JP6670675B2 - 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- ウェーハ回転保持装置の回転テーブル用ウェーハ保持機構であって、
回転テーブルと、
前記回転テーブルに設けられ且つ第一のウェーハ基板を固定するための第一の固定ピンと、
前記回転テーブルに前記第一の固定ピンよりも内側に設けられ且つ前記第一のウェーハ基板よりも径の小さい第二のウェーハ基板を固定するための上下動可能な上下可動ピンと、
を有し、
前記第一のウェーハ基板を保持する際は前記上下可動ピンを下げ、前記第一の固定ピンにより前記第一のウェーハ基板を固定せしめ、前記第二のウェーハ基板を保持する際は前記上下可動ピンを上げ、前記上下可動ピンにより前記第二のウェーハ基板を固定せしめるようにした、回転テーブル用ウェーハ保持機構であり、
前記上下可動ピンが、前記回転テーブル内に設けられた上下動制御用モータにより制御されてなり、
電磁誘導により、前記上下動制御用モータに電力が供給される為の電力供給機構をさらに有し、
前記電力供給機構が、回転軸の周囲に巻回された固定側1次コイルと、前記固定側1次コイルに接続された電力供給源と、前記固定側1次コイルに対応して所定距離離間して設けられ、且つ前記回転テーブルに取り付けられた回転テーブル側2次コイルと、を含む、回転テーブル用ウェーハ保持機構。 - 請求項1記載の回転テーブル用ウェーハ保持機構を用いて、前記第一のウェーハ基板又は第二のウェーハ基板を保持してなる、回転テーブル用ウェーハ保持方法。
- 請求項1記載の回転テーブル用ウェーハ保持機構を備えてなる、ウェーハ回転保持装置。
- 前記ウェーハ回転保持装置が、スピン処理機構を備える、請求項3記載のウェーハ回転保持装置。
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