JP6694619B1 - 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ - Google Patents

基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ Download PDF

Info

Publication number
JP6694619B1
JP6694619B1 JP2019070771A JP2019070771A JP6694619B1 JP 6694619 B1 JP6694619 B1 JP 6694619B1 JP 2019070771 A JP2019070771 A JP 2019070771A JP 2019070771 A JP2019070771 A JP 2019070771A JP 6694619 B1 JP6694619 B1 JP 6694619B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
holding member
holding
mounting surface
substrate holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019070771A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020170772A (ja
Inventor
吉田 俊雄
俊雄 吉田
山中 昭浩
昭浩 山中
島田 浩幸
浩幸 島田
忠信 益子
忠信 益子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yodogawa Hu Tech Co Ltd
Original Assignee
Yodogawa Hu Tech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yodogawa Hu Tech Co Ltd filed Critical Yodogawa Hu Tech Co Ltd
Priority to JP2019070771A priority Critical patent/JP6694619B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6694619B1 publication Critical patent/JP6694619B1/ja
Publication of JP2020170772A publication Critical patent/JP2020170772A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Packaging Of Machine Parts And Wound Products (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、種々の大きさ、形状の基板を保持することのできる基板保持部材と、これを装着してなる基板要トレイを提供する。【解決手段】本発明の基板保持部材20は、基板用トレイ10の載置面11に取り付けられ、基板30を保持する基板保持部材20であって、前記載置面に位置決め可能に配置される基部21と、前記基部に設けられ、基板を保持する保持部26と、を具える。前記基部は、前記載置面の任意の位置に位置決め可能である、【選択図】図1

Description

本発明は、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどの基板を保持し、保管、搬送等することのできる基板用トレイに用いられる基板保持部材と、これを装着してなる基板用トレイに関するものである。
液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネルなどの基板が種々の機器に採用されている。これら基板は、大型のものから、スマートフォン用、車載用等の比較的小型のものまで大きさ、形状も様々である。また、近年、平面基板だけでなく、湾曲した曲面基板など、多種多様な基板が開発、製造されている。
基板は、保管や搬送の際に、基板用トレイに載置される。たとえば、特許文献1では、矩形枠の内側に基板を支持する複数の突起が形成された複数列の支持部を設けた基板用トレイが提案されている。基板は、複数の突起に支持されると共に、基板を収容した基板用トレイを複数積層できるようにしている。
特開2003−205991公報
基本的には、基板1種類に対して1種類の専用トレイを製作しているが、上記のとおり、基板の大きさ、形状等が多種多様化しているため、基板用トレイも基板に対応して種類が増加し、基板用トレイの保管や製造にコストが嵩む問題がある。
本発明は、種々の大きさ、形状の基板を保持することのできる基板保持部材と、これを装着してなる基板要トレイを提供することを目的とする。
本発明の基板保持部材は、
基板用トレイの載置面に取り付けられ基板を保持する基板保持部材であって、
前記載置面に位置決め可能に配置される基部と、
前記基部に設けられ、前記基板を保持する保持部と、
を具える。
前記基部は、前記載置面の任意の位置に位置決め可能とすることが望ましい。
前記保持部は、弾性材料から形成することができる。
前記保持部は、前記基板との当接部が曲面形状とすることができる。
前記保持部は、前記基部に対して上下方向にスライド可能に配置され、
付勢部材によって前記保持部は、前記基部に対して上向きに付勢されている構成とすることができる。
前記保持部は、段部を有する形状であって、相対的に高さの低い低段部に前記基板が保持される構成とすることができる。
複数の前記基板保持部材を間隔を存して配置し、
前記保持部間に紐状体又はネットを張設し、前記紐状体又はネットに前期基板を保持する構成とすることができる。
前記基部は、磁石を具えることが望ましい。
前記基部及び前記保持部は、ゲル製とすることができる。
また、本発明の基板用トレイは、
載置面を有し、
前記載置面の任意の位置に上記何れかに記載の基板保持部材を装着してなる。
磁性材料を含む載置面を有し、
前記載置面の任意の位置に基板保持部材を磁石で装着してなる構成とすることができる。
前記載置面に前記保持部の高さが異なる複数の前記基板保持部材を装着してなり、
湾曲した曲面基板を保持することが望ましい。
本発明の基板保持部材は、基部を基板用トレイの載置面の任意の位置に配置することができる。基板保持部材は、基板の大きさ、形状に合わせて間隔を違えて複数を基板用トレイに配置することで、種々の基板を保持することができる。また、保持部の高さが異なる基板保持部材を準備することで、湾曲した曲面基板も保持することができる。
基板保持部材の基部に磁石を配置し、載置面に磁性材料を含んだ構成とすることで、基板保持部材を任意の位置に載置面に吸着させることができる。磁石により基板保持部材を載置面に吸着させることで、振動や多少の傾きがあっても基板保持部材はズレなく配置できる利点がある。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板保持部材を配置した基板用トレイの斜視図である。 図2は、図1の分解図である。 図3は、本発明の一実施形態に係る基板保持部材の斜視図である。 図4は、図3の縦断面図である。 図5は、基板保持部材で基板を保持した状態を示す説明図であって、(a)は平面基板、(b)は曲面基板を保持した状態を示している。 図6は、複数の基板用トレイを積層した状態を示す斜視図である。 図7は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図8は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図9は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図10は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図11は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図12は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図13は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。 図14は、基板保持部材の異なる実施例を示す斜視図である。
以下、本発明の一実施形態に係る基板用トレイ10とこれに配置される基板保持部材20の一例について図面を参照しながら説明を行なう。
本発明の基板用トレイ10は、図1に示すように、複数の基板保持部材20を載置面11上に配置し、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネルなどの基板30を基板保持部材20上で保持し、基板30を保管や搬送するものである。基板30の大きさ、形状は限定されない。
本発明の基板用トレイ10は、図1及び図2に示すように、トレイ枠13に載置面11を載せて形成することができる。トレイ枠13は、たとえば樹脂製とすることができ、図示の実施形態では外形略矩形としている。トレイ枠13には、下面側に搬送用のアームやフォークを挿入する抜き穴14が形成されており、上面側には重ねたときに通気口15となる凹みが形成されている。トレイ枠13の内周側には、平板状のベースプレート16が設けられており、ベースプレート16には、載置面11が装着可能となっている。もちろん、基板用トレイ10は、トレイ枠13と一体に載置面11を設けることもでき、この場合、ベースプレート16は不要である。なお、図示の実施形態では、トレイ枠13に基板用トレイ10を識別するためのID情報を埋め込んだRFタグ17を装着している。
基板30の液晶の拡散や気泡の除去等のために基板30を加熱する必要がある場合には、トレイ枠13やベースプレート16は耐熱性を具備する材料を使用する。このとき、通気口15は熱風の通路になる。
載置面11は、略矩形のフラットな板材である。後述するとおり、基板保持部材20を磁石23で載置面11に吸着させる構成とする場合には、載置面11は、ステンレスやスチールなどの磁性材料から作製することができる。
基板用トレイ10の載置面11には、基板保持部材20が任意の位置に装着可能となっている。基板保持部材20は、一実施形態として、図3及び図4に示すように、基部21と保持部26を具える。基部21は、載置面11に載置され、保持部26は基板30の下面を支持する。なお、後述する図7乃至図14のとおり、基板保持部材20は種々の変形例を採用することができる。
基板保持部材20を構成する基部21と保持部26は、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトンなどのプラスチック樹脂、ウレタンゴム、アクリルゴムなどのゴム材料、ゲル等から作製することができる。基板30の傷つきや基板30の滑りを抑えるために、保持部26は弾性材料から構成することが望ましい。たとえば、基板保持部材20は、基部21と保持部26を一体成形することで作製できる。なお、基板30の液晶の拡散や気泡の除去等のために基板30を加熱する必要がある場合には、基部21や保持部26は耐熱性を具備する材料から構成する。
基部21は、載置面11に基板保持部材20を安定して位置決めするための基台であって、保持部26の台座を兼ねる。図示の実施形態では基部21は、平面視略矩形に形成されている。また、保持部26は、円柱状に形成され、その先端は、基部21を安定して保持できるように曲面形状に面取りしている。基部21及び保持部26の大きさ、形状、高さ等は図示の実施形態に限定されないことは勿論である。たとえば、図5(b)に示すように、保持部26は高さの異なるものを複数準備することもできる。また、保持部26の高さに応じて、基部21の大きさ等も適宜調整可能である。
基部21には、図4に示すように下面側に凹み22を形成し、当該凹み22に磁石23を挿入している。そして、凹み22を塞ぐようにシート24を貼着している。シート24は、クッション性を高め、また、載置面11に対するズレを防止するためにエラストマー等の材料から構成することが望ましい。なお、磁石23は、吸着性を高めるために、基部21の下面近傍に配置することが望ましい。もちろん、磁石23を基部21の下面に直接貼着した構成とすることもできる。また、基板保持部材20に磁石23に代えて下面に粘着性の高いゲル状のシートを配備することで、基板用トレイ10の載置面11の任意の位置に基板保持部材20を配置することもできる。この場合、載置面11は磁性材料でなくてもよい。
然して、図1に示すように、トレイ枠13に載置面11を載せた基板用トレイ10に対し、基板30の大きさ、形状に合わせて複数の基板保持部材20を載置面11に載置する。たとえば基板保持部材20は、チャック機構を有するロボットアームを用いて載置面11の所望の位置に載置することができる。図1では、大きさの異なる2枚の基板30を1つの基板用トレイ10に載せるため、基板保持部材20の間隔や数を変えている。本発明では、基板30を保持する基板保持部材20の数や間隔を、基板30の重量や厚さ(変形のし易さ)等によって適宜決定することができ、また、基板保持部材20は磁石23を具えるから、磁性材料の載置面11の任意の位置に装着することができる。
図5(a)は、平面基板30を複数の基板保持部材20で保持した実施形態である。また、図5(b)は、保持部26の高さの異なる複数の基板保持部材20を準備し、曲面基板30をその湾曲形状や高さに合わせて複数の基板保持部材20で保持した実施形態である。基板保持部材20は、基板30の形状、大きさに応じて載置面11の任意の位置、間隔で配置して位置決めすることができ、基板30を安定して保持することができる。従って、基板30の大きさ、形状等に合わせた専用の基板用トレイ10を不要とすることができ、基板用トレイ10を共通化して、その保管や製造のコスト増を抑えることができる。
基板30を載置した基板用トレイ10は、図6に示すように複数積層して保管、搬送等することができる。
上記説明は、本発明を説明するためのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或いは範囲を限縮するように解すべきではない。また、本発明の各部構成は、上記実施例に限らず、特許請求の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。
図7乃至図14は、基板保持部材20の変形例を示している。なお、磁石23等は図示していないが、適宜基部21に配置される。
図7(a)は、円柱形の基部21に半球形状の保持部26を形成した実施例、同じく図7(b)、(c)は円柱形の基部21と頂部がフラットな保持部26の実施例である。図7(d)は円柱形の基部21の先端を尖らせて保持部26を形成した実施例である。図7(e)は円柱形の基部21の先端に矩形平板状の保持部26を形成した実施例、図7(f)は円柱形の基部21の先端に皿状の保持部26を形成した実施例である。
図8(a)はバネ状の基部21の先端に皿状の保持部26を形成した実施例、図8(b)は先端が尖った基部21の上に揺動可能に皿状の保持部26を形成した実施例である。また、図8(c)、(d)は円柱形の基部21の先端に揺動可能な細径の繋ぎ部26a(図8(d)では繋ぎ部26aは見えていない)を配置し、繋ぎ部26aの上に図8(c)では球状の保持部26、図8(d)では複数の溝27が形成された矩形板状の保持部26を配置している。保持部26に溝27を形成することで、保持部26に弾力性を具備できると共に、溝27によって保持部26の全面が基板30と接触せず、溝27の部分に空気が通る構成とすることができるため、基板30が保持部26に吸着して外れなくなることを防止できる。図8(e)は基板保持部材20を球状とした実施例であり、底部が基部21、頂部が保持部26を構成する。
図9(a)は屈曲形状の基部21の先端に繋ぎ部26aを介して球状の保持部26を形成した実施例、図9(b)は基部21を3つに枝分かれさせ、各先端に保持部26を形成した実施例である。図9(c)は、円筒形の基部21内に付勢部材としてバネ25を内装し、下縁に鍔26bが形成されて抜止めの役割をなす円柱形の保持部26を上下方向にスライド可能且つバネ25により保持部26を上向きに付勢した実施例である。
図10は、立方体形状の基部21の1コーナーに段部28a,28bを形成し、相対的に高さの低い低段部28aに基板30を載置した実施例である。相対的に高い高段部28bを図1等のトレイ枠13側に配置することで、高段部28bが基板30とトレイ枠13の接触を防ぐ。たとえば矩形の基板30であれば、4つの角のそれぞれ、或いは、2つの対角に図10の基板保持部材20を配置すればよい。
図11(a)は、平角状の基部21の先端を曲面形状に面取りして保持部26を形成した実施例、図11(b)は保持部26の頂部をフラットにした実施例である。
図12は、図8(c)の基板保持部材20を4つ使用し、基板保持部材20間にネット29を張設して全体として基板保持部材20aを形成した実施例である。ネット29は、繋ぎ部26aに括られている。基板はネット29上に載置できる。図12(b)は、同じく図8(c)の基板保持部材20を間隔を存して配置し、基板保持部材20間に紐状体29aを張設して全体として基板保持部材20aを形成した実施例である。紐状体29aは繋ぎ部26aに括られている。2つの基板保持部材20,20と紐状体29aからなる組み合わせを、平行に複数配置し、紐状体29aの上に懸架するよう基板を載置することができる。
図13は、図9(b)の基板保持部材20の基部21を8つに枝分かれさせ、各先端に保持部26を形成した実施例である。基板は、3つ又はそれ以上の保持部26に跨がるよう載置すればよい。
図14は、ゲルによって基板保持部材20を形成した実施例である。基板保持部材20は矩形平板状に形成しており、下面側が基部21、上面側が保持部26を構成する。保持部26には基板30の吸着を防止する溝27が複数形成されている。基板保持部材20をゲルから構成することで、図1に示す基板用トレイ10の載置面11の任意の位置に基板保持部材20を配置することができ、また、基板30の滑りも防止できる。
10 基板用トレイ
11 載置面
20 基板保持部材
21 基部
23 磁石
26 保持部
30 基板

Claims (7)

  1. 基板用トレイの載置面に取り付けられ基板を保持する基板保持部材であって、
    前記載置面に位置決め可能に配置される基部と、前記基部に設けられ、前記基板を保持する保持部と、を具える複数の保持部材を間隔を存して配置し、
    前記保持部材の前記保持部間に紐状体又はネットを張設し、前記紐状体又はネットに前記基板を保持する、
    基板保持部材。
  2. 前記保持部材の前記基部は、前記載置面の任意の位置に位置決め可能である、
    請求項1に記載の基板保持部材。
  3. 前記保持部材の前記保持部は、弾性材料から形成される、
    請求項1又は請求項2に記載の基板保持部材。
  4. 前記保持部材の前記基部は、磁石を具える、
    請求項1乃至請求項の何れかに記載の基板保持部材。
  5. 前記保持部材の前記基部及び前記保持部は、ゲル製である、
    請求項1乃至請求項の何れかに記載の基板保持部材。
  6. 載置面を有し、
    前記載置面の任意の位置に請求項1乃至請求項の何れかに記載の基板保持部材の前記保持部材を装着してなる、
    基板用トレイ。
  7. 磁性材料を含む載置面を有し、
    前記載置面の任意の位置に請求項に記載の基板保持部材の前記保持部材を磁石で装着してなる、
    基板用トレイ。
JP2019070771A 2019-04-02 2019-04-02 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ Active JP6694619B1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019070771A JP6694619B1 (ja) 2019-04-02 2019-04-02 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019070771A JP6694619B1 (ja) 2019-04-02 2019-04-02 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6694619B1 true JP6694619B1 (ja) 2020-05-20
JP2020170772A JP2020170772A (ja) 2020-10-15

Family

ID=70682314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019070771A Active JP6694619B1 (ja) 2019-04-02 2019-04-02 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6694619B1 (ja)

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3881062B2 (ja) * 1996-08-14 2007-02-14 大日本スクリーン製造株式会社 基板保持機構および基板処理装置
JP4280481B2 (ja) * 2002-10-17 2009-06-17 タツモ株式会社 基板支持装置
JP2006278375A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Dainippon Printing Co Ltd 乾燥装置
JP2007184465A (ja) * 2006-01-10 2007-07-19 Renesas Technology Corp 半導体チップトレイ
KR100841086B1 (ko) * 2006-11-09 2008-06-24 세메스 주식회사 기판 지지 장치
JP2010212298A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Tomoegawa Paper Co Ltd 粘着チャック装置
JP5532796B2 (ja) * 2009-09-29 2014-06-25 凸版印刷株式会社 ガラス基板収納用トレイ
JP2013184717A (ja) * 2012-03-07 2013-09-19 Toppan Printing Co Ltd 基板輸送トレイ及び基板の輸送方法及び基板の取り出し方法及び基板の収納方法
JP2014063818A (ja) * 2012-09-20 2014-04-10 Sharp Corp 基板カセット
JP2019014488A (ja) * 2017-07-04 2019-01-31 信越ポリマー株式会社 電子部品用トレイ及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020170772A (ja) 2020-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5133939A (en) Test tube holder and tray assembly
US9567136B2 (en) Dip clip
JP5336157B2 (ja) 板状物品搬送用トレイ
KR101339050B1 (ko) 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기
JP2009540621A (ja) ウェハ収納容器用の再利用可能な弾性クッション
JP6694619B1 (ja) 基板保持部材及びこれを装着してなる基板用トレイ
JP2004059116A5 (ja)
JP2008181987A (ja) クッションシート付ウエハ収納容器
TWI541934B (zh) 真空吸引裝置
EP1715508A3 (en) Single thin plate storage container
US8684210B2 (en) Water cooler display apparatus for positioning, storing and displaying items thereon
JP4987577B2 (ja) 物品の固定ジグ
JP2011042384A (ja) 搬送トレイ
JP7215297B2 (ja) 細胞培養トレイ
JP6490233B2 (ja) 可搬型冷却装置
CN2683244Y (zh) 一种容量瓶架
KR200493259Y1 (ko) 종이컵 지지용 컵받침대
CN207828257U (zh) 一种便于放置培养器具的微生物培养箱
JP6925068B1 (ja) 仕切板用脚、およびパーティション
JP4621988B2 (ja) 半導体ウェハ用カセット
CN217297798U (zh) 培养皿夹持装置
CN219224836U (zh) 一种流体力显微镜探针保存支架
JP2020141965A (ja) タイヤ展示装置
CN211310106U (zh) 吸取机构和带有吸取机构的搬运装置
CN216609013U (zh) 一种配送用承托机构及机器人

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190807

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20190807

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20190906

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191217

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200207

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200331

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6694619

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250