JP6676279B2 - 透明導電膜形成方法、透明導電膜および透明導電性基板 - Google Patents
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Description
実施例.
銀ナノワイヤペースト(銀ナノワイヤ濃度1質量%エタノール液、銀ナノワイヤ長さ略40μm以上、SEM画像観察による任意の100本の銀ナノワイヤ平均径は90nm)とポジ型フォトレジスト(東京応化工業製 OFPR−800LB)とをこの順番にガラス基板の一方の主面上にともにスピンコート(7000rpm、40秒)により塗布し、網目構造を形成した銀ナノワイヤ上のポジ型フォトレジスト塗布面の反対側の面(ガラス基板の他方の主面側)から、ポジ型フォトレジストに光(波長405nm)を300mJ/cm2で照射した。その後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド溶液(NMD−3[東京応化工業株式会社製2.38質量%水溶液])に10〜15秒浸漬し、現像を行い、光が照射されたポジ型フォトレジストを取り除き、銀ナノワイヤにフォトレジストを残存させた。この場合、フォトレジストは、銀ナノワイヤの表面および近傍に残存していると考えられる。これにより、選択的に銀ナノワイヤをコーティングして保護膜を形成することができた。以上により、実施例にかかる透明導電膜を製造した。
ガラス基板上に銀ナノワイヤのみを塗布し、ポジ型フォトレジストを塗布しない(従って、光照射、現像も行わない)で比較例にかかる透明導電膜を製造した。
実施例および比較例にかかる透明導電膜について、85℃/85%RH(相対湿度)の恒温恒湿槽に入れて抵抗値の変化を測定した。なお、抵抗値を測定するために図4に示したように銀ナノワイヤ塗布基板の両端には、予め金を日立ハイテクノロジーズ株式会社製イオンスパッタ装置E−1045を用いて2分間スパッタリングすることにより電極を形成したものを用い、両電極間の抵抗値を測定した。測定装置は三和電気計器のデジタルマルチメータPC5000を用いた。なお、両端の電極間の距離は3cm、両電極の各寸法は3cm×0.5cmとした。
Claims (6)
- 透明基板の一方の主面上に金属ナノワイヤの網目構造を形成し、
前記金属ナノワイヤの網目構造を被覆するようにポジ型フォトレジスト層を形成し、
前記透明基板の前記金属ナノワイヤの網目構造が形成された一方の主面の反対側の主面側から光を照射し、
現像液によりポジ型フォトレジスト層の露光部を除去して、網目構造を形成する金属ナノワイヤにより光が遮られ光照射されなかった金属ナノワイヤの表面に選択的にポジ型フォトレジストが残存し、かつ、網目構造の金属ナノワイヤに囲まれたすきまにポジ型フォトレジストが残存しない部分を有する透明導電膜を形成するための透明導電膜形成方法。 - 前記ポジ型フォトレジスト層を形成するためのポジ型フォトレジストがエキシマレーザータイプのフォトレジストである、請求項1に記載の透明導電膜形成方法。
- 透明基板の一方の主面上に金属ナノワイヤの網目構造を有し、前記金属ナノワイヤ表面に選択的にポジ型フォトレジストが残存し、かつ、網目構造の金属ナノワイヤに囲まれたすきまにポジ型フォトレジストが残存しない部分を有する透明導電性基板。
- 前記ポジ型フォトレジストがエキシマレーザータイプのフォトレジストである、請求項3に記載の透明導電性基板。
- 前記金属ナノワイヤの径の太さの平均が1〜500nm、長軸の長さの平均が1〜100μm、かつ、アスペクト比の平均が5より大である、請求項3または4に記載の透明導電性基板。
- 前記金属ナノワイヤを構成する金属が金、銀および銅のいずれかを少なくとも1種含む、請求項3〜5のいずれかに記載の透明導電性基板。
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