底面への光の入射角
β マイクロニードルの側面への光の入射角
γ 臨界角
δ 基準マイクロニードルの側面に臨界角で入射する光が基準マイクロニードルの底面に入射する入射角
θ マイクロニードルの底面に対する側面の傾斜角度
ψ 軸
Claims (2)
- 底面に対する側面の傾斜角度がθ度である透明又は半透明なマイクロニードルが、透明又は半透明なシートの一方側の面の上に複数配置されたマイクロニードルアレイを前記マイクロニードルが配置された面の側から撮像するマイクロニードルアレイ撮像方法であって、
前記マイクロニードルの底面への光の入射角が90−θ度以上、かつ、前記マイクロニードルの側面への光の入射角が臨界角未満となる条件で前記マイクロニードルが配置された面と反対側の面に平行光を斜めに照射することにより、前記マイクロニードルの先端部分のみが暗くなる状態を作り出して、前記マイクロニードルアレイを前記シートに対して斜めから撮像する、
マイクロニードルアレイ撮像方法。 - 請求項1に記載のマイクロニードルアレイ撮像方法で撮像された画像を取得し、得られた画像を解析して、前記マイクロニードルアレイを検査する、
マイクロニードルアレイ検査方法。
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