JP6694719B2 - 光フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、光フィルタに関する。

光フィルタは、例えば、入射された光の中から所定の波長（波長帯域）の光のみを選択的に出射するように構成された光学素子である。例えば、光フィルタのような波長選択素子は、互いに対向する一対の反射膜を配置した構成を有している。当該一対の反射膜は、例えば、間隙をおいて平行に配置される。また、反射膜間の間隔は、取出されるべき光の波長に応じて設定される。

例えば、特許文献１には、第１の面に第１の反射膜を備える第１の基板と、第１及び第２の凹部が形成され、第１及び第２の凹部の底面を構成する第１及び第２底部上に形成された第２の反射膜を備えた第２の基板とを備えた光フィルタが開示されている。また、特許文献２には、固定反射膜が設けられた固定基板と、固定反射膜に対向する可動反射膜と、固定反射膜の周囲に設けられ、光吸収層及び金属層を備えた固定電極と、を備えた波長可変干渉フィルタが開示されている。

特開2014-010272号公報 特開2014-182169号公報

光フィルタのフィルタリング特性（分光特性）を高めるには、所望の波長以外の波長を有する光はフィルタから出力されないことが好ましい。例えば、意図しない波長の光は、ノイズとして出力されてしまうからである。また、光フィルタは、反射膜間の間隔（光学ギャップ）が固定された波長固定型と、光学ギャップを調節すること可能な波長可変型とに区別される。この波長可変型の光フィルタにおいても、高いフィルタリング特性を保持しつつ当該フィルタリング特性を調節することができることが好ましい。また、単純な構成で高いフィルタリング特性を実現できることが好ましい。

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、低ノイズであり、高いフィルタリング特性を有する光フィルタを提供することを課題の１つとしている。また、単純な構成で高いフィルタリング特性を有する光フィルタを提供することを課題の１つとしている。

請求項１に記載の発明による光フィルタは、間隙をおいて対向する第１及び第２の主表面をそれぞれ有する透光性の第１及び第２の基板と、第１の主表面に形成された凸部と、凸部及び第２の主表面上にそれぞれ形成された第１及び第２の反射膜と、第２の主表面上において第２の反射膜の外周部に接して第２の反射膜の外側に形成され、遮光膜として機能する膜と、を有し、前記遮光膜として機能する膜は前記第２の反射膜と同一材料により一体的に形成され、且つ前記第２の反射膜よりも大きな膜厚を有することを特徴としている。

（ａ）は実施例１に係る光フィルタの断面図であり、（ｂ）は実施例１に係る光フィルタの模式的な上面図である。 （ａ）及び（ｂ）は実施例１に係る光フィルタの模式的な動作説明図である。 実施例１の変形例に係る光フィルタの断面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、それぞれ実施例２及びその変形例に係る光フィルタの断面図である。 実施例３に係る光フィルタの断面図である。

以下に本発明の実施例について詳細に説明する。

図１（ａ）は、実施例１に係る光フィルタ１０の断面図である。光フィルタ１０は、第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂにそれぞれ形成された第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂを有する。具体的には、図１（ａ）に示すように、まず、光フィルタ１０は、間隙ＧＰをおいて対向する第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２をそれぞれ有する透光性の第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂを有する。また、本実施例においては、第１の基板１１Ａは、第１の主表面ＰＬ１上に形成された凸部ＰＪを有する。第１の反射膜１２Ａは凸部ＰＪ上に形成されている。また、第２の反射膜１２Ｂは、第２の主表面ＰＬ２上に形成され、間隔ＤＴをおいて第１の反射膜１２Ａに対向して配置されている。

本実施例においては、第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂは、平板形状を有する。また、第１の基板１１Ａの主面の一方における中央部分に柱状の凹部が設けられ、当該凹部の底面が第１の主表面ＰＬ１である。また、凸部ＰＪは、第１の主表面ＰＬ１から第２の主表面ＰＬ２に向かって突出している。また、本実施例においては、第２の主表面ＰＬ２は第２の基板１１Ｂの主面の一方である。また、第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂは、第１の主表面ＰＬ１の外側において、接合部ＢＤによって互いに接合されている。

なお、以下においては、第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂの全体を基板対１１と、第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２の全体を主表面対ＰＰと、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂの全体を反射膜対１２と称する場合がある。

第１及び第２の基板１１Ａ及び１１Ｂは、例えば、石英、ホウケイ酸ガラス、シリコンなどからなる。なお、本明細書において、透光性とは、光（可視光）を含む電磁波のうち、少なくとも一部の電磁波を透過する特性をいう。また、反射膜対１２は、電磁波を選択的に透過する共振器特性を有する。反射膜対１２は、例えば、ファブリペローエタロンを構成する。第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、例えばＡｇ及びＡｇを含む合金からなる薄膜であり、透過性を有する反射膜（反射性の膜）である。また、本実施例においては、凸部ＰＪは柱状の形状を有し、第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２並びに凸部ＰＪの上面（頂面）は互いに平行に配置されている。

光フィルタ１０は、底面が第２の主表面ＰＬ２を構成し、第２の主表面ＰＬ２に垂直な方向Ｄに移動する可動部１３を有する。また、光フィルタ１０は、第２の主表面ＰＬ２における可動部１３の周りに形成されて可動部１３を移動可能に支持する支持部１４を有する。第２の反射膜１２Ａは、可動部１３上に形成されている。第２の反射膜１２Ａは、可動部１３の移動に従って、第２の主表面ＰＬ２に垂直な方向Ｄに変位する（間隔ＤＴが増減する）。すなわち、可動部１３は、第２の主表面ＰＬ２に形成されて第２の反射膜１２Ｂを第２の主表面ＰＬ２に垂直な方向Ｄに変位させる。

本実施例においては、支持部１４は、可動部１３の外側に設けられた第２の基板１１Ｂの薄膜部からなる。より具体的には、第２の基板１１Ｂにおける第２の主表面ＰＬ２の反対側の主面には溝が設けられており、支持部１４は当該溝によって設けられた第２の基板１１Ｂの比較的薄い部分である。そして、第２の基板１１Ｂにおける支持部１４の内側部分は変位可能な可動部１３として機能する。可動部１３及び支持部１４における第１の基板１１Ａに対向する面（底面）は、第２の主表面ＰＬ２を構成する。

また、光フィルタ１０は、第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２上にそれぞれ形成され、可動部１３を移動させる静電気力を生成する第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂか
らなる駆動部１５を有する。第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂは、例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｕなどの金属材料からなる。

第１の電極１５Ａは、第１の主表面ＰＬ１における凸部ＰＪの外側に膜状に形成されている。また、第２の電極１５Ｂは、第２の反射膜１２Ｂの外周部に接して第２の主表面ＰＬ２上に膜状に形成されている。本実施例においては、第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂは、互いに対向して配置された電極膜である。また、第２の電極１５Ｂは、第２の反射膜１２Ｂの外側において第２の反射膜１２Ｂに連続的に形成されている。本実施例においては、第２の電極１５Ｂは、第２の反射膜１２Ｂの外縁から可動部１３及び支持部１４上に広がって形成されている。

図１（ｂ）は、光フィルタ１０の模式的な上面図である。なお、図１（ａ）は、図１（ｂ）のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。図１（ｂ）に示すように、まず、基板対１１は、上面視、すなわち第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２に垂直な方向Ｄから見たとき、矩形の形状を有する。反射膜対１２（図１（ｂ）では第２の反射膜１２Ｂの形状を示している）は、上面視において円形の形状を有する。可動部１３は上面視において円環形状を有している。支持部１４は、上面視において可動部１３の外周を取り囲むように環状に形成されている。

また、図１（ｂ）に示すように、本実施例においては、第２の電極１５Ｂは、第２の反射膜１２Ｂの外周全体に接して環状に形成されている。また、第２の電極１５Ｂは、可動部１３における第２の反射膜１２Ｂの外側領域の全体、及び支持部１４の全体を覆うように第２の主表面ＰＬ２上に形成されている。また、第２の電極１５Ｂは、上面視において円形の外形を有する。換言すれば、第２の主表面ＰＬ２における支持部１４の内側は、第２の反射膜１２Ｂ又は第２の電極１５Ｂによって、その全体が覆われている。なお、図の明確さのため、図１（ｂ）においては、第２の電極１５Ｂの領域にハッチングを施している。

また、本実施例においては、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ、可動部１３、支持部１４、並びに第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂは、上面視において、１点を中心として回転対称に形成されている。

次に、図２（ａ）及び（ｂ）を用いて光フィルタ１０のフィルタリング動作について説明する。図２（ａ）及び（ｂ）は、図１（ａ）と同様の断面図であるが、ハッチングを省略している。図２（ａ）は、入力光ＩＬが光フィルタ１０に入射してから選択光ＳＬとして外部に取出されるまでを模式的に示す図である。図２（ａ）を用いて、光フィルタ１０のフィルタリング動作の概略について説明する。

本実施例においては、光フィルタ１０は、第１の反射膜１２Ａから入力光ＩＬが入射され、第２の反射膜１２Ｂから選択光ＳＬが出射されるように構成されている。まず、入力光ＩＬは、第１の基板１１Ａを介して光フィルタ１０に入射する。入力光ＩＬは、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間において多重反射を繰り返す。この際、入力光ＩＬのうち、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＤＴ（光学ギャップ）に対応する波長の光は残存し、他の波長の光は減衰する。この残存した波長の光は、選択光ＳＬとして第２の反射膜１２Ｂを透過する。選択光ＳＬは、第２の反射膜１２Ｂを透過した後、第２の基板１１Ｂから出射する。このようにして、光フィルタ４０は、入射された光（電磁波）を選択的に出力（透過）する。

ここで、図２（ｂ）を用いて、光フィルタ１０内の光の進路の詳細について説明する。まず、図２（ａ）に示すように、第１の反射膜１２Ａに対して垂直な方向から第１の反射
膜１２Ａに入射された入力光ＩＬは、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間で十分な多重反射を繰り返す。すなわち、反射膜対１２によって、入力光ＩＬの中から特定波長の光である選択光ＳＬのみが選択され、第２の反射膜１２Ｂを透過して外部に取り出される。

一方、光フィルタ１０には、様々な方向から光が入射される場合がある。図２（ｂ）は、光フィルタ１０に入射される光のうち、第１の反射膜１２Ａから外れて入射される入力光ＩＬ１、及び第１の反射膜１２Ａに対し傾斜した角度で入射された入力光ＩＬ２について、その光フィルタ１０内の進路を模式的に示す図である。

まず、本実施例においては、第１の主表面ＰＬ１における第１の反射膜１２Ａ及び第１の電極１５Ａの領域以外の領域は、光学的に露出している。例えば、図２（ｂ）に示すように、本実施例においては、第１の反射膜１２Ａは凸部ＰＪの上面上のみに形成されている。従って、凸部ＰＪの側面は間隙ＧＰ内において光学的に露出している。従って、例えば、第１の反射膜１２Ａから外れて凸部ＰＪの側面に向かって入射された入力光ＩＬ１は、第１の基板１１Ａを透過して第２の基板１１Ｂに進む。

ここで、本実施例においては、第２の反射膜１２Ｂの外側には第２の電極１５Ｂが形成されている。この第２の電極１５Ｂ（電極膜）は、遮光膜として機能する。従って、入力光ＩＬ１が第２の基板１１Ｂに入射することが抑制される。また、本実施例においては、第２の電極１５Ｂは、例えばＡｇなど、光反射性を有する光反射膜として機能する。従って、入力光ＩＬ１は、第２の電極１５Ｂによって反射され、第１の基板１１Ａに戻る。また、図２（ｂ）に示すように、傾斜した方向から第１の反射膜１２Ａに入射された入力光ＩＬ２は、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間において多重反射した後、第２の電極（遮光膜）１５Ｂに入射され、消滅又は減衰する可能性が高い。

このように、本実施例においては、第２の主表面ＰＬ２において第２の反射膜１２Ｂの外周に接して第２の反射膜１２Ｂの外側に広がって形成された遮光膜（第２の電極１５Ｂ）を有する。従って、第２の主表面ＰＬ２は、そのほぼ全域が第２の反射膜１２Ｂ又は遮光膜（第２の電極１５Ｂ）に覆われている。従って、例えば入力光ＩＬ１及びＩＬ２のように、意図しない光又は迷光が光フィルタ１０内に入射された場合でも第２の基板１１Ｂに到達しない。従って、所望の波長帯域の光（選択光ＳＬ）のみを出力する高いフィルタリング特性の光フィルタ１０を提供することができる。

なお、本明細書においては、遮光性とは、少なくとも一部の電磁波を遮断する特性をいう。本実施例においては、第２の電極１５Ｂが光反射性を有する場合について説明したが、第２の電極１５Ｂは光反射性を有する場合に限定されない。例えば、第２の電極１５Ｂは、光吸収性を有していてもよい。本実施例においては、第２の電極１５Ｂが遮光性を有し、遮光膜として機能する電極膜であればよい。

また、本実施例においては、光の出力側、すなわち第２の基板１１Ｂの第２の主表面ＰＬ２上に遮光膜として機能する第２の電極１５Ｂが設けられている。従って、例えば、意図しない様々な波長の光が入射された場合でも出力側で遮断することができ、高いフィルタリング特性を得ることができる。また、本実施例においては、第１の反射膜１２Ａの近傍、すなわち凸部ＰＪの側面は光学的に露出している。従って、凸部ＰＪの側面に向かう光はそのまま第２の基板１１Ｂ側（遮光膜側）に直進する。従って、例えば凸部ＰＪの側面に反射膜を形成する場合に比べ、第１の反射膜１２Ａに傾斜した方向からの光、すなわち不要な光が入射されることが抑制される。従って、フィルタリング特性は向上する。

また、反射膜対１２を透過する電磁波の波長帯域、すなわちフィルタリング特性は、第
１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＤＴによって定まる。また、本実施例においては、例えば図２（ａ）に示すように、第２の反射膜１２Ｂが可動部１３上に形成されている。従って、第１及び第２の電極１２Ａ及び１２Ｂによって可動部１３が移動すると、第２の反射膜１２Ｂが第２の主表面ＰＬ２に垂直な方向に変位する。すなわち、可動部１３の移動に従って反射膜対１２の間隔（光学ギャップ）ＤＴが変化する。

より具体的には、第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂに電圧を印加すると、例えば、第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂ間に静電引力が生ずる。支持部１４は、この静電引力によって弾性変形を起こし、第１の基板１１Ａに向かって屈曲（傾斜）する。従って、可動部１３が第１の基板１１Ａに向かって移動する。これによって、例えば、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＤＴが減少する。なお、印加する電圧値によっては、第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂ間に静電斥力を生じさせ、間隔ＤＴが増加する方向に可動部１３を移動させることもできる。このようにして、光フィルタ１０のフィルタリング特性が変化する。換言すれば、光フィルタ１０は、波長可変型の光フィルタである。

本実施例においては、第２の電極１５Ｂ（遮光膜）は、第２の反射膜１２Ａから支持部１４上に亘って形成されている。従って、可動部１３及び支持部１４を動作させてフィルタリング特性を調節した場合でも、第２の電極１５Ｂによる遮光特性は低下しない。従って、高いフィルタリング特性を有する波長可変型の光フィルタ１０を形成することができる。

なお、遮光膜として機能する第２の電極１５Ｂの形成範囲は、必要なフィルタリング特性や製造の容易さなどを考慮して調節することができる。例えば、第２の電極１５Ｂは、本実施例のように第２の主表面ＰＬ２の支持部１４上まで形成されていてもよいし、可動部１３にのみ形成されていてもよい。第２の電極１５Ｂは、第２の反射膜１２Ｂの外周部に接して第２の反射膜１２Ｂの外側に形成されていればよい。これによって、少なくともフィルタリング動作を行う反射膜対１２の近傍において高いフィルタリング特性を確保することができる。

また、光フィルタ１０においては、平坦面として形成されている第２の主表面ＰＬ２上に第２の電極１５Ｂが形成されている。従って、第２の電極１５Ｂの膜厚、すなわち遮光特性が安定する。例えば、第１の主表面ＰＬ１側において遮光膜を形成する場合、凸部ＰＪの上面や側面上に遮光膜を成膜することになるが、この場合、遮光膜の膜厚が安定しない場合がある。従って、容易にかつ確実に所望の遮光特性を得ることを考慮すると、凸部ＰＪが設けられていない側の主表面（本実施例においては第２の主表面ＰＬ２）上に遮光機能を持たせることが好ましい。

また、本実施例においては、第１の基板１１Ａから入力光ＩＬを入射させ、第２の基板１１Ｂから選択光ＳＬを出射させる場合について説明した。しかし、光フィルタ１０は、第２の基板１１Ｂから入力光ＩＬを入射させて第１の基板から選択光ＳＬを出射させるように使用されてもよい。この場合、光の入力側において所望の光のみが第２の反射膜１２Ｂから入射される構成となるが、高いフィルタリング特性を得ることは可能である。

図３は、実施例１の変形例に係る光フィルタ１０Ａの断面図である。光フィルタ１０Ａは、間隙ＧＰをおいて対向する第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２をそれぞれ有する透光性の第１及び第２の基板１６Ａ及び１６Ｂを有する。また、光フィルタ１０Ａは、第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２上において互いに対向して配置された第１及び第２の反射膜１７Ａ及び１７Ｂを有する。また、光フィルタ１０Ａは、第２の主表面ＰＬ２上において、第２の反射膜１７Ｂに接して第２の反射膜１７Ｂの外側に形成された遮光膜１
８を有する。

本変形例は、光フィルタ１０が可動部１３、支持部１４、駆動部１５及び凸部ＰＪを有さない場合の構成に相当する。本変形例においては、第１及び第２の反射膜１７Ａ及び１７Ｂの位置が固定されている。従って、光フィルタ１０Ａは、波長固定型の光フィルタである。また、実施例１においては、光フィルタ１０が可動部１３を有し、フィルタリング特性を変化させることが可能な構成を有する場合について説明した。しかし、光フィルタ１０Ａのように、所定の選択波長に固定された波長固定型の光フィルタであってもよい。

また、光フィルタ１０Ａは、第１の反射膜１２Ａから入力光ＩＬが入射され、第２の反射膜１２Ｂから選択光ＳＬが出射されるように構成されている。すなわち、光フィルタ１０Ａは、第１の反射膜１２Ａから入射した光を選択的に第２の反射膜１２Ｂから出射する共振器特性を有する光フィルタである。光フィルタ１０Ａにおいては、特に、光の出力側である第２の反射膜１７Ｂの外側に連続的に形成された遮光膜１８を有することで、高いフィルタリング特性を得ることができる。

なお、実施例１（光フィルタ１０）において、凸部ＰＪは、設計上のフィルタリング特性（反射膜対１２の間隔ＤＴ）と、設計上のフィルタリング特性の変調力（駆動部１５が生成する静電気力など）と、などを考慮して設けられる。例えば、第１及び第２の電極１５Ａ及び１５Ｂ間の間隔よりも第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔を小さくするように設計する場合、第１の主表面ＰＬ１に凸部ＰＪが設けられる。従って、波長可変型の光フィルタにおいても、凸部ＰＪが設けられる必要はなく、例えば凸部に代えて凹部が設けられていてもよい。

一方、本変形例のように、フィルタリング特性を固定する場合、フィルタリング特性を優先的に考慮して光フィルタを設計することができる。従って、光フィルタ１０Ａは、第１及び第２の主表面ＰＬ１及びＰＬ２間の間隙ＧＰの高さは、第１及び第２の反射膜１７Ａ及び１７Ｂ間の間隔ＤＴ１を考慮して設計されている。従って、光フィルタ１０Ａは、光フィルタ１０における凸部ＰＪを設ける必要はない。このように、波長固定型の光フィルタ１０Ａにおいては、単純な構成で高いフィルタリング特性を得ることができる。

図４（ａ）は、実施例２に係る光フィルタ２０の断面図である。光フィルタ２０は、一体的に形成された第２の反射膜２１Ａ及び第２の電極（遮光膜）２１Ｂからなる光反射体２１を有する点を除いては、光フィルタ１０と同様の構成を有している。光フィルタ２０においては、第２の反射膜２１Ａ及び第２の電極２１Ｂが一体的に形成されている。例えば、第２の反射膜２１Ａ及び第２の電極２１Ｂは同一の材料（例えばＡｇ）からなる。

本実施例においては、例えば、一連の工程で容易に第２の反射膜２１Ａ及び第２の電極２１Ｂを形成することができる。すなわち、第２の主表面ＰＬ２上に比較的大きな反射膜を形成するのみで、フィルタリング用の反射膜及び遮光用の反射膜を一括で容易に形成することができる。従って、単純な構成で高いフィルタリング特性を得ることができる。

図４（ｂ）は、実施例２の変形例に係る光フィルタ２０Ａの断面図である。光フィルタ２０は、光反射体２２の構造を除いては、光フィルタ２０と同様の構成を有している。光フィルタ２０Ａにおいては、第２の反射膜２２Ａと、第２の反射膜２２Ａに一体的に形成され、第２の反射膜２２Ａよりも大きな膜厚を有する第２の電極（遮光膜）２２Ｂとからなる光反射体２２を有する。

本変形例は、フィルタリング特性と、遮光特性（反射特性）とを考慮して一体的に第２
の反射膜２２Ａ及び第２の電極２２Ｂを形成する場合の構成例である。なお、光フィルタ２０（実施例２）においては、フィルタリング特性を優先的に考慮して光反射体２１が形成されている場合に相当する。本変形例においては、遮光膜としての第２の電極２２Ｂをフィルタリング膜としての第２の反射膜２２Ａよりも厚く形成することで、高いフィルタリング特性及びその周囲での高い遮光特性を両立することができる。また、両者を一体的に形成することで、容易に形成することができる。従って、単純な構成で高いフィルタリング特性を有する光フィルタ２０Ａを提供することができる。

図５は、実施例３に係る光フィルタ３０の断面図である。光フィルタ３０は、遮光膜３１、保護膜３２及び駆動部３３の構成を有しては、光フィルタ１０と同様の構成を有している。光フィルタ３０は、第２の反射膜１２Ｂの外周部に接して第２の反射膜１２Ｂの外側に形成された遮光膜３１を有する。また、光フィルタ３０は、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１を覆うように形成された保護膜３２を有する。また、駆動部３３は、第１の主表面ＰＬ１上に設けられた第１の電極３３Ａと、保護膜３２上において第１の電極３３Ａに対向して配置された第２の電極３３Ｂとからなる。

本実施例は、遮光膜３１と第２の電極３３Ａとが別個に設けられる場合に相当する。また、光フィルタ３０は、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１上に保護膜３２が形成された構成を有する。まず、光フィルタ３０においては、遮光膜３１は導電性を有している必要はない。本実施例においては、例えば、遮光膜３１は、金属膜又は誘電体膜からなる。また、保護膜３２は、例えば、ＳｉＯ_２やＳｉＮなどの絶縁材料からなる。また、第２の電極３３Ｂは、遮光性を有している必要はない。例えば、第２の電極３３Ｂは、ＩＴＯなど、透光性を有する材料から構成されていてもよい。

本実施例においては、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１が保護膜３２に覆われている。例えば、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１は、多くの光が入射されることが想定され、早期に劣化することが懸念される。これに対し、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１が保護膜３２によって保護されることで、膜の劣化が抑制される。従って、高いフィルタリング及び高い信頼性を有する光フィルタ３０を提供することができる。なお、保護膜３２は、例えば、第２の反射膜１２Ｂ及び遮光膜３１のほか、第１の反射膜１２Ａ上に形成されていてもよい。

なお、上記した実施例及びその変形例は、互いに組み合わせることができる。例えば、光フィルタ１０Ａに保護膜３２を形成されていてもよい。また、光フィルタ１０における第２の反射膜１２Ｂ及び第２の電極１５が互いに異なる膜厚を有していてもよい。

上記したように、互いに対向する反射膜（反射膜１２Ａ及び１２Ｂなど）を有する光フィルタにおいて、一方の反射膜（例えば第２の反射膜１２Ｂなど）の外側に当該反射膜の外周部側面を覆うように遮光膜として機能する膜（例えば第２の電極１５Ｂや遮光膜１８など）が設けられている。従って、高いフィルタリング特性を有する光フィルタを提供することができる。

１０、１０Ａ、２０、２０Ａ、３０ 光フィルタ
１１Ａ 第１の基板
１１Ｂ 第２の基板
ＰＬ１ 第１の主表面
ＰＬ２ 第２の主表面
ＰＪ 凸部
１２Ａ 第１の反射膜
１２Ｂ 第２の反射膜
１５Ｂ １８ ２１Ｂ ２２Ｂ ３１ 遮光膜

Claims (5)

1. 間隙をおいて対向する第１及び第２の主表面をそれぞれ有する透光性の第１及び第２の基板と、
   前記第１の主表面に形成された凸部と、
   前記凸部及び前記第２の主表面上にそれぞれ形成された第１及び第２の反射膜と、
   前記第２の主表面上において前記第２の反射膜の外周部に接して前記第２の反射膜の外側に形成され、遮光膜として機能する膜と、
   を有し、
   前記遮光膜として機能する膜は前記第２の反射膜と同一材料により一体的に形成され、且つ前記第２の反射膜よりも大きな膜厚を有することを特徴とする光フィルタ。
2. 前記第２の反射膜と前記遮光膜として機能する膜とを覆うように形成された保護膜を有することを特徴とする請求項１に記載の光フィルタ。
3. 前記凸部は柱状の形状を有し、
   前記第１の反射膜は前記凸部の上面上のみに形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光フィルタ。
4. 底面が前記第２の主表面を構成し、前記第２の反射膜を前記第２の主表面に垂直な方向に変位させる可動部と、前記可動部の周りに形成されて前記可動部を移動可能に支持する支持部と、を有し、
   前記遮光膜として機能する膜は、前記第２の反射膜の外周部から前記支持部上に亘って形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の光フィルタ。
5. 前記第１及び第２の主表面上において前記第１及び第２の反射膜の周りに形成され、前記可動部を変位させる静電気力を生成する第１及び第２の電極を有し、
   前記第２の電極は前記遮光膜として機能することを特徴とする請求項４に記載の光フィルタ。

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