JP6627002B1 - ワークの切断方法及びワークの切断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
未使用(新品)のワイヤーガイドとして、溝上部の第1開き角度(θ1)が90度、溝下部の第2開き角度(θ2)が40度、溝下部の深さが130μm、溝下部の溝間口の溝幅(W0,max)が140μm、溝底部の曲率半径Rが0.030mmの、各溝形状パラメータを有するものを使用した。このようなワイヤーガイドに、0.13mmのワイヤー径(φ0)を有する未使用(新品)のワイヤーを設置すると、ワイヤーは、ワイヤーガイドの溝下部の溝壁に接し、かつ、溝底部に接触しない状態で設置された(図3参照)。
未使用(新品)のワイヤーガイドとして、溝の横断面形状がV溝1段であり、溝の開き角度が90度、ワイヤーガイド外表面での溝幅が0.6mm(600μm)のものを使用した点を除いて、実施例1と同じ条件で切断加工、及び、切断して得たシリコンウェーハの形状測定を行った。比較例1で用いたワイヤーガイドにワイヤーを設置すると、図5に示すような状態となった。ワイヤーを溝内に設置した時点で、ワイヤーは溝内で横方向に、いわゆる遊びを有していた。
未使用(新品)のワイヤーガイドとして、溝上部の第1開き角度(θ1)が90度、溝下部の第2開き角度(θ2)が40度、溝下部の深さが130μm、溝下部の溝間口の溝幅(W0,max)が190μm、溝底部の曲率半径Rが0.065mmの、各溝形状パラメータを有するものを使用した。このようなワイヤーガイドに、0.13mmのワイヤー径(φ0)を有する新品のワイヤーを設置すると、ワイヤーとワイヤーガイドの溝底部が接触した状態となった(図6参照)。ワイヤーを溝内に設置した時点で、ワイヤーは溝内で横方向に、いわゆる遊びを有していた。これ以外は、実施例1と同じ条件で切断加工、及び、切断して得たシリコンウェーハの形状測定を行った。
103,103’…ワイヤーリール、 104…インゴット(ワーク)、
105…溝上部、 106…溝下部、 107…側壁、 108…溝底部、
111…ワイヤー列。
Claims (8)
- 互いの回転軸方向が平行となるように複数設置した円筒状のワイヤーガイドにワイヤーを螺旋状に巻掛けてワイヤー列を形成し、前記ワイヤーを軸方向に走行させながら、ワークを前記ワイヤー列に押し当てて、同時に複数箇所でウェーハ状に切断する方法であって、
前記ワイヤーガイドは、外表面に、回転方向に沿って所定のピッチで形成された複数の溝を有し、
未使用の前記ワイヤーガイドにおける前記溝の横断面形状は、少なくとも、ワイヤーガイド外表面側に位置し、対向する溝壁が第1の開き角度(θ1)を有する溝上部と、該溝上部の下に位置し、対向する溝壁が第2の開き角度(θ2)を有する溝下部と、前記溝の下端に位置する溝底部とを備え、
前記第1の開き角度(θ1)と前記第2の開き角度(θ2)とが、θ1>θ2の関係にあり、
前記未使用のワイヤーガイドの前記溝下部の溝幅の最大値(W0,max)が、未使用のワイヤーのワイヤー径(φ0)以上であり、前記未使用のワイヤーガイドの前記溝下部の前記溝幅の最小値(W0,min)が、前記未使用のワイヤーのワイヤー径(φ0)未満の関係にある、前記未使用のワイヤーと前記未使用のワイヤーガイドを用い、
前記未使用のワイヤーを、前記未使用のワイヤーガイドの前記溝下部の前記溝壁に接し、かつ、前記溝底部に接触しない状態で設置し、
前記ワイヤーが前記溝底部に接触しない状態で、前記ワークの切断を開始することを特徴とするワークの切断方法。 - 前記溝底部の横断面形状が、円弧状、V字状又は平坦であるワイヤーガイドを用いることを特徴とする請求項1に記載のワークの切断方法。
- 前記ワークの切断の進行に伴い、前記ワイヤーが前記溝壁を切削することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワークの切断方法。
- 前記ワークの切断の進行に伴い、前記ワイヤーが前記溝底部に接触し、前記溝底を切削することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のワークの切断方法。
- 前記未使用のワイヤーガイドとして、前記複数の溝における前記溝下部の溝幅の最大値(W0,max)、及び/又は、第2の開き角度(θ2)を、前記ワイヤーの進行方向に向けて、徐々に小さくなるように変化させたものを用いることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のワークの切断方法。
- 互いの回転軸方向が平行となるように所定間隔を隔てて配置され、外表面にそれぞれ所定のピッチで溝が形成された複数の円筒状のワイヤーガイドと、
前記ワイヤーガイドの溝に所定のピッチで螺旋状に巻き掛けられたワイヤーにより形成されるワイヤー列と、
を具備し、
前記ワイヤーガイドを回転させることで前記ワイヤーを軸方向に走行させながら、ワークを前記ワイヤー列に押し当てて、同時に複数箇所でウェーハ状に切断する切断装置であって、
未使用の前記ワイヤーガイドにおける前記溝の横断面形状は、少なくとも、ワイヤーガイド外表面側に位置し、対向する溝壁が第1の開き角度(θ1)を有する溝上部と、該溝上部の下に位置し、対向する溝壁が第2の開き角度(θ2)を有する溝下部と、前記溝の下端に位置する溝底部とを備え、
前記第1の開き角度(θ1)と前記第2の開き角度(θ2)とが、θ1>θ2の関係にあるものであり、
未使用の前記ワイヤーと前記未使用のワイヤーガイドは、前記未使用のワイヤーガイドの前記溝下部の溝幅の最大値(W0,max)が、前記未使用のワイヤーのワイヤー径(φ0)以上であり、前記未使用のワイヤーガイドの前記溝下部の前記溝幅の最小値(W0,min)が、前記未使用のワイヤーのワイヤー径(φ0)未満の関係にあり、
前記未使用のワイヤーが前記溝下部の前記溝壁に接するように設置されたときに、前記未使用のワイヤーと前記未使用のワイヤーガイドの前記溝底部とが接触しないものであることを特徴とするワークの切断装置。 - 前記未使用のワイヤーガイドの前記溝底部の横断面形状が、円弧状、V字状又は平坦であることを特徴とする請求項6に記載のワークの切断装置。
- 前記未使用のワイヤーガイドは、前記複数の溝における前記溝下部の溝幅の最大値(W0,max)、及び/又は、第2の開き角度(θ2)が、前記ワイヤーの進行方向に向けて、徐々に小さくなるように変化したものであることを特徴とする請求項6又は請求項7のいずれか一項に記載のワークの切断装置。
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