JP6662048B2 - 両面成膜体製造方法及びその装置 - Google Patents
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Description
本発明は、ウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体を製造する両面成膜体製造方法に係り、特に、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体を共用して両面成膜体を製造することを実現する両面成膜体製造方法及びその装置に関する。
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、樹脂フィルム上に金属膜を被覆して得られる多種類のフレキシブル配線基板が用いられ、このフレキシブル配線基板には、樹脂フィルムのうち樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付樹脂フィルムが用いられている。金属膜付樹脂フィルムには、配線パターンの繊細化、高密度化に伴って平坦性が求められてきている。
上記のような金属膜付樹脂フィルムの製造方法としては、従来、以下のような方法が既に知られている。
（１）金属箔を接着剤により樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法、
（２）金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法、
（３）樹脂フィルムに真空成膜法（真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等）若しくは湿式めっき法により金属膜を成膜して製造する方法。
（１）金属箔を接着剤により樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法、
（２）金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法、
（３）樹脂フィルムに真空成膜法（真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等）若しくは湿式めっき法により金属膜を成膜して製造する方法。
また、真空成膜法若しくは湿式めっき法を用いる３番目の製造方法として、特許文献１では、成膜速度は遅いが密着力に優れる金属膜を形成できるスパッタリング法を用いて金属膜付樹脂フィルムを製造する方法が開示されており、また、特許文献２では、成膜速度は遅いが密着力に優れる金属膜を形成できるスパッタリング法を用いて薄膜の金属ベース層をまず成膜し、続いて、成膜速度の速い湿式めっき法を用いて上記金属ベース層上に厚膜の金属膜を形成し、金属膜付樹脂フィルムを効率よく製造する方法が開示されている。
また、特許文献１では、金属膜の密着力を更に高めるため、２種類のスパッタリングターゲットを用いた方法も開示されている。すなわち、ニッケル銅合金をスパッタリングターゲットとして第一の金属薄膜をまず成膜し、続いて、銅等をスパッタリングターゲットとして上記金属薄膜上に厚膜の金属膜を成膜する方法が提案されている。
さらに、成膜速度の速い電気めっき法と成膜速度の遅いスパッタリング法を併用する技術が特許文献２に開示されている。特許文献２の製造方法は、スパッタリング法のみを用いる特許文献１の方法と比較して製造効率に優れるため、特許文献２に記載された製造方法が広く利用されている。
ところで、樹脂フィルムの両面に金属薄膜をスパッタリング法などの真空成膜法により成膜するには、大別して２つの方法がある。一つは、樹脂フィルムの第１成膜面に金属薄膜を成膜した後に、真空成膜装置から一旦、取り出し、樹脂フィルムを裏返してセットして第２成膜面に金属薄膜を成膜する方法であり、もう一つは、２つのキャンロールを直列に並べ、第１のキャンロールを用いて樹脂フィルムの表面に金属薄膜を成膜した後、第２のキャンロールを用いて真空中で連続して裏面に金属薄膜を成膜する方法（２キャンロール方式）がある。
特許文献３には、連続耐熱性樹脂フィルムの両面上に金属膜を連続的にスパッタリング法で成膜する技術として、巻出しロール室内の巻出しロールから巻き出された長尺樹脂フィルムをロール・トゥ・ロール方式により搬送し、巻取りロール室内の巻取りロールに巻き取ると共に、成膜室の長尺樹脂フィルムの搬送路上の前記成膜室には、真空成膜手段に対向しかつ内部に冷媒が循環する２つ以上のキャンロールを備えるロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置が開示されている。特許文献３のように、連続して、両面成膜を行う後者の方法は、表面成膜後に巻き取ることなく、しかも大気に解放することもないので、成膜特性が安定することは言うまでもない。ただし、特許文献３のように、２個のキャンロールを直列に並べる方法は、真空成膜装置全体を大型化してしまい、内容量が増加するため、真空排気に必要とするポンプの増加等も避けることができない。
特許文献３には、連続耐熱性樹脂フィルムの両面上に金属膜を連続的にスパッタリング法で成膜する技術として、巻出しロール室内の巻出しロールから巻き出された長尺樹脂フィルムをロール・トゥ・ロール方式により搬送し、巻取りロール室内の巻取りロールに巻き取ると共に、成膜室の長尺樹脂フィルムの搬送路上の前記成膜室には、真空成膜手段に対向しかつ内部に冷媒が循環する２つ以上のキャンロールを備えるロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置が開示されている。特許文献３のように、連続して、両面成膜を行う後者の方法は、表面成膜後に巻き取ることなく、しかも大気に解放することもないので、成膜特性が安定することは言うまでもない。ただし、特許文献３のように、２個のキャンロールを直列に並べる方法は、真空成膜装置全体を大型化してしまい、内容量が増加するため、真空排気に必要とするポンプの増加等も避けることができない。
一方、長尺樹脂フィルムに成膜を行うロール・トゥ・ロール方式真空片面成膜装置では、フレキシブル基板としての長尺樹脂フィルムを折り返して１個のキャンロールに複数回も長尺樹脂フィルムを巻き付けて成膜源の前方を通過する方法が特許文献４に記載され、あるいは、フローティング状態で帯状材料としての長尺樹脂フィルムを折り返して成膜源の前方を通過する方法が特許文献５に記載されている。ここで、特許文献４には、フレキシブル基板を案内する案内装置として、真空チャンバ内の第１のローラと、第１の方向からの変位を導入するための第１の方向と直交する方向に対して傾斜する軸を有する第２のローラとを有する態様が開示されている。また、特許文献５には、巻出しリールから巻取りリールまで連続して走行する帯状材料に表面処理を施す表面処理部と、その走行を案内する複数のロール部を軸方向に重ねてなる一対のガイドロールとを備え、これら一対のガイドロール間に帯状材料を螺旋状に走行させるもので、第２のガイドロールの各ロール部の回転軸を所定角度傾斜させ、この傾斜によりガイドロールを周回するときに帯状部材が螺旋状の１ピッチ分ずれるようにした表面処理装置が開示されている。
この様な方法を用いることで、キャンロール個数や成膜源（蒸着源、スパッタリングターゲット等）の個数を削減することができ、真空成膜装置全体を小型化することに大きく寄与することができる。
この様な方法を用いることで、キャンロール個数や成膜源（蒸着源、スパッタリングターゲット等）の個数を削減することができ、真空成膜装置全体を小型化することに大きく寄与することができる。
しかしながら、特許文献４、特許文献５はいずれも片面成膜にのみ関するものであった。
本発明が解決しようとする技術的課題は、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体を共用し、ウェブ状成膜対象物の両面を成膜することにある。
そこで、上記課題を解決するため、本発明者らは、ロール・トゥ・ロール方式の両面成膜体製造装置の構成を見直し、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体に関し、成膜装置による第１の片面への成膜処理と、第２の片面への成膜処理とで共用することの可能性を検討し、回転保持体に対するウェブ状成膜対象物の保持位置を工夫することで回転保持体の共用化を実現することを見出し、本発明を案出するに至った。
本発明の第１の技術的特徴は、駆動回転され且つ予め決められた温度に調整される回転保持体にウェブ状成膜対象物を回転保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体を製造するに際し、前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送工程と、前記第１の搬送工程中に前記成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜する第１の成膜工程と、前記第１の成膜工程が完了した片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、前記回転保持体の回転方向上流側に戻す戻し搬送工程と、前記戻し搬送工程後に、前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送工程と、前記第２の搬送工程中に前記成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜する第２の成膜工程と、前記第２の成膜工程が完了した両面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体として収容する収容搬送工程と、を備え、前記第１の搬送工程及び前記第２の搬送工程は、前記回転保持体に接触保持されている間における前記ウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物を搬送することを特徴とする両面成膜体製造方法である。
本発明の第２の技術的特徴は、第１の技術的特徴を備えた両面成膜体製造方法において、前記第１の搬送工程及び前記第２の搬送工程は、前記回転保持体の回転方向の上流側及び下流側に夫々駆動搬送部材を有し、上流側の前記駆動搬送部材と前記回転保持体との間、前記回転保持体と下流側の前記駆動搬送部材との間に速度差を付与し、前記ウェブ状成膜対象物を引張可能な状態で搬送することを特徴とする両面成膜体製造方法である。
本発明の第３の技術的特徴は、第１の技術的特徴を備えた両面成膜体製造方法において、前記戻し搬送工程は、前記第１の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内した後、前記第２の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置にて前記回転保持体を迂回する経路を経て前記回転保持体の回転方向上流側に戻すことを特徴とする両面成膜体製造方法である。
本発明の第３の技術的特徴は、第１の技術的特徴を備えた両面成膜体製造方法において、前記戻し搬送工程は、前記第１の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内した後、前記第２の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置にて前記回転保持体を迂回する経路を経て前記回転保持体の回転方向上流側に戻すことを特徴とする両面成膜体製造方法である。
本発明の第４の技術的特徴は、成膜前のウェブ状成膜対象物を少なくとも収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、前記成膜室内で成膜完了した成膜体を予め決められた収容位置に移動させる移動機構と、前記成膜室内に複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の両面を成膜する成膜装置と、を備え、前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を接触保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体と、前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送機構と、前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送機構と、前記第１の搬送機構にて前記ウェブ状成膜対象物を搬送して前記成膜装置による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、前記回転保持体の回転方向上流側に戻す戻し搬送機構と、前記第２の搬送機構にて前記ウェブ状成膜対象物を搬送して前記成膜装置による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体として収容する収容搬送機構と、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構に対し、前記回転保持体に接触保持されている間における前記ウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御する速度制御手段と、を備えたことを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第５の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記ウェブ状成膜対象物は、巻出し部材から巻き出され、前記移動機構を介して移動し、巻取り部材に巻き取られることを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第６の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記装置筐体の収容室は、前記成膜前のウェブ状成膜対象物及び前記両面成膜体を個別又は一緒に収容し、前記収容室と前記成膜室との間には両者間を遮断可能なロードロック機構を介在させたことを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第７の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記ウェブ状成膜対象物を、前記回転保持体に接触保持させ、かつ、引張した状態で搬送する張力調整手段を有することを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第８の技術的特徴は、第７の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記張力調整手段は、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構に対し夫々個別に作用することを特徴とする両面成膜体製造装置。
本発明の第９の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記回転保持体は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割回転保持体を有し、各分割回転保持体が前記速度制御手段にて個別に制御されることを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第１０の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記戻し搬送機構は、前記第１の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内する案内経路と、前記ウェブ状成膜対象物が前記案内経路を経て前記第２の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置に至った後に、前記回転保持体の回転方向上流側に向かって前記回転保持体を迂回して前記ウェブ状成膜対象物を戻す迂回経路と、を有することを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第１１の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記戻し搬送機構は、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物が掛け渡される張架部材の少なくとも一部には表面からガスが放出可能な機構を具備させたことを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第６の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記装置筐体の収容室は、前記成膜前のウェブ状成膜対象物及び前記両面成膜体を個別又は一緒に収容し、前記収容室と前記成膜室との間には両者間を遮断可能なロードロック機構を介在させたことを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第７の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記ウェブ状成膜対象物を、前記回転保持体に接触保持させ、かつ、引張した状態で搬送する張力調整手段を有することを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第８の技術的特徴は、第７の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記張力調整手段は、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構に対し夫々個別に作用することを特徴とする両面成膜体製造装置。
本発明の第９の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記回転保持体は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割回転保持体を有し、各分割回転保持体が前記速度制御手段にて個別に制御されることを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第１０の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記戻し搬送機構は、前記第１の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内する案内経路と、前記ウェブ状成膜対象物が前記案内経路を経て前記第２の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置に至った後に、前記回転保持体の回転方向上流側に向かって前記回転保持体を迂回して前記ウェブ状成膜対象物を戻す迂回経路と、を有することを特徴とする両面成膜体製造装置である。
本発明の第１１の技術的特徴は、第４の技術的特徴を備えた両面成膜体製造装置において、前記戻し搬送機構は、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物が掛け渡される張架部材の少なくとも一部には表面からガスが放出可能な機構を具備させたことを特徴とする両面成膜体製造装置である。
第１の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体を共用し、回転保持体に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物の両面を成膜することができる。
第２の技術的特徴によれば、共用の回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物のしわの発生を有効に抑えてウェブ状成膜対象物の両面を成膜することができる。
第３の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を共用する回転保持体に効率的に戻すことができる。
第４の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体を共用し、回転保持体に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物の両面を成膜することが可能な両面成膜体製造方法を容易に具現化することができる。
第５の技術的特徴によれば、ロール・トゥ・ロール方式において、共用の回転保持体を用いた両面成膜体製造装置を提供することができる。
第６の技術的特徴によれば、成膜室を大気開放することなく、収容室を大気開放して成膜前のウェブ状成膜対象物や両面成膜体の交換作業を行うことができる。
第７の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し成膜条件に適した張力調整を実施することができる。
第８の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し片面毎に成膜条件に適した張力調整を実施することができる。
第９の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し片面毎に成膜条件に適した速度制御を実現することができる。
第１０の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を共用する回転保持体に効率的に戻すことができる。
第１１の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物の両面を成膜するに当たり、戻し搬送機構の張架部材とウェブ状成膜対象物との間の摩擦による損傷を有効に防止することができる。
第２の技術的特徴によれば、共用の回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物のしわの発生を有効に抑えてウェブ状成膜対象物の両面を成膜することができる。
第３の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を共用する回転保持体に効率的に戻すことができる。
第４の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物が回転保持される回転保持体を共用し、回転保持体に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物の両面を成膜することが可能な両面成膜体製造方法を容易に具現化することができる。
第５の技術的特徴によれば、ロール・トゥ・ロール方式において、共用の回転保持体を用いた両面成膜体製造装置を提供することができる。
第６の技術的特徴によれば、成膜室を大気開放することなく、収容室を大気開放して成膜前のウェブ状成膜対象物や両面成膜体の交換作業を行うことができる。
第７の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し成膜条件に適した張力調整を実施することができる。
第８の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し片面毎に成膜条件に適した張力調整を実施することができる。
第９の技術的特徴によれば、共用する回転保持体を用い、ウェブ状成膜対象物に対し片面毎に成膜条件に適した速度制御を実現することができる。
第１０の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を共用する回転保持体に効率的に戻すことができる。
第１１の技術的特徴によれば、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物の両面を成膜するに当たり、戻し搬送機構の張架部材とウェブ状成膜対象物との間の摩擦による損傷を有効に防止することができる。
◎実施の形態の概要
図１（ａ）はウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体を製造する両面成膜体製造装置の実施の形態の概要を示し、同図（ｂ）は（ａ）をＢ方向から見た矢視図である。
同図において、両面成膜体製造装置は、成膜前のウェブ状成膜対象物１を少なくとも収容する収容室（図示せず）、収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室（図示せず）を有する装置筐体（図示せず）と、収容室内のウェブ状成膜対象物１を成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を予め決められた収容位置に移動させる移動機構２と、成膜室内に複数設置され、移動機構２にて移動させられるウェブ状成膜対象物１の両面を成膜する成膜装置３（本例では３ａ，３ｂ）と、を備え、移動機構２は、成膜室に設置され、ウェブ状成膜対象物１を接触保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体４と、ウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送機構５と、ウェブ状成膜対象物１の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送機構６と、第１の搬送機構５にてウェブ状成膜対象物１を搬送して成膜装置３（本例では３ａ）による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、回転保持体４の回転方向上流側に戻す戻し搬送機構７と、第２の搬送機構６にてウェブ状成膜対象物１’を搬送して成膜装置３（本例では３ｂ）による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体１０として収容する収容搬送機構８と、第１の搬送機構５及び第２の搬送機構６に対し、回転保持体４に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物１の搬送速度を個別に制御する速度制御手段（図示せず）と、を備えたものである。
図１（ａ）はウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体を製造する両面成膜体製造装置の実施の形態の概要を示し、同図（ｂ）は（ａ）をＢ方向から見た矢視図である。
同図において、両面成膜体製造装置は、成膜前のウェブ状成膜対象物１を少なくとも収容する収容室（図示せず）、収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室（図示せず）を有する装置筐体（図示せず）と、収容室内のウェブ状成膜対象物１を成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を予め決められた収容位置に移動させる移動機構２と、成膜室内に複数設置され、移動機構２にて移動させられるウェブ状成膜対象物１の両面を成膜する成膜装置３（本例では３ａ，３ｂ）と、を備え、移動機構２は、成膜室に設置され、ウェブ状成膜対象物１を接触保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体４と、ウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送機構５と、ウェブ状成膜対象物１の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送機構６と、第１の搬送機構５にてウェブ状成膜対象物１を搬送して成膜装置３（本例では３ａ）による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、回転保持体４の回転方向上流側に戻す戻し搬送機構７と、第２の搬送機構６にてウェブ状成膜対象物１’を搬送して成膜装置３（本例では３ｂ）による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体１０として収容する収容搬送機構８と、第１の搬送機構５及び第２の搬送機構６に対し、回転保持体４に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物１の搬送速度を個別に制御する速度制御手段（図示せず）と、を備えたものである。
このような技術的手段において、ウェブ状成膜対象物１は主として長尺耐熱性樹脂フィルムを対象とするが、これ以外についても広く含む。
また、装置筐体は収容室と成膜室とを含むものであればよく、収容室はウェブ状成膜対象物１を少なくも収容するものであればよく、両面成膜体１０は所定の収容位置（収容室又は成膜室）に収容するものであればよい。
更に、移動機構２は、収容室と成膜室との間で、ウェブ状成膜対象物１を移動し、成膜後の両面成膜体１０を所定の収容位置に移動させるものであれば適宜選定して差し支えないが、収容室と成膜室とは室内環境が通常異なるので、両者の室内環境を維持するように留意する必要がある。
ここで、移動機構２としては、共用する回転保持体４、第１の搬送機構５、第２の搬送機構６、戻し搬送機構７及び収容搬送機構８を備えていればよい。
更にまた、成膜装置３としては、マグネトロンスパッタ装置、イオンビームスパッタ装置などウェブ状成膜対象物を成膜するものを広く含む。
また、装置筐体は収容室と成膜室とを含むものであればよく、収容室はウェブ状成膜対象物１を少なくも収容するものであればよく、両面成膜体１０は所定の収容位置（収容室又は成膜室）に収容するものであればよい。
更に、移動機構２は、収容室と成膜室との間で、ウェブ状成膜対象物１を移動し、成膜後の両面成膜体１０を所定の収容位置に移動させるものであれば適宜選定して差し支えないが、収容室と成膜室とは室内環境が通常異なるので、両者の室内環境を維持するように留意する必要がある。
ここで、移動機構２としては、共用する回転保持体４、第１の搬送機構５、第２の搬送機構６、戻し搬送機構７及び収容搬送機構８を備えていればよい。
更にまた、成膜装置３としては、マグネトロンスパッタ装置、イオンビームスパッタ装置などウェブ状成膜対象物を成膜するものを広く含む。
本実施の形態に係る両面成膜体製造装置を用いれば、図２に示すような製造方法が実施可能である。
つまり、駆動回転され且つ予め決められた温度に調整される回転保持体４にウェブ状成膜対象物１を回転保持させて搬送し、回転保持体４表面に対向して配置された成膜装置３（本例では３ａ，３ｂ）にてウェブ状成膜対象物１の両面を成膜して両面成膜体１０を製造するに際し、図２に示すように、ウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送工程Ａと、第１の搬送工程Ａ中に成膜装置３（本例では３ａ）にてウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜する第１の成膜工程Ｂと、第１の成膜工程Ｂが完了した片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、回転保持体４の回転方向上流側に戻す戻し搬送工程Ｃと、戻し搬送工程Ｃ後に、ウェブ状成膜対象物１’の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送工程Ｄと、第２の搬送工程Ｄ中に成膜装置３（本例では３ｂ）にてウェブ状成膜対象物１’の第２の片面を成膜する第２の成膜工程Ｅと、第２の成膜工程Ｅが完了した両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体１０として収容する収容搬送工程Ｆと、を備え、第１の搬送工程Ａ及び第２の搬送工程Ｄは、回転保持体４に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物１の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物１を搬送するものである。
つまり、駆動回転され且つ予め決められた温度に調整される回転保持体４にウェブ状成膜対象物１を回転保持させて搬送し、回転保持体４表面に対向して配置された成膜装置３（本例では３ａ，３ｂ）にてウェブ状成膜対象物１の両面を成膜して両面成膜体１０を製造するに際し、図２に示すように、ウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送工程Ａと、第１の搬送工程Ａ中に成膜装置３（本例では３ａ）にてウェブ状成膜対象物１の第１の片面を成膜する第１の成膜工程Ｂと、第１の成膜工程Ｂが完了した片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、回転保持体４の回転方向上流側に戻す戻し搬送工程Ｃと、戻し搬送工程Ｃ後に、ウェブ状成膜対象物１’の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物１’を回転保持体４の表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送工程Ｄと、第２の搬送工程Ｄ中に成膜装置３（本例では３ｂ）にてウェブ状成膜対象物１’の第２の片面を成膜する第２の成膜工程Ｅと、第２の成膜工程Ｅが完了した両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体１０として収容する収容搬送工程Ｆと、を備え、第１の搬送工程Ａ及び第２の搬送工程Ｄは、回転保持体４に接触保持されている間におけるウェブ状成膜対象物１の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物１を搬送するものである。
このような製造方法において、第１の搬送工程Ａ、第２の搬送工程Ｄでは、共用する回転保持体４の表面を軸方向に対して２つに区分した領域で夫々並行して使用できればよい。このとき、回転保持体４の２つの区分領域は通常は中央を境として対称的に設けられるが、対称形でない態様も当然含まれる。
また、第１、第２の成膜工程Ｂ，Ｅについては、ウェブ状成膜対象物１の各片面には同じ成膜を行ってもよいし、別の成膜を行ってもよい。
更に、戻し搬送工程Ｃについては、第１の搬送工程Ａと第２の搬送工程Ｄとでウェブ状成膜対象物１の搬送経路が回転保持体４の軸方向に対して変位することから、第１の搬送工程Ａ後、第２の搬送工程Ｄ前の戻し搬送工程Ｃにおいて、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’の位置を変更しながら回転保持体４の回転方向上流側に戻すことが必要である。
また、収容搬送工程Ｆについては、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を搬送し、所定の収容位置に両面成膜体１０として収容するようにすればよい。ここで、収容位置としては、成膜室とは別の収容室に設けてもよいし、成膜室内に設けるようにしてもよい。
また、第１、第２の成膜工程Ｂ，Ｅについては、ウェブ状成膜対象物１の各片面には同じ成膜を行ってもよいし、別の成膜を行ってもよい。
更に、戻し搬送工程Ｃについては、第１の搬送工程Ａと第２の搬送工程Ｄとでウェブ状成膜対象物１の搬送経路が回転保持体４の軸方向に対して変位することから、第１の搬送工程Ａ後、第２の搬送工程Ｄ前の戻し搬送工程Ｃにおいて、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’の位置を変更しながら回転保持体４の回転方向上流側に戻すことが必要である。
また、収容搬送工程Ｆについては、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物１”を搬送し、所定の収容位置に両面成膜体１０として収容するようにすればよい。ここで、収容位置としては、成膜室とは別の収容室に設けてもよいし、成膜室内に設けるようにしてもよい。
このような両面成膜体製造方法の好ましい態様としては、第１の搬送工程Ａ及び第２の搬送工程Ｄは、回転保持体４の回転方向の上流側及び下流側に夫々駆動搬送部材９（本例では９ａ，９ｂ）を有し、上流側の駆動搬送部材９ａと回転保持体４との間、回転保持体４と下流側の駆動搬送部材９ｂとの間に速度差を付与し、ウェブ状成膜対象物１を引張可能な状態で搬送する態様が挙げられる。本例は、回転保持体４に接触保持されるウェブ状成膜対象物１を引張可能な状態で搬送するため、回転保持体４上でウェブ状成膜対象物１にしわが生ずる懸念が少ない。
また、戻し搬送工程Ｃの好ましい態様としては、第１の搬送工程Ａにて搬送されるウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも回転保持体４の軸方向に沿った方向に片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を案内した後、第２の搬送工程Ｄにて搬送されるウェブ状成膜対象物１’の搬送経路に対応する位置にて回転保持体４を迂回する経路を経て回転保持体４の回転方向上流側に戻す態様が挙げられる。本例では、戻し搬送工程Ｃは、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’の回転保持体４の軸方向に対する位置を変更した後に、回転保持体４の回転方向の上流側に戻す態様である。このように、本例では、回転保持体４の回転方向下流側からウェブ状成膜対象物１’を離した直後に回転保持体４の軸方向に対する位置変更を先に行うため、回転保持体４の回転方向上流側に戻ってからウェブ状成膜対象物１’の前述した位置変更を後で行う場合に比べて、戻し搬送工程Ｃに必要な設備が簡略化される点で好ましい。
また、戻し搬送工程Ｃの好ましい態様としては、第１の搬送工程Ａにて搬送されるウェブ状成膜対象物１を回転保持体４の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも回転保持体４の軸方向に沿った方向に片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’を案内した後、第２の搬送工程Ｄにて搬送されるウェブ状成膜対象物１’の搬送経路に対応する位置にて回転保持体４を迂回する経路を経て回転保持体４の回転方向上流側に戻す態様が挙げられる。本例では、戻し搬送工程Ｃは、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物１’の回転保持体４の軸方向に対する位置を変更した後に、回転保持体４の回転方向の上流側に戻す態様である。このように、本例では、回転保持体４の回転方向下流側からウェブ状成膜対象物１’を離した直後に回転保持体４の軸方向に対する位置変更を先に行うため、回転保持体４の回転方向上流側に戻ってからウェブ状成膜対象物１’の前述した位置変更を後で行う場合に比べて、戻し搬送工程Ｃに必要な設備が簡略化される点で好ましい。
次に、両面成膜体製造装置の代表的態様又は好ましい態様について説明する。
先ず、両面成膜体製造装置の代表的態様としては、ウェブ状成膜対象物１が巻出し部材から巻き出され、移動機構２を介して移動し、巻取り部材に巻き取られる所謂ロール・トゥ・ロール方式を採用したものが挙げられる。
また、装置筐体の代表的態様としては、装置筐体の収容室は、成膜前のウェブ状成膜対象物１及び両面成膜体１０を個別又は一緒に収容し、収容室と成膜室との間には両者間を遮断可能なロードロック機構を介在させた態様が挙げられる。
更に、第１、第２の搬送機構の好ましい態様としては、ウェブ状成膜対象物１を、回転保持体４に接触保持させ、かつ、引張した状態で搬送する張力調整手段を有する態様が挙げられる。ここでいう張力調整手段としては、回転保持体４の回転方向の上流側及び下流側に夫々駆動搬送部材９（本例では９ａ，９ｂ）を設け、上流側の駆動搬送部材９ａと回転保持体４及び、回転保持体４と下流側の駆動搬送部材９ｂとの間に速度差を与えることで、ウェブ状成膜対象物１が引張した状態で搬送されるようウェブ状成膜対象物１の張力を調整したり、あるいは、各搬送機構５，６にてウェブ状成膜対象物１を掛け渡す張架部材（案内部材）の一部に張力付与機構を付加する態様など適宜選定して差し支えない。
本例において、張力調整手段の好ましい態様としては、ウェブ状成膜対象物１に対し片面毎に成膜条件に適した張力調整を実施するという観点からすれば、第１の搬送機構５及び第２の搬送機構６に対し夫々個別に作用するものが挙げられる。
先ず、両面成膜体製造装置の代表的態様としては、ウェブ状成膜対象物１が巻出し部材から巻き出され、移動機構２を介して移動し、巻取り部材に巻き取られる所謂ロール・トゥ・ロール方式を採用したものが挙げられる。
また、装置筐体の代表的態様としては、装置筐体の収容室は、成膜前のウェブ状成膜対象物１及び両面成膜体１０を個別又は一緒に収容し、収容室と成膜室との間には両者間を遮断可能なロードロック機構を介在させた態様が挙げられる。
更に、第１、第２の搬送機構の好ましい態様としては、ウェブ状成膜対象物１を、回転保持体４に接触保持させ、かつ、引張した状態で搬送する張力調整手段を有する態様が挙げられる。ここでいう張力調整手段としては、回転保持体４の回転方向の上流側及び下流側に夫々駆動搬送部材９（本例では９ａ，９ｂ）を設け、上流側の駆動搬送部材９ａと回転保持体４及び、回転保持体４と下流側の駆動搬送部材９ｂとの間に速度差を与えることで、ウェブ状成膜対象物１が引張した状態で搬送されるようウェブ状成膜対象物１の張力を調整したり、あるいは、各搬送機構５，６にてウェブ状成膜対象物１を掛け渡す張架部材（案内部材）の一部に張力付与機構を付加する態様など適宜選定して差し支えない。
本例において、張力調整手段の好ましい態様としては、ウェブ状成膜対象物１に対し片面毎に成膜条件に適した張力調整を実施するという観点からすれば、第１の搬送機構５及び第２の搬送機構６に対し夫々個別に作用するものが挙げられる。
◎実施の形態１
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいて本発明をより詳細に説明する。
本実施の形態に係る成膜体製造装置における製造対象は、広くウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体とするものに適用することができるものであるが、その代表的態様として、本実施の形態では、両面金属膜付樹脂フィルムを例に挙げて説明する。
−両面金属膜付樹脂フィルム−
両面金属膜付樹脂フィルムとしては、耐熱性の樹脂フィルム５００の両面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜とが積層された構造体が例示される。このような構造を有する両面金属膜付樹脂フィルムは例えばフレキシブル配線基板に加工される。
本例では、両面金属膜付樹脂フィルムは、図３（ａ）（ｂ）に示すように、耐熱性の樹脂フィルム５００の一方の片面に接着剤を介さずに２層の金属層５０１，５０２を積層し、更に、図３（ｃ）に示すように、片面成膜済みの樹脂フィルム５００の他の片面に同様な２層の金属層５０１，５０２を積層することで、樹脂フィルム５００の両面を成膜した両面成膜体５０５として製造されるものである。
但し、本例では、両面成膜体５０５は、図３（ｄ）に示すように、第２の金属層５０２を更に厚くするために、第２の金属層５０２の表面には予め決められた金属膜（本例ではＣｕ膜）５０３を積層した構造を最終製品としての両面金属膜付樹脂フィルム５０６とするようになっている。
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいて本発明をより詳細に説明する。
本実施の形態に係る成膜体製造装置における製造対象は、広くウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体とするものに適用することができるものであるが、その代表的態様として、本実施の形態では、両面金属膜付樹脂フィルムを例に挙げて説明する。
−両面金属膜付樹脂フィルム−
両面金属膜付樹脂フィルムとしては、耐熱性の樹脂フィルム５００の両面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜とが積層された構造体が例示される。このような構造を有する両面金属膜付樹脂フィルムは例えばフレキシブル配線基板に加工される。
本例では、両面金属膜付樹脂フィルムは、図３（ａ）（ｂ）に示すように、耐熱性の樹脂フィルム５００の一方の片面に接着剤を介さずに２層の金属層５０１，５０２を積層し、更に、図３（ｃ）に示すように、片面成膜済みの樹脂フィルム５００の他の片面に同様な２層の金属層５０１，５０２を積層することで、樹脂フィルム５００の両面を成膜した両面成膜体５０５として製造されるものである。
但し、本例では、両面成膜体５０５は、図３（ｄ）に示すように、第２の金属層５０２を更に厚くするために、第２の金属層５０２の表面には予め決められた金属膜（本例ではＣｕ膜）５０３を積層した構造を最終製品としての両面金属膜付樹脂フィルム５０６とするようになっている。
本例では、第１の金属層５０１はシード層と呼ばれ、電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択され、ニッケル−クロム合金（Ｎｉ−Ｃｒ合金）やインコネルやコンスタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができる。
ここで、第１の金属層５０１としてＮｉ−Ｃｒ合金を例に挙げると、その層厚は５ｎｍ〜５０ｎｍが望ましい。第１の金属層５０１の層厚が５ｎｍ未満である場合、その後の処理工程を経ても金属層５０１の長期的な密着性に問題が生じてしまうほか、配線加工を行う時のエッチング液が染み込み配線部が浮いてしまうことなどにより配線ピール強度（配線と基板との密着性）が著しく低下するなどの懸念もある。一方、第１の金属層５０１の層厚が５０ｎｍを超えるときは、配線部の加工に際して第１の金属層５０１の除去が困難となり、さらには、ヘヤークラックや反りなどを生じて密着強度が低下する懸念があるほか、配線加工時のエッチングを行うことが難しくなるため、やはり好ましくない。
また、第１の金属層５０１の成分組成は、Ｃｒの割合が５〜４０原子％であることが、耐熱性や耐食性の観点から必要であり、より望ましいＣｒの割合は１２〜２２原子％である。すなわち、Ｃｒの割合が５原子％未満であるときは耐熱性が低下してしまい、一方、Ｃｒの割合が４０原子％を超えたときは配線部の加工に際して第１の金属層５０１の除去が困難となるので好ましくない。さらに、このＮｉ−Ｃｒ合金に、耐熱性や耐食性を向上する目的でモリブデンやバナジウム等の他の遷移金属元素を目的や特性に合わせて適宜添加することができる。なお、耐食性、絶縁信頼性の向上や配線部の加工性を考慮して第１の金属層５０１の組成が決められる。
ここで、第１の金属層５０１としてＮｉ−Ｃｒ合金を例に挙げると、その層厚は５ｎｍ〜５０ｎｍが望ましい。第１の金属層５０１の層厚が５ｎｍ未満である場合、その後の処理工程を経ても金属層５０１の長期的な密着性に問題が生じてしまうほか、配線加工を行う時のエッチング液が染み込み配線部が浮いてしまうことなどにより配線ピール強度（配線と基板との密着性）が著しく低下するなどの懸念もある。一方、第１の金属層５０１の層厚が５０ｎｍを超えるときは、配線部の加工に際して第１の金属層５０１の除去が困難となり、さらには、ヘヤークラックや反りなどを生じて密着強度が低下する懸念があるほか、配線加工時のエッチングを行うことが難しくなるため、やはり好ましくない。
また、第１の金属層５０１の成分組成は、Ｃｒの割合が５〜４０原子％であることが、耐熱性や耐食性の観点から必要であり、より望ましいＣｒの割合は１２〜２２原子％である。すなわち、Ｃｒの割合が５原子％未満であるときは耐熱性が低下してしまい、一方、Ｃｒの割合が４０原子％を超えたときは配線部の加工に際して第１の金属層５０１の除去が困難となるので好ましくない。さらに、このＮｉ−Ｃｒ合金に、耐熱性や耐食性を向上する目的でモリブデンやバナジウム等の他の遷移金属元素を目的や特性に合わせて適宜添加することができる。なお、耐食性、絶縁信頼性の向上や配線部の加工性を考慮して第１の金属層５０１の組成が決められる。
また、第２の金属層５０２は配線加工のベース層になるものであり、その層厚は、５０ｎｍ〜１０００ｎｍ以下が望しく、より望ましくは５０ｎｍ〜５００ｎｍである。ここで、第２の金属層５０２には配線加工されて導体となる材料であればよく、代表的には銅が用いられる。
更に、金属膜５０３は、第２の金属層５０２の表面に、当該第２の金属層５０２の層厚を厚くする場合に必要に応じて成膜する。金属膜５０３は、配線加工されて導体となることから銅で形成することが望ましい。ここで、第１の金属層５０１、第２の金属層５０２及び金属膜５０３を含めた厚みは１０ｎｍ〜１２μｍとすることが望ましい。なお、金属膜５０３は、後述する配線パターンの形成方法に応じて、その膜厚を適宜選択し、また、金属膜５０３を設けないことも適宜選択できる。
更に、金属膜５０３は、第２の金属層５０２の表面に、当該第２の金属層５０２の層厚を厚くする場合に必要に応じて成膜する。金属膜５０３は、配線加工されて導体となることから銅で形成することが望ましい。ここで、第１の金属層５０１、第２の金属層５０２及び金属膜５０３を含めた厚みは１０ｎｍ〜１２μｍとすることが望ましい。なお、金属膜５０３は、後述する配線パターンの形成方法に応じて、その膜厚を適宜選択し、また、金属膜５０３を設けないことも適宜選択できる。
樹脂フィルムとしては、例えばポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリアミドイミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。
また、両面金属膜付樹脂フィルム５０６の製造手順としては、樹脂フィルム５００の両面にシード層としての第１の金属層５０１と、各第１の金属層５０１の表面にベース層としての第２の金属層５０２とをスパッタリング法により成膜して両面成膜体５０５を製造し、続いて、各第２の金属層５０２の表面に湿式めっき法により金属膜５０３を成膜することにより最終製品としての両面金属膜付樹脂フィルム５０６を製造するようにすればよい。湿式めっき法は、公知の無電解めっき法や電解めっき法を用いることができ、複数の湿式めっき法を組み合わせてもよい。
尚、本実施の形態では、樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜した両面金属膜付樹脂フィルムを例示したが、金属膜のほかに、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜にも適用できることは勿論である。
また、両面金属膜付樹脂フィルム５０６の製造手順としては、樹脂フィルム５００の両面にシード層としての第１の金属層５０１と、各第１の金属層５０１の表面にベース層としての第２の金属層５０２とをスパッタリング法により成膜して両面成膜体５０５を製造し、続いて、各第２の金属層５０２の表面に湿式めっき法により金属膜５０３を成膜することにより最終製品としての両面金属膜付樹脂フィルム５０６を製造するようにすればよい。湿式めっき法は、公知の無電解めっき法や電解めっき法を用いることができ、複数の湿式めっき法を組み合わせてもよい。
尚、本実施の形態では、樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜した両面金属膜付樹脂フィルムを例示したが、金属膜のほかに、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜にも適用できることは勿論である。
図４は実施の形態１に係る両面成膜体製造装置の全体構成を示す。尚、実施の形態１は本発明が適用される両面成膜体製造装置の基本的構成を示すもので、本発明の要部については実施の形態２以降に詳述する。
−両面成膜体製造装置の全体構成−
本実施の形態では、両面成膜体製造装置は、ウェブ状の長尺樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜して両面成膜体とする製造装置を示し、例えばロール・トゥ・ロール方式の両面成膜可能なスパッタリングウェブコータが用いられる。
すなわち、本例では、両面成膜体製造装置は、装置筐体としての真空チャンバ１００を有し、この真空チャンバ１００は、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６が収容される成膜前収容室１０１と、両面成膜済の長尺樹脂フィルムからなる両面成膜体１０６”が収容される成膜後収容室１０５と、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６の両面に金属膜を成膜する成膜室１０３とを備えている。
ここで、成膜室１０３はスパッタリング法成膜等の減圧条件に耐えられればよくその材質、形状は適宜選択できる。成膜前収容室１０１と成膜室１０３の間には、成膜前収容室１０１が大気解放時に、中空パッキン１０８，１０９により長尺樹脂フィルム１０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室１０２を備えている。また、成膜後収容室１０５と成膜室１０３の間には、成膜後収容室１０５が大気解放時に、中空パッキン１２１、１２２により長尺樹脂フィルム１０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室１０４を備えている。このような差圧室１０２，１０４を用いることにより、成膜室１０３を大気開放することなく、長尺樹脂フィルム１０６や両面成膜体１０６”を交換することが可能である。
−両面成膜体製造装置の全体構成−
本実施の形態では、両面成膜体製造装置は、ウェブ状の長尺樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜して両面成膜体とする製造装置を示し、例えばロール・トゥ・ロール方式の両面成膜可能なスパッタリングウェブコータが用いられる。
すなわち、本例では、両面成膜体製造装置は、装置筐体としての真空チャンバ１００を有し、この真空チャンバ１００は、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６が収容される成膜前収容室１０１と、両面成膜済の長尺樹脂フィルムからなる両面成膜体１０６”が収容される成膜後収容室１０５と、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６の両面に金属膜を成膜する成膜室１０３とを備えている。
ここで、成膜室１０３はスパッタリング法成膜等の減圧条件に耐えられればよくその材質、形状は適宜選択できる。成膜前収容室１０１と成膜室１０３の間には、成膜前収容室１０１が大気解放時に、中空パッキン１０８，１０９により長尺樹脂フィルム１０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室１０２を備えている。また、成膜後収容室１０５と成膜室１０３の間には、成膜後収容室１０５が大気解放時に、中空パッキン１２１、１２２により長尺樹脂フィルム１０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室１０４を備えている。このような差圧室１０２，１０４を用いることにより、成膜室１０３を大気開放することなく、長尺樹脂フィルム１０６や両面成膜体１０６”を交換することが可能である。
また、長尺樹脂フィルム１０６は、成膜前収容室１０１内に設けられた巻出しロール１０７から巻き出されて差圧室１０２を経由して成膜室１０３内に搬送され、差圧室１０４を経由して成膜後収容室１０５内に設けられた巻取りロール１２３に巻き取られるようになっている。尚、巻出しロール１０７と巻取りロール１２３はサーボモータのトルク制御により長尺樹脂フィルム１０６の張力バランスを保っている。
そして、巻出しロール１０７と巻取りロール１２３との間の長尺樹脂フィルム１０６の搬送路上には、モータ駆動され且つ水冷温調された冷媒が内部に循環するキャンロール１１１が配置されている。
更に、キャンロール１１１に対して長尺樹脂フィルム１０６を密着させるために、キャンロール１１１の回転方向上流側及び下流側には、モータ駆動のフィードロール１１０，１１２が配置されている。
そして、巻出しロール１０７と巻取りロール１２３との間の長尺樹脂フィルム１０６の搬送路上には、モータ駆動され且つ水冷温調された冷媒が内部に循環するキャンロール１１１が配置されている。
更に、キャンロール１１１に対して長尺樹脂フィルム１０６を密着させるために、キャンロール１１１の回転方向上流側及び下流側には、モータ駆動のフィードロール１１０，１１２が配置されている。
更に、本例では、キャンロール１１１の近傍には、キャンロール１１１の外周面に対向して複数（本例では４つ）の成膜装置として例えばマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７が設置されている。
本例では、マグネトロンスパッタ装置１２４はニッケル−クロム合金ターゲットをスパッタ対象とし、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７は胴ターゲットをスパッタ対象とし、キャンロール１１１に長尺樹脂フィルム１０６を巻き付けた状態でスパッタ処理を実施するため、成膜中のプラズマに起因した長尺樹脂フィルム１０６の熱的ダメージを低減することが可能である。
本例では、マグネトロンスパッタ装置１２４はニッケル−クロム合金ターゲットをスパッタ対象とし、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７は胴ターゲットをスパッタ対象とし、キャンロール１１１に長尺樹脂フィルム１０６を巻き付けた状態でスパッタ処理を実施するため、成膜中のプラズマに起因した長尺樹脂フィルム１０６の熱的ダメージを低減することが可能である。
＜長尺樹脂フィルムの搬送系＞
また、本実施の形態では、長尺樹脂フィルム１０６の搬送系は、図４及び図５に示すように、長尺樹脂フィルム１０６の第１の片面を成膜対象面とし、キャンロール１１１の軸方向中央Ｃｎを境として２つに区分した表面のうち一方の区分領域Ｒ１に長尺樹脂フィルム１０６を接触保持させて搬送する第１の搬送機構２０１と、長尺樹脂フィルム１０６の第２の片面を成膜対象面とし、キャンロール１１１の軸方向中央Ｃｎを境として２つに区分した表面のうち他方の区分領域Ｒ２に長尺樹脂フィルム１０６を接触保持させて搬送する第２の搬送機構２０２と、第１の搬送機構２０１にて長尺樹脂フィルム１０６を搬送して成膜装置１２４〜１２７による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’をキャンロール１１１の回転方向下流側に位置する下流側フィードロール１１２から離れる方向に搬送した後、キャンロール１１１の回転方向上流側に位置する上流側フィードロール１１０に戻して第２の搬送機構２０２に受け渡す戻し搬送機構２０３と、第２の搬送機構２０２にて長尺樹脂フィルム１０６を搬送して成膜装置１２４〜１２７による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６（両面成膜体）”をキャンロール１１１の回転方向下流側に位置する下流側フィードロール１１２から離れる方向に搬送し、巻取りロール１２３に収容する収容搬送機構２０４と、を備えている。
ここで、第１の搬送機構２０１及び第２の搬送機構２０２は、いずれも上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２を構成要素とするものであるが、前述したように、キャンロール１１１に対する長尺樹脂フィルム１０６の保持領域及び長尺樹脂フィルム１０６の成膜対象面を異ならせるものである。
尚、本例では、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２により搬送される長尺樹脂フィルム１０６，１０６’は同じ成膜装置１２４〜１２７を用いて成膜処理されるようになっている。
更に、収容搬送機構２０４は、第２の搬送機構２０２にて搬送された両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”を下流側フィードロール１１２から離れた方向に向けて掛け渡し巻取りロール１２３へと案内する複数のガイドロール１１９，１２０を有している。
また、本実施の形態では、長尺樹脂フィルム１０６の搬送系は、図４及び図５に示すように、長尺樹脂フィルム１０６の第１の片面を成膜対象面とし、キャンロール１１１の軸方向中央Ｃｎを境として２つに区分した表面のうち一方の区分領域Ｒ１に長尺樹脂フィルム１０６を接触保持させて搬送する第１の搬送機構２０１と、長尺樹脂フィルム１０６の第２の片面を成膜対象面とし、キャンロール１１１の軸方向中央Ｃｎを境として２つに区分した表面のうち他方の区分領域Ｒ２に長尺樹脂フィルム１０６を接触保持させて搬送する第２の搬送機構２０２と、第１の搬送機構２０１にて長尺樹脂フィルム１０６を搬送して成膜装置１２４〜１２７による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’をキャンロール１１１の回転方向下流側に位置する下流側フィードロール１１２から離れる方向に搬送した後、キャンロール１１１の回転方向上流側に位置する上流側フィードロール１１０に戻して第２の搬送機構２０２に受け渡す戻し搬送機構２０３と、第２の搬送機構２０２にて長尺樹脂フィルム１０６を搬送して成膜装置１２４〜１２７による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６（両面成膜体）”をキャンロール１１１の回転方向下流側に位置する下流側フィードロール１１２から離れる方向に搬送し、巻取りロール１２３に収容する収容搬送機構２０４と、を備えている。
ここで、第１の搬送機構２０１及び第２の搬送機構２０２は、いずれも上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２を構成要素とするものであるが、前述したように、キャンロール１１１に対する長尺樹脂フィルム１０６の保持領域及び長尺樹脂フィルム１０６の成膜対象面を異ならせるものである。
尚、本例では、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２により搬送される長尺樹脂フィルム１０６，１０６’は同じ成膜装置１２４〜１２７を用いて成膜処理されるようになっている。
更に、収容搬送機構２０４は、第２の搬送機構２０２にて搬送された両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”を下流側フィードロール１１２から離れた方向に向けて掛け渡し巻取りロール１２３へと案内する複数のガイドロール１１９，１２０を有している。
また、本例では、戻し搬送機構２０３は、図４及び図５に示すように、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’が掛け渡されて所定の案内軌跡に沿って案内される複数のガイドロール１１３〜１１８を有し、これらのガイドロール１１３〜１１８により、下流側フィードロール１１２から離れるように略水平方向に沿って片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を搬送し、キャンロール１１１の軸方向に沿った方向に屈曲搬送した後、キャンロール１１１の第２の区分領域Ｒ２に対応した位置にてキャンロール１１１側に接近する方向に一旦屈曲搬送し、更に、キャンロール１１１を迂回するように、略鉛直下方に搬送した後に、キャンロール１１１の下方を通過してキャンロール１１１の回転方向上流側に戻り、略鉛直上方へと搬送した後に、上流側フィードロール１１０の軸方向中央を境として成膜前の長尺樹脂フィルム１０６の掛け渡し領域とは異なる領域に片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を掛け渡すようにしたものである。
ここで、ガイドロール１１３は、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’がキャンロール１１１の一方の区分領域Ｒ１から他方の区分領域Ｒ２に向かう軸方向に沿った方向に搬送されるように、下流側フィードロール１１２の軸方向に対して約４５°傾斜配置されており、ガイドロール１１４は、キャンロール１１１の軸方向に沿った方向に搬送された長尺樹脂フィルム１０６’が一旦キャンロール１１１側に接近する方向に屈曲搬送されるように、ガイドロール１１３に対して略直交するように傾斜配置されている。尚、ガイドロール１１５〜１１８はいずれもキャンロール１１１の軸方向に沿った方向に配置されている。
ここで、ガイドロール１１３は、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’がキャンロール１１１の一方の区分領域Ｒ１から他方の区分領域Ｒ２に向かう軸方向に沿った方向に搬送されるように、下流側フィードロール１１２の軸方向に対して約４５°傾斜配置されており、ガイドロール１１４は、キャンロール１１１の軸方向に沿った方向に搬送された長尺樹脂フィルム１０６’が一旦キャンロール１１１側に接近する方向に屈曲搬送されるように、ガイドロール１１３に対して略直交するように傾斜配置されている。尚、ガイドロール１１５〜１１８はいずれもキャンロール１１１の軸方向に沿った方向に配置されている。
また、戻し搬送機構２０３の各ガイドロール１１３〜１１８のうち、例えばガイドロール１１３，１１４は片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を屈曲搬送することから、長尺樹脂フィルム１０６’との間の摩擦により長尺樹脂フィルム１０６’に擦り傷が生ずる懸念がある。このような懸念を解消するという観点からすれば、図７（ａ）（ｂ）に示すように、例えばガイドロール１１３，１１４の表面からガスが放出可能なガス放出機構２１０を付加することが好ましい。
ここで、ガス放出機構２１０としては、例えばガイドロール１１３，１１４の軸方向端部にガスロータリージョイント２１１を設け、ガイドロール１１３，１１４の表面付近には軸方向に沿って延びるガス導入路２１２を所定角度間隔に設けると共に、各ガス導入路２１２とガスロータリージョイント２１１とを連結配管２１３にて連結し、更に、各ガス導入路２１２にはガイドロール１１３，１１４の軸方向に沿って所定のピッチ間隔でガス放出孔２１５を連通形成したものである。本例では、各ガス導入路２１２に形成されたガス放出孔２１５はガイドロール１１３，１１４の周方向に対して複数（本例では２つ）に分岐して形成されているため、ガイドロール１１３，１１４に設けられるガス導入路２１２の配列数を少なく抑えても、ガイドロール１１３，１１４の周面にはガスを均等に放出することが可能である。
尚、戻し搬送機構２０３の他のガイドロール１１５〜１１８についてガス放出機構２１０を具備させてもよいことは勿論である。
ここで、ガス放出機構２１０としては、例えばガイドロール１１３，１１４の軸方向端部にガスロータリージョイント２１１を設け、ガイドロール１１３，１１４の表面付近には軸方向に沿って延びるガス導入路２１２を所定角度間隔に設けると共に、各ガス導入路２１２とガスロータリージョイント２１１とを連結配管２１３にて連結し、更に、各ガス導入路２１２にはガイドロール１１３，１１４の軸方向に沿って所定のピッチ間隔でガス放出孔２１５を連通形成したものである。本例では、各ガス導入路２１２に形成されたガス放出孔２１５はガイドロール１１３，１１４の周方向に対して複数（本例では２つ）に分岐して形成されているため、ガイドロール１１３，１１４に設けられるガス導入路２１２の配列数を少なく抑えても、ガイドロール１１３，１１４の周面にはガスを均等に放出することが可能である。
尚、戻し搬送機構２０３の他のガイドロール１１５〜１１８についてガス放出機構２１０を具備させてもよいことは勿論である。
−制御系−
また、本実施の形態では、両面成膜体製造装置は、図６に示すような制御系を備えている。
同図において、両面成膜体製造装置の制御系は、マイクロコンピュータからなる制御装置５０を有し、この制御装置５０によって、巻出しロール１０７及び巻取りロール１２３の駆動を制御し、また、キャンロール１１１の速度及び温調を制御すると共に、上流側及び下流側フィードロール１１０，１１２の駆動、速度を制御し、更に、成膜装置としてのマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理量を制御するようになっている。
そして、この制御装置５０には操作パネル６０が接続され、操作パネル６０を操作することで、長尺樹脂フィルム１０６の搬送速度ｖ、各マグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７の各スパッタ処理量（第１成膜面に対するスパッタ量ＳＰ１、第２成膜面に対するスパッタ量ＳＰ２）を個別に調整することが可能である。
本例では、図６に示すように、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２は、夫々の周速度を夫々ｖｆ，ｖｃ，ｖｒとすると、ｖｆ＜ｖｃ＜ｖｒを満たすように、制御装置５０により長尺樹脂フィルム１０６の搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されている。このため、長尺樹脂フィルム１０６はキャンロール１１１の周囲では搬送方向に引張され、キャンロール１１１表面に接触（密着）させることが可能である。
また、本実施の形態では、両面成膜体製造装置は、図６に示すような制御系を備えている。
同図において、両面成膜体製造装置の制御系は、マイクロコンピュータからなる制御装置５０を有し、この制御装置５０によって、巻出しロール１０７及び巻取りロール１２３の駆動を制御し、また、キャンロール１１１の速度及び温調を制御すると共に、上流側及び下流側フィードロール１１０，１１２の駆動、速度を制御し、更に、成膜装置としてのマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理量を制御するようになっている。
そして、この制御装置５０には操作パネル６０が接続され、操作パネル６０を操作することで、長尺樹脂フィルム１０６の搬送速度ｖ、各マグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７の各スパッタ処理量（第１成膜面に対するスパッタ量ＳＰ１、第２成膜面に対するスパッタ量ＳＰ２）を個別に調整することが可能である。
本例では、図６に示すように、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２は、夫々の周速度を夫々ｖｆ，ｖｃ，ｖｒとすると、ｖｆ＜ｖｃ＜ｖｒを満たすように、制御装置５０により長尺樹脂フィルム１０６の搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されている。このため、長尺樹脂フィルム１０６はキャンロール１１１の周囲では搬送方向に引張され、キャンロール１１１表面に接触（密着）させることが可能である。
−両面成膜体製造装置の作動−
次に、本実施の形態に係る両面成膜体製造装置の作動について説明する。
先ず、図４乃至図６に示すように、操作パネル６０にて両面成膜体製造装置の作動を開始すると、巻出しロール１０７から巻き出された長尺樹脂フィルム１０６は、第１の搬送機構２０１により、成膜室１０３内の上流側フィードロール１１０を経由してキャンロール１１１上の一方の区分領域Ｒ１に掛け渡され、下流側フィードロール１１２を通過する。
このとき、制御装置５０は、前述したように、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の各周速度ｖｆ，ｖｃ，ｖｒを夫々制御するため、長尺樹脂フィルム１０６はキャンロール１１１の周囲では搬送方向に引張され、キャンロール１１１表面に接触（密着）させることが可能である。
この状態において、長尺樹脂フィルム１０６の第１の片面（第１成膜面）はマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理にて成膜され、下流側フィードロール１１２を通過する。
この後、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は、下流側フィードロール１１２から略水平方向に沿って離れるように搬送された後、戻し搬送機構２０３のガイドロール１１３により略９０°屈曲した状態でキャンロール１１１の一方の区分領域Ｒ１から他方の区分領域Ｒ２に対応する位置に至るまで軸方向に沿って搬送されると共に、略９０°屈曲した状態でキャンロール１１１に一旦接近する方向に搬送され、しかる後、ガイドロール１１５〜１１８を順次通過しながらキャンロール１１１の下方を回り込み、再び上流側フィードロール１１０を経由してキャンロール１１１へと搬送される。
このような長尺樹脂フィルム１０６’の戻し搬送過程において、例えばガイドロール１１３，１１４にガス放出機構２１０を付加するようにすれば、長尺樹脂フィルム１０６’とガイドロール１１３，１１４との摩擦による擦り傷の生成は有効に抑えられる点で好ましい。
このように搬送された結果、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は、キャンロール１１１の他方の区分領域Ｒ２に対応した位置に配置され、かつ、第２の片面を成膜対象面としてキャンロール１１１に掛け渡される。
次に、本実施の形態に係る両面成膜体製造装置の作動について説明する。
先ず、図４乃至図６に示すように、操作パネル６０にて両面成膜体製造装置の作動を開始すると、巻出しロール１０７から巻き出された長尺樹脂フィルム１０６は、第１の搬送機構２０１により、成膜室１０３内の上流側フィードロール１１０を経由してキャンロール１１１上の一方の区分領域Ｒ１に掛け渡され、下流側フィードロール１１２を通過する。
このとき、制御装置５０は、前述したように、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の各周速度ｖｆ，ｖｃ，ｖｒを夫々制御するため、長尺樹脂フィルム１０６はキャンロール１１１の周囲では搬送方向に引張され、キャンロール１１１表面に接触（密着）させることが可能である。
この状態において、長尺樹脂フィルム１０６の第１の片面（第１成膜面）はマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理にて成膜され、下流側フィードロール１１２を通過する。
この後、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は、下流側フィードロール１１２から略水平方向に沿って離れるように搬送された後、戻し搬送機構２０３のガイドロール１１３により略９０°屈曲した状態でキャンロール１１１の一方の区分領域Ｒ１から他方の区分領域Ｒ２に対応する位置に至るまで軸方向に沿って搬送されると共に、略９０°屈曲した状態でキャンロール１１１に一旦接近する方向に搬送され、しかる後、ガイドロール１１５〜１１８を順次通過しながらキャンロール１１１の下方を回り込み、再び上流側フィードロール１１０を経由してキャンロール１１１へと搬送される。
このような長尺樹脂フィルム１０６’の戻し搬送過程において、例えばガイドロール１１３，１１４にガス放出機構２１０を付加するようにすれば、長尺樹脂フィルム１０６’とガイドロール１１３，１１４との摩擦による擦り傷の生成は有効に抑えられる点で好ましい。
このように搬送された結果、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は、キャンロール１１１の他方の区分領域Ｒ２に対応した位置に配置され、かつ、第２の片面を成膜対象面としてキャンロール１１１に掛け渡される。
しかる後、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は、第２の搬送機構２０２により、上流側フィードロール１１０を経由してキャンロール１１１上の他方の区分領域Ｒ２に掛け渡され、下流側フィードロール１１２を通過するが、制御装置５０による速度制御により、長尺樹脂フィルム１０６’はキャンロール１１１の周囲では搬送方向に引張され、キャンロール１１１表面に接触（密着）させることが可能である。
この状態において、長尺樹脂フィルム１０６の第２の片面（第２成膜面）はマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理にて成膜され、下流側フィードロール１１２を通過する。
この結果、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”は両面成膜体となり、収容搬送機構２０４のガイドロール１１９，１２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取られる。
本例では、長尺樹脂フィルム１０６には、両面とも同じマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理が実施されるため、長尺樹脂フィルム１０６を挟んで成膜構造が対称形構造として得られる。
このように、本実施の形態によれば、長尺樹脂フィルムを中心とした両面対称膜構造を得るために、１本のキャンロール１１１に対して同方向から第１成膜面と第２成膜面とが通過するロール・トゥ・ロール方式の両面成膜体製造装置にて成膜を行うことが可能になる。それゆえ、キャンロール１１１の軸方向に沿って装置幅を広げることにより、１本のキャンロール１１１を用いた片面成膜体製造装置とほとんど同じ部品点数で、後述する比較の形態１に相当する２本のキャンロールを用いた両面成膜体製造装置と実質的に同じ機能を有することができ、装置製造コストを低減でき、しかも、ターゲット交換等のメンテナンス性にも優れる。
この状態において、長尺樹脂フィルム１０６の第２の片面（第２成膜面）はマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理にて成膜され、下流側フィードロール１１２を通過する。
この結果、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”は両面成膜体となり、収容搬送機構２０４のガイドロール１１９，１２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取られる。
本例では、長尺樹脂フィルム１０６には、両面とも同じマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７によるスパッタ処理が実施されるため、長尺樹脂フィルム１０６を挟んで成膜構造が対称形構造として得られる。
このように、本実施の形態によれば、長尺樹脂フィルムを中心とした両面対称膜構造を得るために、１本のキャンロール１１１に対して同方向から第１成膜面と第２成膜面とが通過するロール・トゥ・ロール方式の両面成膜体製造装置にて成膜を行うことが可能になる。それゆえ、キャンロール１１１の軸方向に沿って装置幅を広げることにより、１本のキャンロール１１１を用いた片面成膜体製造装置とほとんど同じ部品点数で、後述する比較の形態１に相当する２本のキャンロールを用いた両面成膜体製造装置と実質的に同じ機能を有することができ、装置製造コストを低減でき、しかも、ターゲット交換等のメンテナンス性にも優れる。
尚、本例では、両面成膜体は両面が同じ成膜構造であるが、これに限られるものではなく、両面を異なる成膜構造にすることは可能である。また、成膜構造の層数を増加させるという要請がある場合には、キャンロール１１１を大型化して成膜装置のターゲット数を増加するようにすればよい。
また、本例では、両面金属膜付樹脂フィルムを製造する態様が例示されているが、例えばタッチパネルフィルムを成膜する場合には、例えばマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７のターゲットとして、イオブターゲット、シリコンターゲット、透明導電層（ＩＴＯ等）ターゲットを採用するようにすればよい。
更に、本実施の形態では、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を調整する張力調整機構として、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の周速度を調整する手法を採用したが、これに限られるものではなく、例えば上流側フィードロール１１０、下流側フィードロール１１２とは別に張力を付与するためにいずれかのガイドロールをエクスパンドロールとし、フィードロール１１０，１１２とエクスパンドロールとの両者を組み合わせることで、キャンロール１１１の表面に長尺樹脂フィルム１０６，１０６’を接触（密着）させるようにしてもよい。
また、フィードロール１１０，１１２、ガイドロール１１３〜１２０、巻出しロール１０７、巻取りロール１２３間に張力センサロールを配置し、制御装置５０にて張力調整を微調整するようにしてもよい。更に、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６の両面にヒータ加熱による乾燥処理やイオンビーム・プラズマ等を用いた前処理を実施するようにしてもよい。
また、本例では、両面金属膜付樹脂フィルムを製造する態様が例示されているが、例えばタッチパネルフィルムを成膜する場合には、例えばマグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７のターゲットとして、イオブターゲット、シリコンターゲット、透明導電層（ＩＴＯ等）ターゲットを採用するようにすればよい。
更に、本実施の形態では、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を調整する張力調整機構として、上流側フィードロール１１０、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の周速度を調整する手法を採用したが、これに限られるものではなく、例えば上流側フィードロール１１０、下流側フィードロール１１２とは別に張力を付与するためにいずれかのガイドロールをエクスパンドロールとし、フィードロール１１０，１１２とエクスパンドロールとの両者を組み合わせることで、キャンロール１１１の表面に長尺樹脂フィルム１０６，１０６’を接触（密着）させるようにしてもよい。
また、フィードロール１１０，１１２、ガイドロール１１３〜１２０、巻出しロール１０７、巻取りロール１２３間に張力センサロールを配置し、制御装置５０にて張力調整を微調整するようにしてもよい。更に、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６の両面にヒータ加熱による乾燥処理やイオンビーム・プラズマ等を用いた前処理を実施するようにしてもよい。
−両面成膜体の後処理について−
＜湿式めっき法＞
本実施の形態では、前述した両面成膜体製造装置により製造された両面成膜体の両面を更に金属膜で成膜するという後処理が必要に応じて実施される。
この種の後処理としては、得られた両面金属膜付樹脂フィルム（両面成膜体）１０６”の金属膜上に湿式めっき法を用いて金属膜を形成する場合が挙げられる。この場合、電気めっき処理のみで行う場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合がある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
このように、両面金属膜付樹脂フィルム１０６”の金属膜（第２の金属層５０２）の表面に、湿式めっき法により金属膜５０３を更に形成することにより、両面の膜応力の差を低減させた両面金属膜付樹脂フィルムを得ることが可能となる。尚、このようにして、前述した乾式めっき法（スパッタリング法）による金属膜（第１の金属層５０１及び第２の金属層５０２）と、湿式めっき法による金属膜５０３との合計厚さは、厚くとも２０μｍ以下にすることが好ましい。
＜湿式めっき法＞
本実施の形態では、前述した両面成膜体製造装置により製造された両面成膜体の両面を更に金属膜で成膜するという後処理が必要に応じて実施される。
この種の後処理としては、得られた両面金属膜付樹脂フィルム（両面成膜体）１０６”の金属膜上に湿式めっき法を用いて金属膜を形成する場合が挙げられる。この場合、電気めっき処理のみで行う場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合がある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
このように、両面金属膜付樹脂フィルム１０６”の金属膜（第２の金属層５０２）の表面に、湿式めっき法により金属膜５０３を更に形成することにより、両面の膜応力の差を低減させた両面金属膜付樹脂フィルムを得ることが可能となる。尚、このようにして、前述した乾式めっき法（スパッタリング法）による金属膜（第１の金属層５０１及び第２の金属層５０２）と、湿式めっき法による金属膜５０３との合計厚さは、厚くとも２０μｍ以下にすることが好ましい。
＜配線パターン＞
このようにして得られた両面金属膜付樹脂フィルムを用いて、この両面金属膜付樹脂フィルムの少なくとも片面に配線パターンを個別に形成する。また、所定の位置に層間接続のためのヴィアホールを形成して各種用途に用いることもできる。より具体的に説明すると、（１）配線パターンを両面金属膜付樹脂フィルムの少なくとも片面に個別に形成して利用する。（２）配線パターンが形成された両面金属膜付樹脂フィルムで樹脂フィルムを貫通するヴィアホールを形成して利用する。（３）場合によっては、該ヴィアホール内に導電性物質を充填してホール内を導電化して利用する。
そして、上記配線パターンの形成方法としては、公知のサブトラクティブ法やセミアディティブ法を用いることができる。
サブトラクティブ法は、両面金属膜付樹脂フィルムの不要な金属膜（第１の金属層５０１，第２の金属層５０２，金属膜５０３）を化学エッチングで除去して配線パターンを形成するものである。この場合、両面金属膜付樹脂フィルムを準備し、該金属膜上にスクリーン印刷あるいはドライフィルムをラミネートして感光性レジスト膜を形成した後、露光現像して配線パターンの箇所にレジスト膜が残るようにパターニングする。次いで、塩化第２鉄溶液等のエッチング液で該金属膜を選択的にエッチング除去した後、上記レジスト膜を除去して所定の配線パターンを形成する。両面に配線パターン加工することが好ましい。全ての配線パターンを幾つかの配線領域に分割するかどうかは、配線パターンの配線密度の分布等による。例えば、配線パターンを、配線幅と配線間隔がそれぞれ５０μｍ以下の高密度配線領域とその他の配線領域に分け、プリント基板との熱膨張差や取扱い上の都合等を考慮して分割する配線基板のサイズを１０〜６５ｍｍ程度に設定して適宜分割すればよい。
このようにして得られた両面金属膜付樹脂フィルムを用いて、この両面金属膜付樹脂フィルムの少なくとも片面に配線パターンを個別に形成する。また、所定の位置に層間接続のためのヴィアホールを形成して各種用途に用いることもできる。より具体的に説明すると、（１）配線パターンを両面金属膜付樹脂フィルムの少なくとも片面に個別に形成して利用する。（２）配線パターンが形成された両面金属膜付樹脂フィルムで樹脂フィルムを貫通するヴィアホールを形成して利用する。（３）場合によっては、該ヴィアホール内に導電性物質を充填してホール内を導電化して利用する。
そして、上記配線パターンの形成方法としては、公知のサブトラクティブ法やセミアディティブ法を用いることができる。
サブトラクティブ法は、両面金属膜付樹脂フィルムの不要な金属膜（第１の金属層５０１，第２の金属層５０２，金属膜５０３）を化学エッチングで除去して配線パターンを形成するものである。この場合、両面金属膜付樹脂フィルムを準備し、該金属膜上にスクリーン印刷あるいはドライフィルムをラミネートして感光性レジスト膜を形成した後、露光現像して配線パターンの箇所にレジスト膜が残るようにパターニングする。次いで、塩化第２鉄溶液等のエッチング液で該金属膜を選択的にエッチング除去した後、上記レジスト膜を除去して所定の配線パターンを形成する。両面に配線パターン加工することが好ましい。全ての配線パターンを幾つかの配線領域に分割するかどうかは、配線パターンの配線密度の分布等による。例えば、配線パターンを、配線幅と配線間隔がそれぞれ５０μｍ以下の高密度配線領域とその他の配線領域に分け、プリント基板との熱膨張差や取扱い上の都合等を考慮して分割する配線基板のサイズを１０〜６５ｍｍ程度に設定して適宜分割すればよい。
また、上記ヴィアホールの形成方法としては、従来公知の方法が利用でき、例えば、レーザー加工等により、配線パターンの所定の位置に該配線パターンと樹脂フィルムを貫通するヴィアホールを形成する。ヴィアホールの直径は、ホール内の導電化に支障を来たさない範囲内で小さくすることが好ましく、通常１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下にする。ヴィアホール内には、めっき、蒸着、スパッタリング等により銅等の導電性金属を充填あるいは所定の開孔パターンを持つマスクを使用して導電性ペーストを圧入、乾燥し、ホール内を導電化して層間の電気的接続を行う。
セミアディティブ法は、両面金属膜付樹脂フィルムの金属膜の表面に、配線パターンを設けたい箇所のみ湿式めっき法で配線膜を厚く成膜し、その後、ソフトエッチングで不要な金属膜とベース層、シード層となる金属層を除去する配線方法である。この場合、両面金属膜付樹脂フィルムを準備し、該金属膜上にスクリーン印刷あるいはドライフィルムをラミネートして感光性レジスト膜を形成した後、露光現像して配線パターンの箇所が露出するようにレジスト膜が残るようにパターニングする。レジストの露光現像後に湿式めっき法で配線パターンを厚く成膜し、その後、配線パターンに不要な金属膜等をソフトエッチング（化学エッチング）で除去する。ヴィアホールの形成はサブトラクティブ法と同様である。なお、セミアディティブ法で配線パターンを形成する際は、金属膜を湿式めっき法で成膜していない両面金属膜付樹脂フィルムを用いてもよい。
セミアディティブ法は、両面金属膜付樹脂フィルムの金属膜の表面に、配線パターンを設けたい箇所のみ湿式めっき法で配線膜を厚く成膜し、その後、ソフトエッチングで不要な金属膜とベース層、シード層となる金属層を除去する配線方法である。この場合、両面金属膜付樹脂フィルムを準備し、該金属膜上にスクリーン印刷あるいはドライフィルムをラミネートして感光性レジスト膜を形成した後、露光現像して配線パターンの箇所が露出するようにレジスト膜が残るようにパターニングする。レジストの露光現像後に湿式めっき法で配線パターンを厚く成膜し、その後、配線パターンに不要な金属膜等をソフトエッチング（化学エッチング）で除去する。ヴィアホールの形成はサブトラクティブ法と同様である。なお、セミアディティブ法で配線パターンを形成する際は、金属膜を湿式めっき法で成膜していない両面金属膜付樹脂フィルムを用いてもよい。
本実施の形態では、長尺樹脂フィルム１０６の両面にシード層、ベース層となる金属層（第１の金属層５０１，第２の金属層５０２）を成膜した両面金属膜付樹脂フィルムの製造方法を中心に説明してきたが、長尺樹脂フィルム１０６の両面にシード層、ベース層となる金属層をスパッタリング成膜する態様に限定されず、酸化物膜や窒化物膜などをスパッタリング成膜に用いることができるのは勿論である。また、本例では、ロール・トゥ・ロール方式の両面成膜体製造装置の成膜装置は、スパッタ装置に限定されず、蒸着等各種の減圧雰囲気下の成膜装置を用いることができる。
◎比較の形態１
図８は比較の形態１に係る両面成膜体製造装置（２つのキャンロール方式）を示す。
同図において、比較の形態１に係る両面成膜体製造装置は、装置筐体としての真空チャンバ４００として、成膜前の長尺樹脂フィルム４０６を収容する成膜前収容室４０１、長尺樹脂フィルム４０６の第１の片面を成膜する第１の成膜室４０３と、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６’の第２の片面を成膜する第２の成膜室４０５と、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を収容する成膜後収容室４０８とを備えている。
本例では、成膜前収容室４０１と第１の成膜室４０３との間には、成膜前収容室４０１が大気開放時に中空パッキン４３３，４３４により長尺樹脂フィルム４０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室４０２が設けられ、第１の成膜室４０３と第２の成膜室４０５との間は連結室４０４にて連結され、第２の成膜室４０５と成膜後収容室４０８との間には、成膜後収容室４０８が大気開放時に中空パッキン４３５，４３６により両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室４０７が設けられている。
ここで、成膜前収容室４０１には長尺樹脂フィルム４０６を巻出す巻出しロール４３１が設けられ、また、成膜後収容室４０８には両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を巻取る巻取りロール４３２が設けられている。
図８は比較の形態１に係る両面成膜体製造装置（２つのキャンロール方式）を示す。
同図において、比較の形態１に係る両面成膜体製造装置は、装置筐体としての真空チャンバ４００として、成膜前の長尺樹脂フィルム４０６を収容する成膜前収容室４０１、長尺樹脂フィルム４０６の第１の片面を成膜する第１の成膜室４０３と、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６’の第２の片面を成膜する第２の成膜室４０５と、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を収容する成膜後収容室４０８とを備えている。
本例では、成膜前収容室４０１と第１の成膜室４０３との間には、成膜前収容室４０１が大気開放時に中空パッキン４３３，４３４により長尺樹脂フィルム４０６を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室４０２が設けられ、第１の成膜室４０３と第２の成膜室４０５との間は連結室４０４にて連結され、第２の成膜室４０５と成膜後収容室４０８との間には、成膜後収容室４０８が大気開放時に中空パッキン４３５，４３６により両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を挟み真空と大気を遮断するロードロック機構付きの差圧室４０７が設けられている。
ここで、成膜前収容室４０１には長尺樹脂フィルム４０６を巻出す巻出しロール４３１が設けられ、また、成膜後収容室４０８には両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”を巻取る巻取りロール４３２が設けられている。
また、第１の成膜室４０３には、第１のキャンロール４１１及び第１のキャンロール４１１の回転方向上流側及び下流側には夫々フィードロール４１０，４１２が設けられ、また、第１のキャンロール４１１の周囲には複数（本例では４つ）の成膜装置４１５〜４１８が設けられている。
更に、第２の成膜室４０５には、第２のキャンロール４２１及び第２のキャンロール４２１の回転方向上流側及び下流側には夫々フィードロール４２０，４２２が設けられ、また、第２のキャンロール４２１の周囲には複数（本例では４つ）の成膜装置４２５〜４２８が設けられている。
尚、成膜装置４１５〜４１８，４２５〜４２８は例えばマグネトロンスパッタ装置が用いられる。また、符号４１３，４１４は第１の成膜室４０３内に設けられるガイドロール、符号４２３，４２４は第２の成膜室４０５内に設けられるガイドロールである。
本比較の形態によれば、巻出しロール４３１から巻き出された長尺樹脂フィルム４０６は、第１の成膜室４０３内の第１のキャンロール４１１に掛け渡され、複数の成膜装置４１５〜４１８による成膜処理にて長尺樹脂フィルム４０６の第１成膜面が成膜された後、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６’は、連結室４０４を通じて第２の成膜室４０５に搬送され、第２のキャンロール４２１に掛け渡され、複数の成膜装置４２５〜４２８による成膜処理にて長尺樹脂フィルム４０６の第２成膜面が成膜され、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”が巻取りロール４３２に巻き取られる。
このように、本比較の形態では、長尺樹脂フィルム４０６の両面を成膜する上で、２つのキャンロール４１１，４２１及び夫々に成膜装置４１５〜４１８，４２５〜４２８を設置することが必要であり、実施の形態１に係る両面成膜体製造装置に比べて装置構成が複雑であることが理解される。
更に、第２の成膜室４０５には、第２のキャンロール４２１及び第２のキャンロール４２１の回転方向上流側及び下流側には夫々フィードロール４２０，４２２が設けられ、また、第２のキャンロール４２１の周囲には複数（本例では４つ）の成膜装置４２５〜４２８が設けられている。
尚、成膜装置４１５〜４１８，４２５〜４２８は例えばマグネトロンスパッタ装置が用いられる。また、符号４１３，４１４は第１の成膜室４０３内に設けられるガイドロール、符号４２３，４２４は第２の成膜室４０５内に設けられるガイドロールである。
本比較の形態によれば、巻出しロール４３１から巻き出された長尺樹脂フィルム４０６は、第１の成膜室４０３内の第１のキャンロール４１１に掛け渡され、複数の成膜装置４１５〜４１８による成膜処理にて長尺樹脂フィルム４０６の第１成膜面が成膜された後、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６’は、連結室４０４を通じて第２の成膜室４０５に搬送され、第２のキャンロール４２１に掛け渡され、複数の成膜装置４２５〜４２８による成膜処理にて長尺樹脂フィルム４０６の第２成膜面が成膜され、両面成膜済みの長尺樹脂フィルム４０６”が巻取りロール４３２に巻き取られる。
このように、本比較の形態では、長尺樹脂フィルム４０６の両面を成膜する上で、２つのキャンロール４１１，４２１及び夫々に成膜装置４１５〜４１８，４２５〜４２８を設置することが必要であり、実施の形態１に係る両面成膜体製造装置に比べて装置構成が複雑であることが理解される。
◎実施の形態２
図９は実施の形態２に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置の基本的構成は、実施の形態１と略同様であるが、キャンロール１１１の回転方向上流側及び下流側に位置する上流側フィードロール１１０及び下流側フィードロール１１２の構成が実施の形態１と異なっている。尚、実施の形態１と同様な構成要素については実施の形態１と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、上流側フィードロール１１０は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１０ａ，１１０ｂを有し、また、下流側フィードロール１１２は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１２ａ，１１２ｂを有し、第１の搬送機構２０１として、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａを用い、また、第２の搬送機構２０２として、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂを用いるようにしたものである。
そして、制御装置５０は、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１、下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａの周速度ｖｆ１，ｖｃ，ｖｒ１を個別に制御し、また、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１、下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂの周速度ｖｆ２，ｖｃ，ｖｒ２を個別に制御するようになっている。
図９は実施の形態２に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置の基本的構成は、実施の形態１と略同様であるが、キャンロール１１１の回転方向上流側及び下流側に位置する上流側フィードロール１１０及び下流側フィードロール１１２の構成が実施の形態１と異なっている。尚、実施の形態１と同様な構成要素については実施の形態１と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、上流側フィードロール１１０は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１０ａ，１１０ｂを有し、また、下流側フィードロール１１２は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１２ａ，１１２ｂを有し、第１の搬送機構２０１として、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａを用い、また、第２の搬送機構２０２として、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１及び下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂを用いるようにしたものである。
そして、制御装置５０は、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１、下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａの周速度ｖｆ１，ｖｃ，ｖｒ１を個別に制御し、また、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１、下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂの周速度ｖｆ２，ｖｃ，ｖｒ２を個別に制御するようになっている。
本実施の形態によれば、第１の搬送機構２０１は、成膜前の長尺樹脂フィルム１０６をキャンロール１１１に掛け渡して搬送するものであり、第２の搬送機構２０２は、片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’をキャンロール１１１に掛け渡して搬送するものであり、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の強度や、フィードロール１１０，１１２、キャンロール１１１との間の摩擦係数に違いが出ることが多い。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、フィードロール１１０，１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂの周速度を適切に選定することで、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整を個別に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態１に比べてより緻密に調整することが可能である。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、フィードロール１１０，１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂの周速度を適切に選定することで、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整を個別に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態１に比べてより緻密に調整することが可能である。
◎実施の形態３
図１０は実施の形態３に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置の基本的構成は、実施の形態２と略同様であるが、キャンロール１１１の構成が実施の形態２と異なる。尚、実施の形態２と同様な構成要素については実施の形態２と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、上流側フィードロール１１０及び下流側フィードロール１１２は、実施の形態２と略同様に、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１０ａ，１１０ｂ及び１１２ａ，１１２ｂを有しており、更に、キャンロール１１１は、実施の形態２と異なり、図１１に示すように、同軸の回転支軸１４０を有し、この回転支軸１４０に対して夫々軸受１４１，１４２を介して個別に回転可能な複数（本例では２つ）の分割キャンロール１４３，１４４を設け、各分割キャンロール１４３，１４４には夫々別個の駆動モータ１４５，１４６からの駆動力をプーリ、ベルト等からなる駆動伝達機構１４７，１４８を通じて伝達するようになっている。
そして、第１の搬送機構２０１としては、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１の一方の分割キャンロール１４３及び下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａが用いられ、また、第２の搬送機構２０２としては、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１の他方の分割キャンロール１４４及び下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂが用いられる。
図１０は実施の形態３に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置の基本的構成は、実施の形態２と略同様であるが、キャンロール１１１の構成が実施の形態２と異なる。尚、実施の形態２と同様な構成要素については実施の形態２と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、上流側フィードロール１１０及び下流側フィードロール１１２は、実施の形態２と略同様に、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割ロール１１０ａ，１１０ｂ及び１１２ａ，１１２ｂを有しており、更に、キャンロール１１１は、実施の形態２と異なり、図１１に示すように、同軸の回転支軸１４０を有し、この回転支軸１４０に対して夫々軸受１４１，１４２を介して個別に回転可能な複数（本例では２つ）の分割キャンロール１４３，１４４を設け、各分割キャンロール１４３，１４４には夫々別個の駆動モータ１４５，１４６からの駆動力をプーリ、ベルト等からなる駆動伝達機構１４７，１４８を通じて伝達するようになっている。
そして、第１の搬送機構２０１としては、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、キャンロール１１１の一方の分割キャンロール１４３及び下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａが用いられ、また、第２の搬送機構２０２としては、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、キャンロール１１１の他方の分割キャンロール１４４及び下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂが用いられる。
また、制御装置５０は、上流側フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、一方の分割キャンロール１４３、下流側フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａの周速度ｖｆ１，ｖｃ１，ｖｒ１を個別に制御し、また、上流側フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、他方の分割キャンロール１４４、下流側フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂの周速度ｖｆ２，ｖｃ２，ｖｒ２を個別に制御するようになっている。
本実施の形態によれば、前述したように、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とでは、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の強度や、フィードロール１１０，１１２、キャンロール１１１との間の摩擦係数に違いが出ることが多い。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、フィードロール１１０，１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂに加えて、分割キャンロール１４３，１４４の両方の周速度を適切に選定することが可能であるため、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整をより緻密に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態２に比べてより緻密に調整することが可能である。
尚、本実施の形態では、フィードロール１１０，１１２及びキャンロール１１１のいずれをも分割構造として構成するようにしたが、これに限られるものではなく、例えばフィードロール１１０，１１２は分割構造とせずにキャンロール１１１のみを分割構造にしたり、あるいは、フィードロール１１０，１１２のいずれか一方のみを分割構造として個別に周速度を制御するようにしてもよい。
本実施の形態によれば、前述したように、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とでは、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の強度や、フィードロール１１０，１１２、キャンロール１１１との間の摩擦係数に違いが出ることが多い。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、フィードロール１１０，１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂに加えて、分割キャンロール１４３，１４４の両方の周速度を適切に選定することが可能であるため、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整をより緻密に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態２に比べてより緻密に調整することが可能である。
尚、本実施の形態では、フィードロール１１０，１１２及びキャンロール１１１のいずれをも分割構造として構成するようにしたが、これに限られるものではなく、例えばフィードロール１１０，１１２は分割構造とせずにキャンロール１１１のみを分割構造にしたり、あるいは、フィードロール１１０，１１２のいずれか一方のみを分割構造として個別に周速度を制御するようにしてもよい。
◎実施の形態４
図１２及び図１３は実施の形態４に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置は、実施の形態３と略同様であるが、実施の形態３と異なり、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とは長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の搬送方向が異なる方向であり、これに対応して戻し搬送機構２０３、収容搬送機構２０４が構成されている。尚、実施の形態３と同様な構成要素については実施の形態３と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、装置筐体としての真空チャンバ１００は、実施の形態３と略同様に、成膜前収容室１０１と成膜室１０３との間に差圧室１０２を有しているが、実施の形態３と異なり、成膜後収容室１０５は成膜室１０３のうち成膜前収容室１０１と同じ側に差圧室１０４を介して設けられている。
また、フィードロール１１０，１１２及びキャンロール１１１は、実施の形態３と略同様に、いずれも２つの分割構造になっているが、実施の形態３と異なり、第２の搬送機構２０２としてのフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、他方の分割キャンロール１４４及びフィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂは、第１の搬送機構２０１の各要素とは回転方向が逆方向に選定されており、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂを上流側フィードロールとして機能させ、かつ、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂを下流側フィードロールとして機能させている。
ここで、制御装置５０は、フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、一方の分割キャンロール１４３、フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａの周速度ｖｆ１，ｖｃ１，ｖｒ１を個別に制御し、また、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂ、他方の分割キャンロール１４４、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂの周速度ｖｆ２，ｖｃ２，ｖｒ２を個別に制御するようになっている。
図１２及び図１３は実施の形態４に係る両面成膜体製造装置の要部を示す。
同図において、両面成膜体製造装置は、実施の形態３と略同様であるが、実施の形態３と異なり、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とは長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の搬送方向が異なる方向であり、これに対応して戻し搬送機構２０３、収容搬送機構２０４が構成されている。尚、実施の形態３と同様な構成要素については実施の形態３と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態において、装置筐体としての真空チャンバ１００は、実施の形態３と略同様に、成膜前収容室１０１と成膜室１０３との間に差圧室１０２を有しているが、実施の形態３と異なり、成膜後収容室１０５は成膜室１０３のうち成膜前収容室１０１と同じ側に差圧室１０４を介して設けられている。
また、フィードロール１１０，１１２及びキャンロール１１１は、実施の形態３と略同様に、いずれも２つの分割構造になっているが、実施の形態３と異なり、第２の搬送機構２０２としてのフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ、他方の分割キャンロール１４４及びフィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂは、第１の搬送機構２０１の各要素とは回転方向が逆方向に選定されており、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂを上流側フィードロールとして機能させ、かつ、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂを下流側フィードロールとして機能させている。
ここで、制御装置５０は、フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、一方の分割キャンロール１４３、フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａの周速度ｖｆ１，ｖｃ１，ｖｒ１を個別に制御し、また、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂ、他方の分割キャンロール１４４、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂの周速度ｖｆ２，ｖｃ２，ｖｒ２を個別に制御するようになっている。
更に、戻し搬送機構２０３は、フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａから離れる方向に略水平方向に沿って片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を搬送した後に、ガイドロール３１３を経由して当該長尺樹脂フィルム１０６’を略９０°屈曲搬送してキャンロール１１１の軸方向に沿って第２の区分領域Ｒ２に対応する位置まで搬送し、しかる後、キャンロール１１１から更に離れる方向にガイドロール３１４を経由して長尺樹脂フィルム１０６’を略９０°屈曲搬送した後、キャンロール１１１の軸方向に略平行なガイドロール３１５を経由して長尺樹脂フィルム１０６’をフィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂ（上流側フィードロールとして機能）まで搬送するようにしたものである。
更に、収容搬送機構２０４は、第２の搬送機構２０２のフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ（下流側フィードロールとして機能）から離れる方向に両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”をガイドロール３１９，３２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取るようにしたものである。
更にまた、本例では、分割キャンロール１４３，１４４の回転方向が逆方向であるため、一方の分割キャンロール１４３に対向した箇所に複数（本例では２つ）の成膜装置３２４，３２５が設置され、また、他方の分割キャンロール１４４の対向した箇所には複数（本例では２つ）の成膜装置３２６，３２７が設置されている。そして、本例では、各成膜装置３２４〜３２７はいずれもマグネトロンスパッタ装置が用いられ、成膜装置３２４，３２６がシード層である第１の金属層５０１（図３参照）を成膜するものであり、成膜装置３２５，３２７がベース層である第２の金属層５０２（図３参照）を成膜するものである。
更に、収容搬送機構２０４は、第２の搬送機構２０２のフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂ（下流側フィードロールとして機能）から離れる方向に両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”をガイドロール３１９，３２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取るようにしたものである。
更にまた、本例では、分割キャンロール１４３，１４４の回転方向が逆方向であるため、一方の分割キャンロール１４３に対向した箇所に複数（本例では２つ）の成膜装置３２４，３２５が設置され、また、他方の分割キャンロール１４４の対向した箇所には複数（本例では２つ）の成膜装置３２６，３２７が設置されている。そして、本例では、各成膜装置３２４〜３２７はいずれもマグネトロンスパッタ装置が用いられ、成膜装置３２４，３２６がシード層である第１の金属層５０１（図３参照）を成膜するものであり、成膜装置３２５，３２７がベース層である第２の金属層５０２（図３参照）を成膜するものである。
本実施の形態によれば、第１の搬送機構２０１は、フィードロール１１０の一方の分割ロール１１０ａ、分割キャンロール１４３及びフィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａに成膜前の長尺樹脂フィルム１０６を掛け渡して搬送するものであり、フィードロール１１２の一方の分割ロール１１２ａを通過した片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’は戻し搬送機構２０３（ガイドロール３１３〜３１５）を経てフィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂへと搬送される。
しかる後、第２の搬送機構２０２は、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂ、他方の分割キャンロール１４４及びフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂに片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を掛け渡されて搬送するものであり、収容搬送機構２０４は、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂを通過した両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”をガイドロール３１９，３２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取るようにしたものである。
ここで、前述したように、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とでは、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の強度や、フィードロール１１０，１１２、キャンロール１１１との間の摩擦係数に違いが出ることが多い。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’のキャンロール１１１に対する搬送方向が逆方向にはなるが、フィードロール１１０、１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂ並びに分割キャンロール１４３，１４４の周速度を適切に選定することで、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整を個別に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態３と略同様に緻密に調整することが可能である。
しかる後、第２の搬送機構２０２は、フィードロール１１２の他方の分割ロール１１２ｂ、他方の分割キャンロール１４４及びフィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂに片面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６’を掛け渡されて搬送するものであり、収容搬送機構２０４は、フィードロール１１０の他方の分割ロール１１０ｂを通過した両面成膜済みの長尺樹脂フィルム１０６”をガイドロール３１９，３２０を経由して巻取りロール１２３に巻き取るようにしたものである。
ここで、前述したように、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とでは、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の強度や、フィードロール１１０，１１２、キャンロール１１１との間の摩擦係数に違いが出ることが多い。
しかしながら、本実施の形態では、第１の搬送機構２０１と第２の搬送機構２０２とに対し、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’のキャンロール１１１に対する搬送方向が逆方向にはなるが、フィードロール１１０、１１２の分割ロール１１０ａ，１１２ａ及び１１０ｂ，１１２ｂ並びに分割キャンロール１４３，１４４の周速度を適切に選定することで、長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力調整を個別に実施することができる。このため、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２に夫々適した長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の張力を実施の形態３と略同様に緻密に調整することが可能である。
更に、本例では、第１の搬送機構２０１、第２の搬送機構２０２はキャンロール１１１に対して長尺樹脂フィルム１０６，１０６’の搬送方向が逆方向であるため、成膜順序を確保する上で、別々の成膜装置３２４，３２５及び３２６，３２７を適用するようにしているが、例えば第１の成膜処理に際し、成膜装置３２４，３２５に加えて成膜装置３２７を共用し、また、第２の成膜処理に際し、成膜装置３２６，３２７に加えて成膜装置３２５を共用するようにしてもよい。
また、本例では、戻し搬送機構２０３はキャンロール１１１を迂回する経路が不要になるため、実施の形態１〜３に比べて、ガイドロールの設置数を低減することも可能である。
また、本例では、戻し搬送機構２０３はキャンロール１１１を迂回する経路が不要になるため、実施の形態１〜３に比べて、ガイドロールの設置数を低減することも可能である。
以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
＜実施例１＞
図５に示す両面金属膜付樹脂フィルムの製造装置（ロール・トゥ・ロール方式の真空両面成膜装置）を用い、長尺樹脂フィルム１０６には、幅５００ｍｍ、長さ２００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の長尺耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックスＳ（登録商標）」を使用した。
マグネトロンスパッタ装置１２４にはシード層としての第１の金属層５０１のターゲットであるＮｉ−Ｃｒターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を用い、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７にはベース層である第２の金属層５０２のターゲットであるＣｕターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を使用した。
始めに、ドライポンプを用いて５Ｐａまで排気し、次にターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて１×１０−３Ｐａまで排気し、各マグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７のカソード近傍にＡｒガスをそれぞれ２００ｓｃｃｍ導入した。フィルム搬送速度を２ｍ／ｍｉｎにして、マグネトロンスパッタ装置１２４のカソードには５ｋＷ、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７のカソードには８ｋＷのＤＣスパッタ電力を印加した。フィルム搬送速度２ｍ／ｍｉｎに対するキャンロール１１１のフィルム搬送速度を１００％とすると、上流側フィードロール１１０は９９．９５％、下流側フィードロール１１２は１００．０５％に設定した。このように設定したのは、この成膜条件では、長尺樹脂フィルム１０６をキャンロ−ル１１１に密着させるためである。
＜実施例１＞
図５に示す両面金属膜付樹脂フィルムの製造装置（ロール・トゥ・ロール方式の真空両面成膜装置）を用い、長尺樹脂フィルム１０６には、幅５００ｍｍ、長さ２００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の長尺耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックスＳ（登録商標）」を使用した。
マグネトロンスパッタ装置１２４にはシード層としての第１の金属層５０１のターゲットであるＮｉ−Ｃｒターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を用い、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７にはベース層である第２の金属層５０２のターゲットであるＣｕターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を使用した。
始めに、ドライポンプを用いて５Ｐａまで排気し、次にターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて１×１０−３Ｐａまで排気し、各マグネトロンスパッタ装置１２４〜１２７のカソード近傍にＡｒガスをそれぞれ２００ｓｃｃｍ導入した。フィルム搬送速度を２ｍ／ｍｉｎにして、マグネトロンスパッタ装置１２４のカソードには５ｋＷ、マグネトロンスパッタ装置１２５〜１２７のカソードには８ｋＷのＤＣスパッタ電力を印加した。フィルム搬送速度２ｍ／ｍｉｎに対するキャンロール１１１のフィルム搬送速度を１００％とすると、上流側フィードロール１１０は９９．９５％、下流側フィードロール１１２は１００．０５％に設定した。このように設定したのは、この成膜条件では、長尺樹脂フィルム１０６をキャンロ−ル１１１に密着させるためである。
５００ｍ両面成膜後に、長尺樹脂フィルム１０６”の搬送を停止し、Ａｒガス導入を停止し、かつ、各ポンプを停止してからベント（大気開放）し、巻出しロール１０７の長尺樹脂フィルム１０６の終端部を外し、全てのフィルムを巻取りロール１２３に巻き取ってから取り外した。
そして、得られた両面金属膜付樹脂フィルムの一部を切り出し、その第１成膜面（上記フィルムの一方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）および第２成膜面（上記フィルムの他方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）を部分的にエッチングし、かつ、それぞれの面に形成されたシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒ層膜厚とベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕ層膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計により測定した結果、上記第１成膜面と第２成膜面ともＮｉ−Ｃｒ層膜厚は約１５ｎｍ、Ｃｕ層膜厚は約１５０ｎｍ、であった。
そして、得られた両面金属膜付樹脂フィルムの一部を切り出し、その第１成膜面（上記フィルムの一方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）および第２成膜面（上記フィルムの他方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）を部分的にエッチングし、かつ、それぞれの面に形成されたシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒ層膜厚とベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕ層膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計により測定した結果、上記第１成膜面と第２成膜面ともＮｉ−Ｃｒ層膜厚は約１５ｎｍ、Ｃｕ層膜厚は約１５０ｎｍ、であった。
＜実施例２＞
実施の形態２に示すロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置（図９）を用いた以外は、実施例１と同様の条件にて成膜を行った。
＜実施例３＞
実施の形態３に示すロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置（図１０、図１１）を用いた以外は、実施例１と同様に成膜を行った。
実施の形態２に示すロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置（図９）を用いた以外は、実施例１と同様の条件にて成膜を行った。
＜実施例３＞
実施の形態３に示すロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置（図１０、図１１）を用いた以外は、実施例１と同様に成膜を行った。
＜比較例１＞
図８に示す比較の形態１に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置を用い、長尺樹脂フィルム４０６には、幅５００ｍｍ、長さ２００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の長尺耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックスＳ（登録商標）」を使用した。
マグネトロンスパッタ装置４１５，４２５のカソードにはシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を用い、マグネトロンスパッタ装置４１６〜４１８，４２６〜４２８のカソードにはベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を使用した。
始めに、ドライポンプを用いて５Ｐａまで排気し、次にターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて１×１０−３Ｐａまで排気し、各マグネトロンスパッタ装置４１５〜４１８，４２５〜４２８のカソード近傍にＡｒガスをそれぞれ２００ｓｃｃｍ導入した。フィルム搬送速度を２ｍ／ｍｉｎにして、マグネトロンスパッタ装置４１５，４２５のカソードには５ｋＷ、マグネトロンスパッタ装置４１６〜４１８，４２６〜４２８のカソードには６ｋＷのＤＣスパッタ電力を印加した。長尺耐熱性ポリイミドフィルムの搬送速度２ｍ／ｍｉｎに対するキャンロール４１１の回転速度を１００％とすると、上流側フィードロール４１０は９９．９５％、下流側フィードロール４１２は１００．０５％、上流側フィードロール４２０は１００．０５％、キャンロール４２１の回転速度を１００．１０％、下流側フィードロール４２２は１００．１５％に増加設定した。このように設定したのは、この成膜条件では、両面金属膜付樹脂フィルムが伸びる傾向にあったためである。もちろん、収縮する傾向にある両面金属膜付樹脂フィルムならば、減速設定にすればよい。
図８に示す比較の形態１に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置を用い、長尺樹脂フィルム４０６には、幅５００ｍｍ、長さ２００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の長尺耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックスＳ（登録商標）」を使用した。
マグネトロンスパッタ装置４１５，４２５のカソードにはシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を用い、マグネトロンスパッタ装置４１６〜４１８，４２６〜４２８のカソードにはベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕターゲット（住友金属鉱山株式会社製）を使用した。
始めに、ドライポンプを用いて５Ｐａまで排気し、次にターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて１×１０−３Ｐａまで排気し、各マグネトロンスパッタ装置４１５〜４１８，４２５〜４２８のカソード近傍にＡｒガスをそれぞれ２００ｓｃｃｍ導入した。フィルム搬送速度を２ｍ／ｍｉｎにして、マグネトロンスパッタ装置４１５，４２５のカソードには５ｋＷ、マグネトロンスパッタ装置４１６〜４１８，４２６〜４２８のカソードには６ｋＷのＤＣスパッタ電力を印加した。長尺耐熱性ポリイミドフィルムの搬送速度２ｍ／ｍｉｎに対するキャンロール４１１の回転速度を１００％とすると、上流側フィードロール４１０は９９．９５％、下流側フィードロール４１２は１００．０５％、上流側フィードロール４２０は１００．０５％、キャンロール４２１の回転速度を１００．１０％、下流側フィードロール４２２は１００．１５％に増加設定した。このように設定したのは、この成膜条件では、両面金属膜付樹脂フィルムが伸びる傾向にあったためである。もちろん、収縮する傾向にある両面金属膜付樹脂フィルムならば、減速設定にすればよい。
５００ｍ両面成膜後に、長尺樹脂フィルム４０６”の搬送を停止し、Ａｒガス導入を停止し、かつ、各ポンプを停止してからベント（大気開放）し、巻出しロール１０７の長尺樹脂フィルム４０６の終端部を外し、全てのフィルムを巻取りロール１２３に巻き取ってから取り外した。
そして、得られた両面金属ベース層付樹脂フィルムの一部を切り出し、その第１成膜面（上記フィルムの一方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）および第２成膜面（上記フィルムの他方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）を部分的にエッチングし、かつ、それぞれの面に形成されたシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒ層膜厚とベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕ層膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計により測定した結果、上記第１成膜面と第２成膜面ともＮｉ−Ｃｒ層膜厚は約１５ｎｍ、Ｃｕ層膜厚は約１５０ｎｍ、であった。
そして、得られた両面金属ベース層付樹脂フィルムの一部を切り出し、その第１成膜面（上記フィルムの一方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）および第２成膜面（上記フィルムの他方の面に形成された第１の金属層５０１と第２の金属層５０２）を部分的にエッチングし、かつ、それぞれの面に形成されたシード層としての第１の金属層５０１であるＮｉ−Ｃｒ層膜厚とベース層としての第２の金属層５０２であるＣｕ層膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計により測定した結果、上記第１成膜面と第２成膜面ともＮｉ−Ｃｒ層膜厚は約１５ｎｍ、Ｃｕ層膜厚は約１５０ｎｍ、であった。
＜評価＞
実施例１、実施例２、実施例３に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置で作成した両面金属膜付樹脂フィルムと比較例１に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置で作製した両面金属膜付樹脂フィルムとを比較した。
先ず、両面金属膜付樹脂フィルムを１００ｍｍの正方形にそれぞれ１０枚切り抜き、３０倍の電子顕微鏡で１０μｍ以上のピンホールおよび欠陥の数を観察した。その結果、実施例１、実施例２、実施例３と比較例１で成膜した両面金属膜付樹脂フィルムのピンホール数は平均４個であり差違はなかった。
また、１ｍｍ幅のピール強度も実施例１、実施例２、実施例３と比較例１とも８００Ｎ／ｍであり、差違はなかった。
以上のことから、実施例１〜３に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置は、比較例１に係る装置と同等性能の高品質の両面金属膜付樹脂フィルムを簡単な構成で効率よく製造できるため、装置設置面積とメンテナンス時間を削減できることが理解される。
実施例１、実施例２、実施例３に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置で作成した両面金属膜付樹脂フィルムと比較例１に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置で作製した両面金属膜付樹脂フィルムとを比較した。
先ず、両面金属膜付樹脂フィルムを１００ｍｍの正方形にそれぞれ１０枚切り抜き、３０倍の電子顕微鏡で１０μｍ以上のピンホールおよび欠陥の数を観察した。その結果、実施例１、実施例２、実施例３と比較例１で成膜した両面金属膜付樹脂フィルムのピンホール数は平均４個であり差違はなかった。
また、１ｍｍ幅のピール強度も実施例１、実施例２、実施例３と比較例１とも８００Ｎ／ｍであり、差違はなかった。
以上のことから、実施例１〜３に係るロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置は、比較例１に係る装置と同等性能の高品質の両面金属膜付樹脂フィルムを簡単な構成で効率よく製造できるため、装置設置面積とメンテナンス時間を削減できることが理解される。
本発明に係る両面成膜体製造装置は、例えば長尺樹脂フィルムを中心に両面対称膜構造の両面金属膜付樹脂フィルムや、タッチパネルフィルム、反射防止フィルムのような光学薄膜、両面に金属膜を成膜する両面金属膜付樹脂フィルムを製造することができ、長尺樹脂フィルムの両面に例えばシード層としての金属層とベース層としての金属層を成膜する装置として適用することができる。
また、両面金属膜付樹脂フィルムを液晶テレビ、パソコン、携帯電話等のフレキシブル配線に適用でき、タッチパネルフィルムや反射防止膜フィルムも液晶テレビ、パソコン、携帯電話等の表示画面に適用でき、産業上の利用可能性を有している。
また、両面金属膜付樹脂フィルムを液晶テレビ、パソコン、携帯電話等のフレキシブル配線に適用でき、タッチパネルフィルムや反射防止膜フィルムも液晶テレビ、パソコン、携帯電話等の表示画面に適用でき、産業上の利用可能性を有している。
１（１’，１”） ウェブ状成膜対象物
２ 移動機構
３（３ａ，３ｂ） 成膜装置
４ 回転保持体
５ 第１の搬送機構
６ 第２の搬送機構
７ 戻し搬送機構
８ 収容搬送機構
９（９ａ，９ｂ） 駆動搬送部材
１０ 両面成膜体
５０ 制御装置
６０ 操作パネル
１００ 真空チャンバ
１０１ 成膜前収容室
１０２ 差圧室
１０３ 成膜室
１０４ 差圧室
１０５ 成膜後収容室
１０６ 長尺樹脂フィルム
１０６’ 片面成膜済みの長尺樹脂フィルム
１０６” 両面成膜済みの長尺樹脂フィルム
１０７ 巻出しロール
１０８，１０９ 中空パッキン
１１０ （上流側）フィードロール
１１０ａ，１１０ｂ 分割ロール
１１１ キャンロール
１１２ （下流側）フィードロール
１１２ａ，１１２ｂ 分割ロール
１１３〜１２０ ガイドロール
１２１，１２２ 中空パッキン
１２３ 巻取りロール
１２４〜１２７ マグネトロンスパッタ装置（成膜装置）
１４０ 回転支軸
１４１，１４２ 軸受
１４３，１４４ 分割キャンロール
１４５，１４６ 駆動モータ
１４７，１４８ 駆動伝達機構
２０１ 第１の搬送機構
２０２ 第２の搬送機構
２０３ 戻し搬送機構
２０４ 収容搬送機構
２１０ ガス放出機構
２１１ ガスロータリージョイント
２１２ ガス導入路
２１３ 連結配管
２１５ ガス放出孔
３１３，３１４，３１５，３１９，３２０ ガイドロール
３２４〜３２７ マグネトロンスパッタ装置（成膜装置）
４００ 真空チャンバ
４０１ 成膜前収容室
４０２ 差圧室
４０３ 第１の成膜室
４０４ 連結室
４０５ 第２の成膜室
４０６ 長尺樹脂フィルム
４０６’ 片面成膜済みの長尺樹脂フィルム
４０６” 両面成膜済みの長尺樹脂フィルム
４０７ 差圧室
４０８ 成膜後収容室
４１０ 上流側フィードロール
４１１ 第１のキャンロール
４１２ 下流側フィードロール
４１３，４１４ ガイドロール
４１５〜４１８ 成膜装置（マグネトロンスパッタ装置）
４２０ 上流側フィードロール
４２１ 第２のキャンロール
４２２ 下流側フィードロール
４２３，４２４ ガイドロール
４２５〜４２８ 成膜装置（マグネトロンスパッタ装置）
４３１ 巻出しロール
４３２ 巻取りロール
４３３〜４３６ 中空パッキン
５００ 樹脂フィルム
５０１ 第１の金属層
５０２ 第２の金属層
５０３ 金属膜
５０５ 両面成膜体
５０６ 両面金属膜付樹脂フィルム
２ 移動機構
３（３ａ，３ｂ） 成膜装置
４ 回転保持体
５ 第１の搬送機構
６ 第２の搬送機構
７ 戻し搬送機構
８ 収容搬送機構
９（９ａ，９ｂ） 駆動搬送部材
１０ 両面成膜体
５０ 制御装置
６０ 操作パネル
１００ 真空チャンバ
１０１ 成膜前収容室
１０２ 差圧室
１０３ 成膜室
１０４ 差圧室
１０５ 成膜後収容室
１０６ 長尺樹脂フィルム
１０６’ 片面成膜済みの長尺樹脂フィルム
１０６” 両面成膜済みの長尺樹脂フィルム
１０７ 巻出しロール
１０８，１０９ 中空パッキン
１１０ （上流側）フィードロール
１１０ａ，１１０ｂ 分割ロール
１１１ キャンロール
１１２ （下流側）フィードロール
１１２ａ，１１２ｂ 分割ロール
１１３〜１２０ ガイドロール
１２１，１２２ 中空パッキン
１２３ 巻取りロール
１２４〜１２７ マグネトロンスパッタ装置（成膜装置）
１４０ 回転支軸
１４１，１４２ 軸受
１４３，１４４ 分割キャンロール
１４５，１４６ 駆動モータ
１４７，１４８ 駆動伝達機構
２０１ 第１の搬送機構
２０２ 第２の搬送機構
２０３ 戻し搬送機構
２０４ 収容搬送機構
２１０ ガス放出機構
２１１ ガスロータリージョイント
２１２ ガス導入路
２１３ 連結配管
２１５ ガス放出孔
３１３，３１４，３１５，３１９，３２０ ガイドロール
３２４〜３２７ マグネトロンスパッタ装置（成膜装置）
４００ 真空チャンバ
４０１ 成膜前収容室
４０２ 差圧室
４０３ 第１の成膜室
４０４ 連結室
４０５ 第２の成膜室
４０６ 長尺樹脂フィルム
４０６’ 片面成膜済みの長尺樹脂フィルム
４０６” 両面成膜済みの長尺樹脂フィルム
４０７ 差圧室
４０８ 成膜後収容室
４１０ 上流側フィードロール
４１１ 第１のキャンロール
４１２ 下流側フィードロール
４１３，４１４ ガイドロール
４１５〜４１８ 成膜装置（マグネトロンスパッタ装置）
４２０ 上流側フィードロール
４２１ 第２のキャンロール
４２２ 下流側フィードロール
４２３，４２４ ガイドロール
４２５〜４２８ 成膜装置（マグネトロンスパッタ装置）
４３１ 巻出しロール
４３２ 巻取りロール
４３３〜４３６ 中空パッキン
５００ 樹脂フィルム
５０１ 第１の金属層
５０２ 第２の金属層
５０３ 金属膜
５０５ 両面成膜体
５０６ 両面金属膜付樹脂フィルム
Claims (11)
- 駆動回転され且つ予め決められた温度に調整される回転保持体にウェブ状成膜対象物を回転保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の両面を成膜して両面成膜体を製造するに際し、
前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送工程と、
前記第１の搬送工程中に前記成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜する第１の成膜工程と、
前記第１の成膜工程が完了した片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、前記回転保持体の回転方向上流側に戻す戻し搬送工程と、
前記戻し搬送工程後に、前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送工程と、
前記第２の搬送工程中に前記成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜する第２の成膜工程と、
前記第２の成膜工程が完了した両面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体として収容する収容搬送工程と、
を備え、
前記第１の搬送工程及び前記第２の搬送工程は、前記回転保持体に接触保持されている間における前記ウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御して当該ウェブ状成膜対象物を搬送することを特徴とする両面成膜体製造方法。 - 請求項１に記載の両面成膜体製造方法において、
前記第１の搬送工程及び前記第２の搬送工程は、前記回転保持体の回転方向の上流側及び下流側に夫々駆動搬送部材を有し、上流側の前記駆動搬送部材と前記回転保持体との間、前記回転保持体と下流側の前記駆動搬送部材との間に速度差を付与し、前記ウェブ状成膜対象物を引張可能な状態で搬送することを特徴とする両面成膜体製造方法。 - 請求項１に記載の両面成膜体製造方法において、
前記戻し搬送工程は、前記第１の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内した後、前記第２の搬送工程にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置にて前記回転保持体を迂回する経路を経て前記回転保持体の回転方向上流側に戻すことを特徴とする両面成膜体製造方法。 - 成膜前のウェブ状成膜対象物を少なくとも収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、
前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、前記成膜室内で成膜完了した成膜体を予め決められた収容位置に移動させる移動機構と、
前記成膜室内に複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の両面を成膜する成膜装置と、を備え、
前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を接触保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体と、
前記ウェブ状成膜対象物の第１の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち一方の区分領域に接触保持させて搬送する第１の搬送機構と、
前記ウェブ状成膜対象物の第２の片面を成膜対象面とし、当該ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の軸方向に対して２つに区分した表面のうち他方の区分領域に接触保持させて搬送する第２の搬送機構と、
前記第１の搬送機構にて前記ウェブ状成膜対象物を搬送して前記成膜装置による第１の片面の成膜処理が完了すると、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、前記回転保持体の回転方向上流側に戻す戻し搬送機構と、
前記第２の搬送機構にて前記ウェブ状成膜対象物を搬送して前記成膜装置による第２の片面の成膜処理が完了すると、両面成膜済みのウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送し、予め決められた収容位置に両面成膜体として収容する収容搬送機構と、
前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構に対し、前記回転保持体に接触保持されている間における前記ウェブ状成膜対象物の搬送速度を個別に制御する速度制御手段と、
を備えたことを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記ウェブ状成膜対象物は、巻出し部材から巻き出され、前記移動機構を介して移動し、巻取り部材に巻き取られることを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記装置筐体の収容室は、前記成膜前のウェブ状成膜対象物及び前記両面成膜体を個別又は一緒に収容し、
前記収容室と前記成膜室との間には両者間を遮断可能なロードロック機構を介在させたことを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記ウェブ状成膜対象物を、前記回転保持体に接触保持させ、かつ、引張した状態で搬送する張力調整手段を有することを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項７に記載の両面成膜体製造装置において、
前記張力調整手段は、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構に対し夫々個別に作用することを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記回転保持体は、同軸の回転軸に対して個別に回転可能な２つの分割回転保持体を有し、
各分割回転保持体が前記速度制御手段にて個別に制御されることを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記戻し搬送機構は、前記第１の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物を前記回転保持体の回転方向下流側から離れる方向に搬送する経路として、少なくとも前記回転保持体の軸方向に沿った方向に前記ウェブ状成膜対象物を案内する案内経路と、前記ウェブ状成膜対象物が前記案内経路を経て前記第２の搬送機構にて搬送される前記ウェブ状成膜対象物の搬送経路に対応する位置に至った後に、前記回転保持体の回転方向上流側に向かって前記回転保持体を迂回して前記ウェブ状成膜対象物を戻す迂回経路と、を有することを特徴とする両面成膜体製造装置。 - 請求項４に記載の両面成膜体製造装置において、
前記戻し搬送機構は、片面成膜済みのウェブ状成膜対象物が掛け渡される張架部材の少なくとも一部には表面からガスが放出可能な機構を具備させたことを特徴とする両面成膜体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016003256A JP6662048B2 (ja) | 2016-01-12 | 2016-01-12 | 両面成膜体製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2016003256A JP6662048B2 (ja) | 2016-01-12 | 2016-01-12 | 両面成膜体製造方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2017125222A JP2017125222A (ja) | 2017-07-20 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2016003256A Active JP6662048B2 (ja) | 2016-01-12 | 2016-01-12 | 両面成膜体製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP6662048B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019038136A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面金属積層板及びその製造方法 |
| JP7006229B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2022-01-24 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面銅張積層板の製造方法 |
| JP7062620B2 (ja) * | 2019-08-23 | 2022-05-06 | 芝浦機械株式会社 | 両面同形状転写装置および両面同形状転写方法 |
| CN115369364A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-22 | 松山湖材料实验室 | 曲面薄膜沉积方法及其装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3240327B2 (ja) * | 1993-10-04 | 2001-12-17 | 株式会社ヒラノテクシード | ウエブターン装置 |
| JPH07331438A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-19 | Kao Corp | 金属膜体の製造装置 |
| JP5659807B2 (ja) * | 2011-01-17 | 2015-01-28 | 住友金属鉱山株式会社 | ロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置および両面金属ベース層付樹脂フィルム製造装置 |
-
2016
- 2016-01-12 JP JP2016003256A patent/JP6662048B2/ja active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017125222A (ja) | 2017-07-20 |
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