JP6622604B2 - ガスセンサ及びガスセンサの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、被検出ガスの濃度を検出するセンサ素子を備えたガスセンサ及びガスセンサの製造方法に関する。
自動車等の排気ガス中の酸素やNOxの濃度を検出するガスセンサとして、固体電解質体を用いたセンサ素子を有するものが一般に知られている。
この種のガスセンサとして、従来から、排気管に固定される筒状の主体金具(ハウジング)内に滑石粉末を充填して板状のセンサ素子を保持し、その一端を被測定ガスに晒す構造のセンサが知られている。
又、主体金具とセンサ素子の間に内筒を配し、この内筒の内側に滑石粉末を充填してセンサ素子を保持し、さらにセンサ素子を保持した内筒を主体金具の内側に収容した構造のセンサも開発されている(特許文献1)。
ドイツ国特許出願公開第10 2004 048 597 A1号(図1、図3)
図7は、主体金具内にセンサ素子を保持する一般的な構造のガスセンサの横断面図を示す。図7に示すように、主体金具1300の内孔は断面が円形であるのに対し、センサ素子100の断面は矩形である。このため、センサ素子100の主面(広幅の面)100mと主体金具1300の内孔との隙間は、センサ素子100の幅方向の中央部で広がり両端で狭まっており、滑石粉末1370を圧縮したときの圧力Pが中央部に逃げ、センサ素子100両端の角部E近傍の部位に十分に滑石粉末1370が流れず、又、角部E付近の滑石の厚みが薄くなり、角部Eで滑石が崩れてセンサ素子100の保持が不十分となることがある。
一方、図8は、特許文献1の図3を表しており、主体金具1310とセンサ素子100の間に内筒1350を配し、この内筒1350の内孔に滑石粉末1370を充填してセンサ素子100を保持している。このガスセンサでは、内筒1350の内孔のうちセンサ素子100の主面100mと対向する側の断面形状を主面と平行な直線とし、さらに、センサ素子100の主面と隣接する面100jと対向する側をセンサ素子100から十分に離間させている。このため、図7のガスセンサに比べ、滑石粉末1370がセンサ素子100と内筒1350との隙間に十分に流れるものの、センサ素子100の面100j側と内筒1350との隙間が広いため、主体金具1310、ひいてはガスセンサが大型になるという問題がある。
そこで、本発明は、圧縮粉末体を確実に圧縮充填してセンサ素子を安定して保持すると共に、小型化を実現できるガスセンサ及びガスセンサの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサは、対向する2つの主面を有する板状をなして軸線方向に延び、先端側にガスを検知する検知部が形成されたセンサ素子と、当該センサ素子の前記検知部を露出させた状態で、前記センサ素子が挿通される矩形断面の挿通孔を有する筒状のホルダと、前記センサ素子の外面と、前記ホルダの前記挿通孔の内面との間に充填されて前記センサ素子を保持する圧縮粉末体と、を備えたガスセンサであって、前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面とは、ほぼ平行に対向し、前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面との距離d1が、前記センサ素子の前記主面に隣接する面と前記挿通孔の内面との距離d2よりも長くなっている。
このガスセンサによれば、矩形断面をなす挿通孔の内面がセンサ素子の主面とほぼ平行に対向する。これにより、挿通孔が円形断面の場合に比べてセンサ素子の主面との隙間がセンサ素子の幅方向の中央部で広がることがなく、圧縮粉末体を圧縮したときの圧力が中央部に逃げずに挿通孔に沿ってセンサ素子の両端まで作用する。このため、センサ素子の両端側でも圧縮粉末体が十分に圧縮され、圧縮粉末体が崩れてセンサ素子の保持が不十分となることを抑制できる。
また、距離d1>d2としているので、センサ素子の主面に隣接する面側で挿通孔との間隔を狭めることができ、ホルダ、ひいてはガスセンサを小型化することができる。
前記センサ素子は、前記軸線方向に直交する素子断面が矩形をなし、且つ、前記2つの主面が前記素子断面における長辺をなし、前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記長辺は前記挿通孔の内面のうちの長辺と対向してもよい。
このガスセンサによれば、更なる小型化を実現できる。
前記ホルダはセラミックホルダであり、さらに、前記セラミックホルダの径方向周囲を取り囲みつつ、自身の内側に前記セラミックホルダを保持する筒状の主体金具と、前記圧縮粉末体の後端に接した状態で、前記センサ素子の外面と、前記セラミックホルダの内面との間をシールするガラス部材と、を備えてなってもよい。
このガスセンサによれば、圧縮粉末体によるシールが不十分であっても、圧縮粉末体の後端に接したガラス部材がシール性を確保できる。
前記ホルダは主体金具であってもよい。
このガスセンサによれば、主体金具がホルダを兼用するので、部品点数を低減できる。
前記センサ素子の前記主面の後端部に電極パッドが配置され、前記センサ素子よりも後端側に、前記電極パッドと電気的に接続する接続端子を有するセパレータが配置されていてもよい。
電極パッドと端子金具を電気的に接続する場合には、センサ素子がホルダ内で軸線方向にまっすぐ保持されていないと、電気的接続が不良となったり、センサ素子の後端部が斜めにセパレータに挿入されてセンサ素子が破損するおそれがある。そこで、このガスセンサによれば、圧縮粉末体によりセンサ素子をセラミックホルダ内に確実に保持するので、このような構造のセンサに特に有効となる。
本発明のガスセンサの製造方法は、対向する2つの主面を有する板状をなして軸線方向に延び、先端側にガスを検知する検知部が形成されたセンサ素子を、筒状のホルダの矩形断面の挿通孔に挿通して前記検知部を露出させるセンサ素子挿通工程と、前記センサ素子挿通工程の前又は後に、前記主面に、板状に予備成形された圧縮粉末体の予備成形体をそれぞれ重ね合わせる重ね合わせ工程と、前記予備成形体を圧縮し、前記センサ素子の外面と、前記ホルダの前記挿通孔の内面との間に前記圧縮粉末体を充填して前記センサ素子を保持する充填工程と、を有するガスセンサの製造方法であって、前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面との距離d1が、前記センサ素子の前記主面に隣接する面と前記挿通孔の内面との距離d2よりも長くなっている。
このガスセンサの製造方法によれば、板状に予備成形された2枚の圧縮粉末体の予備成形体を、センサ素子の両主面にそれぞれ重ねればよいので、生産効率が向上する。また、圧縮粉末体の粉末をホルダとセンサ素子の隙間に投入する場合に比べ、センサ素子の主面側の隙間に確実に圧縮粉末体を流入することができ、センサ素子を圧縮粉末体でより確実に保持できる。
この発明によれば、圧縮粉末体を確実に圧縮充填してセンサ素子を安定して保持すると共に、小型化を実現できるガスセンサが得られる。
本発明の実施形態に係るガスセンサ(酸素センサ)の長手方向に沿う断面図である。 セラミックホルダの断面斜視図である。 図1のA−A線に沿う断面図である。 本発明の実施形態に係るガスセンサの製造方法の工程図である。 圧縮粉末体の予備成形体を圧縮するプレスピンを示す斜視図である。 セラミックホルダの別の実施形態を示す断面図である。 従来のガスセンサの横断面図である。 特許文献1記載のガスセンサの横断面図である。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は本発明の実施形態に係るガスセンサ(酸素センサ)1の長手方向(軸線O方向)に沿う断面図である。
図1に示すように、ガスセンサ1は、軸線O方向に延びる断面が矩形で板状のセンサ素子(酸素センサ素子)100、センサ素子100が挿通される筒状のセラミックホルダ35、セラミックホルダ35の周囲を取り囲む主体金具30、第1の圧縮粉末体37、第2の圧縮粉末体38、ガラス部材39等を有している。センサ素子100は軸線O方向に延びるように配置されている。
セラミックホルダ35、第2の圧縮粉末体38がそれぞれ特許請求の範囲の「ホルダ」、「圧縮粉末体」に相当する。
センサ素子100は公知の酸素センサ素子であり、詳細な説明は行わないが、固体電解質体の表面に一対の電極を有する検知部を先端側に備え、検知部が被測定ガスに晒されることで、信号を出力する。この信号を図示しない外部回路に出力することで、被測定ガス中の酸素濃度を検知する。さらに、ガスセンサ素子100の検知部は、耐被水性及び耐被毒性を有する多孔質保護層20で覆われている。
なお、センサ素子100の対向する2つの主面100mは、図1の紙面に垂直な方向に延びている。
主体金具30は、SUS430等のステンレス製のものであり、ガスセンサを排気管に取り付けるための雄ねじ部31と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部32とを有している。また、主体金具30には、径方向内側に向かって突出する段部33が先端側に周方向にわたって設けられており、この段部33はセンサ素子100を内挿したセラミックホルダ35を保持している。
図2に示すように、セラミックホルダ35は、胴部35cから外側段部35bを介して先端部35aが拡径するキノコ状をなしている。セラミックホルダ35の中心にはセンサ素子100が挿通される軸孔35hが貫通している。軸孔35hは、先端側にセンサ素子100の断面よりやや大きい矩形断面の細孔35h1を有し、後端側には細孔35h1の長辺側が拡径する略正方形断面の拡孔35h2を有しており、細孔35h1と拡孔35h2は内側段部35dを介して繋がっている。
なお、後述するように、拡孔35h2に第2の圧縮粉末体38が充填されているので、拡孔35h2が特許請求の範囲の「挿通孔」に相当する。
そして、外側段部35bよりも後端側で、セラミックホルダ35の外面と、主体金具30の内面との間に、滑石からなる第1の圧縮粉末体37と、金属リング34とが先端側から順に配置されている。主体金具30の後端部30eは径方向内側に向かって折り曲げるように加締められ、後端部30eは金属リング34を介して第1の圧縮粉末体37を先端側に押圧している。これにより、第1の圧縮粉末体37は金属リング34と外側段部35bとの間で圧縮充填され、セラミックホルダ35と主体金具30との間のシール及び固定を行うようになっている。
一方、セラミックホルダ35の軸孔35hにセンサ素子100が挿通されると、センサ素子100の外面と細孔35h1の内面との間はほとんど隙間なく近接するが、センサ素子100の外面と拡孔35h2の内面との間に隙間が形成されるようになっている。そして、この隙間には、滑石からなる第2の圧縮粉末体38と、ガラス部材39とが先端側から順に配置されている。第2の圧縮粉末体38はセンサ素子100とセラミックホルダ35の間に圧縮充填され、センサ素子100をセラミックホルダ35の内部に保持している。
さらに、第2の圧縮粉末体38の後端に接した状態で、センサ素子100の外面と、セラミックホルダ35の内面との間をガラス部材39がシール(封止)している。ここで、本実施形態では、ガラス部材39はセラミックホルダ35の後端よりも先端側に設けられ、センサ素子100の後端部100eはガラス部材39よりも後端側へ突出している。
また、主体金具30の先端側外周には、主体金具30の先端から突出するセンサ素子100の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔24aを有する金属製のプロテクタ24が溶接によって取り付けられている。このプロテクタ24は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ41、内側には後端部42aの外径が先端部42bの外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテクタ42が配置されている。
一方、主体金具30の後端側には、SUS430製の外筒25の先端部25aが外嵌されている。この外筒25は、先端部25aが主体金具30にレーザ溶接等により固定されることにより、主体金具30に固定される。外筒25の内部には、セパレータ50が配置され、セパレータ50と外筒25の隙間に保持部材51が介在している。この保持部材51は、セパレータ50の鍔部50aに係合し、外筒25を加締めることにより外筒25とセパレータ50とにより固定されている。
また、セパレータ50には、センサ素子100のリード線11〜15を挿入するための挿通孔50bが先端側から後端側にかけて貫設されている(なお、リード線14、15については図示せず)。挿通孔50b内には、リード線11〜15と、センサ素子100の後端部100eに配置された電極パッド100pとを接続する5本の接続端子16(図1では1本のみ)が収容されている。
さらに、セパレータ50の後端側には、外筒25の後端側の開口部25bを閉塞するための略円柱状のゴムキャップ52が配置されている。このゴムキャップ52は、外筒25の開口部25b内に装着された状態で、外筒25の外周を径方向内側に向かって加締めることにより、外筒25に固着されている。ゴムキャップ52にも、リード線11〜15をそれぞれ挿入するための通孔52aが先端側から後端側にかけて貫設されている。
次に、本発明の特徴部分について説明する。
図3に示すように、第2の圧縮粉末体38の軸線O方向に直交する断面を見たとき、センサ素子100の主面100mと拡孔35h2の内面との距離d1が、センサ素子100の主面100mに隣接する面100jと拡孔35h2の内面との距離d2よりも長くなっている。
このように、拡孔35h2が矩形断面をなしているので、拡孔35h2の内面がセンサ素子100の主面100mとほぼ平行に対向する。これにより、図7の従来のガスセンサのようにセンサ素子100の主面100mとの隙間が中央部で広がることがなく、第2の圧縮粉末体38を圧縮したときの圧力Pが中央部に逃げずに拡孔35h2に沿ってセンサ素子100の両端まで作用する。このため、センサ素子100の両端側でも第2の圧縮粉末体38が十分に圧縮され、第2の圧縮粉末体38が崩れてセンサ素子100の保持が不十分となることを抑制できる。
また、距離d1>d2としているので、センサ素子100の面100j側で拡孔35h2との間隔を狭めることができ、セラミックホルダ35、ひいてはガスセンサ1を小型化することができる。例えば、図8において、センサ素子100の面100j側の内筒1350の内孔の距離をWに狭めれば、内筒1350の直径も仮想線1350xのように小径になる。
距離d1は、センサ素子100の主面100mと拡孔35h2の内面との距離のうち、最小値とする。又、距離d1の算出に当たっては、2つの主面100mそれぞれについて拡孔35h2との距離の最小値を求め、各最小値のうち小さい方の値を採用する。
距離d2は、センサ素子100の面100jと拡孔35h2の内面との距離のうち、最大値とする。又、距離d2の算出に当たっては、2つの面100jそれぞれについて拡孔35h2との距離の最大値を求め、各最大値のうち大きい方の値を採用する。
又、センサ素子100の外面のうち角部が面取りされている場合を考慮し、センサ素子100の外面を構成する各辺の中央部を含む水平な部分を距離d1、d2の算出の基準とする。そして、軸線O方向に直交する素子断面にて、この水平部分(線分)上の各点から拡孔35h2の内面に垂線を下ろしたとき、垂線の長さを距離とし、面取り部は距離の算出から除外する。そして、水平部分(線分)上の各点からの垂線の長さ(距離)のうち、最小値又は最大値をそれぞれ距離d1、d2とする。
なお、距離d2はd1よりも狭いため、センサ素子100の面100j側で拡孔35h2との隙間に第2の圧縮粉末体38が十分に流れず、シールが不十分になる場合もある。ただし、本発明の目的は、必ずしも第2の圧縮粉末体38によって完全なシールを実現することではなく、セラミックホルダ35内で第2の圧縮粉末体38によりセンサ素子100を安定して保持することにある。従って、第2の圧縮粉末体38によるシールは不十分であっても構わない。
例えば、本実施形態では、第2の圧縮粉末体38の後端に接したガラス部材39がシール性を確保している。ここで、ガラス部材39は焼成時に溶融して液状となるため、このときにセンサ素子100をセラミックホルダ35内で保持(仮固定)する必要がある。そこで、第2の圧縮粉末体38が確実に圧縮充填されていることで、センサ素子100をセラミックホルダ35内で安定して保持できる。
ガラス部材39は、酸化亜鉛、酸化バリウム、シリカおよびマグネシアを含む材料から構成することができる。ガラス部材39は金属である主体金具30と熱膨張率が大幅に異なるため、ガラス部材39で主体金具30を直接シールすることは困難である。そこで、主体金具30とガラス部材39との間にセラミックホルダ35を介在させることで、ガラス部材39とセラミックホルダ35の間を確実にシールすることができる。このような観点からは、セラミックホルダ35を、アルミナを主成分とする材料から構成することが好ましい。
なお、センサ素子100をセラミックホルダ35内で安定して保持するためには、幅広の主面100m側に第2の圧縮粉末体38が圧縮充填されている必要がある。そこで、距離d1>d2とすることで、主面100m側に第2の圧縮粉末体38が充填され易くなる。
一方、ガラス部材39等を用いずに、第2の圧縮粉末体38のみによってシールを確実に行いたい場合は、第2の圧縮粉末体38の充填長さ(図1の軸線O方向の長さL)を長くすればよい。
又、図1に示すように、センサ素子100の主面100mの後端部に電極パッド100pが配置され、センサ素子100よりも後端側に、電極パッド100pと電気的に接続する接続端子16を有するセパレータ50が配置されていてもよい。
電極パッド100pと端子金具16を電気的に接続する場合には、センサ素子100がセラミックホルダ35内で軸線O方向にまっすぐ保持されていないと、電気的接続が不良となったり、センサ素子100の後端部が斜めにセパレータ50に挿入されてセンサ素子100が破損するおそれがある。そこで第2の圧縮粉末体38によりセンサ素子100をセラミックホルダ35内に確実に保持する本発明が有効となる。
次に、図4、図5を参照し、本発明の実施形態に係るガスセンサ1の製造方法について説明する。
まず、セラミックホルダ35の先端側からセンサ素子100を軸孔35hに挿通する(図4(a))。次に、板状に予備成形された2枚の圧縮粉末体の予備成形体38xを、センサ素子100の両主面100mにそれぞれ重ねるようにして拡孔35h2内に挿入する(図4(b))。
次に、プレスピン200により、予備成形体38xを後端側から軸線O方向に押圧して圧縮充填し、第2の圧縮粉末体38を形成する(図4(c))。これにより、センサ素子100をセラミックホルダ35内に保持(仮固定)する。
なお、図5に示すように、プレスピン200は、矩形断面の2本の棒状体を離間して配置した形状になっており、2つの先端向き面200aがそれぞれ各主面100mと拡孔35h2との隙間よりやや小さい寸法とされている。そして、各先端向き面200aは、各予備成形体38xの後端側を押圧するようになっている。
次に、ガラス部材39となるガラス粉末39xを、第2の圧縮粉末体38の後端側に接するようにして、拡孔35h2内に充填する(図4(d))。そして、全体を例えば800℃で焼成し、ガラス粉末39xを焼成して溶融固化させてガラス部材39を形成する(図4(e))。これにより、センサ素子100がセラミックホルダ35と一体となった第1素子ユニットが形成される。
さらに、図示はしないが、主体金具30内に第1素子ユニットを配置し、セラミックホルダ35と主体金具30との間に、圧縮前の第1の圧縮粉末体37と、金属リング34とを先端側から順に配置する。そして、主体金具30の後端部30eを径方向内側に向かって折り曲げて加締め、金属リング34を介して第1の圧縮粉末体37を十分に圧縮充填する。これにより、センサ素子100がセラミックホルダ35及び主体金具30と一体となった第2素子ユニットを形成する。
その後、第2素子ユニットの後端側に、セパレータ50及びゴムキャップ52を組み付けた外筒25を配置し、図1に示すように外筒25の先端部25aを主体金具30の後端側に挿入して溶接等により固定し、ガスセンサ1を作成する。
本発明の実施形態に係るガスセンサ1の製造方法においては、板状に予備成形された2枚の圧縮粉末体の予備成形体38xを、センサ素子100の両主面100mにそれぞれ重ねればよいので、生産効率が向上する。また、圧縮粉末体38の粉末をセラミックホルダ35とセンサ素子100の隙間に投入する場合に比べ、センサ素子100の主面100m側とセラミックホルダ35の隙間に確実に圧縮粉末体38を流入することができ、センサ素子100を圧縮粉末体38でより確実に保持できる。
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、セラミックホルダの形状は上記実施形態に限定されず、図6に示すような形状とすることもできる。図6において、セラミックホルダ350は、図1のセラミックホルダ35の拡孔35h2と同径の挿通孔350hを有し、挿通孔350hは軸線O方向にストレートに延び、先端部350aが図2のセラミックホルダ35の細孔35h1と同径に縮径している。そして、挿通孔350hの内部に細孔35h1と同径の挿通孔を有するセラミックスリーブ360が挿入され、セラミックスリーブ360の先端向き面が先端部350aの後端向き面に係止されている。センサ素子100は挿通孔350h及びセラミックスリーブ360に挿通され、先端部350aからセンサ素子100の先端が突出している。
そして、センサ素子100の外面と、セラミックホルダ350の内面との間には、先端側から順に、セラミックスリーブ360の後端に接した状態の第2の圧縮粉末体38およびガラス部材39が配置されている。
又、上記実施形態では、セラミックホルダ35の内側にセンサ素子100を保持したが、セラミックホルダ35を用いずに、センサ素子100が挿通される矩形断面の挿通孔を主体金具30に設けてもよい。
さらに、センサ素子は板状であればよく、酸素センサの他、全領域空燃比センサ、及びNOxセンサ等を用いることができる。
又、上記実施形態に係るガスセンサの製造方法では、センサ素子100を軸孔35hに挿通した後、予備成形体38xを拡孔35h2内に挿入した。ただし、例えばセンサ素子100の先端側が多孔質保護層20で覆われず、セラミックホルダ35の後端側からセンサ素子100を挿通可能な場合は、予め予備成形体38xをセンサ素子100の主面100mに貼り付けた後、センサ素子100を軸孔35hに挿通してもよい。
1 ガスセンサ
16 接続端子
30 主体金具
35、350 セラミックホルダ(ホルダ)
35h2、350h 挿通孔
38 第2の圧縮粉末体(圧縮粉末体)
38x 圧縮粉末体の予備成形体
39 ガラス部材
50 セパレータ
100 センサ素子
100m センサ素子の主面
100j 主面に隣接する面
100e センサ素子の後端部
100p 電極パッド
O 軸線
d1 センサ素子の主面と挿通孔の内面との距離
d2 センサ素子の主面に隣接する面と挿通孔の内面との距離

Claims (6)

  1. 対向する2つの主面を有する板状をなして軸線方向に延び、先端側にガスを検知する検知部が形成されたセンサ素子と、
    当該センサ素子の前記検知部を露出させた状態で、前記センサ素子が挿通される矩形断面の挿通孔を有する筒状のホルダと、
    前記センサ素子の外面と、前記ホルダの前記挿通孔の内面との間に充填されて前記センサ素子を保持する圧縮粉末体と、
    を備えたガスセンサであって、
    前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面とは、ほぼ平行に対向し、
    前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面との距離d1が、前記センサ素子の前記主面に隣接する面と前記挿通孔の内面との距離d2よりも長くなっているガスセンサ。
  2. 前記センサ素子は、前記軸線方向に直交する素子断面が矩形をなし、且つ、前記2つの主面が前記素子断面における長辺をなし、
    前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記長辺は前記挿通孔の内面のうちの長辺と対向する請求項1に記載のガスセンサ。
  3. 前記ホルダはセラミックホルダであり、
    さらに、前記セラミックホルダの径方向周囲を取り囲みつつ、自身の内側に前記セラミックホルダを保持する筒状の主体金具と、
    前記圧縮粉末体の後端に接した状態で、前記センサ素子の外面と、前記セラミックホルダの内面との間をシールするガラス部材と、を備えてなる請求項1又は2に記載のガスセンサ。
  4. 前記ホルダは主体金具である請求項1又は2に記載のガスセンサ。
  5. 前記センサ素子の前記主面の後端部に電極パッドが配置され、
    前記センサ素子よりも後端側に、前記電極パッドと電気的に接続する接続端子を有するセパレータが配置されている請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスセンサ。
  6. 対向する2つの主面を有する板状をなして軸線方向に延び、先端側にガスを検知する検知部が形成されたセンサ素子を、筒状のホルダの矩形断面の挿通孔に挿通して前記検知部を露出させるセンサ素子挿通工程と、
    前記センサ素子挿通工程の前又は後に、前記主面に、板状に予備成形された圧縮粉末体の予備成形体をそれぞれ重ね合わせる重ね合わせ工程と、
    前記予備成形体を圧縮し、前記センサ素子の外面と、前記ホルダの前記挿通孔の内面との間に前記圧縮粉末体を充填して前記センサ素子を保持する充填工程と、
    を有するガスセンサの製造方法であって、
    前記圧縮粉末体の前記軸線方向に直交する断面を見たとき、前記センサ素子の前記主面と前記挿通孔の内面との距離d1が、前記センサ素子の前記主面に隣接する面と前記挿通孔の内面との距離d2よりも長くなっているガスセンサの製造方法。
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