JP6694380B2 - ガスバリア性積層体、電子デバイス用部材、および電子デバイス - Google Patents
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Description
また、特許文献2には、透明樹脂基板の片面又は両面に、酸窒化ケイ素層及び窒化ケイ素層が、この順に積層されてなる透明ガスバリア基板が記載されている。
しかしながら、このようなガスバリア層は、通常、高い屈折率を有するため、隣接する他の層との屈折率差が大きくなり、これらの層の界面で短波長の光が反射し、ガスバリアフィルムが黄みを帯びるという問題があった。
(1)基材、ガスバリア層及び光学調整層がこの順に積層されてなり、前記ガスバリア層と光学調整層が隣接するガスバリア性積層体であって、前記ガスバリア層の屈折率が、1.55〜1.81で、前記光学調整層の屈折率が、1.20〜1.60であり、JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値が、−1.00〜1.00の範囲にあることを特徴とするガスバリア性積層体。
(2)前記ガスバリア層が、無機酸化物、無機酸化窒化物、無機酸化炭化物、及び無機酸化窒化炭化物からなる群から選ばれる少なくとも一種を含有するものである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(3)前記ガスバリア層が、ポリシラザン化合物を含有する層を改質処理して得られる層である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(4)前記ガスバリア層の厚みが、10nmから10μmである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(5)前記光学調整層が、硬化性組成物の硬化物からなるものである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(6)前記硬化性組成物が、硬化性成分及び充填剤を含有するものである、(5)に記載のガスバリア性積層体。
(7)前記光学調整層の厚みが、5〜2500nmである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(8)前記光学調整層の光学膜厚(T)が、下記式(1)又は(2)
を満たすものである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(9)前記(1)に記載のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材。
(10)前記(9)に記載の電子デバイス用部材を備える電子デバイス。
本発明のガスバリア性積層体は、基材、ガスバリア層及び光学調整層がこの順に積層されてなり、前記ガスバリア層と光学調整層が隣接するガスバリア性積層体であって、前記ガスバリア層の屈折率が、1.55〜1.81で、前記光学調整層の屈折率が、1.20〜1.60であり、JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値が、−1.00〜1.00の範囲にあることを特徴とする。
本発明のガスバリア性積層体を構成する基材は、ガスバリア層や光学調整層を担持でき、透明なものであれば特に限定されない。
透明な基材とは、本発明のガスバリア性積層体を光学フィルムとして使用できる程度に、光を通過させる基材をいう。基材の380〜780nmにおける光線透過率は、80%以上が好ましく、85%以上がより好ましい。
樹脂フィルムの樹脂成分としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体等が挙げられる。
ポリアミドとしては、全芳香族ポリアミド、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン共重合体等が挙げられる。
本発明のガスバリア性積層体を構成するガスバリア層は、酸素や水蒸気等のガスの透過を抑制する特性(ガスバリア性)を有する層である。
このようなガスバリア層としては、無機蒸着膜や、高分子化合物を含む層(以下、「高分子層」ということがある。)に改質処理を施して得られたもの〔この場合、ガスバリア層とは、イオン注入処理等により改質された領域のみを意味するのではなく、「改質された領域を含む高分子層」を意味する。〕等が挙げられる。
無機化合物の蒸着膜の原料としては、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物;窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン等の無機窒化物;無機炭化物;無機硫化物;酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物;無機酸化炭化物;無機窒化炭化物;無機酸化窒化炭化物等が挙げられる。
金属の蒸着膜の原料としては、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、及びスズ等が挙げられる。
これらは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中では、ガスバリア性の観点から、無機酸化物、無機窒化物又は金属を原料とする無機蒸着膜が好ましく、さらに、透明性の観点から、無機酸化物又は無機窒化物を原料とする無機蒸着膜が好ましい。
これらの高分子化合物は1種単独で、あるいは2種以上を組合せて用いることができる。
Rx、Ry、Rzは、それぞれ独立して、水素原子、無置換若しくは置換基を有するアルキル基、無置換若しくは置換基を有するシクロアルキル基、無置換若しくは置換基を有するアルケニル基、無置換若しくは置換基を有するアリール基又はアルキルシリル基等の非加水分解性基を表す。
これらの中でも、ポリシラザン系化合物としては、入手容易性、及び優れたガスバリア性を有するイオン注入層を形成できる観点から、Rx、Ry、Rzが全て水素原子であるペルヒドロポリシラザンが好ましい。
また、ポリシラザン系化合物としては、ガラスコーティング材等として市販されている市販品をそのまま使用することもできる。
ポリシラザン系化合物は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
高分子層中の高分子化合物の含有量は、より優れたガスバリア性を有するガスバリア層が得られることから、50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましい。
本発明においては、高分子化合物を含む層がナノオーダーであっても、充分なガスバリア性を有するガスバリアフィルムを得ることができる。
これらの溶媒は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
イオン注入処理は、後述するように、高分子層にイオンを注入して、高分子層を改質する方法である。
プラズマ処理は、高分子層をプラズマ中に晒して、高分子層を改質する方法である。例えば、特開2012−106421号公報に記載の方法に従って、プラズマ処理を行うことができる。
紫外線照射処理は、高分子層に紫外線を照射して高分子層を改質する方法である。例えば、特開2013−226757号公報に記載の方法に従って、紫外線改質処理を行うことができる。
これらの中でも、高分子層の表面を荒らすことなく、その内部まで効率よく改質し、よりガスバリア性に優れるガスバリア層を形成できることから、イオン注入処理が好ましい。
これらのイオンは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、より簡便にイオンを注入することができ、より優れたガスバリア性を有するガスバリア層が得られることから、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガスのイオンが好ましい。
ガスバリア層の屈折率は、1.55〜1.81であり、好ましくは1.60〜1.67である。ガスバリア層の屈折率が1.55未満の場合、ガスバリア性積層体が黄みを帯びるという問題が発生し難いため、本発明を利用する必要性に乏しい。ガスバリア層の屈折率が1.81を超えると、b*が1.00以下のガスバリア性積層体が得られにくくなる。
また、ガスバリア層の屈折率は、上記範囲であればよいが、後述する光学調整層の屈折率より大きいことが好ましい。ガスバリア層の屈折率と光学調整層の屈折率がこのような関係であれば、b*が1.00以下のガスバリア性積層体が得られやすい。
本発明において、屈折率とは、23℃で測定した、波長が590nmの光の屈折率をいう。
本発明のガスバリア性積層体を構成する光学調整層は、ガスバリア性積層体の色相を調節する層である。
ガスバリア層は、通常、高い屈折率を有するため、隣接する他の層との屈折率差が大きくなり、これらの層の界面で短波長の光が反射し易くなる。このため、従来のガスバリア性積層体は、黄みを帯びる傾向があった。
本発明のガスバリア性積層体は、ガスバリア層に隣接する光学調整層を有するため、黄みが抑えられ、無色透明性に優れる。
なかでも、硬化性組成物の硬化物、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体、ポリビニルブチラール系樹脂、ニトロセルロース系樹脂フッ素系樹脂等の樹脂類が好ましく、硬化性組成物の硬化物からなる層がさらに好ましい。光学調整層が硬化性組成物の硬化物からなる層であれば、ガスバリア性積層体の色相を調節する機能に加え、さらに、ガスバリア性積層体に耐擦傷性を付与することができる。
前記硬化性組成物は、硬化性成分を含有する化合物であって、活性エネルギー線の照射や加熱により硬化し得る組成物である。
重合性プレポリマーとしては、両末端に水酸基を有するポリエステルオリゴマーと、(メタ)アクリル酸との反応により得られるポリエステルアクリレート系プレポリマー、低分子量のビスフェノール型エポキシ樹脂やノボラック型エポキシ樹脂と、(メタ)アクリル酸との反応により得られるエポキシアクリレート系プレポリマー、ポリウレタンオリゴマーと、(メタ)アクリル酸との反応により得られるウレタンアクリレート系プレポリマー、ポリエーテルポリオールと、(メタ)アクリル酸との反応により得られるポリオールアクリレート系プレポリマー等が挙げられる。
これらの重合性化合物は一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。
ここで、(メタ)アクリロイル基なる表記は、アクリロイル基及びメタクリロイル基の両方を含む意味である。
活性エネルギー線として紫外線を用いる場合、硬化型樹脂組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。
光重合開始剤は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。光重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、通常、前記硬化性成分に対して、0.2〜30質量%、好ましくは0.5〜20質量%である。
熱重合開始剤は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。熱重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、通常、前記硬化性成分に対して、0.2〜30質量%、好ましくは0.5〜20質量%である。
加水分解性基を有するシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、テトライソブトキシシラン、テトラ−s−ブトキシシラン、テトラ−t−ブトキシシラン等のテトラアルコキシシラン;トリメトキシシランヒドリド、トリエトキシシランヒドリド、トリプロポキシシランヒドリド等のトリアルコキシシランヒドリド;等が挙げられる。
これらのシラン化合物は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらのシラン化合物とともに、アルキルトリアルコキシシランを併用してもよい。
シリカ粒子としては、コロイダルシリカ、中空シリカ、反応性シリカフィラー等が挙げられる。
金属酸化物粒子としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化インジウム、酸化ハフニウム、酸化錫、酸化ニオブ等の粒子が挙げられる。
ポリマー粒子としては、ポリ(ペンタブロモフェニルメタクリレート)、ポリ(ペンタブロモフェニルアクリレート)、ポリ(2,4,6−トリブロモフェニルメタクリレート)、ポリ(1−ナフチルメタクリレート)、ポリ(2,6−ジクロロスチレン)、ポリ(2−クロロスチレン)等のハロゲン原子や芳香族基を含有するポリマーからなる粒子が挙げられる。
アルキルシリケート粒子としては、式:Ra−O〔−{Si(ORb)2}−O−〕n−Ra(式中、Ra及びRbは炭素数1〜10のアルキル基を表し、nは1以上の整数を表す。)で示されるアルキルシリケートの粒子が挙げられる。
これらの中でも、硬化性成分との相溶性に優れ、かつ、光学調整層の屈折率を効率よく制御し得ることから、シリカ粒子又はアルキルシリケート粒子が好ましい。
充填剤が粒子状物である場合、その平均粒子径は2〜1500nmであることが好ましい。
その他の成分としては、レベリング剤、帯電防止剤、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、滑剤等が挙げられる。これらの含有量は、目的に合わせて適宜決定すればよい。
これらの溶媒は1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
例えば、紫外線を照射する場合、紫外線源としては、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、ブラックライトランプ、メタルハライドランプ等の光源を用いることができる。紫外線の光量には特に制限はないが、通常100mJ/cm2〜1,000mJ/cm2である。照射時間は、通常数秒〜数時間であり、照射温度は、通常室温〜100℃である。
光学調整層の屈折率は、1.20〜1.60であり、好ましくは1.35〜1.55である。
光学調整層の光学膜厚は、通常、5〜2000nm、好ましくは10〜1500nmである。光学膜厚は、光学調整層の屈折率をn、厚みをdとしたときに、n×d(=nd)で表される値である。
光学調整層の光学膜厚を上記範囲内で適宜調節することで、無色透明性に優れるガスバリア性積層体を得ることができる。通常、b*は、光学調整層の光学膜厚の変化に対して、周期的に変化することが知られている。本発明者らは、光学調整層の光学膜厚Tが特定の関係式を満たす場合に、b*値が、−1.00〜1.00のガスバリア性積層体を効率よく得ることができることを見出した。
図1(a)の横軸は光学調整層の光学膜厚を採ってあり、縦軸はガスバリア性積層体のb*を採ってある。光学調整層の光学膜厚が760nm未満では、ガスバリア性積層体のb*は、光学調整層の光学膜厚の増加に伴って減少と増加を繰り返す周期的な変化を示している。一方、光学調整層の光学膜厚が760nm以上では、ガスバリア性積層体のb*は、−1〜1の間に収まっており、ガスバリア性積層体のb*は、ほとんど光学調整層の光学膜厚に依存しないことがわかる。
範囲1:30〜100nm、範囲2:120〜170nm、範囲3:280〜310nm、範囲4:380〜410nm、範囲5:520〜550nm、範囲6:620〜660nm
図2から、それぞれの範囲における最大値の近似直線は、y=115.43x−37.3であり、最小値の近似直線は、y=121.43x−100となることがわかる。(xは1〜6の整数、yは光学調整層の光学膜厚)。
以上のことから、範囲1〜6のそれぞれの範囲において、光学膜厚Tが、上記最大値の近似曲線と上記最小値の近似曲線の間の範囲であれば、b*値が−1.00〜1.00のガスバリア性積層体を効率よく得ることができる。
を満たすように設けることにより、b*値が、−1.00〜1.00のガスバリア性積層体を効率よく得ることができる。
本発明のガスバリア性積層体は、基材、ガスバリア層及び光学調整層がこの順に積層されてなり、前記ガスバリア層と光学調整層が隣接するガスバリア性積層体であって、前記ガスバリア層の屈折率が、1.55〜1.81で、前記光学調整層の屈折率が、1.20〜1.60であり、JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値が、−1.00〜1.00の範囲にあることを特徴とする。
本発明のガスバリア性積層体は、基材、ガスバリア層、光学調整層以外の層を有するものであってもよい。
基材、ガスバリア層、光学調整層以外の層としては、基材との層間密着性を向上させるためのプライマー層、導電体層、衝撃吸収層、粘着剤層、ハードコート層、工程シート等が挙げられる。なお、工程シートは、積層体を保存、運搬等する際に、積層体を保護する役割を有し、積層体が使用される際には剥離されるものである。
(i)光学調整層/ガスバリア層/基材
(ii)光学調整層/ガスバリア層/基材/ハードコート層
(iii)光学調整層/ガスバリア層/光学調整層/ガスバリア層/基材
(iv)光学調整層/ガスバリア層/プライマー層/基材
(v)光学調整層/ガスバリア層/プライマー層/基材/ハードコート層
基材上に、先に説明した方法を用いてガスバリア層を形成する。次いで、得られたガスバリア層上に、先に説明した方法を用いて光学調整層を形成することにより、光学調整層/ガスバリア層/基材の層構成を有するガスバリア性積層体を得ることができる。
水蒸気透過率は、実施例に記載の方法により測定することができる。
b*値は、色を数値化したときの、黄みと青みの程度を表すものである。b*値が正の値であれば、黄みを帯びていることを、負の値であれば、青みを帯びていることを表す。
b*値が上記範囲にあることで、そのガスバリア性積層体は、より黄と青の中間の色相を呈することになる。
b*値は、形成するガスバリア層の屈折率に応じて、適切な光学膜厚の光学調整層を設けることにより、制御することができる。
a*値は、色を数値化したときの、赤みと緑みの程度を表すものであり、a*値が正の値であれば、赤みを帯びていることを、負の値であれば、緑みを帯びていることを表す。
a*値が上記範囲にあることで、そのガスバリア性積層体は、より赤と緑の中間の色相を呈することになる。このようなガスバリア性積層体は、発光素子を有する電子デバイス用部材として好適に用いられる。
a*値は、用いる樹脂やその他の成分を適宜選択することで、制御することができる。
JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値やa*値は、実施例に記載の方法により測定することができる。
本発明の電子デバイス用部材は、本発明のガスバリア性積層体からなることを特徴とする。従って、本発明の電子デバイス用部材は、優れたガスバリア性を有しているので、水蒸気等のガスによる素子の劣化を防ぐことができる。また、無色透明性に優れるので、液晶ディスプレイ、ELディスプレイ等のディスプレイ部材;等として好適である。
本発明の電子デバイスは、本発明のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材を備えているので、優れたガスバリア性を有する。
各例中の部及び%は、特に断りのない限り、質量基準である。
各例で用いた化合物や材料を以下に示す。
・基材(1):ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡績社製、商品名:コスモシャインA4100、厚さ50μm)
・ポリシラザン化合物系コーティング剤(1):(クラリアントジャパン社製、商品名:アクアミカNL110−20、固形分20%)
・硬化性成分(1):ウレタンアクリレートオリゴマー(荒川工業株式会社製、商品名:ビームセット 575VCB)
・硬化性成分(2):UV硬化型ハードコート剤(大日精化工業社製、商品名:セイカビーム EXF−01L (NS))
・レベリング剤(1):アクリル系共重合体(ビックケミージャパン社製、商品名:BYK 355)
・充填剤(1):中空状シリカ微粒子(日揮触媒化成社製、商品名:スルーリア4320)
・充填剤(2):酸化ジルコニウム(日産化学工業社製、商品名:ナノユース OZ−S30K)
・光重合開始剤(1):(BASF社製、商品名:イルガキュア907)
・光学調整層形成材料(2):UV硬化型ハードコート剤(重合性成分、充填剤としてシリカ微粒子、及び光重合開始剤を含む硬化性組成物、JSR社製、商品名:オプスターZ7530、硬化物の屈折率:1.49)
・光学調整層形成材料(3):シロキサン系熱硬化型樹脂(コルコート社製、商品名:コルコートP、硬化物の屈折率:1.43)
実施例及び比較例で得られたガスバリア性積層体の、ガスバリア層及び光学調整層の厚みは、触針式段差計(AMBIOS TECNOLOGY社製、XP−1)を用いて測定した。
実施例及び比較例で得られたガスバリア性積層体の、ガスバリア層及び光学調整層の屈折率は、エリプソメーター(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン社製、商品名:分光エリプソメトリー2000U)を用いて測定した。
硬化性成分(1)10部、レベリング剤(1)0.01部、充填剤(1)49部、光重合開始剤(1)0.1部、メチルイソブチルケトン1250部、シクロヘキサノン1250部を均一に混合し、光学調整層形成材料(1)を得た。光学調整層形成材料(1)の硬化物の屈折率は1.37であった。
硬化性成分(2)10部、レベリング剤(1)0.01部、充填剤(2)133部、光重合開始剤(1)0.3部、メチルイソブチルケトン1440部、シクロヘキサン1440部を均一に混合し、光学調整層形成材料(4)を得た。光学調整層形成材料(4)の硬化物の屈折率は1.61であった。
基材(1)上に、ポリシラザン化合物系コーティング剤(1)をスピンコート法により塗布し、得られた塗膜を120℃で2分間加熱して、厚さ150nmの、ペルヒドロポリシラザンを含むポリシラザン層を形成した。次に、プラズマイオン注入装置を用いてポリシラザン層の表面に、下記の条件にて、アルゴン(Ar)をプラズマイオン注入して、ガスバリア層(屈折率:1.62、厚さ150nm)を形成した。
ガスバリア層上に、製造例1で得た光学調整層形成材料(1)を、バーコート法により塗布し、得られた塗膜を70℃で1分間乾燥した後、UV光照射ラインを用いてUV光照射を行い(高圧水銀灯;ライン速度、20m/分;積算光量、100mJ/cm2;ピーク強度、1.466W;パス回数、2回)、光学調整層(膜厚:20nm、光学膜厚:28nm)を形成し、ガスバリア性積層体1を得た。
(プラズマイオン注入装置)
RF電源:日本電子社製、型番号「RF」56000
高電圧パルス電源:栗田製作所社製、「PV−3−HSHV−0835」
(プラズマイオン注入条件)
チャンバー内圧:0.2Pa
プラズマ生成ガス:アルゴン
ガス流量:100sccm
RF出力:1000W
RF周波数:1000Hz
RFパルス幅:50μsec
RF delay:25μsec
DC電圧:−6kV
DC周波数:1000Hz
DCパルス幅:5μsec
DC delay:50μsec
Duty比:0.5%
処理時間:200sec
実施例1において、光学調整層形成材料(1)に代えて光学調整層形成材料(2)を使用して、光学調整層(膜厚:50nm、光学膜厚:75nm)を形成したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体2を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を90nm(光学膜厚:124nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体3を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を120nm(光学膜厚:165nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体4を得た。
実施例1において、光学調整層形成材料(1)に代えて光学調整層形成材料(3)を塗工し、得られた塗膜を100℃で1分加熱して硬化させることで、光学調整層(膜厚:200nm、光学膜厚:286nm)を形成したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体5を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を220nm(光学膜厚:302nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体6を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を280nm(光学膜厚:385nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体7を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を295nm(光学膜厚:405nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体8を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を380nm(光学膜厚:522n)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体9を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を390nm(光学膜厚:536nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体10を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を460nm(光学膜厚:632nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体11を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を475nm(光学膜厚:652nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体12を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を555nm(光学膜厚:762nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体13を得た。
実施例1のガスバリア性積層体1の製造中間体〔基材(1)とガスバリア層からなるフィルム〕を比較例1のガスバリア性積層体14とした。
実施例5において、光学調整層の膜厚を70nm(光学膜厚:100nm)に変更したことを除き、実施例5と同様の方法により、ガスバリア性積層体15を得た。
実施例2において、光学調整層の膜厚を150nm(光学膜厚:224nm)に変更したことを除き、実施例2と同様の方法により、ガスバリア性積層体16を得た。
実施例1において、光学調整層の膜厚を270nm(光学膜厚:371nm)に変更したことを除き、実施例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体17を得た。
実施例2において、光学調整層の膜厚を300nm(光学膜厚:448nm)に変更したことを除き、実施例2と同様の方法により、ガスバリア性積層体18を得た。
実施例2において、光学調整層の膜厚を400nm(光学膜厚:597nm)に変更したことを除き、実施例2と同様の方法により、ガスバリア性積層体19を得た。
実施例5において、光学調整層の膜厚を505nm(光学膜厚:723nm)に変更したことを除き、実施例5と同様の方法により、ガスバリア性積層体20を得た。
実施例4において、ガスバリア層を形成する際のDC電圧を−9kVに変更し、屈折率が1.82のガスバリア層を形成したことを除き、実施例4と同様の方法により、ガスバリア性積層体21を得た。
実施例5において、光学調整層形成材料(3)に代えて光学調整層形成材料(4)を使用して、光学調整層(膜厚:178nm、光学膜厚:286nm)を形成したことを除き、実施例5と同様の方法により、ガスバリア性積層体22を得た。
比較例1において、ポリシラザン化合物系コーティング剤(1)の塗膜の加熱条件を、120℃で30分間に変更し、屈折率が1.54のガスバリア層を形成したことを除き、比較例1と同様の方法により、ガスバリア性積層体23を得た。
(水蒸気透過率測定)
温度40℃、相対湿度90%における、ガスバリア性積層体1〜20の水蒸気透過率を、水蒸気透過率測定装置(mocon社製、PERMATRAN−W3/33)を用いて測定した。
測定結果を第1表に示す。
ガスバリア性積層体1〜23の、CIE1976L*a*b*表色系により規定される色彩値b*を、JIS Z 8729−1994に準拠し、分光光度計(島津製作所社製、UV−3600)を用いて測定した。
測定結果を第1表に示す。
実施例1〜13のガスバリア性積層体1〜13は、ガスバリア性に優れ、かつ、黄みが抑えられている。
一方、比較例1〜9のガスバリア性積層体14〜22は、色彩値b*は、−1未満又は+1を超えており、黄み又は青みを帯びている。
一方、比較例8のガスバリア性積層体21は、ガスバリア層の屈折率が、1.82とかなり高いため、光学調整層を設けても、b*を1.00以下にすることは困難である。
また、比較例9のガスバリア性積層体22は、光学調整層の屈折率が高すぎるため、光学調整層として十分に機能していない。
2:範囲2
3:範囲3
4:範囲4
5:範囲5
6:範囲6
Claims (9)
- 前記ガスバリア層が、無機酸化物、無機酸化窒化物、無機酸化炭化物、及び無機酸化窒化炭化物からなる群から選ばれる少なくとも一種を含有するものである、請求項1に記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア層が、ポリシラザン化合物を含有する層を改質処理して得られる層である、請求項1に記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア層の厚みが、10nmから10μmである、請求項1に記載のガスバリア性積層体。
- 前記光学調整層が、硬化性組成物の硬化物からなるものである、請求項1に記載のガスバリア性積層体。
- 前記硬化性組成物が、硬化性成分及び充填剤を含有するものである、請求項5に記載のガスバリア性積層体。
- 前記光学調整層の厚みが、5〜2500nmである(ただし、前記式(1)又は(2)を満たすものに限る。)、請求項1に記載のガスバリア性積層体。
- 請求項1に記載のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材。
- 請求項8に記載の電子デバイス用部材を備える電子デバイス。
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