JP2019216573A - 振動波モータ及びこれを有する装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
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- H02N2/0035—Cylindrical vibrators
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
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- G02—OPTICS
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
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- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
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Abstract
【課題】 小型であることと、(ギア出力と比較して出力形態の自由度が高い)軸体出力であることを両立した振動波モータを提供する。【解決手段】 第1の方向を長手方向とする軸体と、電気−機械エネルギ変換素子と、前記電気−機械エネルギ変換素子と嵌合する第1の弾性体と、前記軸体を、前記第1の方向に位置決めする位置決め部材と、前記第1の弾性体と前記位置決め部材を連結する連結部材と、を有し、前記軸体が、前記第1の弾性体及び前記位置決め部材と、前記第1の方向を中心軸にして軸回転可能に嵌合する。【選択図】 図2
Description
本発明は、振動波モータ及びこれを有する装置に関する。
一般に、振動波モータは、カメラレンズの駆動用などに用いられており、リング状振動子を用いたリング型のものと、棒状の振動子を用いた棒型のもの(以下、「棒型USM」という)などが存在する。棒型USMとしては、軸周りに回転(軸回転)する軸体から出力を取り出せる軸出力のもの(以下、「軸出力USM」という)と、軸回転するギアから出力を取り出せるギア出力のもの(以下、「ギア出力USM」という)がある。特許文献1,2にはそれぞれ、軸出力USM、ギア出力USMが開示されている。
軸出力USMである、特許文献1の振動波モータは、軸回転可能な軸体(出力軸)と、軸体を軸回転(軸周りの回転)駆動するための構成を有する。軸体を軸回転駆動するための構成としては、円筒状の電気−機械エネルギ変換素子(圧電素子)、弾性体(振巾拡大部材)、被駆動部材(回転体)、前記軸体と前記被駆動部を係合する係合部材(回り止め)などを有する。ここで、軸体を軸回転駆動するための構成は、円筒状の圧電素子の径方向の仮想断面の両側に存在する。
特許文献1の振動波モータは、前記軸体を軸回転駆動するための構成が2つ存在するので、駆動力が高い。しかし、同じ構成が面対称に2つ存在するので、大型である。
ギア出力USMである、特許文献2の振動波モータを、図7に示した。
特許文献2のギア出力USMは、固定軸201と、固定軸201の周方向に回転可能な被駆動部材206と、被駆動部材206を軸回転駆動するための構成を有する。被駆動部材206を軸回転駆動するための構成としては、円筒状の電気−機械エネルギ変換素子(圧電素子)202、弾性体203などを有する。ここで、被駆動部材206は、円筒状の圧電素子202の径方向の仮想断面の片側にのみ存在する。
特許文献2の振動波モータは、被駆動部材が、円筒状の圧電素子202の径方向の仮想断面に対して片側にのみ存在するので、小型である。しかし、ギア出力USMにおける外部ギアへの出力伝達形態は、平歯車のみに限定されるので、出力形態の自由度が低い。このため、たとえば、カメラレンズにおけるレンズ駆動用モータとして用いる場合には、レンズの光軸(不図示)と振動波モータの固定軸201を略平行に配置する必要があった。
このような課題に鑑みて、本発明は、小型であることと、(ギア出力と比較して出力形態の自由度が高い)軸出力であることを両立した振動波モータ及びこれを有する装置を提供することを目的とする。
本発明の振動波モータは、第1の方向を長手方向とする軸体と、電気−機械エネルギ変換素子と、前記電気−機械エネルギ変換素子と嵌合する第1の弾性体と、前記第1の弾性体と嵌合し、前記第1の弾性体と共に、前記電気−機械エネルギ変換素子を挟み込む第2の弾性体と、前記電気−機械エネルギ変換素子及び前記第2の弾性体を、前記第1の弾性体に締め付ける締め付け部材と、前記第1の弾性体の振動により、前記第1の方向を中心軸にして軸回転駆動する被駆動部材と、前記軸体と前記被駆動部材を係合する係合部材と、前記軸体を、前記第1の方向に位置決めする位置決め部材と、前記第1の弾性体と前記位置決め部材を連結する連結部材と、を有し、前記軸体が、前記第1の弾性体及び前記位置決め部材と、前記第1の方向を中心軸にして軸回転可能に嵌合する、ことを特徴とする。
本発明によれば、小型であることと、(ギア出力と比較して出力形態の自由度が高い)軸出力であることを両立した振動波モータを提供することができる。
[実施例1]
本実施例について、図1乃至3を用いて説明する。図1は、本実施例の振動波モータの斜視図、図2は、本実施例の振動波モータの断面図、図3は、本実施例の振動波モータに係る、(a)振動子の断面図、(b)第1の弾性体の断面図である。
本実施例について、図1乃至3を用いて説明する。図1は、本実施例の振動波モータの斜視図、図2は、本実施例の振動波モータの断面図、図3は、本実施例の振動波モータに係る、(a)振動子の断面図、(b)第1の弾性体の断面図である。
図1において、1は出力軸(軸体)、51はナット(第1の締め付け部)、8は固定部材(位置決め部材)、9は連結部材、10はフレキシブルプリント基板である。
位置決め部材8は、ケース固定部81、第2の軸受部82を有し、ケース固定部81は、溝8a、ネジ穴8bを有する。連結部材9は、ケース(第1の連結部)91、ケース支持部(第2の連結部)92を有する。
図2において、2は圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子)、3は第1の弾性体、4は第2の弾性体、5は締め付け部材、6は被駆動部材、7は回転伝達部材(係合部材)である。
第1の弾性体3は、第1の弾性部31と第2の弾性部32を有する。第1の弾性部31は、軸体1の長手方向(第1の方向)に垂直な方法(第2の方向)を長手方向とするフランジ状の形状を有する。第2の弾性部32は、第1の弾性部31における圧電素子側(電気−機械エネルギ変換素子側)の面(第1の面)から突出し、第1の方向を長手方向とする。第2の弾性部32(第1の弾性体3)は、圧電素子2及び第2の弾性体4と嵌合する。第1の弾性部31(第1の弾性体3)は、第2の弾性体4と共に、圧電素子を挟み込んでいる。また、第1の弾性体3は、第1の弾性部31における第1の面の反対側の面(第2の面)から、第1の方向を長手方向とするチューブ状の形状を有する第3の弾性部33と、第1の軸受部34も有する。第3の弾性部33は、軸体1を第2の方向で囲繞する。また、第3の弾性部33と被駆動部材6は、第2の方向で重なる。
振動波モータを第1の方向に小型化するため、第3の弾性部33を第1の方向に短くすると、共振周波数が増加する。この問題を解決するために、第3の弾性部33と被駆動部材6を、第2の方向で重ねることにより、共振周波数を変えることなく、振動波モータを第1の方向に小型化している。
締め付け部材5は、第2の弾性部32と嵌合する、圧電素子2及び第2の弾性体4を、第1の弾性部31(第1の弾性体3)に締め付ける部材である。締め付け部材5としては、ナット51と、第1の弾性体3(第2の弾性部32)に形成された雄ネジ52(後述する)を用いた。締め付け部材としては、圧電素子及び第2の弾性体を、第1の弾性体に締め付ける部材であればよく、ナットと雄ネジに限られない。
被駆動部材6は、ロータ本環(第1の被駆動部)61、接触部(第2の被駆動部)62を有する。被駆動部材6は、圧電素子2から発生する振動により振動する、第1の弾性体3(第1の弾性部31)の振動により、第1の方向を中心軸にして軸回転(軸周りの回転)駆動する。第2の被駆動部62の下側の端面は、第1の弾性体3(第1の弾性部31)の上側の表面に接触している。第2の被駆動部62は、第1の被駆動部61に固定されている。
位置決め部材8は、軸体1を、直接的に又は間接的に、第1の方向に位置決めしている。たとえば、図2では、位置決め部材8が、係合部材7と接することにより、係合部材7と係合する軸体1を間接的に、第1の方向に位置決めしている。その他、位置決め部材8は、軸体1と、軸体1が第1の方向を中心に回転可能に嵌合しつつ、軸体1を直接的に、第1の方向に位置決めしてもよい。
連結部材9は、第1の弾性体3と位置決め部材8を連結している。連結部材は、後述するように、それぞれ別体の部材により構成しても良いし(実施例1,2)、一体の部材により構成しても良い(実施例4)。従来例(図7)では、固定軸201は軸回転しないので、固定軸201により振動波モータの構造が支持されるが、本発明の軸体1は軸回転するので、振動波モータの構造を支持することができない。そこで、連結部材9により、第1の弾性体3と位置決め部材8が連結されることにより、振動波モータの構造が支持される。
図2における、第1の弾性部31の下方には、板状(フランジ状)のケース支持部92、圧電素子2、フレキシブルプリント基板10及び第2の弾性体4を貫通するように、円柱状の突起(第2の弾性部32)が設けられている。第2の弾性部32の先端には、雄ネジ52が形成されている。第1の弾性体3(第2の弾性部32)に形成された雄ネジ52と、ナット51と、からなる締め付け部材5により、ケース支持部92、圧電素子2、フレキシブルプリント基板10及び第2の弾性体4を、所定の挟持力が付与されるように締め付けている。これら部材により、振動子17が構成されている。なお、本実施例では、第2の弾性体4は、ナット51とは別体に形成されているが、第2の弾性体4は、ナット51と一体に形成されていてもよい。
理解を助けるため、振動波モータを構成する部材のうち、図3に、(a)振動子17及び(b)第1の弾性体3(第1の軸受部34を除く)を示した。
第1の弾性体3の材料としては、耐摩耗性を備え、振動の減衰が小さい材料が好ましい。そのような材料としては、マルテンサイト系ステンレスがある。また、第1の弾性体3の材料としては、耐摩耗性をさらに向上させるために、窒化処理が施された材料が好ましい。本実施例における第1の弾性体3の材料としては、窒化処理が施されたマルテンサイト系ステンレスを用いた。
圧電素子2には、それぞれが2つの電極からなる電極群(A相とB相)が含まれ、不図示の電源から、フレキシブルプリント基板10を介して、それぞれの電極群に位相の異なる交流電界が印加されると、振動子17に、直交する2つの曲げ振動が励振される。
これら2つの振動モードは軸方向まわりの空間的な位相が90度ずれており、印加交流電界の位相を調整することにより、2つの曲げ振動に、90度の時間的な位相差を与えることができる。そして、その結果、振動子17の曲げ振動が軸周りに回転し、第2の被駆動部62と接触する、第1の弾性部上の接触面に楕円運動が形成される。そして、それにより、駆動力が発生し、第1の弾性体3に押圧された被駆動部材6が駆動される。
圧電素子2は、複数の圧電層と電極層を交互に積層して同時焼成して形成した積層圧電素子でもよいし、単板の圧電素子を複数積層して挟み込む構成でも構わない。また、圧電素子2のA相の一部には、振動子17の曲げ振動により歪みを生じ、正圧電効果により電荷を発生し、この電荷を検出することで振動子17の振動状態のモニタするためのセンサ相が設けられている。このときの周波数に対するA相圧電素子の印加電圧とセンサ相の出力信号の位相差の関係は、共振周波数において90度となり、共振周波数より高い側の周波数では徐々にずれていく。よって、振動を与えている時にこの位相差の値を検出することで、入力の周波数と振動子17の共振周波数との関係のモニタが行え、振動子の安定した駆動が行える。
第2の被駆動部62は、図2における第2の被駆動部62の下方端の面が第1の弾性部31に接触する。第1の被駆動部61には、第2の被駆動部62が固定され、第2の被駆動部62と共に、軸体1の長手方向(第1の方向)を中心(中心軸)にして回転可能(軸回転可能)である。第1の被駆動部61と第2の被駆動部62は、第1の弾性部31の振動により、第1の方向を中心(中心軸)にして回転駆動(軸回転駆動)する。
第2の被駆動部62は、振動子17の振動にならうように、適度なバネ性を有するのが好ましく、本実施例でもそのような構造となっている。第2の被駆動部62の材料としては、耐摩耗性、高強度性、耐食性を備えた材料が好ましい。そのような材料としては、ステンレス鋼があるが、ステンレス鋼よりもSUS420J2の方がより好ましい。本実施例における第2の被駆動部62の材料としては、SUS420J2を用いた。
第2の被駆動部62の加工方法としては、旋盤加工や3Dプリンタ等を採ることができるが、これらよりも、プレス加工の方が、加工精度、コストの点でより好ましい。第2の被駆動部62は、樹脂接着剤による接着や、半田などの金属ろう付け、レーザ溶接、抵抗溶接などの溶接、圧入、かしめ等の機械的接合により、第1の被駆動部61に固定される。
第1の被駆動部61は、ゴム環12を介して加圧バネ(加圧部材)11で加圧される。このように加圧されることで、第2の被駆動部62と第1の弾性部31の間に摩擦力が生まれ、前述した楕円運動により、第2の被駆動部62を回転させることができる。なお、ゴム環12は加圧力を均一化する働きをしている。
回転伝達部材(係合部材)7は、軸体1と第1の被駆動部61(被駆動体6)と係合する。第1の被駆動部61には凹部が形成され、軸体1と係合する係合部材7に形成された凸部と係合することで、軸体1は、係合部材7及び被駆動部材6と共に、第1の方向を中心(中心軸)にして回転可能(軸回転可能)である。軸体1が回転(軸回転)することにより、振動波モータの出力が外部に伝達される。
一方で、係合部材7は、第1の被駆動部61に対して、第1の方向に垂直な方向(第2の方向)には拘束されるが、第1の方向には拘束されておらず、加圧バネ10の反力を受けながら、第2の軸受部82に対して摺動する。また、係合部材7は、圧入又は接着などにより、軸体1と係合しており(軸体1に固定されており)、軸体1と共に回転可能(軸回転可能)である。係合部材7の材料は、耐摩耗性、高強度性を備えた材料が好ましい。そのような材料としては、ステンレスがある。本実施例における係合部材7の材料としては、ステンレスを用いた。
軸体1は、後述の第1の軸受部34及び第2の軸受部82と嵌合し、これらにより、第1の方向を中心(中心軸)にして回転可能(軸回転可能)可能であり、かつ、径方向(第2の方向)に拘束されている。第1の軸受部34は、第1の弾性体3に圧入又は接着により固定されている。第1の軸受部34を固定する場所を、振動子17における振動の節位置付近にすることで、振動の減衰を最小にしている。軸体1の回転を、第1の軸受部34のような軸受を介せず、第1の弾性体3が直に受けることも可能である。しかし、振動が軸体1に伝搬しないように、軸受を使用することが好ましい。軸受としては、振動の、軸体1への伝搬抑制効果の高い、樹脂製が好ましい。
軸体1は、第2の弾性部32を第1の方向に貫通してもよいが、本実施例のように、軸体1は、第2の弾性部32を第1の方向に貫通せず、軸体1と圧電素子2は、第2の方向で重ならない方がよい。それにより、第2の弾性部32の第2の方向における径を細くすることができ、第1の弾性体3の設計自由度が増すからである。
連結部材9は、第1の弾性体3と位置決め部材8を連結している。また、振動子17は、ケース支持部92を介して、筒状のケース91に固定されている。このケース支持部92は、振動子17の振動を阻害しないように適度なバネ性を有している。ケース91は位置決め部材8に固定されている。固定方法は、接着や圧入でも可能だが、本実施例では、位置決め部材8(ケース固定部81)に設けられた3か所の溝8aに合わせてケース91をつぶすことによりかしめている。かしめは作業性がよく、安価なため、ケース91の固定に最適である。
位置決め部材8(ケース固定部81)には、固定のためのネジ穴8bが設けられており、別部材に固定される。位置決め部材8(ケース固定部81)の内径側には、第2の軸受部82が設けられている。本実施例ではこれらを別体で形成したが、高強度や耐摩耗性、低摩擦係数の材料を選択することで、一体で形成することも可能である。
軸体1の先端に平歯ギアを付けることで、不図示の被駆動体のギアの軸体と軸体1を平行に配置することが可能となる。また、軸体1の先端にウォームギアを取り付けることで、不図示の被駆動体のギアの軸体と軸体1を垂直に取り付けることができる。また、被駆動体の軸体と軸体1を、カップリンクを介して結合し、ダイレクトに駆動することも可能となる。ダイレクト駆動によりバックラッシュのない精密で制御性のよい駆動系にすることが可能となる。
以上より、本実施例によれば、小型であると共に、軸出力である振動波モータを提供することができる。
[実施例2]
本実施例について、図4を用いて説明する。
本実施例について、図4を用いて説明する。
図4では、(第1の弾性体13を構成する)第2の弾性部は、(第1の弾性体13を構成する)第1の弾性部(及び第3の弾性部)とは別体に形成されている。つまり、第1の弾性部131と嵌合する、第1の弾性部131(及び第3の弾性部133)とは別体のシャフト(第2の弾性部)132と、ナット51で内部の部品(圧電素子、第2の弾性体など)を挟持している。
第1の弾性部131は、摩擦駆動させるため耐摩耗性の高い材料が好ましく。特に、高トルクの振動波モータの場合、耐摩耗性の観点でステンレスの中で最も硬いSUS440Cが好ましい。SUS440Cを採用した場合、SUS440Cは硬いので、一体で削り出す場合よりも、別体にしたほうのコストが安い場合がある。よって、本実施例では、第1の弾性体131(及び第3の弾性体133)には、SUS440C、第2の弾性部132には、加工性と強度のバランスを鑑みて、SUS420J2又は、SUS420F、SUSU303などが好ましい。
第2の弾性部132の上部には、第1の軸受部134の入る溝が設けられており、そこに第1の軸受部134を固定する。その他の機能は実施例1と同じのため説明を省略する。
[実施例3]
本実施例について、図5を用いて説明する。
本実施例について、図5を用いて説明する。
本実施例では、第1の連結部と第2の連結部が一体で形成され、双方の機能を兼ねた支持ケース(連結部材)19により振動子17を支持している。実施例1と同等に第1の弾性部31と圧電素子2の間に、板状のケース支持部(第2の連結部)92が配置されている。第1の弾性部31と圧電素子2の間からは8本の脚が延出し、折れ曲がって円筒部に続いている。このことで、適度なバネ性を有し、振動子17の振動を阻害しないようになっている。その形状から、支持ケース19はプレス加工で製作されることが好ましい。
このように一体で形成することで、(実施例1のように)第1の連結部と第2の連結部を固定する工程が省け、かつ、部品点数も減る。そのため、より安価に振動波モータを製造することが可能となる。
[実施例4]
本実施例について、図6を用いて説明する。
本実施例について、図6を用いて説明する。
本実施例では、上述した振動波モータを電子機器の一例として、撮像装置に搭載した例について説明する。図6は、撮像装置の一例であるデジタルカメラ101の概略構造を示す斜視図である。
デジタルカメラ101の前面には、レンズ鏡筒102が取り付けられており、レンズ鏡筒102の内部には、光軸方向に移動可能な不図示のレンズ群(被駆動体)が配置されている。レンズ群は、振動波モータにより駆動可能である。つまり、振動波モータは、実施例1で説明した駆動方法により駆動され、不図示の駆動力伝達部材を介して、レンズ鏡筒102に配置されたレンズ群を駆動する。たとえば、振動波モータは、ズームレンズの駆動用及び/又はフォーカスレンズの駆動用等に任意に用いることができる。被駆動体は、レンズ群に限られず、小型で、出力形態に高い自由度が求められる各種装置にも用いることができる。
実施例1で述べたように、小型であると共に、軸出力である振動波モータを提供することができるので、たとえば、撮像装置における光学系の光軸と垂直に配置することで、撮像装置において光軸方向の厚みを小さくすることが可能となる。
1 出力軸(軸体)
2 圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子)
3,13 第1の弾性体
4 第2の弾性体
5 締め付け部材
6 被駆動部材
7 回転伝達部材(係合部材)
8 固定部材(位置決め部材)
9 連結部材
2 圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子)
3,13 第1の弾性体
4 第2の弾性体
5 締め付け部材
6 被駆動部材
7 回転伝達部材(係合部材)
8 固定部材(位置決め部材)
9 連結部材
Claims (10)
- 第1の方向を長手方向とする軸体と、
電気−機械エネルギ変換素子と、
前記電気−機械エネルギ変換素子と嵌合する第1の弾性体と、
前記第1の弾性体と嵌合し、前記第1の弾性体と共に、前記電気−機械エネルギ変換素子を挟み込む第2の弾性体と、
前記電気−機械エネルギ変換素子及び前記第2の弾性体を、前記第1の弾性体に締め付ける締め付け部材と、
前記第1の弾性体の振動により、前記第1の方向を中心軸にして軸回転駆動する被駆動部材と、
前記軸体と前記被駆動部材を係合する係合部材と、
前記軸体を、前記第1の方向に位置決めする位置決め部材と、
前記第1の弾性体と前記位置決め部材を連結する連結部材と、を有し、
前記軸体が、前記第1の弾性体及び前記位置決め部材と、前記第1の方向を中心軸にして軸回転可能に嵌合する、ことを特徴とする振動波モータ。 - 前記第1の弾性体は、前記第1の方向に垂直な第2の方向を長手方向とするフランジ状の形状を有し、前記電気−機械エネルギ変換素子から発生する振動により振動する第1の弾性部と、前記第1の弾性部における前記電気−機械エネルギ変換素子側の第1の面から突出し、前記第1の方向を長手方向とする第2の弾性部と、を有し、
前記第2の弾性部は、前記電気−機械エネルギ変換素子及び前記第2の弾性体と嵌合する、ことを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。 - 前記軸体と前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記第1の方向に垂直な第2の方向で重ならない、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の振動波モータ。
- 前記第1の弾性体は、前記第1の弾性部における前記第1の面の反対側の第2の面から、前記第1の方向を長手方向とするチューブ状の形状を有し、前記軸体を、前記第1の方向に垂直な第2の方向で囲繞する第3の弾性部を有し、
前記第3の弾性部と前記被駆動部材は、前記第2の方向で重なる、ことを特徴とする請求項2に記載の振動波モータ。 - 前記第2の弾性部は、前記第1の弾性部と一体に形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の振動波モータ。
- 前記第2の弾性部は、前記第1の弾性部とは別体に形成され、前記第1の弾性部と嵌合する、ことを特徴とする請求項2に記載の振動波モータ。
- 前記第1の弾性体は、第1の軸受部を有し、
前記位置決め部は、第2の軸受部を有し、
前記軸体は、前記第1の軸受部及び前記第2の軸受部と嵌合する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動波モータ。 - 前記締め付け部材は、ナットと、第1の弾性体に形成された雄ネジからなる、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動波モータ。
- 前記第2の弾性体は、前記ナットと一体に形成されている、ことを特徴とする請求項8に記載の振動波モータ。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動波モータと、
前記振動波モータにより駆動可能な被駆動体と、を有することを特徴とする装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018113762A JP2019216573A (ja) | 2018-06-14 | 2018-06-14 | 振動波モータ及びこれを有する装置 |
US16/434,688 US20190386583A1 (en) | 2018-06-14 | 2019-06-07 | Vibration wave motor and apparatus incorporating same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018113762A JP2019216573A (ja) | 2018-06-14 | 2018-06-14 | 振動波モータ及びこれを有する装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019216573A true JP2019216573A (ja) | 2019-12-19 |
Family
ID=68840365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018113762A Pending JP2019216573A (ja) | 2018-06-14 | 2018-06-14 | 振動波モータ及びこれを有する装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190386583A1 (ja) |
JP (1) | JP2019216573A (ja) |
-
2018
- 2018-06-14 JP JP2018113762A patent/JP2019216573A/ja active Pending
-
2019
- 2019-06-07 US US16/434,688 patent/US20190386583A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190386583A1 (en) | 2019-12-19 |
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