JP6694503B2 - 温度測定用基板及び温度測定システム - Google Patents
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Description
本実施形態の温度測定システムについて説明する。本実施形態の温度測定システムは、半導体ウエハ(以下「ウエハ」という。)の表面に敷設した光ファイバをセンサとして用い、後方散乱光の一つであるラマン散乱光を利用して光ファイバに沿った温度分布を測定するシステムである。本実施形態の温度測定システムは、例えば半導体ウエハ等の基板に対し、熱処理等の所定の処理を施す基板処理装置に用いられる。以下では、後方散乱光の一つであるラマン散乱光を利用して光ファイバに沿った温度分布を測定するシステムをROTDR(Raman Optical Time Domain Reflectometer)システムとも称する。
本実施形態の温度測定用ウエハ10について説明する。本実施形態の温度測定用ウエハ10は、ウエハの表面に敷設された光ファイバ内にパルス光を入射させてウエハの温度分布を算出する際に用いられる。以下では、ウエハの温度分布を測定可能な、第1実施形態から第4実施形態の温度測定用ウエハについて説明する。
図2は、第1実施形態の温度測定用ウエハの一例を説明するための図である。
ここで、t(s)はレーザのパルス幅、c(m/s)は光速、λ(nm)はコアにおけるレーザ波長、nλはレーザ波長λ(nm)における屈折率である。なお、一般的なROTDRシステムを用いる場合、パルス長L(m)は1〜2m程度である。
図6は、第2実施形態の温度測定用ウエハの一例を説明するための図である。
図7は、第3実施形態の温度測定用ウエハの一例を説明するための図である。
図8A及び図8Bは、第4実施形態の温度測定用ウエハの一例を説明するための図である。図8Aは温度測定用ウエハの概略斜視図であり、図8Bは図8Aの温度測定用ウエハの分解斜視図である。
11 ウエハ
12 光ファイバ
13 接続部
14 疎部
15 密部
16 接着部材
17 凹部
18 光ファイバ敷設部
20 計算機
30 計測機本体
Claims (14)
- 半導体ウエハ、又はフラットパネルディスプレイ用基板のいずれかである基板と、
前記基板の表面に敷設され、第1のパターン部と、前記第1のパターン部よりも密に形成された第2のパターン部とを有する、少なくとも1本の光ファイバと、
を備え、
前記第2のパターン部は、平面視で該第2のパターン部の中心を渦の中心とする渦巻き状に形成されており、
前記第2のパターン部の長さは、前記光ファイバに入射するパルス光のパルス長以上である、温度測定用基板。 - 前記光ファイバは、光を入射可能な始端及び終端を有する、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第1のパターン部と前記第2のパターン部とが交互に配置されている、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部は、平面視で渦巻き状に形成されている、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部の最小曲げ半径は、前記光ファイバの許容曲げ半径以上である、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部の最小曲げ半径は、前記光ファイバの許容曲げ半径と等しい、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記光ファイバは、複数の前記第2のパターン部を有し、
前記複数の第2のパターン部のそれぞれが同一の形状である、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部は、前記基板の外周部に配置されており、
前記第1のパターン部は、前記第2のパターン部よりも前記基板の中心側に配置されている、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部は、平面視で渦巻き状に形成された部分と、前記第1のパターン部よりも外周側に配置された部分とを有する、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部は、接着部材により前記基板の表面に固定されている、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 前記第2のパターン部は、前記接着部材に覆われている、
請求項10に記載の温度測定用基板。 - 前記接着部材は、高熱伝導性材料である、
請求項10に記載の温度測定用基板。 - 前記基板は、半導体ウエハである、
請求項1に記載の温度測定用基板。 - 請求項1に記載の温度測定用基板と、
前記温度測定用基板の前記光ファイバにパルス光を入射させる計測機本体と、
を備える、
温度測定システム。
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH06123659A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ温度センサ |
US5775808A (en) * | 1996-06-19 | 1998-07-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for real-time, in situ measurement of temperature and a method of fabricating and using same |
JP2955930B1 (ja) | 1998-05-29 | 1999-10-04 | 坂口電熱株式会社 | 温度検出素子を有するウェーハ |
US6190040B1 (en) | 1999-05-10 | 2001-02-20 | Sensarray Corporation | Apparatus for sensing temperature on a substrate in an integrated circuit fabrication tool |
JP2002071323A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 面状センサ |
JP2002169029A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 光分散等化器 |
KR20040054177A (ko) * | 2002-12-18 | 2004-06-25 | 엘지전선 주식회사 | 분포온도 측정 장치의 표준 온도 및 거리 측정 장치 |
US20040136681A1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-07-15 | Novellus Systems, Inc. | Erbium-doped oxide glass |
US6915589B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-07-12 | Sensarray Corporation | Sensor positioning systems and methods |
JP2005195502A (ja) | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Occ Techno Ltd | 光ファイバ型温度計測装置及び温度計測方法 |
JP2006177780A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Hitachi Cable Ltd | 光ファイバ温度センサ、温度センサシート及び温度測定方法 |
CN101155662B (zh) * | 2005-04-01 | 2010-09-01 | 通快机床两合公司 | 包括以像素矩阵形式提供的温度传感器的光学元件及记录射束参数的方法 |
US7543981B2 (en) * | 2006-06-29 | 2009-06-09 | Mattson Technology, Inc. | Methods for determining wafer temperature |
DE102008060032A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Sms Siemag Aktiengesellschaft | Gießspiegelmessung in einer Kokille durch ein faseroptisches Messverfahren |
JP5476114B2 (ja) * | 2009-12-18 | 2014-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度測定用装置 |
US8740455B2 (en) * | 2010-12-08 | 2014-06-03 | Baker Hughes Incorporated | System and method for distributed environmental parameter measurement |
DE102011116243B4 (de) * | 2011-10-17 | 2014-04-17 | Centrotherm Photovoltaics Ag | Vorrichtung zum Bestimmen der Temperatur eines Substrats |
JP5319856B1 (ja) * | 2012-06-13 | 2013-10-16 | 株式会社シンクロン | 膜厚測定装置及び成膜装置 |
US9645018B2 (en) * | 2013-02-19 | 2017-05-09 | Chung Lee | Method and apparatus for auto-correcting the distributed temperature sensing system |
JP2016186953A (ja) * | 2013-08-19 | 2016-10-27 | 株式会社ニコン | ダブルクラッドファイバの固定方法、ファイバ保持部材に固定されたダブルクラッドファイバ固定構造体、該ダブルクラッドファイバ固定構造体を備えたレーザ装置、露光装置及び検査装置 |
WO2016003630A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Applied Materials, Inc | Temperature control apparatus including groove-routed optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and processing methods |
KR102395901B1 (ko) * | 2015-01-15 | 2022-05-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 압전 디바이스를 포함하는 표시 패널 및 압전 디바이스의 특성 보상 방법 |
JP7011214B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2022-01-26 | 横河電機株式会社 | 光ファイバセンサ測定ユニット |
CN107748177A (zh) * | 2017-09-25 | 2018-03-02 | 东华大学 | 一种面料红外发射率的测量方法 |
JP7379038B2 (ja) * | 2018-10-04 | 2023-11-14 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録方法、及びインクジェット記録装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210019663A (ko) * | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 한국광기술원 | 온도 센서 및 그를 포함하는 온도 센싱 시스템 |
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