JP6601711B2 - 回動装置及び光走査装置 - Google Patents

Description

本発明は、回動装置及び光走査装置に関するものである。

この種の回動装置としては、例えば、光出力手段から出力される光を走査するためのミラー等の光学部材を回動動作させる光走査装置に用いられるものが知られている。このような光走査装置は、例えば、画像情報に基づく画像走査光を二次元走査する走査手段として、画像表示装置などに用いられる（特許文献１、特許文献２）。これらの特許文献に開示されている従来の画像表示装置では、光を走査するための光学部材を、支持部に支持された可動部上に配置し、この可動部の支持部に対する傾斜角度を変化させて、所定方向へ延びる回動軸回りにおける所定の回動範囲の往復回動動作を当該可動部に繰り返し行わせることで、画像水平方向の光走査を行う。

ところが、種々の原因によって、可動部の回動範囲が目標の回動範囲からシフトしてしまう場合がある。この場合、例えば画像情報に基づく画像走査光を画像水平方向へ走査する使用例であれば、表示される画像の位置が本来表示されるべき位置から画像水平方向へズレるなど、種々の弊害をもたらす。

上述した課題を解決するために、本発明は、光反射面をもった光学部材を有する可動部と、駆動部、傾き補正部及び弾性変形部を介して前記可動部を支持する支持部とを備え、前記駆動部は、一端が前記可動部に固定され、他端が前記傾き補正部に固定され、該可動部を所定の回動軸で回動可能にし、前記弾性変形部は、一端が前記傾き補正部に固定され、他端が前記支持部に固定され、前記可動部を前記回動軸に直交する第二回動軸で回動可能にし、前記傾き補正部は、前記駆動部又は前記弾性変形部による前記支持部に対する前記可動部の可動範囲が目標範囲になるように、前記光反射面と前記支持部との相対的な傾斜角度を補正することを特徴とする。

本発明によれば、可動部の回動範囲が目標の回動範囲からズレても、可動部の回動範囲を目標の回動に近付くように補正することが可能となるという優れた効果が奏される。

実施形態における自動車用ＨＵＤ装置を搭載した自動車の構成を模式的に表した模式図である。 同自動車用ＨＵＤ装置の内部構成を模式的に表した模式図である。 同自動車用ＨＵＤ装置によって表示される画像例を示す説明図である。 実施形態に係るアクチュエータ駆動システムの概略構成を示すブロック図である。 同アクチュエータ駆動システムにおけるアクチュエータのフレーム板を示す平面図である。 同フレーム板の各弾性変形部に取り付ける圧電素子の配置の一例を示す平面図である。 圧電素子の電気的な接続関係を示す説明図である。 副走査用圧電素子に印加される副走査方向用の駆動信号波形と可動部上のミラーのＸ方向軸回り（副走査方向）の回動位置（傾斜角度）との関係を示す説明図である。 時点Ｔ０，Ｔ５における傾斜状態のミラーに入射する入射光の反射光の反射方向を示す説明図である。 時点Ｔ４における傾斜状態のミラーに入射する入射光の反射光の反射方向を示す説明図である。 主走査用圧電素子に印加される主走査方向用の駆動信号波形と可動部上のミラーのＹ方向軸回り（主走査方向）の回動位置（傾斜角度）との関係を示す説明図である。 スクリーンに表示される中間像上における主走査動作と副走査動作の動きを説明するための説明図である。 光走査装置による光走査範囲が主走査方向へシフトした状態を示す説明図である。 受光センサの検出信号の一例を示すグラフである。 （ａ）は、可動部の基準傾斜角度が本来の角度（ゼロ）である場合における、図５中符号Ｂ−Ｂのフレーム板の断面図である。（ｂ）は、可動部の基準傾斜角度が本来の角度からズレている場合における、図５中符号Ｂ−Ｂのフレーム板の断面図である。（ｃ）は、実施形態の傾きズレ補正処理により可動部の基準傾斜角度を本来の角度に戻した場合における、図５中符号Ｂ−Ｂのフレーム板の断面図である。 実施形態における傾きズレ補正処理の流れを示すフローチャートである。 傾きズレと補正量との関係の一例を示すグラフである。 変形例１におけるフレーム板の各弾性変形部に取り付ける圧電素子の配置の一例を示す平面図である。 変形例１における第５弾性変形部に設けられる補強リブの配置を示す説明図である。 フレーム板の各弾性変形部に取り付ける圧電素子の他の配置例を示す平面図である。 変形例２における傾きズレ補正用圧電素子の配置の一例を示す平面図である。

以下、本発明に係る回動装置を、画像表示装置であるヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）装置の光走査装置に適用した一実施形態について説明する。
移動体である自動車に搭載されるＨＵＤ装置の一例であるが、これに限らず、車両、船舶、航空機、移動式ロボットなどの移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボットなどの非移動体に搭載される画像表示装置の光走査装置としても適用できる

図１は、本実施形態における自動車用ＨＵＤ装置を搭載した自動車の構成を模式的に表した模式図である。
図２は、本実施形態における自動車用ＨＵＤ装置の内部構成を模式的に表した模式図である。
本実施形態における自動車用ＨＵＤ装置２００は、例えば、自動車３０１のダッシュボード内に設置される。ダッシュボード内の自動車用ＨＵＤ装置２００から発せられる画像光である投射光Ｌがフロントガラス３０２で反射され、ユーザーである観察者（運転者３００）に向かう。これにより、運転者３００は、例えば、図３に示すようなナビゲーション画像を虚像として視認することができる。なお、フロントガラス３０２の内壁面にコンバイナを設置し、コンバイナによって反射する投射光によってユーザーに虚像を視認させるようにしてもよい。

図３に示すナビゲーション画像には、第１表示領域２２０Ａに、自動車３０１の速度（図示の例では「６０ｋｍ／ｈ」という画像）が表示されている。また、第２表示領域２２０Ｂには、カーナビゲーション装置によるナビゲーション画像が表示されている。図示の例では、次の曲がり角で曲がる方向を示す右折指示画像と、次の曲がり角までの距離を示す「あと４６ｍ」という画像が、ナビゲーション画像として表示されている。また、第３表示領域２２０Ｃには、カーナビゲーション装置による地図画像（自車両周囲の地図画像）が表示されている。

自動車用ＨＵＤ装置２００は、赤色、緑色、青色のレーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂと、各レーザー光源に対して設けられるコリメータレンズ２０２，２０３，２０４と、２つのダイクロイックミラー２０５，２０６と、光量調整部２０７と、光走査装置２０８と、自由曲面ミラー２０９と、スクリーン２１０と、投射ミラー２１１とから構成されている。そして、本実施形態における光源装置としての光源ユニット２３０は、レーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂ、コリメータレンズ２０２，２０３，２０４、ダイクロイックミラー２０５，２０６が、光学ハウジングによってユニット化されている。

本実施形態の自動車用ＨＵＤ装置２００は、スクリーン２１０に表示される中間像を自動車３０１のフロントガラス３０２に投射することで、その中間像を運転者３００に虚像として視認させる。レーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂから発せられる各色レーザー光は、それぞれ、コリメータレンズ２０２，２０３，２０４で略平行光とされ、２つのダイクロイックミラー２０５，２０６により合成される。合成されたレーザー光は、光量調整部２０７で光量が調整された後、光走査装置２０８によって二次元走査される。光走査装置２０８で二次元走査された投射光Ｌは、自由曲面ミラー２０９で反射されて歪みを補正された後、スクリーン２１０に集光され、中間像を表示する。スクリーン２１０は、マイクロレンズが二次元配置されたマイクロレンズアレイで構成されており、スクリーン２１０に入射してくる投射光Ｌをマイクロレンズ単位で拡大する。

光走査装置２０８には、後述するアクチュエータ駆動システムでミラーを主走査方向及び副走査方向に往復回動動作させ、ミラーに入射する投射光Ｌを二次元走査（ラスタスキャン）する。このアクチュエータ駆動システムの駆動制御は、レーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂの発光タイミングに同期して行われる。

本実施形態においては、自動車用ＨＵＤ装置２００により表示される虚像の周囲の明るさを測定するための照度計が、ダッシュボード等に配置されている。この照度計の測定結果に応じて、制御部は光量調整部２０７を制御する。具体的には、虚像周囲が明るいほど当該光量調整部２０７を透過する投射光の光量が多くなるように制御し、虚像周囲が暗いほど当該光量調整部２０７を透過する投射光の光量が少なくなるように制御する。このような光量調整制御を行うことで、虚像周囲（自車両前方）が明るくても高い輝度の画像を表示して画像の視認性を確保できる。また、虚像周囲（自車両前方）が暗い場合、画像の輝度が高いと画像が眩しくて自車両前方の視認性を落とすことになるが、前記のような光量調整制御を行うことで、虚像周囲（自車両前方）が暗い場合の自車両前方の視認性も確保することができる。

次に、光走査装置２０８を構成するアクチュエータ駆動システムの構成及び動作について説明する。
図４は、本実施形態におけるアクチュエータ駆動システムの構成を示す説明図である。
本実施形態におけるアクチュエータ駆動システムは、Ｘ方向（主走査方向に対応）及びＹ方向（副走査方向に対応）の二方向に光を走査（スキャン）するＭＥＭＳスキャナである。アクチュエータ駆動システムは、主に、４つの駆動回路４１，４２，４３，４４と、ミラーを備えたフレーム板１０上に設けられる３つの駆動部１６，１２〜１５，１８Ｒ，１８Ｌとから構成され、各駆動部がそれぞれ対応する駆動回路と電気的に接続されている。

なお、主走査用駆動回路４１に接続された駆動部は、後述するフレーム板１０上の第５弾性変形部１６上に設けられる主走査用圧電素子２４，２５によって構成されている。
また、副走査用駆動回路４２，４３に接続された駆動部は、後述するフレーム板１０上の第１〜第４弾性変形部１２〜１５上に設けられる第１〜第４副走査用圧電素子２０〜２３によって構成されている。
また、傾きズレ補正用駆動回路４４に接続された駆動部は、後述するフレーム板１０上のアーム部１８Ｒ，１８Ｌ上に設けられる傾きズレ補正用圧電素子２６，２７によって構成されている。

図５は、本実施形態のフレーム板１０を示す平面図である。
本実施形態のフレーム板１０は、複数の切込Ｋ１〜Ｋ４によって形成された外周囲に位置する支持フレーム１１と、この支持フレーム１１内に位置する弾性変形部１２〜１６と、アーム部１８Ｒ，１８Ｌと、可動部１７とを有している。

第１弾性変形部１２は、一端が支持フレーム１１に固定され、その他端が第２弾性変形部１３の後部に固定されている。第１弾性変形部１２と第２弾性変形部１３とは切込Ｋ１，Ｋ２によって１回の折返し構造となっている。同様に、第３弾性変形部１４は、他端が支持フレーム１１に固定され、その一端が第４弾性変形部１５の後部に固定されている。第３弾性変形部１４と第４弾性変形部１５とは切込Ｋ１，Ｋ２によって１回の折返し構造となっている。

第２弾性変形部１３の先端部には、図中下方に延びるアーム部１８Ｌが連続形成され、このアーム部１８Ｌの先端部が第５弾性変形部１６の図中下部の一端側に固定されている。一方、第４弾性変形部１５の先端部が第５弾性変形部１６の図中下部の他端側に固定されている。また、第４弾性変形部１５の先端部には、Ｌ字形のアーム部１８Ｒが形成されていて、このアーム部１８Ｒの先端部が第２弾性変形部１３の先端部に固定されている。

第５弾性変形部１６の図中上部の両端部には、切込Ｋ３，Ｋ４によって図中左右方向に延びたトーションバー１９Ａ，１９Ｂが形成され、このトーションバー１９Ａ，１９Ｂが可動部１７を保持している。可動部１７の表面には光学部材としてのミラー１７Ｍが形成されている。本実施形態において、可動部１７は、トーションバー１９Ａ，１９Ｂを介して、アーム部１８Ｒ，１８Ｌに保持されている。したがって、可動部１７は、光走査装置２０８の筐体に固定されているフレーム板１０の他の部分（支持フレーム１１、弾性変形部１２〜１６、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ）を支持部として支持されている。

可動部１７は、弾性変形部１２〜１５の弾性変形により、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ及び第５弾性変形部１６と一体となって、Ｘ方向に平行な回動軸（可動部１７上のミラー１７Ｍの略中心点を通るＸ方向軸）の回りの回転トルクが与えられて往復回動動作する。また、可動部１７は、第５弾性変形部１６の弾性変形によりＹ方向に平行な回動軸（可動部１７上のミラー１７Ｍの略中心点を通るＹ方向軸）の回りの回転トルクが与えられて回動動作する。

図６は、フレーム板１０の各弾性変形部に取り付ける圧電素子の配置の一例を示す平面図である。
弾性変形部１２〜１５の表面には、弾性変形部１２〜１５が弾性変形するための駆動力（第二可動部駆動力）を付与する第二可動部駆動手段としての副走査用圧電素子２０〜２３が取り付けられている。また、第５弾性変形部１６の図中左右両側の表面には、第５弾性変形部１６が弾性変形するための駆動力（可動部駆動力）を付与する可動部駆動手段としての主走査用圧電素子２４，２５が取り付けられている。また、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの表面には、アーム部１８Ｒ，１８Ｌが弾性変形するための駆動力（支持部変位力）を付与する支持部変位手段としての傾きズレ補正用圧電素子２６，２７が取り付けられている。

図７は、圧電素子２０〜２７の電気的な接続関係を示す説明図である。
第１副走査用圧電素子２０の表面電極と第４副走査用圧電素子２３の表面電極は、第１副走査用駆動回路４２に接続された入力端子ＳＤＡに接続されている。また、第２副走査用圧電素子２１の表面電極と第３副走査用圧電素子２２の表面電極は、第２副走査用駆動回路４３に接続された入力端子ＳＤＢに接続されている。また、主走査用圧電素子２４，２５の表面電極は、主走査用駆動回路４１に接続された入力端子ＭＤに接続されている。また、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７の表面電極は、傾きズレ補正用駆動回路４４に接続された入力端子ＡＤに接続されている。

各圧電素子２０〜２７の裏面電極は共通のアースラインに接続されている。また、各駆動回路４１〜４４は、それぞれ独立して動作するが、いずれも共通のアースラインに接続されている。各入力端子ＳＤＡ，ＳＤＢ，ＭＤ，ＡＤには、各駆動回路４１〜４４から出力される各駆動信号がそれぞれ入力され、各圧電素子２０〜２７は入力される駆動信号に応じて伸縮し、それぞれの弾性変形部１２〜１６やアーム部１８Ｒ，１８Ｌを湾曲させる。

次に、可動部１７上のミラー１７ＭにおけるＸ方向軸回り（副走査方向）の回動動作について説明する。
図８は、副走査用圧電素子２０〜２３に印加される副走査方向用の駆動信号波形と可動部１７上のミラー１７ＭのＸ方向軸回り（副走査方向）の回動位置（傾斜角度）との関係を示す説明図である。
入力端子ＳＤＡ，ＳＤＢから入力される副走査方向用の２つの駆動信号には、例えば、図８に示すような鋸波状の電圧信号Ｖａ，Ｖｂが用いられる。第１副走査駆動信号Ｖａは、入力端子ＳＤＡを介して第１及び第４副走査用圧電素子２０，２３に印加され、第２副走査駆動信号Ｖｂは、入力端子ＳＤＢを介して第２及び第３副走査用圧電素子２１，２２に印加される。図８に示す第１副走査駆動信号Ｖａと第２副走査駆動信号Ｖｂは、互いに位相が１８０度反転した波形をもつ。

このような副走査駆動信号Ｖａ，Ｖｂが印加されると、その電圧値に応じて各副走査用圧電素子２０〜２３が伸縮し、この伸縮により各弾性変形部１２〜１５がそれぞれ反り返って、支持フレーム１１に対する可動部１７の傾斜角度が変化する。これにより、可動部１７上のミラー１７Ｍがそのミラー１７Ｍの略中心点を通るＸ方向軸（図７中符号Ａで示す軸）の回りを往復回動動作する。

具体的に説明すると、図８に示すように、時点Ｔ０では、第１副走査駆動信号Ｖａが最大電圧値であり、第２副走査駆動信号Ｖｂが最小電圧値（ゼロ）である。このとき、ミラー１７Ｍは、当該ミラー１７Ｍの略中心点を通るＸ方向軸（図７中符号Ａで示す軸）を中心にして図８中右側に最大傾斜する。時点Ｔ１になると、第１副走査駆動信号Ｖａが最大電圧値の３／４程度の電圧値になるとともに、第２副走査駆動信号Ｖｂが最大電圧値の１／４程度の電圧値となる。これにより、ミラー１７Ｍは、図８中右側への最大傾斜角と、可動部１７が支持フレーム１１と略平行な状態となる傾斜角ゼロとのおおよそ中間の傾斜角で傾くことになる。その後、時点Ｔ２になると、第１副走査駆動信号Ｖａ及び第２副走査駆動信号Ｖｂは、いずれも最大電圧値の１／２程度の電圧値になり、両者はほぼ同電圧となる。これにより、ミラー１７Ｍの傾斜角はゼロとなる。

更に、時点Ｔ３になると、第１副走査駆動信号Ｖａが最大電圧値の１／４程度の電圧値になるとともに、第２副走査駆動信号Ｖｂが最大電圧値の３／４程度の電圧値となる。これにより、ミラー１７Ｍは、図８中左側への最大傾斜角と傾斜角ゼロとのおおよそ中間の傾斜角で傾くことになる。続いて、時点Ｔ４になると、第１副走査駆動信号Ｖａが最小電圧値（ゼロ）となり、第２副走査駆動信号Ｖｂが最大電圧値となる。このとき、ミラー１７Ｍは図８中左側に最大傾斜する。その後、時点Ｔ５では、第１副走査駆動信号Ｖａが最大電圧値となり、第２副走査駆動信号Ｖｂが最小電圧値（ゼロ）となるので、ミラー１７Ｍは時点Ｔ０と同じ傾きとなる。以後は、同様な回動動作が繰り返されることになる。

図９は、時点Ｔ０，Ｔ５における傾斜状態のミラー１７Ｍに入射する入射光の反射光の反射方向を示す説明図である。
図１０は、時点Ｔ４における傾斜状態のミラー１７Ｍに入射する入射光の反射光の反射方向を示す説明図である。

時点Ｔ０，Ｔ５では、第１副走査駆動信号Ｖａが入力される副走査用圧電素子２０，２３が最大収縮するため、第１弾性変形部１２と第４弾性変形部１５が最大変形した状態になる。一方、時点Ｔ４では、第２副走査駆動信号Ｖｂが入力される副走査用圧電素子２１，２２が最大収縮するため、第２弾性変形部１３と第３弾性変形部１４が最大変形した状態になる。図９及び図１０に示すように、図８に示した副走査駆動信号Ｖａ，Ｖｂが各副走査用圧電素子２０〜２３に印加されて各弾性変形部１２〜１５が弾性変形することにより可動部１７上のミラー１７Ｍの傾斜角度（Ｘ方向軸回りの回転角度）が変化することで、ミラー１７Ｍに入射する光の反射光は、Ｙ方向（副走査方向）に走査されることが分かる。

本実施形態における副走査方向用の駆動信号の周波数は、例えば数十Ｈｚ程度に設定される。一般的な画像あるいは映像を表示する画像表示装置の画像垂直方向への光走査に利用する場合、６０〜７０Ｈｚ程度の周波数に設定される。

次に、可動部１７上のミラー１７ＭにおけるＹ方向軸回り（主走査方向）の往復回動動作について説明する。
図１１は、主走査用圧電素子２４，２５に印加される主走査方向用の駆動信号波形と可動部１７上のミラー１７ＭのＹ方向軸回り（主走査方向）の回動位置（傾斜角度）との関係を示す説明図である。
入力端子ＭＤから入力される主走査方向用の駆動信号には、例えば、図１１に示すような正弦波形の電圧信号Ｖｄが用いられる。本実施形態においては、図１２に示すように、上述した副走査方向の回動動作１回に対して、主走査方向への回動動作を複数回（例えば５２５回）行うラスタスキャン動作を行う。そのため、主走査方向への回動動作は可能な限り少ないエネルギーで大きな回動動作を実現することが望まれる。そこで、本実施形態では、主走査方向用の駆動信号としては、第５弾性変形部１６の弾性変形に対して共振動作できる共振周波数に設定されている。

主走査駆動信号Ｖｄが印加されると、その電圧値に応じて主走査用圧電素子２４，２５が伸縮し、この伸縮により第５弾性変形部１６が反り返って、支持フレーム１１に対する可動部１７の傾斜角度が変化する。これにより、可動部１７上のミラー１７Ｍは、Ｙ方向軸回り（主走査方向）へ往復回動動作する。

具体的に説明すると、図１１に示すように、時点Ｔ１では、主走査駆動信号Ｖｄがゼロであり、ミラー１７Ｍの反射面が支持フレーム１１と略平行な状態となり、支持フレーム１１に対する可動部１７の傾斜角度はゼロである。時点Ｔ２になると、主走査駆動信号Ｖｄが最大電圧値の１／２程度の電圧値になり、ミラー１７Ｍは、図１１中左側への最大傾斜角と傾斜角ゼロとのおおよそ中間の傾斜角で傾くことになる。その後、時点Ｔ３になると、主走査駆動信号Ｖｄが最大電圧値になり、ミラー１７Ｍは、図１１中左側への最大傾斜角で傾くことになる。

更に、時点Ｔ４になると、主走査駆動信号Ｖｄが最大電圧値の１／２程度の電圧値になり、ミラー１７Ｍは、時点Ｔ２と同様、図１１中左側への最大傾斜角と傾斜角ゼロとのおおよそ中間の傾斜角で傾くことになる。続いて、時点Ｔ５になると、主走査駆動信号Ｖｄがゼロなり、ミラー１７Ｍは、時点Ｔ１と同じく、傾斜角ゼロの状態である。以後は、同様な回動動作が繰り返されることになる。

本実施形態において、主走査方向については共振を利用して回動動作を行うため、安定して大きな回動動作が実現しやすいが、これにより、副走査方向については共振を利用して回動動作を行うことが困難となる。そのため、本実施形態において、副走査方向については非共振の回動動作となっている。非共振の回動動作では、一の副走査用圧電素子によって実現できる弾性変形量が少ないため、本実施形態では、上述したとおり、弾性変形部１２〜１５に折り返し機構を設けるとともに、第１及び第４の副走査用圧電素子２０，２３と第２及び第３の副走査用圧電素子２１，２２という２組の圧電素子グループを互いに逆向きに並列動作させることで、可動部１７の大きな回動動作を実現している。

本実施形態は、副走査用圧電素子２０〜２３を、フレーム板１０の一方の面にのみに形成した例であるが、配線の自由度や圧電素子作成の自由度等を考慮して、他方の面に形成してもよいし、あるいは両面に形成してもよい。また、フレーム板１０は、例えばシリコンウエハ（Ｓｉ）を加工したシリコン基板から作成することができる。主走査用圧電素子２４，２５、副走査用圧電素子２０〜２３、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７及びこれらの電極の形成は、半導体プロセスに準じて行うことができ、大量生産によるコストダウンを図ることが容易である。特に、本実施形態では、圧電素子２０〜２７が取り付けされる弾性変形部１２〜１６及びアーム部１８Ｒ，１８Ｌが、フレーム板１０という単一の構造体で構成されており、弾性変形部１２〜１６やアーム部１８Ｒ，１８Ｌを湾曲させる駆動力あるいは変位力を付与する手段として同じく圧電素子２０〜２７を用いている。よって、これらの圧電素子２０〜２７や電極を一括して形成することが可能となり、製造プロセスを簡単化できる。各圧電素子２０〜２７としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いているが、他の圧電素子材料であってもよい。

次に、主走査方向における可動部１７の傾きズレを補正する傾きズレ補正処理について説明する。
本実施形態において、主走査用圧電素子２４，２５に主走査駆動信号Ｖｄが入力されていない非駆動状態では、本来、可動部１７上のミラー１７Ｍのミラー面とアーム部１８Ｒ，１８Ｌの面とが平行になり（この状態を「基準状態」という。）、このときのアーム部１８Ｒ，１８Ｌに対する可動部１７の相対的な傾斜角度（基準傾斜角度）θ_０はゼロである。そして、この基準状態から主走査用圧電素子２４，２５に主走査駆動信号Ｖｄが入力されて駆動状態になると、可動部１７は、所定の回動範囲でＹ方向軸回りを往復回動動作する。この回動範囲（傾斜角度範囲）は、主に、主走査駆動信号Ｖｄの最大値に応じた最大傾斜角（アーム部１８Ｒ，１８Ｌに対する可動部１７の相対的な最大傾斜角）によって決まる。

一方、Ｙ方向軸回りにおける可動部１７の回動範囲の位置は、基準傾斜角度によって決まることになる。そのため、基準傾斜角度θ_０、すなわち、非駆動状態における可動部１７の傾斜角度が本来の角度（ゼロ）からズレると、Ｙ方向軸回りで往復回動動作する可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレてしまう。その結果、運転者３００が視認する虚像の主走査方向位置（水平方向位置）が本来の位置からズレてしまう。これにより、例えば、虚像によって表示するナビゲーション画像等を、自車両前方の路面や先行車両などに重ねて表示させるような画像表示制御を実施する場合には、その重なりがズレてしまい、適切な画像表示が実現できなくなるなどの不具合を引き起こす。

非駆動状態における可動部の傾斜角度（基準傾斜角度）θ_０は、アクチュエータの製造ばらつき、可動部１７の往復回動動作による残留応力、温度等の環境の変化、各種部材の経時的な特性変化（局所応力の蓄積によってフレーム板１０に曲げが発生したり、各圧電素子の逆圧電効果特性が経時的にバラバラ変化して動作が左右非対称になったりするケース等）などによって、本来の角度（ゼロ）からズレてしまうことがある。このようなズレを防止することは困難であることから、非駆動状態における可動部の傾斜角度θ_０が本来の角度（ゼロ）からズレても、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレるのを抑制できる方策が望まれる。

このような方策としては、例えば、可動部１７の回動範囲の位置ズレに応じて、主走査用圧電素子２４，２５に入力する主走査駆動信号Ｖｄを調整して、可動部１７の回動範囲をシフトさせることが考えられる。しかしながら、主走査駆動信号Ｖｄは、設計上の多くの制約を受けて決められるものであり、これを変更することは、他の弊害をもたらすことになる。特に、本実施形態では、上述したように、共振を利用して主走査方向の往復回動動作を行うため、主走査駆動信号Ｖｄを変更すると主走査方向の適切な往復回動動作ができなくなるおそれがある。

また、他の方策としては、例えば、可動部１７の回動範囲の位置ズレに応じて、光走査装置２０８から出力される投射光Ｌの光路上に配置される自由曲面ミラー２０９や投射ミラー２１１等の光学部材を駆動し、画像の表示位置を主走査方向（水平方向）へシフトさせることが考えられる。しかしながら、この方策では、光学部材を駆動させるための駆動手段が新たに必要となり、大型化やコスト増を招く。特に、このような投射光学系の光学部材は、画像拡大のために曲面ミラーで構成されている場合が多いため、その光学部材を駆動して画像表示位置を主走査方向（水平方向）へシフトさせようとすると、画像に歪みが生じてしまうという悪影響も出やすい。

そこで、本実施形態においては、可動部１７を支持している支持部の一部であるアーム部１８Ｒ，１８Ｌに支持部変位手段としての傾きズレ補正用圧電素子２６，２７を設けている。そして、可動部１７の回動範囲の位置ズレに応じた傾きズレ補正用駆動信号を傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に入力して、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７の伸縮によってアーム部１８Ｒ，１８Ｌを部分的に変位させ（湾曲させ）、非駆動状態における可動部１７の傾斜角度θ_０を本来の角度（ゼロ）に戻す。これにより、可動部１７の回動範囲を目標の回動範囲に戻すことができる。

本実施形態においては、可動部１７の回動範囲の位置ズレを把握するために、可動部１７上のミラー１７Ｍを反射した投射光Ｌを受光する回動範囲情報取得手段又は走査範囲情報取得手段としての受光センサ２１２を、スクリーン２１０に設置してある。具体的には、図１２に示すように、マイクロレンズアレイが配置されたスクリーン２１０の画像水平方向（主走査方向）の両端に、受光センサ２１２が配置されている。光走査装置２０８による主走査方向の光走査範囲（すなわち、可動部１７の主走査方向における回動範囲）は、図１２に示すように、スクリーン２１０の主走査方向幅（描画領域幅）よりも広く設定されているので、可動部１７上のミラー１７Ｍによって主走査方向に走査された投射光Ｌは、スクリーン２１０の両端に配置された受光センサ２１２にも入射する。

図１３は、光走査装置２０８による光走査範囲が主走査方向へズレた状態（図中左側へズレた状態）を示す説明図である。
アクチュエータの製造ばらつき、可動部１７の往復回動動作による残留応力、温度等の環境の変化、各種部材の経時的な特性変化などによって、非駆動状態における可動部１７の傾斜角度（基準傾斜角度）θ_０が本来の角度（ゼロ）からズレてしまうと、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレてしまい、その結果、図１３に示すように、光走査範囲が主走査方向へシフトする。このように、光走査範囲が主走査方向へシフトすると、スクリーン２１０に対する光走査範囲の主走査方向位置が相対的にズレる結果、その投射光Ｌが受光センサ２１２に入射するタイミングがズレる。したがって、受光センサ２１２の検出タイミングから、可動部１７の回動範囲の位置、言い換えると、非駆動状態における可動部１７の傾斜角度（基準傾斜角度）θ_０を把握することができる。

図１４は、受光センサ２１２の検出信号の一例を示すグラフである。
このグラフには、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲である場合（図１２の例）が破線で示されており、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレている場合（図１３の例）が実線で示されている。このグラフに示すとおり、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレていると（実線）、投射光Ｌの検出タイミングｔ１は、本来の検出タイミングｔ０からズレる。そして、実際の検出タイミングｔ１と本来の検出タイミングｔ０とのズレ時間は、可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からどの程度ずれているかを示すズレ量に換算できる。したがって、本実施形態では、スクリーン２１０の両端に設置された受光センサ２１２による投射光Ｌの検出タイミングを、主走査方向における可動部１７の往復回動動作の回動範囲を示す回動範囲情報として用いる。

具体的には、図４に示したように、受光センサ２１２から出力される投射光Ｌの検出信号を傾きズレ補正用駆動回路４４にフィードバックする。傾きズレ補正用駆動回路４４は、その検出信号から把握される投射光Ｌの検出タイミングｔ１と本来の検出タイミングｔ０との差分を補正値とし、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの傾きズレ補正用圧電素子２６，２７へ出力する傾きズレ補正用駆動信号の電圧値を補正する。

以下、図１５を参照して、本実施形態における傾きズレ補正処理の動作原理について説明する。
図１５（ａ）〜（ｃ）は、図５中符号Ｂ−Ｂにおけるフレーム板１０の断面図である。
図１５（ａ）に示すように、非駆動状態における支持フレーム１１に対する可動部１７の傾斜角度（基準傾斜角度）が本来の角度（ゼロ）である場合、可動部１７の回動範囲は目標の回動範囲となる。一方、アクチュエータの製造ばらつき、可動部１７の往復回動動作による残留応力、温度等の環境の変化、各種部材の経時的な特性変化などによって、その基準傾斜角度が図１５（ｂ）に示すように本来の角度（ゼロ）からズレた場合（傾きズレが発生した場合）、可動部１７の回動範囲は目標の回動範囲からズレることになる。

本実施形態では、このような傾きズレが生じる場合に、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に傾きズレ補正用駆動信号を入力する。これにより、傾きズレ補正用駆動信号の電圧値に応じて傾きズレ補正用圧電素子２６，２７が伸縮して、アーム部１８Ｒ，１８Ｌが湾曲する。その結果、図１５（ｃ）中の矢印Ｃのように、第５弾性変形部１６が接続されているアーム部１８Ｒ，１８Ｌの接続箇所１８ａが変位する。この接続箇所１８ａの変位によって、支持フレーム１１に対する第５弾性変形部１６の傾斜角度が変わり、これにより第５弾性変形部１６に接続されている可動部１７の支持フレーム１１に対する傾斜角度を本来の角度（ゼロ）に戻すことができる。

傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に入力される傾きズレ補正用駆動信号はＤＣ電圧信号であり、その設定値が変更されなければ、一定の電圧値が傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に入力される。このようにして、基準傾斜角度が本来の角度（ゼロ）になった状態で、主走査用圧電素子２４，２５に主走査駆動信号Ｖｄを入力して可動部１７をＹ方向軸回りで往復回動動作させることで、その回動範囲を目標回動範囲とすることができる。

次に、本実施形態における傾きズレ補正処理の流れについて説明する。
図１６は、本実施形態における傾きズレ補正処理の流れを示すフローチャートである。
本アクチュエータ駆動システムが起動して駆動を開始すると（Ｓ１）、まず、傾きズレ補正用駆動回路４４は、予め設定されている設定値に従った傾きズレ補正用駆動信号を傾きズレ補正用圧電素子２６，２７へ出力する（Ｓ２，Ｓ３）。このとき、設定値がゼロである場合には、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの傾きズレ補正用圧電素子２６，２７へ傾きズレ補正用駆動信号を出力しなくてもよい。

ここでいう設定値とは、例えば、工場出荷前の段階など、本光走査装置２０８の使用開始前の当初から、アクチュエータの製造ばらつき等によって可動部１７の回動範囲が目標の回動範囲からズレている場合のズレをキャンセルするための傾きズレ補正用駆動信号の設定値である。この設定値は、製品検査などにおいて、可動部１７の回動範囲の目標回動範囲からのズレ量を検知し、そのズレが無くなるように設定される傾きズレ補正用圧電素子２６，２７への入力電圧値（ＤＣ電圧）である。なお、製品検査などにおける当初のズレ量を検知する方法は、受光センサ２１２の検出信号を用いる必要はなく、別途のズレ量検出機器を用いて検知してもよい。

また、ここでいう設定値とは、前回のアクチュエータ駆動システムの稼働時において設定された設定値を記憶しておき、その記憶された設定値を呼び出したものであってもよい。

本アクチュエータ駆動システムの起動後、主走査用圧電素子２４，２５に主走査駆動信号Ｖｄが入力されて可動部１７をＹ方向軸回りで往復回動動作することにより（Ｓ４）、受光センサ２１２には投射光Ｌが入射し、これを検出すると（Ｓ５）、受光センサ２１２からの検出信号が傾きズレ補正用駆動回路４４にフィードバックされる。傾きズレ補正用駆動回路４４は、その検出信号から把握される投射光Ｌの検出タイミングｔ１と本来の検出タイミングｔ０との差分に応じて、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの傾きズレ補正用圧電素子２６，２７へ出力する傾きズレ補正用駆動信号の電圧値を変更する（Ｓ６）。このような処理は、本アクチュエータ駆動システムの駆動が終了するまでは（Ｓ７）、受光センサ２１２が投射光Ｌを受光するたびに繰り返し実施されるが、実施頻度は任意に設定できる。

検出タイミングｔ１と本来の検出タイミングｔ０との差分の大きさと傾きズレ補正用駆動信号の電圧値変更量との関係は、予め把握することができる。例えば、図１５（ｂ）に示したように、基準傾斜角度と本来の角度（ゼロ）との傾きズレがθ_０であるとき、第５弾性変形部１６が接続されているアーム部１８Ｒ，１８Ｌの接続箇所１８ａを変位させるべき補正量Δｄは、可動部１７を保持している第５弾性変形部１６の保持箇所からアーム部１８Ｒ，１８Ｌの接続箇所１８ａまでの距離Ｌによって決まる。具体例を挙げると、Ｌ＝０．７ｍｍであるとき、傾きズレθ_０と補正量Δｄとの関係は、図１７に示すような関係となり、予め把握することができる。この例においては、例えば、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの接続箇所１８ａの変位量Δｄが２０μｍとなるような傾きズレ補正用駆動信号の電圧値に設定すれば、１．６４度の傾きズレθ_０を補正することができる。

〔変形例１〕
次に、上述した実施形態におけるアクチュエータ駆動システムの一変形例（以下、本変形例を「変形例１」という。）について説明する。
図１８は、本変形例１におけるフレーム板１０の各弾性変形部に取り付ける圧電素子の配置の一例を示す平面図である。
本変形例１は、第１弾性変形部１２及び第２弾性変形部１３が２回の折返し構造となっており、第３弾性変形部１４と第４弾性変形部１５が２回の折返し構造となっている点で、これらが１回の折返し構造である上述した実施形態とは異なっている。また、可動部１７を保持する第５弾性変形部１６は、その上部でアーム部１８Ｒに接続され、その下部でアーム部１８Ｌに接続されている点で、いずれのアーム部１８Ｒ，１８Ｌも下部で接続されていた上述した実施形態とは異なっている。その他の基本構成は、上述した実施形態とほぼ同様である。

図１９は、本変形例１における第５弾性変形部１６に設けられる補強部材としての補強リブの配置を示す説明図である。
本変形例１においても、傾きズレ補正処理によって、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ上の傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に傾きズレ補正用駆動信号が入力されることで、アーム部１８Ｒ，１８Ｌが変位する。このとき、第５弾性変形部１６の剛性が不十分だと、アーム部１８Ｒ，１８Ｌの変位によって第５弾性変形部１６にねじれが発生し、主走査動作に影響が出るおそれがある。

そこで、本変形例１においては、第５弾性変形部１６の剛性を高めるために第５弾性変形部１６の外周に沿って補強リブ２８を設け、これにより第５弾性変形部１６にねじれが発生するのを抑制している。これにより、傾きズレ補正処理によってアーム部１８Ｒ，１８Ｌ上の傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に傾きズレ補正用駆動信号を入力しても、主走査動作に与える影響を抑制できる。

また、本変形例１における補強リブ２８は、第５弾性変形部１６の剛性だけでなく、第５弾性変形部１６とアーム部１８Ｒ，１８Ｌとの接続部の剛性も一緒に高めるために、当該接続部を介してアーム部１８Ｒ，１８Ｌまで延びている。これにより、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７によるアーム部１８Ｒ，１８Ｌの変位に対して、第５弾性変形部１６を適切に追従して傾斜させ、可動部１７の基準傾斜角度を本来の角度（ゼロ）に適切に戻すことができる。

なお、本変形例１は、可動部１７を第５弾性変形部１６が片持ち支持する構成でなく、図２０に示すように、可動部１７を第５弾性変形部１６で両持ち支持する構成であってもよい。もちろん、上述した実施形態における構成においても両持ち支持する構成を採用してもよい。また、本変形例１における補強リブ２８を上述した実施形態における構成に適用してもよい。

〔変形例２〕
次に、上述した実施形態におけるアクチュエータ駆動システムの他の変形例（以下、本変形例を「変形例２」という。）について説明する。
上述した実施形態では、可動部１７の基準傾斜角度θ_０がプラス側にずれている場合とマイナス側にずれている場合とで、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７に印加する傾きズレ補正用駆動信号の電圧値の極性を反転させる必要があった。このように逆バイアスの電圧値を設定する必要がある構成では、傾きズレ補正用駆動回路４４の電源回路の複雑化をもたらす。本変形例２は、可動部１７の基準傾斜角度θ_０がプラス側にずれている場合でもマイナス側にずれている場合でも、同じ極性の電圧値をもつ傾きズレ補正用駆動信号により、傾きズレ補正処理を実行できるものである。

図２１は、本変形例２における傾きズレ補正用圧電素子２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂの配置の一例を示す平面図である。
本変形例２においては、傾きズレ補正用圧電素子２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂが配置されるアーム部１８Ｒ，１８Ｌが、上述した実施形態における副走査用圧電素子２０〜２３が設けられた第１〜第４弾性変形部１２〜１５と同様、折返し構造を採用している。この構成においては、例えばアーム部１８Ｌについては、傾きズレ補正用圧電素子２６Ａが設置されるアーム部分が変位するときの支点（当該アーム部の下端）と、傾きズレ補正用圧電素子２６Ｂが設置されるアーム部分が変位するときの支点（当該アーム部の上端）とが逆側であるため、これらの傾きズレ補正用圧電素子２６Ａ，２６Ｂに同じ極性の傾きズレ補正用駆動信号を入力したときに、第５弾性変形部１６及び可動部１７をそれぞれ逆方向に傾斜させることが可能となる。これは、アーム部１８Ｒについても同様である。

したがって、本変形例２によれば、可動部１７の基準傾斜角度θ_０がプラス側にずれている場合でもマイナス側にずれている場合でも、同じ極性の電圧値をもつ傾きズレ補正用駆動信号によってその基準傾斜角度θ_０を本来の角度（ゼロ）に戻すことが可能である。

以上、上述した実施形態（各変形例を含む。以下同様。）においては、スクリーン２１０の両端に設けた受光センサ２１２による投射光Ｌの検出タイミングを回動範囲情報として取得し、Ｙ方向軸回りの可動部１７の回動範囲を把握する例であるが、これに限られない。例えば、可動部１７の回動範囲をジャイロ等によって直接的に検出する方法や、表示された画像の位置をカメラ等で検出し、その画像位置からＹ方向軸回りの可動部１７の回動範囲を把握する方法などが挙げられる。あるいは、Ｙ方向軸回りの可動部１７の回動範囲を把握する手段を設けず、運転者が目視で画像位置を確認してボタン操作等に従って傾きズレ補正用駆動信号の設定値を変更して、可動部１７の回動範囲をシフトさせて画像位置を調整できるようにしてもよい。

また、上述した実施形態においては、フレーム板１０の他の部分（支持フレーム１１、弾性変形部１２〜１６、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ）を可動部１７の支持部として説明しているが、この支持部は、フレーム板１０が固定される光走査装置２０８の筐体や、更に、この光走査装置２０８の筐体が固定される自動車用ＨＵＤ装置２００の筐体を含むものとしてもよい。この場合、例えば、フレーム板１０を光走査装置２０８の筐体に接着している接着剤（ダイボンド）が熱膨張したり経時劣化したりして、光走査装置２０８の筐体に対してフレーム板全体が傾き、これにより光走査装置２０８の筐体に対する可動部１７の相対的な傾斜角度が本来の角度からズレる場合も含めて、傾きズレ補正処理を行うことができる。

また、上述した実施形態では、傾きズレ補正用圧電素子２６，２７によってアーム部１８Ｒ，１８Ｌを変位させて可動部１７の基準傾斜角度θ_０を本来の角度（ゼロ）に戻し、可動部１７の回動範囲を目標の回動範囲へシフトさせる例であるが、変位させる箇所は、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ以外であってもよい。例えば、圧電素子によって支持フレーム１１を変位させて可動部１７の基準傾斜角度θ_０を本来の角度（ゼロ）に戻すようにしてもよい。ただし、支持フレーム１１を変位させるよりも、アーム部１８Ｒ，１８Ｌを変位させる方が、重量負荷が少ないため、より小さな変位力で可動部１７の回動範囲を目標の回動範囲へシフトさせることができる。また、アーム部１８Ｒ，１８Ｌは、第１〜第４副走査用圧電素子２０〜２３の駆動によって第１〜第４弾性変形部１２〜１５の湾曲により可動部１７と一緒に副走査方向へ回動動作するため、アーム部１８Ｒ，１８Ｌを変位させても、副走査動作に影響を与えることがない点でもメリットがある。

また、上述した実施形態のアクチュエータ駆動システムは、一方向から入射してくる入射光を反射するミラー１７Ｍを回動動作させて光を走査する光走査装置として利用しているが、これに限らず、例えば、複数方向から入射してくる入射光を反射するミラー１７Ｍを回動動作させて、特定箇所に配置されている受光部へ案内するような受光装置としても利用することが可能である。
更に、本実施形態のアクチュエータ駆動システムを適用可能な装置は、光走査装置にも限られない。

また、上述した実施形態におけるアクチュエータ駆動システムは、二次元方向に光を走査する光走査装置であるが、当該アクチュエータ駆動システムの副走査方向の構成及び動作を一次元方向に光を走査する光走査装置に適用してもよい。
また、上述した実施形態では、主走査方向に可動部１７を回動させる可動部駆動手段、副走査方向に可動部１７を回動させる第二可動部駆動手段、アーム部１８Ｒ，１８Ｌを変位させる支持部変位手段が、いずれも同じ駆動方式を採用するものであるが、互いに異なる駆動方式を採用してもよい。また、駆動方式も圧電駆動方式に限らず、例えば、静電力を用いて駆動する静電駆動方式や、電磁力を用いて駆動する電磁駆動方式を採用してもよい。
また、上述した実施形態では、弾性変形部は１回又は２回の折り返し構造となっているが、折り返しの回数は制限されない。

以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
支持フレーム１１やアーム部１８Ｒ，１８Ｌ等の支持部に支持された可動部１７の該支持部（支持フレーム１１）に対する相対的な傾斜角度θを主走査用圧電素子２４，２５等の可動部駆動手段により変化させて、Ｙ方向等の所定方向へ延びる回動軸回りにおける所定の回動範囲の往復回動動作を前記可動部に繰り返し行わせる回動装置において、前記回動軸回りにおける前記所定の回動範囲がシフトするように前記支持部（アーム部１８Ｒ，１８Ｌ）を変位させる傾きズレ補正用圧電素子２６，２７等の支持部変位手段を有することを特徴とする。
本態様は、可動部駆動手段により可動部１７の支持部に対する相対的な傾斜角度を変化させて、所定方向へ延びる回動軸回りにおける所定の回動範囲の往復回動動作を可動部に繰り返し行わせるものである。このような構成においては、可動部駆動手段により可動部１７が駆動されていない非駆動状態における可動部の支持部に対する相対的な傾斜角度（基準傾斜角度）を変化させることで、可動部１７が駆動されている駆動状態における可動部の支持部に対する相対的な傾斜角度の変化範囲すなわち回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることができる。本態様によれば、可動部１７を支持する支持部の一部分又は全体を支持部変位手段により変位させることができ、これにより非駆動状態における可動部の支持部に対する相対的な傾斜角度を変化させることが可能である。よって、可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレている場合、そのズレを補正するように回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることが可能である。

（態様Ｂ）
前記態様Ａにおいて、所定の変位量決定条件に従って決定される目標変位量Δｄとなるように前記支持部を変位させ、かつ、前記往復回動動作中における前記支持部の変位量が当該変位後の変位量に維持されるように、前記支持部変位手段を制御する傾きズレ補正用駆動回路４４等の支持部変位制御手段を有することを特徴とする。
これによれば、可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレている場合、そのズレを補正するように回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることができる。

（態様Ｃ）
前記態様Ｂにおいて、前記往復回動動作による回動範囲を示す回動範囲情報を取得する受光センサ２１２等の回動範囲情報取得手段を有し、前記所定の変位量決定条件は、前記回動範囲情報取得手段が取得した回動範囲情報が示す回動範囲の前記回動軸回りにおける位置（基準傾斜角度θ_０）が目標位置（ゼロ）となるという条件を含むことを特徴とする。
これによれば、本回動装置の稼働後に可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレた場合でも、そのズレを補正するように回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることができる。

（態様Ｄ）
前記態様Ａ〜Ｃのいずれかの態様において、前記可動部駆動手段は、前記可動部１７と前記支持部（アーム部１８Ｒ，１８Ｌ）との間に介在する第５弾性変形部１６等の駆動部に可動部駆動力を付与して、前記支持部（支持フレーム１１）に対する前記可動部１７の相対的な傾斜角度θを変化させるものであることを特徴とする。
これによれば、安定して可動部を往復回動動作させることができる小型の回動装置を容易に実現できる。

（態様Ｅ）
前記態様Ｄにおいて、前記駆動部の剛性を高める補強リブ２８等の補強部材を有することを特徴とする。
これによれば、上述した変形例１のとおり、支持部の変位によって駆動部が変形して可動部の往復回動動作に及ぼす影響を軽減することができる。

（態様Ｆ）
前記態様Ｄ又はＥにおいて、前記駆動部と前記支持部とがフレーム板１０等の単一の構造体で構成されており、前記可動部駆動手段及び前記支持部変位手段は、いずれも圧電駆動方式等の同じ方式で可動部駆動力及び支持部変位力を付与するものであることを特徴とする。
これによれば、製造プロセスの簡略化が可能となり、大量生産によるコストダウンを図ることが容易になる。

（態様Ｇ）
前記態様Ａ〜Ｆのいずれかの態様において、前記支持部変位手段は、圧電駆動方式で前記支持部を変位させる圧電素子２６，２７であることを特徴とする。
これによれば、高精度な傾きズレの補正を実現できる。

（態様Ｈ）
前記態様Ｇにおいて、前記圧電素子は、直流電圧を印加されることにより、前記支持部を変位させることを特徴とする。
これによれば、可動部１７を支持する支持部の一部分又は全体を支持部変位手段により安定して変位させ、それを維持することができる。

（態様Ｉ）
前記態様Ａ〜Ｈのいずれかの態様において、前記可動部駆動手段は、主走査用駆動回路４１等の可動部駆動回路から出力される主走査用駆動信号Ｖｄ等の可動部駆動信号に基づいて前記支持部に対する前記可動部の相対的な傾斜角度θを変化させるものであり、前記支持部変位手段は、前記可動部駆動回路とは独立した傾きズレ補正用駆動回路４４等の支持部駆動回路から出力される傾きズレ補正用駆動信号等の支持部駆動信号に基づいて前記支持部を変位させるものであり、前記可動部駆動回路と前記支持部駆動回路とが共通接地されていることを特徴とする。
これによれば、駆動回路の簡略化を図ることができる。

（態様Ｊ）
前記態様Ａ〜Ｉのいずれかの態様において、前記所定方向に対して略直交するＸ方向等の第二方向へ延びる第二回動軸回りの第二回動動作を前記可動部に行わせる副走査用駆動回路４２，４３等の第二可動部駆動手段を有することを特徴とする。
これによれば、可動部１７を二次元方向に回動動作させることが可能となる。

（態様Ｋ）
光反射面をもったミラー１７Ｍ等の光学部材を有する可動部１７と、第５弾性変形部１６等の駆動部、アーム部１８Ｒ，１８Ｌ等の傾き補正部及び弾性変形部１２〜１５を介して前記可動部を支持する支持フレーム１１等の支持部とを備え、前記駆動部は、一端が前記可動部に固定され、他端が前記傾き補正部に固定され、該可動部を所定の回動軸で回動可能にし、前記弾性変形部は、一端が前記傾き補正部に固定され、他端が前記支持部に固定され、前記可動部を前記回動軸に直交する第二回動軸で回動可能にし、前記傾き補正部は、前記駆動部又は前記弾性変形部による前記支持部に対する前記可動部の可動範囲が目標範囲になるように、前記光反射面と前記支持部との相対的な傾斜角度を補正することを特徴とする。
これによれば、可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレている場合、そのズレを補正するように傾き補正部によって可動部の回動範囲をシフトさせることが可能である。

（態様Ｌ）
レーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂ等の光出力手段から出力される光を走査する走査手段を有する光走査装置２０８において、前記走査手段は、前記態様Ａ〜Ｋのいずれかの態様に係る回動装置を用い、前記可動部に往復回動動作を繰り返し行わせることにより該可動部に設けられたミラー１７Ｍ等の光学部材によって前記光出力手段から出力される光を走査することを特徴とする。
これによれば、光走査範囲の主走査方向位置がズレるのを抑制できる。

（態様Ｍ）
レーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂ等の光出力手段から出力される光を走査する走査手段を有する光走査装置２０８において、前記走査手段は、前記態様Ｂに係る回動装置を用い、前記可動部に往復回動動作を繰り返し行わせることにより該可動部に設けられたミラー１７Ｍ等の光学部材によって前記光出力手段から出力される光を走査するものであり、前記光学部材によって走査された光の走査範囲を示す走査範囲情報を取得する受光センサ２１２等の走査範囲情報取得手段を有し、前記所定の変位量決定条件は、前記走査範囲情報取得手段が取得した走査範囲情報が示す走査範囲の走査方向位置が目標位置になるという条件を含むことを特徴とする。
可動部の回動範囲が目標の回動範囲からズレるという要因だけでなく、例えば、走査された光の光路上に存在する光学部材の製造ばらつき、温度等の環境の変化、経時的な特性変化などの他の要因によっても、走査範囲が走査方向へズレることがある。本態様によれば、どのような要因で走査範囲が走査方向へズレる場合でも、そのズレを抑制することができる。

（態様Ｎ）
画像情報に基づく画像走査光Ｌを出力するレーザー光源２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂ等の画像走査光出力手段と、前記画像走査光出力手段から出力される画像走査光を二次元走査する光走査装置２０８等の走査手段とを有する自動車用ＨＵＤ装置２００等の画像表示装置において、前記走査手段は、前記態様Ｊに係る回動装置を用い、前記可動部駆動手段によって前記可動部に前記往復回動動作を行わせることにより画像水平方向及び画像垂直方向のいずれか一方の方向に画像走査光を走査するとともに、前記第二可動部駆動手段によって前記可動部に前記第二回動動作を行わせることにより他方の方向に画像走査光を走査することを特徴とする。
これによれば、画像の表示位置がズレるのを抑制できる。

（態様Ｏ）
前記態様Ｎに係る画像表示装置を備えた自動車等の移動体。
これによれば、画像の表示位置がズレることが抑制された画像表示装置を備えた各種移動体を実現できる。

（態様Ｐ）
支持部に支持された可動部の該支持部に対する相対的な傾斜角度を可動部駆動手段により変化させて、所定方向へ延びる回動軸回りにおける所定の回動範囲の往復回動動作を前記可動部に繰り返し行わせる回動装置の回動動作調整方法であって、前記回動軸回りにおける前記所定の回動範囲がシフトするように、所定の変位量決定条件に従って決定される目標変位量となるように前記支持部を変位させ、前記回動動作中における前記支持部の変位量を当該変位後の変位量に維持することを特徴とする。
これによれば、可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレている場合、そのズレを補正するように回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることが可能である。

（態様Ｑ）
支持部に支持された可動部が所定方向へ延びる回動軸回りにおける所定の回動範囲の往復回動動作を繰り返すように、該可動部の該支持部に対する相対的な傾斜角度を変化させる可動部駆動手段と、前記回動軸回りにおける前記所定の回動範囲がシフトするように、前記支持部を変位させる支持部変位手段とを備えた回動装置のコンピュータを機能させるためのプログラムであって、所定の変位量決定条件に従って決定される目標変位量となるように前記支持部を変位させ、かつ、前記往復回動動作中における前記支持部の変位量が当該変位後の変位量に維持されるように、前記支持部変位手段を制御する支持部変位制御手段として、前記コンピュータを機能させることを特徴とする。
これによれば、可動部の回動範囲が目標の可動範囲からズレている場合、そのズレを補正するように回動軸回りにおける可動部の回動範囲をシフトさせることが可能である。
なお、このプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に記録された状態で配布したり、入手したりすることができる。また、このプログラムを乗せ、所定の送信装置により送信された信号を、公衆電話回線や専用線、その他の通信網等の伝送媒体を介して配信したり、受信したりすることでも、配布、入手が可能である。この配信の際、伝送媒体中には、コンピュータプログラムの少なくとも一部が伝送されていればよい。すなわち、コンピュータプログラムを構成するすべてのデータが、一時に伝送媒体上に存在している必要はない。このプログラムを乗せた信号とは、コンピュータプログラムを含む所定の搬送波に具現化されたコンピュータデータ信号である。また、所定の送信装置からコンピュータプログラムを送信する送信方法には、プログラムを構成するデータを連続的に送信する場合も、断続的に送信する場合も含まれる。

１０ フレーム板
１１ 支持フレーム
１２〜１６ 弾性変形部
１７ 可動部
１７Ｍ ミラー
１８Ｒ，１８Ｌ アーム部
１８ａ 接続箇所
１９Ａ，１９Ｂ トーションバー
２０〜２３ 副走査用圧電素子
２４，２５ 主走査用圧電素子
２６，２７，２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂ 傾きズレ補正用圧電素子
２８ 補強リブ
４１ 主走査用駆動回路
４２，４３ 副走査用駆動回路
４４ 傾きズレ補正用駆動回路
２００ 自動車用ＨＵＤ装置
２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂ レーザー光源
２０８ 光走査装置
２０９ 自由曲面ミラー
２１０ スクリーン
２１１ 投射ミラー
２１２ 受光センサ
２３０ 光源ユニット
３００ 運転者
３０１ 自動車
３０２ フロントガラス

特開２０１０−２６４４３号公報 特開２０１１−１０７５０５号公報

Claims (2)

1. 光反射面をもった光学部材を有する可動部と、
   駆動部、傾き補正部及び弾性変形部を介して前記可動部を支持する支持部とを備え、
   前記駆動部は、一端が前記可動部に固定され、他端が前記傾き補正部に固定され、該可動部を所定の回動軸で回動可能にし、
   前記弾性変形部は、一端が前記傾き補正部に固定され、他端が前記支持部に固定され、前記可動部を前記回動軸に直交する第二回動軸で回動可能にし、
   前記傾き補正部は、前記駆動部又は前記弾性変形部による前記支持部に対する前記可動部の可動範囲が目標範囲になるように、前記光反射面と前記支持部との相対的な傾斜角度を補正することを特徴とする回動装置。
2. 光出力手段から出力される光を走査する走査手段を有する光走査装置において、
   前記走査手段は、請求項１に記載の回動装置を用い、前記可動部に往復回動動作を繰り返し行わせることにより該可動部に設けられた光学部材によって前記光出力手段から出力される光を走査することを特徴とする光走査装置。