JP6662013B2 - 面発光レーザ、面発光レーザアレイ、レーザ装置、点火装置、内燃機関、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール、及び光伝送システム - Google Patents
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Description
0.04≦x2≦2.80x1−1.92 ……(2)
(1)Eg5−Eg4が102[meV]以上であり、かつ
(2)上部スペーサ層のAl含有量x3が0.55以下であり、かつ
(3)AlGaInP層のAl含有量x2がΔEv4≦134[meV]となる範囲(図24に示される▲点よりもAl含有量が低い側)であり、かつ
(4)AlGaInP層のAl含有量x2が上記(2)式を満足すること
となる。
図30には、一実施形態に係る内燃機関としてのエンジン300の主要部が模式図的に示されている。
(1)燃料噴出機構302が、燃料と空気の可燃性混合気を燃焼室304内に噴出させる(吸気)。
(2)ピストン305が上昇し、可燃性混合気を圧縮する(圧縮)。
(3)点火装置301が、燃焼室304内にレーザ光を射出する。これにより、燃料に点火される(着火)。
(4)燃焼ガスが発生し、ピストン305が降下する(燃焼)。
(5)排気機構303が、燃焼ガスを燃焼室304外へ排気する(排気)。
一例として図33(A)及び図33(B)にレーザ装置としてのレーザアニール装置2500の概略構成が示されている。このレーザアニール装置2500は、光源2510、光学系2520、テーブル装置2530、及び不図示の制御装置などを備えている。
一例として図34にレーザ装置としてのレーザ加工機3000の概略構成が示されている。このレーザ加工機3000は、光源3010、光学系3100、対象物Pが載置されるテーブル3150、テーブル駆動装置3160、操作パネル3180及び制御装置3200などを備えている。
図35には、画像形成装置としてのレーザプリンタ500の概略構成が示されている。
次に、前記光走査装置900の構成について説明する。
図39には、光伝送システム1000の概略構成が示されている。この光伝送システム1000は、光伝送モジュールとしての光送信モジュール1001と、光受信モジュール1005とが光ファイバケーブル1004で接続されており、光送信モジュール1001から光受信モジュール1005への一方向の光通信が可能となっている。
Claims (20)
- 活性層と、
前記活性層上にスペーサ層を介して設けられ、被選択酸化層が選択酸化されて形成された電流狭窄層を含む反射鏡とを備え、
前記電流狭窄層の中心は、前記活性層で発振した光の電界の定在波分布における節の位置であって、前記スペーサ層と前記反射鏡との境界からの光学的距離が前記活性層での発振波長の1/4倍となる位置であり、
前記被選択酸化層は、AlGaAsからなる層であり、
前記反射鏡は、前記被選択酸化層に接するAlGaInP層を含む面発光レーザ。 - 前記AlGaInP層は、前記被選択酸化層の両側に設けられ、
該両側のAlGaInP層と前記被選択酸化層とを合わせた光学的厚さが、前記活性層での発振波長をλとすると、(2n+1)λ/4(nは自然数)であることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。 - 前記AlGaInP層は、前記被選択酸化層の前記活性層側にのみ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。
- 前記被選択酸化層は、Alx1Ga1−x1Asからなり、
Al含有量x1が、0.95≦x1≦1の関係を満足し、
前記AlGaInP層は、(Alx2Ga1−x2)0.5In0.5Pからなり、
Al含有量x2が、0.04≦x2≦2.80x1−1.92の関係を満足することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の面発光レーザ。 - 前記スペーサ層は(Alx3Ga1−x3)0.5In0.5Pからなり、
Al含有量x3が、0≦x3≦0.55の関係を満足し、
前記AlGaInP層のバンドギャップエネルギーと前記スペーサ層のバンドギャップエネルギーとの差分が、102[meV]以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザ。 - 前記スペーサ層と前記AlGaInP層との価電子帯におけるバンド不連続量ΔEv4が134[meV]以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザ。
- 前記活性層は、基板上に複数の半導体層を介して設けられ、
前記基板は傾斜基板であり、法線方向が結晶方位[1 0 0]方向に対して、結晶方位[1 1 1]方向、結晶方位[1 ―1 ―1]方向、結晶方位[1 1 −1]方向、結晶方位[1 −1 1]方向のいずれかの方向に向かって傾斜していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の面発光レーザ。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の面発光レーザを、複数有する面発光レーザアレイ。
- 対象物にレーザ光を照射するレーザ装置であって、
請求項8に記載の面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザアレイから射出されるレーザ光を前記対象物に導光する光学系と、を備えるレーザ装置。 - 請求項8に記載の面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザアレイから射出されるレーザ光を集光する光学系と、を備えるレーザ装置。 - 前記面発光レーザアレイと前記光学系との間に設けられたマイクロレンズアレイを有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ装置。
- 前記光学系を介した光を伝送する伝送部材を有することを特徴とする請求項10又は11に記載のレーザ装置。
- 請求項8に記載の面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザアレイからのレーザ光が入射されるレーザ共振器と、を備えるレーザ装置。 - 請求項13に記載のレーザ装置と、
前記レーザ装置から射出されるレーザ光を集光する光学系と、を備える点火装置。 - 燃料を燃焼させて燃焼ガスを生成する内燃機関において、
前記燃料に点火するための請求項14に記載の点火装置を備えていることを特徴とする内燃機関。 - 光によって被走査面上を走査する光走査装置であって、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の面発光レーザを有する光源と、
前記光源からの光を偏向する光偏向器と、
前記光偏向器で偏向された光を被走査面上に集光する走査光学系と、を備える光走査装置。 - 光によって被走査面上を走査する光走査装置であって、
請求項8に記載の面発光レーザアレイを有する光源と、
前記光源からの光を偏向する光偏向器と、
前記光偏向器で偏向された光を被走査面上に集光する走査光学系と、を備える光走査装置。 - 像担持体と、
前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する請求項16又は17に記載の光走査装置と、を備える画像形成装置。 - 入力される電気信号に応じた光信号を生成する光伝送モジュールであって、
請求項8に記載の面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザアレイを、前記入力される電気信号に応じて駆動する駆動装置と、を備える光伝送モジュール。 - 請求項19に記載の光伝送モジュールと、
前記光伝送モジュールで生成された光信号を伝達する光伝達媒体と、
前記光伝達媒体を介した光信号を電気信号に変換する変換器と、を備える光伝送システム。
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