JP6613895B2 - エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置 - Google Patents

エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置 Download PDF

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Description

本発明は、エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置に関する。
回転モータの回転軸など、回転する物体の回転量や回転位置を検出する検出装置としてエンコーダが用いられる。このようなエンコーダは、所定の光学パターンが形成されかつ所定の磁場を形成するための磁石を有するスケールを備え、光学パターンを検出する光センサと、磁気パターンを検出する磁気センサとを有している。このようなエンコーダに用いられるスケールとしては、例えば、光学パターンが形成された基板において、光学パターンと同一面に磁石が配置されたもの(例えば、特許文献1参照)や、光学パターンと反対側の面に磁石が配置されたもの(例えば、特許文献2参照)などが知られている。また、光センサ及び磁気センサは、共通の回路基板上に実装されており、スケールのうち光学パターンが形成された基板面に対向して配置されている。
このようなエンコーダにおいては、スケールを回転軸と一体的に回転させ、光センサによって光学パターンを読み取るとともに、磁気センサによって磁場の変化を検出することで、回転軸の回転量や回転位置を検出している。
特開2013−2832号公報 特開2010−271069号公報
特許文献1に記載のエンコーダでは、磁石を磁気センサに近づけて配置できるので、磁気センサの検出精度を高めることができる。しかしながら、この構成では、光学パターンと干渉しないように磁石を配置する必要があるため、磁石の寸法を小さくせざるを得ない。磁石の寸法が小さいと、その磁石から発生する磁場が弱くなり、磁気センサに磁石が近いにもかかわらず、磁場を検出するのが難しくなる場合がある。
また、特許文献2に記載のエンコーダでは、磁石が光学パターンと反対側の面に配置されるので、光学パターンと干渉するものではないが、磁石が磁気センサから離れてしまう。そのため、磁気センサで磁場を検出するためには磁石の容量(体積)を大きくして強い磁場を形成させる必要がある。しかしながら、磁石を大きくしたのではエンコーダの小型化の要請に沿うことができないだけでなく、スケールが重くなるので回転軸に対する負担が大きくなるといった問題がある。
以上のような事情に鑑み、本発明は、磁気検出部に対して強い磁場を形成させることによりエンコーダ用スケールを小さくすることができ、エンコーダを小型化することが可能なエンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置を提供することを目的とする。
本発明の態様によれば、回転軸を中心として回転する基板を有し、回転軸と交差する基板の第1面に、回転方向に沿った光学パターンを備えるエンコーダ用スケールであって、第1面と異なる基板の第2面に、回転軸を挟んで異なる磁極に設定される第1磁石を備え、第1面に、第1磁石のそれぞれの磁極との間で磁場を形成する第2磁石または磁気ヨークを備えるエンコーダ用スケールが提供される。
本発明の態様によれば、回転軸を中心として回転するとともに、回転軸の回転方向に配置された光学パターンと、一方の面に配置される第1磁石と、一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を備え、第2磁石または磁気ヨークは、第1磁石との間で、磁気検出部によって検出される磁場を形成し、1回転中に少なくとも1回は磁場を変更するエンコーダ用スケールが提供される。
本発明の態様によれば、上記の態様のエンコーダ用スケールと、光学パターンを介した光を検出する光検出部と、磁場の変更を検出する磁気検出部と、を備えるエンコーダが提供される。
本発明の態様によれば、一方の面に配置される第1磁石と、一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を有するスケールと、第1磁石と、第2磁石または磁気ヨークとの間で形成される磁場を検出する磁気検出部と、を備え、第2磁石または磁気ヨークは、第1磁石とは外径が異なるように配置されたエンコーダが提供される。
本発明の態様によれば、回転部材と、回転部材を回転させる駆動部と、回転部材に固定され、回転部材の位置情報を検出するエンコーダと、を備え、エンコーダとして、上記態様のエンコーダが用いられる駆動装置が提供される。
本発明の態様によれば、移動物体と、移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、駆動装置として、上記態様の駆動装置が用いられるステージ装置が提供される。
本発明の第1態様によれば、回転軸を中心として回転する基板を有し、回転軸と交差する基板の第1面に、回転方向に沿った光学パターンを備えるエンコーダ用スケールであって、第1面と異なる基板の第2面に設けられ、回転軸を挟んで異なる磁極に設定される第1磁石と、第1面に設けられ、第1磁石のそれぞれの磁極との間で磁場を形成する第2磁石または磁気ヨークと、を備えるエンコーダ用スケールが提供される。
本発明の第2態様によれば、一方の面に配置される第1磁石と、一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を備え、第2磁石または磁気ヨークは、第1磁石との間で、磁気検出部によって検出される磁場を形成するエンコーダ用スケールが提供される。
本発明の第3態様によれば、回転軸を中心として回転するとともに、回転軸の回転方向に配置された光学パターンを有し、1回転中に少なくとも1回は磁場を変更するエンコーダ用スケールと、光学パターンを介した光を検出する光検出部と、磁場の変更を検出する磁気検出部と、を備え、エンコーダ用スケールとして、本発明の第1態様または第2態様によるエンコーダ用スケールが用いられるエンコーダが提供される。
本発明の第4態様によれば、一方の面に配置される第1磁石と、一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を有するスケールと、第1磁石と、第2磁石または磁気ヨークとの間で形成される磁場を検出する磁気検出部と、を備えたエンコーダが提供される。
本発明の第5態様によれば、回転部材と、当該回転部材を回転させる駆動部と、回転部材に固定され、回転部材の位置情報を検出するエンコーダとを備え、エンコーダとして、本発明の第3態様または第4態様によるエンコーダが用いられる駆動装置が提供される。
本発明の第6態様によれば、移動物体と、当該移動物体を移動させる駆動装置とを備え、駆動装置として、本発明の第5態様による駆動装置が用いられるステージ装置が提供される。
本発明の態様によれば、磁気検出部に対して強い磁場を形成させることができ、これによりエンコーダ用スケールを小さくすることができるとともに、エンコーダを小型化することが可能となる。
第1実施形態に係るエンコーダ用スケールの一例を示す図であり、(a)は斜視図、(b)は磁石の配置を示す平面図である。 図1に示すエンコーダ用スケールの断面図である。 実施例に係るエンコーダ用スケールと、比較例に係るエンコーダ用スケールとを比較するための図である。 エンコーダの実施形態の一例を示す断面図である。 図4に示すエンコーダの磁気検出部の一例を示す図である。 第2実施形態に係るエンコーダ用スケールの一例を示す図であり、(a)は断面図、(b)平面図である。 第3実施形態に係るエンコーダ用スケールの一例を示す図であり、(a)は断面図、(b)は第3実施形態の変形例を示す断面図である。 第4実施形態に係るエンコーダ用スケールの一例を示す断面図である。 駆動装置の実施形態の一例を示す図である。 (a)はステージ装置の実施形態の一例を示す断面図であり、(b)はロボット装置の実施形態の一例を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては、実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の説明において、「エンコーダ用スケール」は、適宜「スケール」と省略して称する場合がある。
<第1実施形態>
図1は、第1実施形態に係るエンコーダ用スケールSの一例を示し、(a)は斜視図、(b)は磁石の配置を示す平面図である。図2は、図1に示すスケールSの断面図である。このスケールSは、回転モータ等の駆動系の軸部等に取り付けられて用いられる。この場合、スケールSは、回転軸AXを中心として軸線周りに回転する。
図1(a)に示すように、スケールSは、基板10、固定部20、第1磁石M1及び第2磁石M2を有している。基板10は、回転軸AXを中心として所定の径を持つ円形に形成されている。基板10は、例えば、ガラスや非磁性体金属、樹脂、セラミックスなど、回転や衝撃、振動等によって容易に変形しない程度の剛性を有する非磁性材料を用いて形成されている。基板10は、均一な厚さで形成されているが、例えば、中央部分等を周辺より厚肉に形成されてもよい。基板10の材料、厚み、寸法等については、例えば、取り付けられる軸部の回転数や、設置される温度、湿度等の設置環境など、その用途に応じて適宜決定することができる。
基板10は、回転軸AXに直交する第1面(上面、表面)10a及び第2面(下面、裏面)10bを有している。第1面10aには、トラック領域30が形成されている。トラック領域30は、第1トラック30A及び第2トラック30Bを有している。第1トラック30A及び第2トラック30Bは、それぞれ回転軸AXを中心とした円環状に形成されている。第1トラック30Aはトラック領域30の外側に配置されており、第2トラック30Bはトラック領域30の内側に配置されている。トラック領域30には、回転方向Dに沿って光学パターン33が形成されている。光学パターン33は、光反射パターンである。光学パターン33は、光反射部31及び反射抑制部32を有している。
光反射部31は、例えば、アルミニウムなどの反射率の高い金属材料や、酸化シリコン(SiO)などの無機材料を用いて形成されている。光反射部31は、鏡面加工されてもよい。光反射部31は、反射率を例えば、約40%以上に設定している。ただし、光反射部31において十分な反射率を確保するため、例えば反射率が70%以上となるように光反射部31を形成することができる。なお、ここでいう反射率とは、例えば光学式エンコーダで用いられる検出光に対する反射率である。
反射抑制部32は、例えば、クロム(Cr)などの光吸収率の高い金属材料や、ガラスなどの光透過率の高い材料などを用いて形成されている。反射抑制部32は、光反射部31に比べて、反射率が低くなっている。光反射部31と反射抑制部32との反射率の比は任意に設定できる。この反射率の比は、後述する光検出部40によって光反射部31による反射光を識別可能な任意の値に設定される。
光学パターン33のうち第1トラック30Aに形成された第1パターン33Aは、光反射部31及び反射抑制部32が回転方向Dに沿って等しいピッチで形成されている。第1パターン33Aは、インクリメンタルパターンとして用いられる。また、光学パターン33のうち第2トラック30Bに形成された第2パターン33Bは、回転方向Dにおける光反射部31の寸法がM系列に従うように設定されている。第2パターン33Bは、アブソリュートパターンとして用いられる。ただし、上記した光学パターン33は一例であって、異なる光学パターンが適用されてもよい。
固定部20は、基板10の第2面10bから突出する円筒状に形成されている。固定部20は、回転モータ等の軸部など、測定対象である移動部材に固定される。固定部20は、回転モータ等の軸部を挿入可能な取付穴20aを有している。固定部20には、軸部が取付穴20aに挿入された状態で、軸部を固定するための固定ネジ等の固定機構(不図示)を備えてもよい。
第1磁石M1は、基板10の第2面10bに配置されている。第1磁石M1としては、例えばネオジム系の永久磁石などが用いられる。第1磁石M1は、円環状(又は円筒状)に形成されている。第1磁石M1は、固定部20を囲んで配置されている。第1磁石M1は、回転軸AXの軸線方向に第1面(上面、表面)M1a及び第2面(下面、裏面)M1bを有している。第1面M1aは、不図示の接着剤等を介して基板10の第2面10bに固定されている。このため、第1磁石M1は、基板10と一体で回転する。なお、図1(b)又は図2に示すように、第1磁石M1の内周面M1dは、固定部20に接している。第1磁石M1の内周面M1dが、不図示の接着剤等を介して固定部20の外周面に固定されていてもよい。
第1磁石M1の外径は、基板10の径よりも大きくなっている。このため、第1磁石M1の外周面M1c及びその周縁部は、基板10の外周縁10cから外側に突出した状態で配置されている。これにより、第1磁石M1によって基板10の第1面10a側(すなわち磁気検出部50側)に向けて磁場が形成されやすくなる。ただし、第1磁石M1の外周面M1cを基板10の外周縁10cより外側に突出させるか否かは任意である。また、第1磁石M1の体積(寸法)は、後述する磁気センサ50に対して検出可能な磁場を形成可能な寸法に設定される。なお、第1磁石M1の厚さ(回転軸AX方向の寸法)は、基板10の厚さよりも厚くなっている。また、第1磁石M1は、後述する第2磁石M2よりも体積が大きくなっている。
第2磁石M2は、基板10の第1面10aに配置されている。第2磁石M2としては、第1磁石M1と同様に、例えばネオジム系の永久磁石などが用いられる。第2磁石M2は、円板状(または円柱状)に形成されている。第2磁石M2は、中心が回転軸AXに重なるように配置されている。第2磁石M2は、回転軸AXの軸線方向に第1面(上面、表面)M2a及び第2面(下面、裏面)M2bを有している。第2面M2は、不図示の接着剤等を介して基板10の第1面10aに固定されている。このため、第2磁石M2は、基板10と一体で回転する。
第2磁石M2の径は、第2トラック30Bの内径よりも小さくなっている。このため、第2磁石M2は、回転軸AXと光学パターン33(第2パターン33B)との間に配置される。このように、第2磁石M2は、光学パターン33に重ならないように位置及び寸法が設定されている。従って、第2磁石M2が光学パターン33に照射させる検出光や、光学パターン33からの反射光を遮ることがないようにしている。
なお、図2では、第2磁石M2の径が第1磁石M1の内径(または固定部20の外径)とほぼ等しくなるように示されているが、この構成には限定されず、第2磁石M2の径は第1磁石M1の内径より大きくてもまたは小さくてもよい。また、第2磁石M2の厚さは、第1磁石M1の厚さよりも薄くなっているが、この構成には限定されず、第2磁石M2の厚さが第1磁石M1の厚さよりも厚くてもよい。
図1(b)に示すように、第1磁石M1は、N極に着磁されたN極M1nと、S極に着磁されたS極M1sとを有している。N極M1nとS極M1sとは、回転軸AXを通る直線(境界線M1e)によって区切られている。図1(b)に示す第1磁石M1では、境界線M1eの右側がN極M1nであり、境界線M1eの左側がS極M1sである。このように、第1磁石M1は、回転軸AXを挟んで異なる磁極となるように配置されている。
第2磁石M2は、第1磁石M1と同様に、N極に着磁されたN極M2nと、S極に着磁されたS極M2sとを有している。N極M2nとS極M2sとは、回転軸AXを通る直線(境界線M2e)によって区切られている。図1(b)に示す第2磁石M2では、境界線M2eの右側がS極M2sであり、境界線M2eの左側がN極M2nである。このように、第2磁石M2は、回転軸AXを挟んで異なる磁極となるように形成されている。なお、第1磁石M1及び第2磁石M2は、境界線M1eと境界線M2eとが回転軸AX方向に並んで平行となるように配置されている。
また、第1磁石M1及び第2磁石M2は、回転軸AXを挟んだ右側の領域では、第1磁石M1のN極M1nと第2磁石M2のS極M2sとが配置されている。また、回転軸AXを挟んだ左側の領域について、第1磁石M1のS極M1sと第2磁石M2のN極M2nとが配置されている。このように、第1磁石M1及び第2磁石M2は、回転軸AXの軸線方向について、互いに磁極が異なるように配置されている。
この第1磁石M1及び第2磁石M2の配置により、図2に示すように、第1磁石M1と第2磁石M2との間には、例えば第2磁石M2のN極M2nから第1磁石M1のS極M1sへ向けた磁場Haが形成される。また、第1磁石M1のN極M1nから第2磁石M2のS極M2sへ向けた磁場Hbが形成される。これらの磁場Ha、Hbによって形成される磁力線は、後述する磁気検出部50(50A、50B)を通過するため、磁気検出部50によって磁場Ha、Hbを高精度に検出可能である。
また、第1磁石M1のうち回転軸AXの軸線方向の第2端面M1bには、バックヨーク60が設けられている。バックヨーク60は、例えば、軟磁性体を用いて円環状に形成されている。バックヨーク60は、上面60a及び下面60bを有している。上面60aは、不図示の接着剤等を介して第1磁石M1の第2面M1bに固定されている。バックヨーク60の外径及び内径は、第1磁石M1の外径及び内径とほぼ等しくなっている。このため、第1磁石M1の第2面M1bの略全面がバックヨーク60によって覆われることになる。バックヨーク60の厚さは、第1磁石M1の厚さよりも薄くなっている。
バックヨーク60によって、第1磁石M1の下向き(スケールSから離れる向き)の磁場を閉じ込め、スケールSの上方側(第2磁石M2側)に向かう磁場を強くすることができる。ただし、第1磁石M1の第2面M1bにバックヨーク60を配置するか否かは任意である。
図3は、第1実施形態のスケールS(実施例)と、比較例1〜比較例3に係るスケールS1〜S3とを比較するための図である。図3(a)に示すように、スケールSは、第2磁石M2の直径t1が5mm、第1磁石M1の外径t2が10.2mm、第1磁石M1の内径t3が5.2mmとなっている。また、第1磁石M1の厚さ(回転軸AXの軸線方向の寸法)は2mm、第2磁石M2の厚さは1mm、バックヨーク60の厚さは1mmとなっている。
比較例1に係るスケールS1は、磁石M11及びバックヨーク61を有している。磁石M11は、回転軸AX1を中心とした円環状に形成されている。磁石M11は、4つの領域に分割された構成となっている。磁石M11は、回転軸AXの軸線方向視において、半径方向の内側と外側とで2つの領域に磁極が分割されており、内側の領域及び外側の領域が回転軸AXを挟んでそれぞれ右側と左側とで2つの領域に磁極が分割されている。磁石M11のうち、半径方向の内側の2領域については、回転軸AXの右側の領域M11aがN極、回転軸AXの左側の領域M11bがS極となっている。また、半径方向の外側の2領域については、回転軸AXの右側の領域M11cがS極、回転軸AXの左側の領域M11dがN極となっている。スケールS1は、磁石M11の内径t4が5.2mm、境界の径t5が7.7mm、磁石M11の外径t6が10.2mmとなっている。また、磁石M11の厚さは2mm、バックヨーク61の厚さは1mmとなっている。このように、スケールS1の磁石M11は、本実施形態の磁石M1と同様の寸法が適用されている。
比較例2に係るスケールS2は、磁石M12及びバックヨーク62を有している。磁石M12は、回転軸AX2を中心とした円環状に形成されている。磁石M12は、磁石M11と同様に4つの領域M12a(N極)、M12b(S極)、M12c(S極)、M12d(N極)に分割された構成となっている。スケールS2は、磁石M12の内径t7が4.2mm、境界の径t8が7.7mm、磁石M12の外径t9が11.2mmとなっている。また、磁石M12の厚さは2mm、バックヨーク62の厚さは1mmとなっている。このように、スケールS2の磁石M12は、本実施例の磁石M1より大きな寸法が適用されている。
比較例3に係るスケールS3は、磁石M13及びバックヨーク63を有している。磁石M13は、回転軸AX3を中心とした円環状に形成されている。磁石M13は、磁石M11及びM12と同様に、4つの領域M13a(N極)、M13b(S極)、M13c(S極)、M13d(N極)に分割された構成となっている。スケールS3は、磁石M13の内径t10が5.2mm、境界の径t11が8.2mm、磁石M13の外径t12が11.2mmとなっている。また、磁石M13の厚さは2mm、バックヨーク63の厚さは1mmとなっている。このように、スケールS3の磁石M13は、本実施例の磁石M1より大きく、さらにスケールS2の磁石M12より大きな寸法が適用されている。
なお、比較例1〜3のいずれも、本実施例の第2磁石M2に相当する磁石は配置されていない。
図3(b)は、実施例に係るスケールS、比較例1〜3に係るスケールS1〜S3について、回転方向D1における磁束密度の分布を示すグラフである。なお、グラフの値は、回転軸AX、AX1〜AX3から半径方向D2に所定距離(3mm)離れ、かつ、第1磁石M1の表面、磁石M11〜M13の表面から回転軸AX、AX1〜AX3の軸線方向に所定距離(3.96mm)離れた位置で磁束密度を測定したときの結果である。グラフの縦軸は磁束密度(単位はmT)である。また、グラフの横軸は、図3(a)において回転軸AX、AX1〜AX3の右方向を基準位置(0°)としたときの反時計回りの角度θである。ここでは、0°≦θ≦180°の範囲で示している。なお、グラフでは、回転軸AX、AX1〜AX3から半径方向D2の外側に向かう磁場を正方向として示している。
実施例に係るスケールSでは、0°≦θ<90°において、第2磁石M2のN極M2nから第1磁石M1のS極M1sへ向けて磁場が形成されるため、グラフの値は正の値となる。θ=90°の場合、N極とS極との境界であるため、第1磁石M1と第2磁石M2との間で磁場は形成されない。90°<θ≦180°において、第1磁石M1のN極の磁極M1nから第2磁石M2のS極の磁極M2sへ向けて磁場が形成されるため、グラフの値は負の値となる。
比較例1〜比較例3に係るスケールS1〜S3では、いずれも0°≦θ<90°において、磁石M11〜M13のうち内側の領域M11a〜M13a(N極)から外側の領域M11c〜M13c(S極)へ向けて磁場が形成されるため、グラフの値は正の値となる。θ=90°の場合、N極とS極との境界であるため、磁場は形成されない。90°<θ≦180°において、磁石M11〜M13のうち外側の領域M11d〜M13d(N極)から内側の領域M11b〜M13b(S極)へ向けて磁場が形成されるため、グラフの値は負の値となる。
図3(b)に示すように、実施例に係るスケールSでは、比較例1〜3に係るスケールS1〜S3に比べて、回転方向D1における磁束密度の絶対値が大きくなっている。このように、スケールSでは、N極からS極へ向かう磁場、及びS極からN極へ向かう磁場のそれぞれについて、スケールS1〜S3よりも強くなることが確認される。
図3(c)は、実施例に係るスケールS、比較例1〜3に係るスケールS1〜S3について、半径方向D2における磁束密度の分布を示すグラフである。なお、グラフの値は、第1磁石M1の表面、磁石M11〜M13の表面から回転軸AX、AX1〜AX3の軸線方向に所定距離(3.96mm)離れた位置で磁束密度を測定したときの結果である。グラフの縦軸は磁束密度(単位はmT)である。また、グラフの横軸は、図3(a)において回転軸AX、AX1〜AX3から右方向に進んだ距離Rである。ここでは、0mm≦R≦6mmの範囲で示している。なお、グラフでは、N極からS極へ向かう磁場の強さを正方向で示し、S極からN極へ向かう磁場の強さを負方向で示している。
図3(c)に示すように、実施例に係るスケールSでは、半径方向D2の位置が約2.2mmのときに約43mTの極大値をとる。また、比較例1に係るスケールS1では、半径方向D2の位置が約3.0mmのときに約10mTの極大値をとる。比較例に係るスケールSでは、半径方向D2の位置が約3.1mmのときに約20mTの極大値をとる。比較例に係るスケールSでは、半径方向D2の位置が約3.2mmのときに約15mTの極大値をとる。
図3に示すように、実施例に係るスケールSは、比較例1〜3に係るスケールS1〜S3に比べて、磁束密度の極大値(約43mT)が大きくなっており、かつ、極大値を取るときの半径方向D2の位置(約2.2mm)が回転軸AXに近くなっていることが確認される。このため、スケールSは、他のスケールS1〜S3と比較して強い磁場を形成させることができる。さらに、その磁場の位置がスケールS1〜S3と比較して回転軸AXから近い位置に形成されるので、磁気センサを回転軸AXに近づけて配置することができ、エンコーダの小型化を実現可能となる。
このように、第1実施形態によれば、回転軸AXを挟んで異なる磁極(N極M1n及びS極M1s)を有する第1磁石M1が基板10の第2面10bに配置され、この第1磁石M1のN極M1n及びS極M1sとの間でそれぞれ磁場Ha、Hbを形成する第2磁石M2が基板10の第1面10aに配置される。これにより、それぞれの磁石を単独でスケールSに配置する場合に比べて、磁場Ha、Hbを効率よく強くすることができる。従って、スケールSを小型化することができる。
また、第1実施形態によれば、第1磁石M1及び第2磁石M2は、それぞれ4つの領域に分割されるのではなく、磁極の異なる2つの領域に分割されるだけでよいため、領域間の無着磁領域を減少させることができる。このため、第1磁石M1及び第2磁石M2によって形成される磁場を強くすることができる。また、第1磁石M1及び第2磁石M2ともそれぞれ2つの領域に着磁すればよいため、着磁方法の複雑化を避けることができ、磁石の製造コストを低減させることができる。
<エンコーダ>
図4は、図1に示すエンコーダ用スケールSを用いたエンコーダの一例を示す断面図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図4に示すように、エンコーダECは、スケール(エンコーダ用スケール)Sと、本体部Bと、制御部CONTとを有している。スケールSは、上記した第1実施形態のスケールSが用いられる。
スケールSは、回転モータ等の軸部SFに固定されており、軸部SFと一体的に回転する。本体部Bは、回転モータのケーシングなど、非回転部BDに固定されており、筐体39及び回路基板38を有している。回路基板38には、光検出部40及び磁気検出部50が設けられている。光検出部40は、上記の光学パターン33を介した光を検出する。磁気検出部50は、上記の第1磁石M1と第2磁石M2とで形成される磁場を検出することにより、磁場の変化を検出する。筐体39は、スケールSに対する光検出部40及び磁気検出部50の位置を調整するための調整機構を備えてもよい。
光検出部40は、平面視で矩形状に形成されたチップ基板40aを有している。チップ基板40aには、発光部41、受光部42、及び不図示の制御回路が形成されている。発光部41は、上記した光学パターン33に検出光を出射する。発光部41は、一方向又は複数方向に向けて所定波長のレーザ光を射出可能に形成されている。発光部41による検出光の出射は、制御部CONTによって制御される。
受光部42は、光学パターン33を介した光を受光する。本実施形態では、光学パターン33からの反射光を受光する。受光部42は、複数の受光素子を有している。受光素子としては、例えば2次元センサ(イメージセンサ)が用いられている。2次元センサとしては、例えばCCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)のイメージセンサが使用される。受光部42は、第1受光部42a及び第2受光部42bを有している。第1受光部42aは、インクリメンタルパターンである第1パターン33Aからの反射光を検出する。第2受光部42bは、アブソリュートパターンである第2パターン33Bからの反射光を検出する。
光検出部40は、第1受光部42aで受光した第1パターン33Aの反射光からインクリメンタル信号を生成するとともに、第2受光部42bで受光した第2パターン33Bの反射光からアブソリュート信号を生成する。これらの信号に基づいて、スケールSの回転量や回転位置が計測される。この計測結果は、制御部CONTからの要求により、または所定期間ごとに制御部CONTへ送られる。
磁気検出部50は、第1検出部50A及び第2検出部50Bを有している。第1検出部50Aは、バイアス磁石51A及び磁気抵抗素子52Aを有している。第2検出部50Bは、バイアス磁石51B及び磁気抵抗素子52Bを有している。第1検出部50A第2検出部50Bは、同一構成のものが用いられる。以下、バイアス磁石51A、51Bに共通の構成を説明する際には、バイアス磁石51と表記する場合がある。また、同様に、磁気抵抗素子52A、52Bに共通の構成を説明する際には、磁気抵抗素子52と表記する場合がある。
バイアス磁石51は、スケールSの第1磁石M1と第2磁石M2とで形成される磁場との間で合成磁場を形成する磁石である。バイアス磁石51を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが用いられる。図4では、便宜上、バイアス磁石51と磁気抵抗素子52とが接触した状態で示されているが、実際には、バイアス磁石51は、磁気抵抗素子52に接触せず、かつ、磁気抵抗素子52に隣接しない位置に配置されている。
図5(a)は、バイアス磁石51と第1磁石M1及び第2磁石M2との位置関係を示す平面図である。図5(a)では、基板10を破線で示している。図5(a)に示すように、回転軸AXの軸線方向視において、バイアス磁石51Aとバイアス磁石51Bとは、回転方向において90°ずれた位置に配置されている。図5(a)では、バイアス磁石51Aは左側に配置され、バイアス磁石51Bは右側に配置される。また、バイアス磁石51Aは、回転方向の一端(右上)がN極となっており、他端(左下)がS極となっている。また、バイアス磁石51Bは、回転方向の一端(左上)がN極となっており、他端(右下)がS極となっている。
図5(b)は、第1磁石M1及び第2磁石M2とで形成される磁場とバイアス磁石51で形成される磁場との合成磁場の方向を示す図である。バイアス磁石51Aが設けられる位置では、第1磁石M1及び第2磁石M2により、図5(a)の左上方向の磁場H1が形成される。磁場H1は、図2に示す磁場Haに相当する。また、バイアス磁石51Aにより、図5(a)の左下方向の磁場H3が形成される。このように、バイアス磁石51Aは、磁場H1と直交する方向に磁場H3を形成するように配置される。磁場H1と磁場H3との合成磁場H5は図5(a)の左方向に形成される。
また、バイアス磁石51Bが設けられる位置では、第1磁石M1及び第2磁石M2により、図5(a)の左下方向の磁場H2が形成される。磁場H2は、図2に示す磁場Hbに相当する。また、バイアス磁石51Bにより、図5(a)の右下方向の磁場H4が形成される。このように、バイアス磁石51Bは、磁場H2と直交する方向に磁場H4を形成するように配置される。磁場H2と磁場H4との合成磁場H6は図5(a)の下方向に形成される。
なお、図5(a)の状態からスケールSが180°回転した場合、磁場H1の向きが180°変わる(右下方向となる)ため、合成磁場H5は下方向に形成される。同様に、図5(a)の状態からスケールSが180°回転した場合、磁場H2の向きが180°変わる(右上方向となる)ため、合成磁場H6は右方向に形成される。合成磁場H5、H6に着目すると、右方向または下方向に交互に変更することになる。
図5(c)は、磁気抵抗素子52の構成を示す平面図である。図5(c)に示すように、磁気抵抗素子52は、磁性薄膜53と、電気抵抗パターンR1〜R4とを有している。磁性薄膜53は、磁性体を用いて形成されている。電気抵抗パターンR1〜R4は、例えば金属配線などによって形成された繰り返しパターンを有している。電気抵抗パターンR1及びR3では、図5(c)の上下方向に長手のパターンが繰り返されている。また、電気抵抗パターンR2及びR4では、図5(c)の左右方向に長手のパターンが繰り返されている。磁気抵抗素子52に作用する合成磁場H5、H6の方向が繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると、電気抵抗パターンR1〜R4の電気抵抗が低下する。
図5(d)は、磁気抵抗素子52を示す回路図である。図5(d)に示すように、電気抵抗パターンR1と電気抵抗パターンR2との間は、接続部P1を介して接続されている。電気抵抗パターンR2と電気抵抗パターンR3との間は、接続部P2を介して接続されている。電気抵抗パターンR3と電気抵抗パターンR4との間は、接続部P3を介して接続されている。電気抵抗パターンR4と電気抵抗パターンR1との間は、接続部P4を介して接続されている。接続部P4と接続部P2との間には、定電圧Vが印加されている。接続部P1と接続部P3との間には、出力電圧Vが形成される。電気抵抗パターンR1〜R4の電気抵抗が低下すると、出力電圧Vの出力値が変化する。磁気抵抗素子52では、この出力電圧Vの変化を用いて磁場の方向を電気信号に変換している。磁気抵抗素子52における検出結果は電気信号として上記の制御部CONTに送信される。
上記の合成磁場H5、H6を例に挙げて説明すると、磁気抵抗素子52Aには、左方向の合成磁場H5が作用するため、電気抵抗パターンR1、R3の電気抵抗が低下する。また、磁気抵抗素子52Bには、下方向の合成磁場H6が作用するため、電気抵抗パターンR2、R4の電気抵抗が低下する。
これに対して、スケールSが180°回転する場合、磁気抵抗素子52Aには、左方向から徐々に下方向に向きを変化させながら合成磁場H5が作用する。そして、スケールSが180°回転したときには、下方向の合成磁場H5が磁気抵抗素子52Aに作用する。このため、合成磁場H5の向きの変化に伴って電気抵抗パターンR2、R4の電気抵抗が低下し、電気抵抗パターンR1、R3の電気抵抗が上昇する。
また、磁気抵抗素子52Bには、下方向から徐々に左方向に向きを変化させながら合成磁場H6が作用する。そして、スケールSが180°回転したときには、左方向の合成磁場H6が磁気抵抗素子52Bに作用する。このため、合成磁場H6の向きの変化に伴って電気抵抗パターンR1、R3の電気抵抗が低下し、電気抵抗パターンR2、R4の電気抵抗が上昇する。このように磁気抵抗素子52A、52Bの電気抵抗パターンR1〜R4がそれぞれ変化するため、スケールSの回転に伴って出力電圧Vの出力値が変化する。
出力電圧Vの変化は、磁気検出部50から回路基板38に送られて変化数がカウントされる。この変化数は基準位置に対するスケールSの回転数に対応する。スケールSの回転数に関する情報は、制御部CONTからの要求により、または所定期間ごとに制御部CONTに送られる。
このように、上記したエンコーダECにおいては、磁気検出部50からの情報に基づいてスケールSの回転数の情報と、光検出部40からの情報に基づいてスケールSの回転位置の情報との双方を取得できる。また、スケールSの第1磁石M1及び第2磁石M2によって形成される磁場が強いため、磁気検出部50による磁場の検出を確実かつ精度よく行うことができる。また、小型のスケールSが用いられるとともに、磁気検出部50を回転軸AXから近い位置に配置できるため、エンコーダECの小型化を図ることができる。なお、このようなエンコーダECの効果は、以下の他の実施形態や変形例に係るスケールを用いた場合においても同様である。
<第2実施形態>
第2実施形態について説明する。上記した第1実施形態においては、スケールSに第2磁石M2が配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、第2磁石M2に代えて磁気ヨークが配置された構成であってもよい。なお、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
図6は、第2実施形態に係るエンコーダ用スケールSAの一例を示す図である。図6(a)に示すように、スケールSAは、基板10の第1面10aに磁気ヨーク16が形成されている。磁気ヨーク16としては、例えば、鉄などの軟磁性材料が用いられる。磁気ヨーク16は、図6(b)に示すように、略半円形状の第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bを有している。第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、不図示の接着剤等を介して基板10の第1面10aに固定されている。このため、第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、基板10と一体で回転する。
第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、回転軸AXを挟むとともに、両者間に間隔を空けて配置されている。また、第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、第1磁石M1のN極M1nとS極M1sとの境界線M1eを挟んで対称となるように配置されている。
第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bの寸法は、それぞれ光学パターン33の内径よりも小さくなるように設定される。このため、第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、いずれも回転軸AXと光学パターン33との間に配置される。このように、第1ヨーク16a及び第2ヨーク16bは、光学パターン33に重ならないように位置及び寸法が設定されている。従って、第1ヨーク16aまたは第2ヨーク16bが光学パターン33に照射させる検出光や、光学パターン33からの反射光を遮ることがないようにしている。
また、基板10には、磁気回路15が形成されている。磁気回路15は、第1回路15a及び第2回路15bを有している。第1回路15aは、第1磁石M1のN極M1nと第1ヨーク16aとを接続している。この第1回路15aにより、第1ヨーク16aはN極と同様の磁極が形成される。このため、第1磁石M1のS極M1sと第1ヨーク16aとの間には、第1実施形態と同様に磁場Haが形成される。なお、第1ヨーク16aの磁力は、第1磁石M1の磁力に依存する。従って、第1磁石M1として強い磁力を持つものが用いられる場合は、第1ヨーク16aの磁力も強いものとなり、強い磁場Haを形成することが可能となる。
また、第2回路15bは、第1磁石M1のS極M1sと第2ヨーク16bとを接続している。この第2回路15bにより、第2ヨーク16bはS極と同様の磁極が形成される。このため、第1磁石M1のN極M1nと第2ヨーク16bとの間には、第1実施形態と同様に磁場Hbが形成される。また、上記したように、第1磁石M1として強い磁力を持つものが用いられる場合は、第1ヨーク16bの磁力も強いものとなり、強い磁場Hbを形成することが可能となる。
第1回路15a及び第2回路15bは、例えば、磁性材料によって形成された線材や薄膜等を用いて、N極M1nと第1ヨーク16aとの間、及びS極M1sと第2ヨーク16bとの間を、基板10の内部を介して接続することにより形成されてもよい。ただし、第1回路15a及び第2回路15bの形態はこれに限定するものではなく、磁気的に接続可能な任意の構成が適用されてもよい。
このように、第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果を有する。また、基板10が磁気回路15を備える必要があるものの、基板10の第1面10aに第2磁石M2を配置する必要がなく、磁石の使用数を減少させることにより製造コストを低減させることができる。なお、第2実施形態に係るスケールSAを用いたエンコーダは、図4に示すエンコーダECとほぼ同様に構成される。
<第3実施形態>
第3実施形態にについて説明する。上記した第1実施形態においては、スケールSに円盤状の第2磁石M2が配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、円盤状とは異なる形状の第2磁石が配置された構成であってもよい。なお、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
図7(a)は、第3実施形態に係るエンコーダ用スケールSBの一例を示す断面図である。図7(a)に示すように、スケールSBは、基板10の第1面10aに第2磁石M3を有している。第2磁石M3は、円錐状に形成されている。第2磁石M3としては、例えば、ネオジム系の永久磁石などが用いられる。第2磁石M3は、頂点M3aを含む中心が回転軸AXに重なるように配置されている。第2磁石M3の底面M3bは、不図示の接着剤等を介して第1面10aに固定されている。このため、第2磁石M3は、基板10と一体で回転する。
第2磁石M3の底面M3bの外径は、光学パターン33の内径よりも小さくなっている。このため、第2磁石M3は、回転軸AXと光学パターン33との間に配置される。このように、第2磁石M3は、光学パターン33に重ならないように位置及び寸法が設定されている。従って、第2磁石M3が光学パターン33に照射させる検出光や、光学パターン33からの反射光を遮ることがないようにしている。
第2磁石M3は、N極に着磁されたN極M3nと、S極に着磁されたS極M3sとを有している。N極M3nとS極M3sとは、回転軸AXを通る直線によって区切られている。第2磁石M3では、回転軸AXの右側がS極M3sであり、回転軸AXの左側がN極M3nである。このように、第2磁石M3は、回転軸AXを挟んで異なる磁極となるように形成されている。
また、底面M3bから頂点M3aまでの距離(第2磁石M3の高さ)は、第1実施形態の第2磁石M2に比べて高くなっている。ただし、第2磁石M3の高さは、スケールSBの上方に配置される回路基板38(図4参照)と干渉しない高さに設定される。図7(a)に示すように、第1磁石M1の磁極M1sと第2磁石M3の磁極M3nとの間に形成される磁場Haは、第2磁石M3の斜面M3cから第1磁石M1に向けて形成される。同様に、第1磁石M1の磁極M1nと第2磁石M3の磁極M3sとの間に形成される磁場Hbについても、第2磁石M3の斜面M3cから第1磁石M1に向けて形成される。このため、磁場Ha、Hbは、いずれも斜面M3cからやや上方に向けて磁場を形成する。
このように、第3実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果を有する。さらに、第2磁石M3が第1実施形態の第2磁石M2と比べて高いので、磁気検出部50に第2磁石M3を近づけることができる。さらに、第2磁石M3の斜面M3cにより上向きの磁場を形成させるので、磁気検出部50に対してより強い磁場Ha、Hbを作用させることができる。なお、第3実施形態に係るスケールSAを用いたエンコーダは、図4に示すエンコーダECとほぼ同様に構成される。
図7(b)は、第3実施形態の変形例に係るエンコーダ用スケールSCの一例を示す断面図である。図7(b)に示すように、スケールSCは、基板10の第1面10aに第2磁石M4を有している。第2磁石M4は、円錐台状に形成されている。第2磁石M4は、中心が回転軸AXに重なるように配置されている。第2磁石M4の底面M4bは、不図示の接着剤等を介して第1面10aに固定されており、第2磁石M4は基板10と一体で回転する。また、第2磁石M4の底面M4bの外径は、光学パターン33の内径よりも小さく設定されている。従って、第2磁石M4は、回転軸AXと光学パターン33との間に配置されている。なお、第2磁石M4が光学パターン33に照射させる検出光や、光学パターン33からの反射光を遮ることがない点は、上記した第2磁石M3と同様である。
第2磁石M4は、N極に着磁されたN極M4nと、S極に着磁されたS極M4sとを有している。N極M4nとS極M4sとは、回転軸AXを通る直線によって区切られている。第2磁石M4では、回転軸AXの右側がS極M4sであり、回転軸AXの左側がN極M4nである。
また、底面M4bから上面M4aまでの距離(第2磁石M4の高さ)は、第1実施形態の第2磁石M2に比べて高くなっている。ただし、上記した第2磁石M3と同様に、第2磁石M4の高さは、スケールSCの上方に配置される回路基板38と干渉しない高さに設定される。図7(b)に示すように、第1磁石M1の磁極M1sと第2磁石M4の磁極M4nとの間に形成される磁場Haは、第2磁石M4の斜面M4cから第1磁石M1に向けて形成される。同様に、第1磁石M1の磁極M1nと第2磁石M4の磁極M4sとの間に形成される磁場Hbについても、第2磁石M4の斜面M4cから第1磁石M1に向けて形成される。このため、磁場Ha、Hbは、いずれも斜面M4cからやや上方に向けて磁場を形成する。
この変形例においても、第3実施形態と同様に、第1実施形態の第2磁石M2と比べて高いので、磁気検出部50に第2磁石M4を近づけることができる。さらに、第2磁石M4の斜面M4cにより上向きの磁場を形成させるので、磁気検出部50に対してより強い磁場Ha、Hbを作用させることができる。なお、この変形例に係るスケールSBを用いたエンコーダは、図4に示すエンコーダECとほぼ同様に構成される。
<第4実施形態>
図8は、第4実施形態に係るエンコーダ用スケールSDの構成を示す断面図である。第1実施形態や第3実施形態では、基板10の第1面10aに第2磁石M2等が直接固定される構成を例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、図8に示すスケールSDのように、基板10と第2磁石M2との間にバックヨーク70が設けられた構成であってもよい。なお、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
バックヨーク70は、例えば、鉄等の軟磁性体を用いて円盤状に形成されている。バックヨーク70の外径は、第2磁石M2の外径とほぼ等しくなるように設定されている。従って、第2磁石M2の第2面M2bの略全面がバックヨーク70によって覆われることになる。バックヨーク70の厚さは任意であり、例えば、第1磁石M1のバックヨーク60と同一の厚さとしてもよい。
このように、第4実施形態によれば、バックヨーク700によって、第2磁石M2の下向き(基板10に近づく向き)の磁場を閉じ込め、スケールSの上方側(磁気検出部50)に向かう磁場を強くすることができる。これにより、磁気検出部50によって磁場の検出をより一層確実に行うことができ、磁場の変動を精度よく検出することができる。なお、この第4実施形態に係るスケールSDを用いたエンコーダは、図4に示すエンコーダECとほぼ同様に構成される。
<駆動装置>
実施形態に係る駆動装置について説明する。図9は、駆動装置の実施形態として、電動のモータ装置MTRの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図9に示すように、モータ装置MTRは、軸部SFと、軸部SFを回転駆動させる本体部(駆動部)BDと、軸部SFの回転情報を検出するエンコーダECとを有している。
軸部SFは、負荷側端部SFaと、反負荷側端部SFbとを有している。負荷側端部SFaは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部SFbには、固定部20を介してスケールSが固定される。このスケールSの固定とともに、エンコーダECが取り付けられている。スケールSやエンコーダECとしては、上記した第1実施形態が用いられるが、他の実施形態や変形例が用いられてもよい。
このモータ装置MTRによれば、検出精度に優れ、小型化されたエンコーダECが搭載されるため、回転量の制御性に優れたモータ装置MTRを得ることができ、モータ装置MTR全体を小型化することができる。また、反負荷側端部SFbに小型のエンコーダECが取り付けられるため、モータ装置MTRからの出っ張りが小さくなり、小さなスペースにモータ装置MTRを設置することができる。なお、駆動装置としてモータ装置MTRを例に挙げて説明したが、これに限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。
<ステージ装置>
実施形態に係るステージ装置について説明する。図10(a)は、ステージ装置STGの実施形態の一例を示す斜視図である。なお、図10(a)は、図9に示すモータ装置MTRの軸部SFのうち負荷側端部SFaに回転テーブル(移動物体)TBを取り付けた構成となっている。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
上記のように構成されたステージ装置STGは、モータ装置MTRを駆動して軸部SFを回転させると、この回転が回転テーブルTBに伝達される。その際、エンコーダECは、軸部SFの回転位置等を検出する。従って、エンコーダECからの出力を用いることにより、回転テーブルTBの回転位置を検出することができる。なお、モータ装置MTRの負荷側端部SFaと回転テーブルTBとの間に減速機等が配置されてもよい。
このようにステージ装置STGによれば、回転量の制御性に優れた小型のモータ装置MTRを搭載するため、回転テーブルTBの位置調整精度に優れたステージ装置STGを得ることができ、ステージ装置STG全体を小型化することができる。なお、ステージ装置STGとして、例えば旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用されてもよい。
<ロボット装置>
実施形態に係るロボット装置について説明する。図10(b)は、ロボット装置RBTの実施形態の一例を示す斜視図である。なお、図10(b)は、ロボット装置RBTの一部(関節部分)の構成を模式的に示している。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図10(b)に示すように、ロボット装置RBTは、第1アームAR1と、第2アームAR2と、関節部JTとを有しており、第1アームAR1と第2アームAR2とが関節部JTを介して接続された構成となっている。
第1アームAR1には、腕部101と、軸受101a、101bとを備えている。第2アームAR2には、腕部102と接続部102aとが設けられている。関節部JTでは、軸受101a、101bの間に接続部102aが配置されている。接続部102aは、軸部SF2と一体的に設けられている。関節部JTでは、軸部SF2が軸受101a、101bの両方に挿入された状態となっている。軸部SF2のうち軸受101bに挿入される側の端部は、軸受101bを貫通して減速機RGに接続されている。
減速機RGは、モータ装置MTRに接続されており、モータ装置MTRの回転を例えば100分の1等に減速して軸部SF2に伝達する。モータ装置MTRとしては、図9に示すモータ装置MTRが用いられている。図10(b)においては図示されていないが、モータ装置MTRの軸部SFのうち負荷側端部SFaは、減速機RGに接続されている。また、モータ装置MTRの軸部SFのうち反負荷側端部SFbには、エンコーダECのスケールSが取り付けられている。
上記のように構成されたロボット装置RBTは、モータ装置MTRを駆動して軸部SFを回転させると、この回転が減速機RGを介して軸部SF2に伝達される。軸部SF2の回転により接続部102aが一体的に回転し、これにより第2アームAR2が、第1アームAR1に対して回転する。その際、エンコーダECは、軸部SFの回転位置等を検出する。従って、エンコーダECからの出力を用いることにより、第2アームAR2の回転位置を検出することができる。
このようにロボット装置RBTによれば、検出精度に優れ、小型のモータ装置MTRを搭載するため、第2アームAR2の回転制御性に優れたロボット装置RBTを得ることができ、ロボット装置RBT全体を小型化することができる。また、小型のエンコーダECを備えるため、関節部JTからの出っ張りが小さくなり、この出っ張りが他の機器等と干渉するのを抑制できる。なお、ロボット装置RBTとしては、上記した構成に限定されず、例えば、関節を備える各種ロボット装置にモータ装置MTRを搭載することができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した各実施形態及び各変形例においては、反射型の光学パターン33を有するスケールS等を例に挙げて説明したが、これに限定されず、光透過型の光学パターンを有するスケール、及びこのスケールを用いたエンコーダ等であってもよい。光透過型の光学パターンが用いられる場合においても、上記した各実施形態及び各変形例と同様の形態を適用することができる。なお、光学パターン33として、光反射パターンを配置することにより、基板の第2面側に光路のためのスペースを設ける必要が無いため、第1磁石の径を大きくすることができるという利点がある。
また、上記した第3実施形態において、第2磁石が円錐形状である構成や円錐台形状である構成を例に挙げて説明したが、これに限るものではなく、例えば半球状など、他の形態が用いられてもよい。また、上記した第2実施形態において、基板10の第1面10aに配置される磁気ヨーク16の形状が円弧状であることに限定されず、例えば、円錐状や円錐台状のものを分割した形状などが用いられてもよい。
S、SA、SB、SC、SD…スケール(エンコーダ用スケール) D、D1…回転方向 M1…第1磁石 M2、M3、M4…第2磁石 H1〜H4、Ha、Hb…磁場 H5、H6…合成磁場 AX…回転軸 EC…エンコーダ SF…軸部(回転部材) MTR…モータ装置 STG…ステージ装置 RBT…ロボット装置 10、10A…基板 10a、10Aa…第1面 10b、10Ab…第2面 10c…外周縁 15…磁気回路 16…磁気ヨーク 20…固定部 33…光学パターン 40…光検出部 50…磁気検出部 51…バイアス磁石 60、70…バックヨーク

Claims (21)

  1. 回転軸を中心として回転する基板を有し、前記回転軸と交差する前記基板の第1面に、回転方向に沿った光学パターンを備えるエンコーダ用スケールであって、
    前記第1面と異なる前記基板の第2面に設けられ、前記回転軸を挟んで異なる磁極に設定される第1磁石と、
    前記第1面に設けられ、前記第1磁石のそれぞれの磁極との間で磁場を形成する第2磁石または磁気ヨークと、を備えるエンコーダ用スケール。
  2. 前記第1磁石は、前記基板の外周縁から一部が外側に突出した状態で配置される請求項1記載のエンコーダ用スケール。
  3. 前記第2面に、測定対象となる回転部材に固定される固定部を有し、
    前記第1磁石は、環状に形成されるとともに、前記固定部を囲んで配置される請求項1または請求項2記載のエンコーダ用スケール。
  4. 前記第2磁石または前記磁気ヨークは、前記回転軸と前記光学パターンとの間に配置される請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のエンコーダ用スケール。
  5. 前記第2磁石は、前記回転軸を中心とした円盤状のものが用いられる請求項4記載のエンコーダ用スケール。
  6. 前記第2磁石は、前記回転軸を中心とした円錐状または円錐台状のものが用いられる請求項4記載のエンコーダ用スケール。
  7. 前記第2磁石は、前記回転軸の方向に前記第1磁石と磁極が異なるように配置される請求項5または請求項6記載のエンコーダ用スケール。
  8. 前記第2磁石は、前記基板との間にバックヨークを有する請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載のエンコーダ用スケール。
  9. 前記磁気ヨークは、前記回転軸の方向の前記第1磁石の磁極と異なる磁極に対して磁気的に接続される請求項4記載のエンコーダ用スケール。
  10. 前記磁気ヨークと前記第1磁石との磁気的な接続は、前記基板に形成された磁気回路を介して行う請求項9記載のエンコーダ用スケール。
  11. 前記第1磁石は、前記第2磁石または前記磁気ヨークより体積が大きい請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載のエンコーダ用スケール。
  12. 前記光学パターンは、光反射型のパターンである請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載のエンコーダ用スケール。
  13. 回転軸を中心として回転するとともに、前記回転軸の回転方向に配置された光学パターンと、
    一方の面に配置される第1磁石と、
    前記一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を備え、
    前記第2磁石または磁気ヨークは、前記第1磁石との間で、磁気検出部によって検出される磁場を形成し、1回転中に少なくとも1回は磁場を変更するエンコーダ用スケール。
  14. 請求項1〜請求項13のいずれか1項に記載のエンコーダ用スケールと、
    前記光学パターンを介した光を検出する光検出部と、
    前記磁場の変更を検出する磁気検出部と、を備えるエンコーダ。
  15. 一方の面に配置される第1磁石と、前記一方の面に対して裏側の他方の面に配置される第2磁石または磁気ヨークと、を有するスケールと、
    前記第1磁石と、前記第2磁石または前記磁気ヨークとの間で形成される磁場を検出する磁気検出部と、を備え
    前記第2磁石または磁気ヨークは、前記第1磁石とは外径が異なるように配置されたエンコーダ。
  16. 前記磁気検出部は、前記他方の面に対向して配置され、
    前記第2磁石または磁気ヨークは、前記第1磁石よりも外径が小さい請求項15に記載のエンコーダ。
  17. 前記磁気検出部は、前記スケールの径方向に関して、前記第2磁石または磁気ヨークの外径よりも外側に配置される請求項16に記載のエンコーダ。
  18. 前記スケールは、回転軸を中心として回転する基板を有し、
    前記第1磁石は、前記基板の前記一方の面において、その外径が前記基板の外周縁から突出した状態で配置される請求項14〜請求項17のいずれか一項に記載のエンコーダ。
  19. 前記スケールは、前記他方の面において、前記第2磁石または磁気ヨークよりも外周側に形成される光学パターンを有する請求項14〜請求項18のいずれか一項に記載のエンコーダ。
  20. 回転部材と、
    前記回転部材を回転させる駆動部と、
    前記回転部材に固定され、前記回転部材の位置情報を検出するエンコーダと、を備え、
    前記エンコーダとして、請求項14〜請求項19のうちいずれか1項に記載のエンコーダが用いられる駆動装置。
  21. 移動物体と、
    前記移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、
    前記駆動装置として、請求項20記載の駆動装置が用いられるステージ装置。
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