JP6611446B2 - 振動型駆動装置及び撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動体と被駆動体とを加圧接触させ、振動体に所定の振動を励振することにより振動体と被駆動体とを相対的に移動させる振動型駆動装置、及び、振動型駆動装置を備える撮像装置に関する。

振動体と被駆動体とを加圧接触させ、振動体に振動を励振させることによって振動体と被駆動体とを相対的に移動させる振動型駆動装置として、シャフトを回転中心軸として振動体と被駆動体とを相対的に回転移動させる構造を有するものが知られている。

例えば、特許文献１に開示された振動型アクチュエータでは、略円筒状の振動体が、シャフトに通されてシャフトのスラスト方向において加圧保持される。振動体と接触するように環状の被駆動体がシャフトに通され、被駆動体と接触するように環状の皿バネがシャフトに通される。更に、皿バネと接触するように環状の出力ギアがシャフトに通され、皿バネに所定の付勢力が生じるようにシャフトにフランジが固定される。これにより、被駆動体、皿バネ及び出力ギアは、シャフトを中心軸として回転自在な状態で、シャフトのスラスト方向において加圧保持される。特許文献１では、皿バネを出力ギア及び被駆動体と接合して、被駆動体、皿バネ及び出力ギアが一体的に回転可能な構成としている。

図１０（ａ）は、上述した被駆動体と振動体との加圧接触部の概略構成を示す部分断面図である。環状の被駆動体９１は、金属材料からなる本体部９２に筒状の金属部材９３が樹脂接着剤を用いて接合された構造を有する。金属部材９３はスラスト方向にバネ性を有しており、金属部材９３の開放側の端面（本体部９２に接合されていないスラスト方向の端面）は、金属材料からなる弾性体９５の端面に加圧接触している。

弾性体９５は振動体において被駆動体９１と加圧接触する部材であり、弾性体９５には不図示の圧電素子が接合されている。圧電素子に所定の交流電圧を印加することによって弾性体９５における金属部材９３との接触面に所定の振動を生じさせることによって、弾性体９５は金属部材９３に対して被駆動体９１を回転移動させる摩擦駆動力（推力）を与える。

なお、弾性体９５における金属部材９３との摩擦摺動面には、耐摩耗を高める処理（例えば、弾性体９５がステンレス材からなる場合には、窒化処理や焼き入れ処理）が施されている。金属部材９３も、例えば、マルテンサイト系ステンレスの薄板をテーパリング状にプレス成型した後に、焼き入れ等の熱処理を行うことで耐摩耗性が高められている。

特開２００５−２３７０５３号公報

金属部材９３における弾性体９５との接触面は、弾性体９５の摩擦摺動面に生じる振動の山部と接触する際に、一定の面積を持った領域で接触する。このとき、金属部材９３の周方向においてバネ性にむらがあると（剛性が大きい部分と小さい部分とがあると）、金属部材９３が受ける摩擦駆動力にむらが生じてしまうため、金属部材９３は全周にわたって均一なバネ性を有していることが望ましい。

また、例えば、振動体での駆動振動の励振を停止したとき（被駆動体９１の駆動を停止させたとき）に金属部材９３に振動が残ってしまうと、目的とする停止位置と実際に停止する位置との間にずれが生じてしまうおそれがある。更に、駆動振動以外の不要な振動が駆動振動に重畳した場合には、速やかに不要な振動を減衰させる必要がある。したがって、金属部材９３には、一定の振動減衰特性を備えていることが要求される。

金属部材９３にバネ性の均一性と振動減衰特性を持たせるための形状面からのアプローチを考えた場合、金属部材９３における摩擦摺動面を真円に近付けることが望ましい。しかしながら、金属部材９３は、薄肉の部材であるため、熱処理後に変形を生じやすい。

図１０（ｂ）は、図１０（ａ）中の矢視Ａ−Ａの断面図であり、金属部材９３の変形の一例を示しており、熱処理後に金属部材９３の真円度が低下して楕円環状となった状態を示している。金属部材９３が楕円環状となることでバネ性が不均一になってしまい、摩擦駆動力にむらが生じてしまうことによって回転速度にむらが生じてしまう。

また、金属部材９３が楕円環状となることで、樹脂接着剤からなる樹脂接着層（以下「接着層」という）９７に厚さの不均一が生じる。ここで、接着層９７は、樹脂からなるために、金属部材９３の振動減衰特性に影響を与え、接着層９７に厚さの不均一が生じていることによって、金属部材９３の周方向における振動減衰特性及びバネ性（バネ定数）にばらつきが生じる。これに対して、例えば、本体部９２において金属部材９３と嵌合する部分の外径を大きくして接着層９７が全体的に薄く形成されるようにした場合には、振動減衰効果が低下する傾向になる。逆に、本体部９２において金属部材９３と嵌合する部分の外径を小さくして接着層９７が全体的に過剰に厚く形成されるようにすると、金属部材９３のバネ性（バネ定数）が低下する方向になる。

本発明は、駆動効率の低下を抑制しつつ、均一な振動減衰特性を有する振動型駆動装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様は、電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、弾性体と、前記弾性体に取り付けられた金属部材とを有し、前記金属部材が前記振動体と加圧接触する被駆動体と、前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、前記金属部材は、円筒形状を有し、前記弾性体は、第１の円周曲面と、第１の円周曲面よりも外径の小さい第２の円周曲面とを有し、前記第１の円周曲面で前記金属部材と嵌合し、前記第１の円周曲面と前記金属部材の間、及び、前記第２の円周曲面と前記金属部材の間に接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置、である。

本発明の別の一態様は、弾性体と、前記弾性体に取り付けられた電気−機械エネルギ変換素子と、前記弾性体に嵌合により取り付けられた金属部材とを有する振動体と、前記振動体の前記金属部材と加圧接触する被駆動体と、前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、前記金属部材は、平板環状で内径側と外径側とで厚さ方向に段差を有し、且つ、前記弾性体と嵌合する嵌合部と、前記被駆動体と接触するバネ部とを有し、前記弾性体は、前記金属部材の中心孔と嵌合する凸部と、前記凸部の外周に設けられ、前記金属部材と接触する平坦部とを有し、前記金属部材の前記バネ部と前記嵌合部の間の部分と、前記弾性体と、の間に接着剤が介在し、前記金属部材が前記弾性体と嵌合した状態では、前記金属部材の内径側が前記平坦部と接触し、前記金属部材の外径側と前記平坦部の間に前記接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置、である。
本発明の更に別の一態様は、弾性体と、前記弾性体に取り付けられた電気−機械エネルギ変換素子と、前記弾性体に嵌合により取り付けられた平板環状の金属部材とを有する振動体と、前記振動体の前記金属部材と加圧接触する被駆動体と、前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、前記金属部材は、前記弾性体と嵌合する嵌合部と、前記被駆動体と接触するバネ部とを有し、前記弾性体は、前記金属部材の中心孔と嵌合する凸部と、前記凸部の外周に設けられ、前記金属部材と接触する平坦部と、前記平坦部の外周に設けられた段差部とを有し、前記金属部材の前記バネ部と前記嵌合部の間の部分と、前記弾性体と、の間に接着剤が介在し、前記金属部材が前記弾性体と嵌合した状態では、前記平坦部は前記金属部材と接触し、前記平坦部の外周側の段差部と前記金属部材の間に前記接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置、である。

本発明によれば、バネ性を有する金属部材を、振動体に嵌合により取り付けて被駆動体と加圧接触させ又は被駆動体に嵌合により取り付けて振動体と加圧接触させたときに、金属部材の嵌合部とバネ部との間に樹脂接着層を均一に設けた構成とする。金属部材を嵌合により取り付けることにより金属部材の変形を矯正して、バネ性の均一性を高めることができると共に、樹脂接着層が金属部材に均一に接触することによって均一な振動減衰特性を得ることができる。これにより、駆動効率の低下を抑制しつつ、安定した回転駆動性能を得ることができる。

本発明の実施形態に係る振動型駆動装置の概略構成を示す断面図である。 図１の振動型駆動装置を構成する主要な内部構成部品の分解図である。 図１の振動型駆動装置を構成する振動体の分解図である。 図１に示す領域Ａの拡大図である。 図１の振動型駆動装置を構成する第１の変形例に係る被駆動体と振動体との加圧接触部の概略構成を示す断面図である。 図１の振動型駆動装置を構成する第２の変形例に係る被駆動体と振動体との加圧接触部の概略構成を示す断面図である。 図１の振動型駆動装置を構成する振動体の変形例と被駆動体と加圧接触部の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態に係る回転駆動装置の概略構成を示す斜視図である。 図８の回転駆動装置に用いられる振動体に用いられる圧電素子の概略構成を示す分解斜視図である。 従来の振動型駆動装置を構成する被駆動体と振動体との加圧接触部の概略構成を示す部分断面図と、部分断面図に示す矢視Ａ−Ａの断面図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る振動型駆動装置１００の概略構成を示す断面図である。図２は、振動型駆動装置１００の主要な内部構成部品の分解図である。振動型駆動装置１００は、大略的に、フランジ１４、側面カバー１５、ハウジング２８ａ，２８ｂからなるケースに内部構成部品が収容されて構成されている。

振動型駆動装置１００は、内部構成部品として、被駆動体１Ａ，１Ｂ、振動体２、振動体支持部材５、フレキシブル配線基板６、加圧バネ（加圧部材）７ａ，７ｂ、加圧力均一化リング８ａ，８ｂ、回転伝達部材９ａ，９ｂ及び内部軸受け１０ａ，１０ｂを有する。また、振動型駆動装置１００は、シャフト（軸部材）１１、軸受け１２ａ，１２ｂ、エンコーダ１３、Ｅリング１６及びスペーサ１７を有する。なお、以下の説明では、シャフト１１のスラスト方向（軸方向）を、単にスラスト方向と言うこととする。

振動体２は、略円環形状を有する電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子３が、スラスト方向において略円筒形状を有する弾性体４ａ，４ｂに挟持された構造を有する。弾性体４ａ，４ｂはそれぞれ、スラスト方向において対称となる形状（実質的に同じ形状）を有しており、圧電素子３を挟持した状態で、例えば、電気抵抗溶接によりそれぞれの内径側で接合されている。振動体２は、振動体支持部材５を介して側面カバー１５とハウジング２８ａによって保持されている。

圧電素子３には、圧電素子３への給電を行うフレキシブル配線基板６が接して配置されている。なお、フレキシブル配線基板６は、圧電素子３を駆動することによって生じる電圧を検出するための配線も有する。振動体２は、シャフト１１に通される。弾性体４ａ側には、内部軸受け１０ａ、被駆動体１Ａ、加圧力均一化リング８ａ、加圧バネ７ａ及び回転伝達部材９ａがこの順にシャフト１１に通されている。加圧力均一化リング８ａは、樹脂製で、コイルバネである加圧バネ７ａの端部で生じる加圧ムラを軽減する機能を有する。内部軸受け１０ａにも、樹脂製のものが用いられる。

被駆動体１Ａは、バネ性を有する円筒状（環状）の金属部材５１と、金属部材５１を嵌合保持すると共に接着保持する弾性体５２とを有する。弾性体５２も、金属材料からなる。金属部材５１の一方の開放端面は、振動体２を構成する弾性体４ａと加圧接触し、摩擦摺動するため、金属部材５１における弾性体４ａとの摩擦摺動面には、ラップ処理による平面化加工処理が施されている。

被駆動体１Ａは、加圧力均一化リング８ａを支持し、弾性体５２と接着される駆動力伝達部材５３を有する。図２において被駆動体１Ａは、金属部材５１、弾性体５２及び駆動力伝達部材５３が接着されて一体化された状態で示されている。

回転伝達部材９ａは、被駆動体１Ａの回転駆動力をシャフト１１に伝達する部材であり、シャフト１１に圧入され、弾性体５２に回転力を伝達する機能を付与するために爪（不図示）を有している。ハウジング２８ａには軸受け１２ａが取り付けられており、軸受け１２ａはハウジング２８ａに対してシャフト１１を回転自在に支持している。

弾性体４ａ側と弾性体４ｂ側とでは、回転伝達部材９ａ，９ｂのそれぞれに形状の差異はあるが、これは、回転伝達部材９ｂには、エンコーダ反射板を貼り付ける部分が加えられているためであり、機能は上述の通りに回転伝達部材９ａと同じである。軸受け１２ａは、ボールベアリングであって、Ｅリング１６及びスペーサ１７と回転伝達部材９ａとの間に挟まれており、仮にシャフト１１にスラスト力が加わってもボールベアリングで受けることで摩擦部での加圧力に変動をきたさないようになっている。そこで、弾性体４ｂ側の構成については、以下に簡略化して説明する。

弾性体４ｂ側には、内部軸受け１０ｂ、被駆動体１Ｂ、加圧力均一化リング８ｂ、加圧バネ７ｂ及び回転伝達部材９ｂがこの順でシャフト１１に通されている。被駆動体１Ｂは、被駆動体１Ａと同じく、金属部材５１、弾性体５２及び駆動力伝達部材５３を有し、図２において被駆動体１Ｂはこれらの部品が分解された状態で示されている。

ハウジング２８ｂには軸受け１２ｂが取り付けられており、軸受け１２ｂはハウジング２８ｂに対してシャフト１１を回転自在に支持している。回転伝達部材９ｂは、シャフト１１に圧入され、且つ、被駆動体１Ｂに、前述の通り、爪（不図示）により回転力を伝達する。ハウジング２８ａ，２８ｂは、側面カバー１５を介して接合される。

上記の通りに構成された振動型駆動装置１００では、スラスト方向において回転伝達部材９ａを一端部として、加圧バネ７ａが加圧力均一化リング８ａを介して被駆動体１Ａを振動体２側へ押圧する。同様に、スラスト方向において回転伝達部材９ｂは軸受け１２ｂに当接し、加圧バネ７ｂが加圧力均一化リング８ｂを介して被駆動体１Ｂを振動体２側へ押圧する。シャフト１１にそれぞれ圧入固定された２つの回転伝達部材９ａ，９ｂの間に挟まれて、２つのコイルバネである加圧バネ７ａ，７ｂにより２つの被駆動体１Ａ，１Ｂをそれぞれ弾性体４ａ，４ｂに加圧接触させている。つまり、被駆動体１Ａを構成する金属部材５１の開放端は振動体２を構成する弾性体４ａにおける被駆動体１Ａ側の面と加圧接触し、被駆動体１Ｂを構成する金属部材５１の開放端は振動体２を構成する弾性体４ｂにおける被駆動体１Ｂ側の面と加圧接触する。

振動体２に後述する所定の振動を励振させることにより、被駆動体１Ａの金属部材５１が弾性体４ａによって摩擦駆動され、回転駆動力が被駆動体１Ａの金属部材５１に与えられる。これにより、被駆動体１Ａ、回転伝達部材９ａ、加圧バネ７ａ及び加圧力均一化リング８ａがシャフト１１を回転中心軸として一体的に、振動体２に対して相対的に回転移動する。同様に、被駆動体１Ｂの金属部材５１が弾性体４ｂによって摩擦駆動され、回転駆動力が被駆動体１Ｂの金属部材５１に与えられる。これにより、被駆動体１Ｂ、回転伝達部材９ｂ、加圧バネ７ｂ及び加圧力均一化リング８ｂがシャフト１１を回転中心軸として一体的に、振動体２に対して相対的に回転移動する。

したがって、回転伝達部材９ａ，９ｂが取り付けられているシャフト１１を回転させることができる。このように、２つの被駆動体１Ａ，１Ｂで振動体２を挟持する構成とすることで、被駆動体が１つの振動型駆動装置（例えば、上記特許文献１に開示された超音波モータ）に比べて、２倍のトルクを発生させることができる。なお、前述したように、ハウジング２８ａに固定された軸受け１２ａの片面側には、スペーサ１７を介してシャフト１１の溝部にＥリング１６が設けられているので、シャフト１１にスラスト方向に外力が作用しても、その外力が、振動体２と被駆動体１Ａ，１Ｂとの加圧接触部での加圧力に影響しない構成となっている。

また、振動型駆動装置１００では、加圧バネ７ａ，７ｂが被駆動体１Ａ，１Ｂを振動体２に押し付ける加圧力の反力は、シャフト１１の張力になっているだけで、加圧バネ７ａ，７ｂによるスラスト力は軸受け１２ａ，１２ｂには加わらない。そのため、加圧バネ７ａ，７ｂによるスラスト力を受け止める大きな軸受けは不要であり、シャフト１１と軸受け１２ａ，１２ｂとの摩擦によるエネルギ損失を小さく抑えることができる。

更に、振動体支持部材５には、被駆動体１Ａ，１Ｂの回転トルクに起因するねじれ反力のみが加わるため、スラスト方向の剛性は小さくても構わない。本実施形態では、振動体支持部材５自体を、スラスト方向と直交する方向で柔軟な構成とすることで、振動体２の振動を阻害しないようにしている。

なお、ハウジング２８ｂには、回転伝達部材９ｂの回転角度（シャフト１１の回転角度）を検出するためのエンコーダ１３が取り付けられている。回転伝達部材９ｂにおいてスラスト方向と直交する軸受け１２ｂ側の面にはエンコーダ反射板が設けられており、エンコーダ１３は、発光素子からエンコーダ反射板に測定光を照射したときの反射光を受光素子で検知する。この検知情報は、振動型駆動装置１００での駆動制御に用いられる。

次に、振動体２の構成について、図３を参照して説明する。図３は、振動体２の分解斜視図である。振動体２を構成する圧電素子３は、所定の曲げ振動を発生させるための電極パターンが形成された薄板状の圧電セラミックスと電極とが一体焼成により形成された積層構造を有する。例えば、圧電板の厚さを８０μｍとし、積層枚数を２２枚とすることができるが、これに限定されるものではない。

不図示の電源からフレキシブル配線基板６を介して圧電素子３の電極群に位相の異なる交流電界を印加することで、互いに直交する２つの曲げ振動を振動体２に励振させることができる。その際に、印加する交流電界の位相を調整することにより、２つの曲げ振動間に９０度の時間的な位相差を与えることができ、その結果、合成された２つの曲げ振動は縄跳びの縄と同様の振動を発生する。これにより、弾性体４ａにおける被駆動体１Ａとの摩擦摺動面上と弾性体４ｂにおける被駆動体１Ｂとの摩擦摺動面上のそれぞれに楕円運動が形成され、各面に押圧された金属部材５１が摩擦駆動されることでシャフト１１を回転させることができる。

なお、内部軸受け１０ａ，１０ｂは、振動を阻害しないように振動の節となる位置（またはその近傍）に配置されており、これにより、振動体２との直接接触を避けてシャフト１１との同軸性を確保することができる。

次に、被駆動体１Ａと振動体２との加圧接触部の構成について詳細に説明する。図４は、図１に示す領域Ａの拡大図であり、被駆動体１Ａと振動体２（の弾性体４ａ）との加圧接触部の構成を示している。

被駆動体１Ａを構成する弾性体５２は、例えば、金属材料を旋盤加工することによって作製されており、そのため、高い真円度を有する。本実施形態では、弾性体５２の外周面は円周曲面から構成されており、外周部に少なくとも２つの段差部が設けられることで、外径の異なる円周曲面が形成されている。本実施形態では、弾性体５２は、外径が大きい方から順に、鍔部（フランジ部）５２ｐ、第１の円周曲面を有する嵌合部５２ｑ、嵌合部５２ｑの第１の円周曲面よりも外径の小さい第２の円周曲面を有する接着層形成部５２ｒを有するものと定義する。

金属部材５１は、マルテンサイト系ステンレスの薄板をテーパリング状にプレス成型した後に、耐摩耗性を高めるために、焼き入れ処理等の熱処理を行うことで作製されている。図１０（ｂ）を参照して説明したように、金属部材５１には、個々に程度は異なるが、真円から楕円等に歪むような変形が生じているものがある。

金属部材５１には、振動体２側を内径側に折り曲げることによりバネ部５１ｓが形成されており、これにより金属部材５１にバネ性を持たせている。また、金属部材５１において、バネ部５１ｓの反対側には、曲げ部５１ｐが形成されている。金属部材５１における曲げ部５１ｐからバネ部５１ｓ側への一定の範囲が金属部材５１における嵌合部５１ｑとなっており、金属部材５１の嵌合部５１ｑと弾性体５２の嵌合部５２ｑとが中間嵌めにより嵌合される。

このとき、本実施形態では、曲げ部５１ｐを鍔部５２ｐに当接させることで金属部材５１の弾性体５２への嵌め込みが完了する構成としている。したがって、鍔部５２ｐは、金属部材５１を弾性体５２に嵌合させる際のストッパとして機能し、金属部材５１を弾性体５２に対して位置決めする。なお、金属部材５１において曲げ部５１ｐは必ずしも必要ではなく、曲げ部５１ｐを設けずに、金属部材５１における鍔部５２ｐ側の端面が鍔部５２ｐに当接する構成としてもよい。

金属部材５１の嵌合部５１ｑと弾性体５２の嵌合部５２ｑとが中間嵌めにより嵌合される際に、金属部材５１の変形は、金属部材５１全体が真円に近付くように矯正される。これにより、金属部材５１のバネ性が周方向において均一に近付く。また、金属部材５１全体が弾性体５２に対する中間嵌めによって真円に近付くように矯正されることで、金属部材５１において振動体２と加圧接触するバネ部５１ｓの開放端の形状も、スラスト方向から見たときに真円に近付く。これにより、金属部材５１が振動体２から受ける摩擦駆動力に周方向でむらが生じることが抑制され、安定した回転駆動性能が得られるようになる。

弾性体５２の接着層形成部５２ｒと、金属部材５１における嵌合部５１ｑとバネ部５１ｓとの間の部分と、の間には、樹脂接着剤（以下「接着剤」と記す）が充填された樹脂接着層（以下「接着層」と記す）５５が形成されている。金属部材５１全体が真円に近付くように矯正されることによって、接着層５５は、スラスト方向と直交するラジアル方向において、弾性体５２における嵌合部５２ｑと接着層形成部５２ｒとの半径差に相当する略均一な厚さの環状の形状を有する。

接着層５５は、金属部材５１が弾性体４ａから受ける不要な振動や外部から加わる振動を減衰させる機能を有する。そのため、接着層５５のラジアル方向での厚さが略均一に形成されることで、金属部材５１における振動減衰機能を周方向で一定とすることができ、これにより、安定した回転駆動性能が得られるようになる。

接着層５５は、例えば、弾性体５２の嵌合部５２ｑと接着層形成部５２ｒの外周面に接着剤を塗布した後に、弾性体５２に金属部材５１を嵌合することによって形成することができる。この場合、弾性体５２と金属部材５１との間の中間嵌めの領域では、微視的に見れば接着剤が介在し、金属部材５１と弾性体５２とを接着すると考えられる。また、接着層５５は、弾性体５２に金属部材５１を嵌合した後に、接着層形成部５２ｒと金属部材５１との間に接着剤を流し込んで硬化させることによって形成することもできる。この場合も、弾性体５２と金属部材５１との間の中間嵌めの領域で、弾性体５２と金属部材５１との間に隙間があると、その隙間に毛細管効果によって接着剤が流れ込み、弾性体５２と金属部材５１とを接着すると考えられる。

しかし、弾性体５２と金属部材５１との間の中間嵌めの領域において弾性体５２と金属部材５１との間に接着剤が存在しても、その接着剤は、接着層５５の厚さよりも極めて薄いため、接着機能のみを有し、振動減衰機能を実質的に有していないため、機能面から接着層５５と区別される。また、被駆動体１Ａでは、金属部材５１を弾性体５２に対して中間嵌めにより嵌合することで金属部材５１が嵌合前に有している変形を矯正する必要がある。つまり、弾性体５２と金属部材５１との間の中間嵌めの領域において弾性体５２と金属部材５１との間に接着剤が介在して金属部材５１を弾性体５２に接着しても、金属部材５１の弾性体５２に対する中間嵌めが不要になるものではない。よって、本実施形態では、弾性体５２と金属部材５１との間の中間嵌めの領域において金属部材５１と弾性体５２との間に実質的に接着機能のみを発揮し、振動減衰機能を発揮しない接着剤が存在することは、許容される。

なお、被駆動体１Ｂと振動体２との加圧接触部の構成は、被駆動体１Ａと振動体２との加圧接触部の構成と同じであるため、説明を省略する。

＜第２実施形態＞
第２実施形態では、弾性体５２の変形例である弾性体５２Ａを備える被駆動体１ＡＡについて説明し、第１実施形態と共通する説明を省略する。

図５は、振動型駆動装置１００を構成する被駆動体１ＡＡと振動体２（の弾性体４ａ）との加圧接触部の概略構成を示す断面図であり、図４と同じ視点で示されている。被駆動体１ＡＡは、金属部材５１、弾性体５２Ａ及び不図示の駆動力伝達部材５３から構成され、金属部材５１及び駆動力伝達部材５３は、第１実施形態で説明した被駆動体１Ａを構成するものと同じである。

第１実施形態では、弾性体５２の外周面に段差部（接着層形成部５２ｒ）を設けることによって、ラジアル方向での厚さが略均一な接着層５５を形成した。これに対して、弾性体５２Ａには、嵌合部５２ｑから振動体２側へ向けて連続的に外径が小さくなるようにテーパ面５２ｒ１が形成されている。よって、金属部材５１と弾性体５２とを中間嵌めにより嵌合したときに、弾性体５２のテーパ面５２ｒ１と金属部材５１との間に接着剤が充填されることにより、スラスト方向軸を含む断面で見たときの形状が三角形となる接着層５６が形成される。

接着層５６も、周方向で略均一に形成されるため、金属部材５１に対する振動減衰機能を周方向で一定とすることができ、これにより、安定した回転駆動性能を得ることができる。なお、接着層５６の形成方法は、第１実施形態で説明した接着層５５の形成方法と同じであるため、説明を省略する。

＜第３実施形態＞
第３実施形態では、金属部材５１の変形例である金属部材５１Ａを備える被駆動体１ＡＢについて説明し、第１実施形態と共通する説明を省略する。

図６は、振動型駆動装置１００を構成する被駆動体１ＡＢと振動体２（の弾性体４ａ）との加圧接触部の概略構成を示す断面図であり、図４と同じ視点で示されている。被駆動体１ＡＢは、金属部材５１Ａ、弾性体５２及び不図示の駆動力伝達部材５３から構成され、弾性体５２及び駆動力伝達部材５３は、第１実施形態で説明した被駆動体１Ａを構成するものと同じである。

金属部材５１Ａには、金属部材５１Ａが弾性体５２に嵌合されたときに弾性体５２の嵌合部５２ｑと接着層形成部５２ｒとの境界となる段差部に対応する位置に１つ又は複数の孔部５１ｒが設けられており、金属部材５１Ａのその他の構成は、第１実施形態で説明した金属部材５１と同じである。金属部材５１Ａの嵌合部５１ｑと弾性体５２の嵌合部５２ｑとが中間嵌めにより嵌合され、これにより、金属部材５１Ａに変形が生じている場合には、金属部材５１Ａは真円状となるように形状が矯正される。

金属部材５１Ａの弾性体５２に対する中間嵌めは、弾性体５２の嵌合部５２ｑと接着層形成部５２ｒの外周表面に接着剤が塗布されていない状態で行われる。そして、金属部材５１Ａと弾性体５２とが嵌合した状態で、孔部５１ｒから接着層形成部５２ｒへ向けて接着剤が注入される。これにより、毛細管現象によって、弾性体５２と金属部材５１Ａとの間に接着剤からなる接着層５７が周方向に均一に形成されると共に、金属部材５１Ａが弾性体５２に接着、固定される。

金属部材５１Ａの中間嵌め後に孔部５１ｒから接着剤を注入する方法は、第１実施形態で説明した弾性体５２の外周面に接着剤を塗布した後に金属部材５１の中間嵌めを行う方法と比較すると、接着層５７を形成するための接着剤量の管理が容易になる利点がある。即ち、弾性体５２の外周面に接着剤を塗布した後に金属部材５１を嵌合させた場合、弾性体５２の嵌合部５２ｑの外径と金属部材５１の嵌合部５１ｑの内径との公差が小さい部分では接着剤が多くそぎ落とされてしまう。その結果、形成される接着層５５における接着剤の量が周方向で均一にならないおそれがあり、また、接着層５５を形成する接着剤の量が所望する量に満たなくなるおそれがある。

これに対して、孔部５１ｒから接着剤を注入する方法を用いた場合、所定量の接着剤を途切れることなく、弾性体５２と金属部材５１Ａとの間の全周に行きわたらせることができる。その際、弾性体５２と金属部材５１Ａとの間で隙間が拡大する部分（接着層形成部５２ｒにおける振動体２側で金属部材５１Ａが弾性体５２と対向しなくなる部分）では、接着剤の進行が停止する。よって、孔部５１ｒに接着剤が残存して、接着層５５が孔部５１ｒの内部へ続いていることで、接着剤が欠乏していないことを確認することができる。

なお、接着剤を供給するための孔部は、弾性体５２に設けてもよい。また、第２実施形態で説明した弾性体５２Ａに対して本実施形態で説明した金属部材５１Ａを組み合わせることによって被駆動体を構成してもよい。

＜第４実施形態＞
第１乃至第３実施形態では、被駆動体１Ａにおいて振動体２と加圧接触する部分にバネ部（バネ性を有する金属部材５１，５１Ａのバネ部５１ｓ）を設けた構成について説明した。これに対して、第４実施形態では、振動体において被駆動体と加圧接触する部分にバネ部を設けた構成について説明する。

図７（ａ）は、被駆動体１Ｃと振動体との加圧接触部の概略構成を示す断面図である。図７（ａ）に示す部分は、図４に示した図１中の領域Ａの構成の変形例に相当し、振動型駆動装置を構成するその他の部位や部品の構成は第１実施形態と同じであるため、それらについての説明は省略する。

被駆動体１Ｃは、不図示の駆動力伝達部材５３と、駆動力伝達部材５３と接着される弾性体５４から構成される。弾性体５４には、振動体を構成する平板環状（ワッシャ状）の金属部材４３と加圧接触する筒状の摩擦駆動部５４ａが設けられており、摩擦駆動部５４ａには、耐摩耗性を高めるための所定の処理が施されている。また、摩擦駆動部５４ａにおける金属部材４３との加圧接触面には、ラップ処理による平面化加工処理が施されている。

振動体を構成する弾性体４２は、弾性体４ａに代わる部材である。弾性体４２の被駆動体１Ｃ側の面には、平板環状の金属部材４３が嵌合保持されると共に接着保持されている。弾性体４２の被駆動体１Ｃ側の面には、隙間嵌め又は中間嵌めにより金属部材４３の中心孔と嵌合する凸部４２ａが形成されており、凸部４２ａの外周側には、金属部材４３を接着、固定するための平坦部４２ｂが設けられている。そして、平坦部４２ｂの外周側には、金属部材４３の外周部を浮いた状態とすることで金属部材４３にバネ性を持たせるための段差が設けられている。

金属部材４３は、金属部材５１と同様に、プレス成型された後に、耐摩耗性を高めるために焼き入れ等の熱処理を行うことで作製されている。金属部材４３には、内径側が弾性体４２の平坦部４２ｂと接触したときに外径側が摩擦駆動部５４ａに近付くように、内径側と外径側とで厚さ方向に段差が設けられている。

弾性体４２の平坦部４２ｂに接着剤を塗布した後に、金属部材４３の中心孔を凸部４２ａに嵌合させると共に、金属部材４３の内径側を平坦部４２ｂに対して接着する。これにより、金属部材４３のスラスト方向（厚さ方向）での歪みをより平坦な状態へ矯正することができる。

金属部材４３には段差が設けられており、平坦部４２ｂの外周側は金属部材４３と接触していないため（換言すれば、金属部材４３の外周側が平坦部４２ｂと接触していないため）、外周側にはみ出た接着剤により接着層４４が形成される。金属部材４３において平坦部４２ｂと接着されていない外周部は、バネ性を有するバネ部４３ｓとして機能する。接着層４４は、金属部材４３のバネ部４３ｓと嵌合部の間の部分と弾性体４２との間に形成され、金属部材４３に形成された段差に起因してスラスト方向において一定の厚さを有するため、金属部材４３の振動減衰特性を周方向において均一にすることができる。なお、弾性体４２の平坦部４２ｂに接着剤を塗布せずに金属部材４３を弾性体４２に嵌合した後に、金属部材４３の外周部と平坦部４２ｂとの間の隙間に接着剤を供給することによって接着層４４を形成してもよい。

図７（ｂ）は、被駆動体１Ｃと加圧接触する振動体の変形例の概略構成を示す断面図である。なお、図７（ｂ）では、被駆動体１Ｃの図示を省略している。金属部材４３の変形例である金属部材４３Ａは、厚さが略均一なワッシャ状の形状を有する。そのため、接着層４５を形成するために、弾性体４２の平坦部４２ｂの外周側には、金属部材４３Ａと接触しない段差部が設けられている。

接着層４５は、弾性体４２の平坦部４２ｂに接着剤を塗布した後に、金属部材４３Ａの中心孔を凸部４２ａに嵌合させ、その際に外周側にはみ出した接着剤により形成することができる。また、弾性体４２の平坦部４２ｂに接着剤を塗布せずに金属部材４３を弾性体４２に嵌合した後に、金属部材４３Ａと平坦部４２ｂの外周部との間に形成される隙間に接着剤を注入することによって接着層４５を形成してもよい。

不図示であるが、平坦部４２ｂの内周側と外周側とで段差を設ける代わりに、平坦部４２ｂの外周側にテーパ面を設けて、内径側で厚さが薄く、外径側で厚さが厚くなる接着層を設けてもよい。更に、第２実施形態で説明した接着層５７と同様に、金属部材４３，４３Ａの所定位置に孔部を設け、その孔部から接着剤を流し込むことで接着層を形成することもできる。

なお、本実施形態では、振動体を構成するバネ性を有する金属部材として平板環状の金属部材４３，４３Ａを取り上げたが、バネ性を有する金属部材の形状はこれに限定されるものではない。後述する第５実施形態で説明するように、振動体を構成するバネ性を有する金属部材として、筒状の金属部材を用いることもできる。

第１乃至第３実施形態では、ばね性を有する金属部材のスラスト方向において、バネ部と嵌合部との間の部分と、弾性体と、の間に接着層が設けられた構成とした。これに対して、第４実施形態では、ばね性を有する金属部材のラジアル方向において、バネ部と嵌合部との間の部分と、弾性体と、の間に接着層が設けられた構成とした。このように本発明では、振動体と被駆動体との加圧接触部を基準として、バネ性を有する金属部材を有する振動体又は被駆動体へ向かって順に、金属部材のバネ部、金属部材が取り付けられた振動体の弾性体又は被駆動体の弾性体と金属部材との間に形成された接着層、振動体の弾性体又は被駆動体の弾性体と金属部材との嵌合部が設けられた構造となっている。これにより、金属部材に生じている歪みを矯正すると共に不要な振動を速やかに減衰させることができるため、駆動効率の低下を抑制すると共に安定した駆動性能を得ることができる。

＜第５実施形態＞
第５実施形態では、回転駆動装置について説明する。図８（ａ）は、回転駆動装置２００の概略構成を示す斜視図である。回転駆動装置２００は、内筒７０、外筒７２及び振動体８０を備える。外筒７２と内筒７０とは回転自在に嵌合されており、後述するように、振動体８０に所定の振動を励振させることにより、軸心を中心として相対的に回転変位させることが可能となっている。

外筒７２の中空部や、外筒７２とカム係合して軸方向に進退可能な不図示の部品に光学部品や配線等が設けられ、或いは流体を流通させる構成とすることができる。例えば、外筒７２とカム係合して直進移動する不図示の部品にズームレンズやフォーカスレンズ等のレンズ群を保持させることにより、撮像装置のレンズ鏡筒を実現することができる。レンズ鏡筒は、レンズ群を光軸方向に移動可能な構成として、レンズ群を通過した光が撮像装置本体に設けられた撮像素子に結像するように構成される。

回転駆動装置２００では、３個の振動体８０（１個は不図示）が周方向において等間隔に配置されている。但し、配置される振動体８０は、３個に限定されるものではなく、より少ない１個又は２個でもよく、逆に４個以上であってもよい。１個又は２個の振動体８０を配置する場合、内筒７０に対する外筒７２のバランスを取るために、３個との差分の数だけボールベアリング等の軸受けを配置することが望ましい。

図８（ｂ）は、振動体８０を含む回転駆動装置２００の軸心を含む断面図である。回転駆動装置２００では、加圧バネ７６を有するバヨネットリング７８と外筒７２との間で振動体８０をスラスト方向で挟持している。バヨネットリング７８は内筒７０に固定されている。振動体８０の中心を貫通するシャフト８１は、内筒７０と外筒７２との間に配置された中間筒７４に固定されている。本実施形態では、内筒７０と外筒７２は、中間筒７４に対して相対的に回転可能に係合されている。

第１乃至第４実施形態では、振動体が固定されてシャフトを回転させる構成について説明したが、ここでは、シャフト８１が固定されて振動体８０が回転可能な構成としている。振動体８０を回転させるための構成については、図８（ｃ）及び図９を参照して後述する。

図８（ｃ）は、図８（ｂ）中の領域Ｂの拡大図である。外筒７２の振動体８０側には、ブチルゴム８７ａを介して摩擦部材８８ａが固定されている。同様に、バヨネットリング７８の振動体８０側は、加圧バネ７６から振動体８０側へ順に、バックアップリング７７、ブチルゴム８７ｂ、摩擦部材８８ｂが固定された構成となっている。なお、摩擦部材８８ｂの表面には、振動体８０が有する圧電素子８４への給電を行うための不図示の電極パターンが設けられている。

振動体８０の概略構成は、第１実施形態で説明した振動体２と同様であり、圧電素子８４が弾性体８３ａ，８３ｂによってシャフト８１のスラスト方向に挟持された構造を有する。弾性体８３ａ，８３ｂはそれぞれ、第１実施形態で説明した弾性体４ａ，４ｂに相当する部材である。弾性体８３ａ，８３ｂのそれぞれに、第１実施形態で説明した金属部材５１に相当する金属部材８５が中間嵌めにより嵌合され、且つ、接着剤で接着されている。加圧バネ７６による加圧力によって、金属部材８５の開放端は摩擦部材８８ａ，８８ｂと加圧接触している。振動体８０は、不図示であるが、第１実施形態で説明した接着層５５が弾性体８３ａ，８３ｂと金属部材８５とのそれぞれの接合部に形成された振動減衰部を有する。

回転駆動装置２００における振動体８０の径方向での位置（シャフト８１のスラスト方向での位置）を決めるために、シャフト８１に内部軸受け８６が配置されており、また、ブッシュ８２がシャフト８１の外側端部に取り付けられている。

圧電素子８４は、第１実施形態で説明した圧電素子３とは構成と給電方法が異なる。図９は、圧電素子８４の分解斜視図である。圧電素子８４は、４枚の圧電体８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄと、これらの圧電体間に配置される電極板８４ｐ，８４ｑ，８４ｒとを有する。電極板８４ｑは、グラウンドに接続される共通電極である。電極板８４ｑは、弾性体８３ａ，８３ｂと同じ電位にすることが望ましいため、振動体８０を組み立てた状態で弾性体８３ａ，８３ｂと接触している。電極板８４ｐ，８４ｒは、振動体８０に曲げ振動を励振させるための給電に用いられる。電極板８４ｐ，８４ｒは、振動体８０の回転時にも圧電体８４ａ〜８４ｄへの給電を可能とするために、その外周部はバネ性を有する柔軟なリング状に形成されており、摩擦部材９３ｂの表面に設けた電極パターンと絶えず接触している。

圧電体８４ａ〜８４ｄにそれぞれ示された“＋”，“−”は分極方向を表している。圧電体８４ａ，８４ｂは、電極板８４ｐを挟んで分極方向の同一部分が向かい合うように配置されており、同様に圧電体８４ｃ，８４ｄも、電極板８４ｒを挟んで分極方向の同一部分が向かい合っている。そして、圧電体８４ａ，８４ｂと圧電体８４ｃ，８４ｄとは、電極板８４ｑを挟んで位置的位相を９０°ずらして配置されている。

電極板８４ｐ，８４ｒにそれぞれ位相が９０°ずれた交流電圧を印加することにより、圧電体８４ａ，８４ｂによる曲げ振動と圧電体８４ｃ，８４ｄによる曲げ振動との合成により、振動体８０に首振り（或いは、縄跳びの縄の運動）のような振動である進行性の屈曲モードの振動が生じる。よって、弾性体８２ａ，８２ｂのそれぞれに接合された金属部材８５が摩擦部材９３ａ，９３ｂを摩擦駆動することで、内筒７０及びバヨネットリング７８と外筒７２とを相対的に回転変位させることができる。

例えば、内筒７０が固定されている場合、振動体８０は中間筒７４に固定されたシャフト８１に対して回転することなく、中間筒７４は内筒７０に対して角度θだけ回転し、外筒７２は中間筒７４に対して角度θだけ回転する。よって、外筒７２は内筒７０に対して角度２θだけ回転する。但し、シャフト８１と内部軸受け８６及び加圧接触部（金属部材８５と摩擦部材９３ａ，９３ｂとの加圧接触部）での摩擦力の大きさによっては、振動体８０自体が回転する場合もある。また、中間筒７４が固定されている場合、内筒７０と外筒７２とは逆方向に角度θだけ回転するため、相対的には角度２θだけ周方向での位置がずれる。

なお、内筒７０が固定されている場合に、外筒７２を内筒７０に対して角度２θだけ外筒７２を外部から手動で回転させると、中間筒７４は外筒７２と同じ方向に角度θだけ回転する。このとき、振動体８０に振動を励振させて外筒７２を回転駆動した場合とは異なり、振動体８０は通常の軸受けとして機能し、回転する。

＜その他の実施形態＞
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。

例えば、振動型駆動装置１００は、電子写真法を用いてトナーにより用紙等の媒体に画像を形成する画像形成装置における感光ドラム等の回転体の回転駆動装置として用いることができる。また、振動型駆動装置１００は、ロボットアームを回転駆動させるモータとして用いることもできる。更に、ターンテーブルのような円板状部材の回転駆動させることも可能である。更に、第５実施形態では、振動体８０を同一円周状に配置することにより回転駆動装置に適用した例について説明したが、１個の振動体８０により又は同一直線上に配置された複数の振動体８０により、振動体８０と加圧接触させた被駆動体を相対的に直進移動させることも可能である。この場合、例えば、直進移動する被駆動体にフォーカスレンズやズームレンズが搭載された、撮像装置のレンズ鏡筒を実現することができる。また、例えば、顕微鏡等の光学装置において観察物を載置するステージのＸ−Ｙ駆動装置を実現することができる。

１Ａ，１Ｂ 被駆動体
２ 振動体
３，８４ 圧電素子
４ａ，４ｂ 弾性体
７ａ，７ｂ 加圧バネ
９ａ，９ｂ 回転伝達部材
１１ シャフト
４２ 弾性体
４４，４５，５５，５６，５７ （樹脂）接着層
４３，４３Ａ，５１，５１Ａ，８５ 金属部材
５１ｑ （金属部材の）嵌合部
５１ｓ （金属部材の）バネ部
５２ 弾性体
５２ｑ （弾性体の）嵌合部
５２ｒ 接着層形成部
５２ｒ１ テーパ面
１００ 振動型駆動装置
２００ 回転駆動装置

Claims (17)

1. 電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、
   弾性体と、前記弾性体に取り付けられた金属部材とを有し、前記金属部材が前記振動体と加圧接触する被駆動体と、
   前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、
   前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、
   前記金属部材は、円筒形状を有し、
   前記弾性体は、第１の円周曲面と、第１の円周曲面よりも外径の小さい第２の円周曲面とを有し、前記第１の円周曲面で前記金属部材と嵌合し、
   前記第１の円周曲面と前記金属部材の間、及び、前記第２の円周曲面と前記金属部材の間に接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置。
2. 前記第１の円周曲面において、前記弾性体と前記金属部材とは中間嵌めにより嵌合されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
3. 前記金属部材に焼き入れ処理が施されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
4. 前記金属部材は、前記弾性体と嵌合した状態で前記第１の円周曲面と前記第２の円周曲面の段差部に対応する位置に形成された孔部を有し、
   前記接着剤が前記孔部の内部へ続いていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
5. 前記第２の円周曲面は連続的に外径が小さくなるように形成されたテーパ面を有し、
   前記テーパ面と前記金属部材との間に前記接着剤が介在していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
6. 前記接着剤が介在することにより、前記第２の円周曲面と前記金属部材の間に、接着層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
7. 前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材を備え、
   前記被駆動体と前記振動体とは、前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
8. 前記被駆動体と前記振動体とは、相対的に直進移動することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動型駆動装置と、
   前記振動型駆動装置により光軸方向に駆動されるレンズを有するレンズ鏡筒と、
   前記レンズを通過した光が結像する位置に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。
10. 弾性体と、前記弾性体に取り付けられた電気−機械エネルギ変換素子と、前記弾性体に嵌合により取り付けられた金属部材とを有する振動体と、
    前記振動体の前記金属部材と加圧接触する被駆動体と、
    前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、
    前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、
    前記金属部材は、平板環状で内径側と外径側とで厚さ方向に段差を有し、且つ、前記弾性体と嵌合する嵌合部と、前記被駆動体と接触するバネ部とを有し、
    前記弾性体は、前記金属部材の中心孔と嵌合する凸部と、前記凸部の外周に設けられ、前記金属部材と接触する平坦部とを有し、
    前記金属部材の前記バネ部と前記嵌合部の間の部分と、前記弾性体と、の間に接着剤が介在し、
    前記金属部材が前記弾性体と嵌合した状態では、前記金属部材の内径側が前記平坦部と接触し、前記金属部材の外径側と前記平坦部の間に前記接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置。
11. 弾性体と、前記弾性体に取り付けられた電気−機械エネルギ変換素子と、前記弾性体に嵌合により取り付けられた平板環状の金属部材とを有する振動体と、
    前記振動体の前記金属部材と加圧接触する被駆動体と、
    前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材と、を備え、
    前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより前記振動体に励起した振動によって前記振動体と前記被駆動体とを前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動させる振動型駆動装置であって、
    前記金属部材は、前記弾性体と嵌合する嵌合部と、前記被駆動体と接触するバネ部とを有し、
    前記弾性体は、前記金属部材の中心孔と嵌合する凸部と、前記凸部の外周に設けられ、前記金属部材と接触する平坦部と、前記平坦部の外周に設けられた段差部とを有し、
    前記金属部材の前記バネ部と前記嵌合部の間の部分と、前記弾性体と、の間に接着剤が介在し、
    前記金属部材が前記弾性体と嵌合した状態では、前記平坦部は前記金属部材と接触し、前記平坦部の外周側の段差部と前記金属部材の間に前記接着剤が介在していることを特徴とする振動型駆動装置。
12. 前記凸部において、前記弾性体と前記金属部材とは中間嵌めにより嵌合されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の振動型駆動装置。
13. 前記金属部材に焼き入れ処理が施されていることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
14. 前記接着剤が介在することにより、前記金属部材の前記バネ部と前記嵌合部の間の部分と、前記弾性体と、の間に、接着層が形成されていることを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
15. 前記振動体と前記被駆動体を保持する軸部材を備え、
    前記被駆動体と前記振動体とは、前記軸部材を回転中心軸として相対的に回転移動することを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
16. 前記被駆動体と前記振動体とは、相対的に直進移動することを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
17. 請求項１０乃至１６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置と、
    前記振動型駆動装置により光軸方向に駆動されるレンズを有するレンズ鏡筒と、
    前記レンズを通過した光が結像する位置に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。