JP6682469B2 - 座標検出方法および座標出力装置、欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
予備検査も上述した検査方法に準じて実施される(S05)。予備検査では、例えば、既知のドットパターンを含む予備検査領域をスキャンし、基準座標(A_start_n、B_start_n)から既知のドットパターンに至る画素数(Xpixel_id、Ypixel_id)を取得する(S06)。ここで、基準座標(A_start_n、B_start_n)は、式(3)、(4)を用いて、基準画素のステージ座標を補正したものである。
Claims (5)
- 検査ステージの載置面上に載置された検査対象中の第1位置と、前記第1位置から離間した前記検査対象中の第2位置と、を検出し、
前記検査ステージの前記第1位置に対応するステージ座標を検出し、
前記第1位置から前記第2位置に至る座標シフトが、前記載置面に沿った第1方向における第1シフト成分と、前記載置面に沿った第2方向であって、前記第1方向と交差する第2方向の第2シフト成分と、を含む時、
前記第2位置の前記第1方向の座標を前記第1シフト成分と前記第2シフト成分とを変数とする第1関数により算出し、
前記第2位置の前記第2方向の座標を前記第1シフト成分と前記第2シフト成分とを変数とする第2関数により算出し、
前記第1関数は、前記第1シフト成分に乗じられる第1係数と、前記第2シフト成分に乗じられる第2係数と、前記第1位置の前記第1方向の座標を変数とする項と、前記第1位置の前記第2方向の座標を変数とする項と、を含み、
前記第2関数は、前記第1シフト成分に乗じられる第3係数と、前記第2シフト成分に乗じられる第4係数と、前記第1位置の前記第1方向の座標を変数とする項と、前記第1位置の前記第2方向の座標を変数とする項と、を含み、
前記第1位置の前記第1方向の座標を、前記ステージ座標の前記第1方向の座標と、前記ステージ座標の前記第2方向の座標と、を変数とする第3関数を用いて算出し、
前記第1位置の前記第2方向の座標を、前記ステージ座標の前記第1方向の座標と、前記ステージ座標の前記第2方向の座標と、を変数とする第4関数を用いて算出し、
前記第1係数、前記第2係数、前記第3係数および前記第4係数は、前記検査対象中の複数の既知座標に基づいて決定される座標検出方法。
- 前記第1関数および前記第2関数は、前記第1シフト成分の2乗成分および前記第2シフト成分の2乗成分の少なくともいずれか一方を含む請求項1記載の座標検出方法。
- 検査ステージの載置面上に載置された検査対象中の第1位置と、前記第1位置から離間した前記検査対象中の第2位置と、を、前記検査対象の画像から検出し、
前記第1位置から前記第2位置に至る座標シフトが、前記載置面に沿った第1方向における第1シフト成分と、前記載置面に沿った第2方向であって、前記第1方向と交差する第2方向の第2シフト成分と、を含む時、
前記第2位置の前記第1方向の座標を前記第1シフト成分と前記第2シフト成分とを変数とする第1関数により算出し、
前記第2位置の前記第2方向の座標を前記第1シフト成分と前記第2シフト成分とを変数とする第2関数により算出する座標検出方法であって、
前記第1位置は、前記画像中の第1画素の位置に対応し、前記第2位置は、前記画像中の第2画素に対応し、
前記第1シフト成分および前記第2シフト成分は、前記画像中の画素数である座標検出方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つの座標検出方法を実施する座標出力装置。
- 請求項1〜3のいずれか1つの座標検出方法を実施する欠陥検査装置。
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