JP2017138389A - 光フィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
11A 第1の基板
11B 第2の基板
PL1 第1の主表面
PL2 第2の主表面
PJ 凸部
12A 第1の反射膜
12B 第2の反射膜
15B 18 21B 22B 31 遮光膜
Claims (8)
- 間隙をおいて対向する第1及び第2の主表面をそれぞれ有する透光性の第1及び第2の基板と、
前記第1の主表面に形成された凸部と、
前記凸部及び前記第2の主表面上にそれぞれ形成された第1及び第2の反射膜と、
前記第2の主表面上において前記第2の反射膜の外周部に接して前記第2の反射膜の外側に形成され、遮光膜として機能する膜と、を有することを特徴とする光フィルタ。 - 前記遮光膜として機能する膜は前記第2の反射膜と一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光フィルタ。
- 前記遮光膜として機能する膜は前記第2の反射膜よりも大きな膜厚を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光フィルタ。
- 前記2の反射膜と前記遮光膜として機能する膜とを覆うように形成された保護膜を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の光フィルタ。
- 前記凸部は柱状の形状を有し、
前記第1の反射膜は前記凸部の上面上のみに形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の光フィルタ。 - 底面が前記第2の主表面を構成し、前記第2の反射膜を前記第2の主表面に垂直な方向に変位させる可動部と、前記可動部の周りに形成されて前記可動部を移動可能に支持する支持部と、を有し、
前記遮光膜として機能する膜は、前記第2の反射膜の外周部から前記支持部上に亘って形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の光フィルタ。 - 前記第1及び第2の主表面上において前記第1及び第2の反射膜の周りに形成され、前記可動部を変位させる静電気力を生成する第1及び第2の電極を有し、
前記第2の電極は前記遮光膜として機能することを特徴とする請求項6に記載の光フィルタ。 - 第1の反射膜に入射した光を第2の反射膜から出射する共振器特性を有する光フィルタであって、
間隙をおいて対向する第1及び第2の主表面をそれぞれ有する第1及び第2の基板と、
前記第1及び第2の主表面上にそれぞれ形成された前記第1及び第2の反射膜と、
前記第2の主表面上において前記第2の反射膜の外周部に接して前記第2の反射膜の外側に形成され、遮光膜として機能する膜と、を有することを特徴とする光フィルタ。
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