JP6599032B1 - 入出力制御ユニット、プログラマブルロジックコントローラおよび検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
記憶部と、
入出力制御部と、
第1機器に接続され前記第1機器から入力される第1信号を前記入出力制御部へ出力する第1入力インタフェースと、
第2機器に接続され前記第2機器から入力される第2信号を前記入出力制御部へ出力する第2入力インタフェースと、を備え、
前記入出力制御部は、
トリガ信号を生成するトリガ出力部と、
前記トリガ信号に同期して、前記第1信号に基づく第1情報を、前記記憶部における予め設定された複数の第1格納領域に格納する第1ロガーブロックと、
前記トリガ信号に同期して、前記第2信号に基づく第2情報を、前記第1情報と対応づけて、前記記憶部における予め設定された複数の第2格納領域に格納する第2ロガーブロックと、を有する。
Claims (15)
- 記憶部と、
入出力制御部と、
第1機器に接続され前記第1機器から入力される第1信号を前記入出力制御部へ出力する第1入力インタフェースと、
第2機器に接続され前記第2機器から入力される第2信号を前記入出力制御部へ出力する第2入力インタフェースと、を備え、
前記入出力制御部は、
トリガ信号を生成するトリガ出力部と、
前記トリガ信号に同期して、前記第1信号に基づく第1情報を、前記記憶部における予め設定された複数の第1格納領域に格納する第1ロガーブロックと、
前記トリガ信号に同期して、前記第2信号に基づく第2情報を、前記第1情報と対応づけて、前記記憶部における予め設定された複数の第2格納領域に格納する第2ロガーブロックと、を有する、
入出力制御ユニット。 - 前記第1信号は、アナログ信号であり、
前記第2信号は、パルス信号であり、
前記第1信号をアナログディジタル変換することにより前記第1信号の信号レベルに対応するディジタル値を示すディジタル情報を、前記第1情報として生成するディジタル情報生成ブロックと、
前記第2信号に含まれるパルスをカウントして得られるカウント値を示すカウント情報を、前記第2情報として生成して出力するカウンタブロックと、を更に備える、
請求項1に記載の入出力制御ユニット。 - 前記入出力制御部は、複数の汎用回路ブロックを有し、前記複数の汎用回路ブロックの組み合わせおよび使用順序を変更することにより再構成可能であり、
前記複数の汎用回路ブロックの中から、前記トリガ出力部、前記ディジタル情報生成ブロック、前記第1ロガーブロック、前記カウンタブロックおよび前記第2ロガーブロックとして機能する汎用回路ブロックの選択が可能である、
請求項2に記載の入出力制御ユニット。 - 第3機器に接続され前記第3機器から入力される第3信号を前記入出力制御部へ出力する第3入力インタフェースを更に備え、
前記トリガ出力部は、前記第3信号を前記トリガ信号として出力するトリガブロックを有する、
請求項1から3のいずれか1項に記載の入出力制御ユニット。 - 前記トリガ出力部は、
リングカウンタとして機能するカウンタブロックと、
前記カウンタブロックから出力されるカウント情報が示すカウント値が、予め設定された、前記カウント値に対するカウント閾値に一致する毎に前記トリガ信号を出力する比較演算ブロックと、を更に有する、
請求項1から3のいずれか1項に記載の入出力制御ユニット。 - 前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域は、それぞれ連続した物理アドレスで指定される格納領域であり、
前記第1情報が格納される第1格納領域の物理アドレスと前記複数の第1格納領域の先頭の物理アドレスとの差分値で表される第1相対アドレスと、前記第1情報に対応付けられた第2情報が格納される第2格納領域の物理アドレスと前記複数の第2格納領域の先頭の物理アドレスとの差分値で表される第2相対アドレスと、が互いに等しい、
請求項1から5のいずれか1項に記載の入出力制御ユニット。 - 前記第1情報が示す数値に対する予め設定された判定基準を示す判定基準情報を前記第1情報に対応づけられた第2情報に対応づけて記憶する判定基準情報記憶部と、
前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域それぞれから第1情報および第2情報を取得し、前記判定基準情報に基づいて、取得した前記第1情報が示す数値が前記判定基準を満たすか否かを判定する判定部と、を更に有する、
請求項1に記載の入出力制御ユニット。 - 記憶部と、入出力制御部と、第1機器に接続され前記第1機器から入力される第1信号を前記入出力制御部へ出力する第1入力インタフェースと、第2機器に接続され前記第2機器から入力される第2信号を前記入出力制御部へ出力する第2入力インタフェースと、を有する入出力制御ユニットと、
前記記憶部にアクセス可能なCPUユニットと、を備え、
前記入出力制御部は、
トリガ信号を生成するトリガ出力部と、前記トリガ信号に同期して、前記第1信号に基づく第1情報を、前記記憶部における予め設定された複数の第1格納領域に格納する第1ロガーブロックと、前記トリガ信号に同期して、前記第2信号に基づく第2情報を、前記第1情報と対応づけて、前記記憶部における予め設定された複数の第2格納領域に格納する第2ロガーブロックと、を有する、
プログラマブルロジックコントローラ。 - 前記CPUユニットは、前記記憶部の前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域それぞれから前記第1情報および前記第2情報を取得し、前記第1情報が示す数値に対する予め設定された判定基準を示す判定基準情報に基づいて、取得した前記第1情報が示す数値が前記判定基準を満たすか否かを判定する判定部を有する、
請求項8に記載のプログラマブルロジックコントローラ。 - 前記CPUユニットは、前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域に、前記判定部による判定に必要な複数の第1情報および複数の第2情報が格納された後、前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域それぞれから前記複数の第1情報および前記複数の第2情報を纏めて取得する、
請求項9に記載のプログラマブルロジックコントローラ。 - 第1機器と、
第2機器と、
記憶部、入出力制御部、前記第1機器に接続され前記第1機器から入力される第1信号を前記入出力制御部へ出力する第1入力インタフェースおよび前記第2機器に接続され前記第2機器から入力される第2信号を前記入出力制御部へ出力する第2入力インタフェースを有する入出力制御ユニットと、前記記憶部にアクセス可能なCPUユニットと、を有するプログラマブルロジックコントローラと、を備え、
前記入出力制御部は、
トリガ信号を生成するトリガ出力部と、前記トリガ信号に同期して、前記第1信号に基づく第1情報を、前記記憶部における予め設定された複数の第1格納領域に格納する第1ロガーブロックと、前記トリガ信号に同期して、前記第2信号に基づく第2情報を、前記第1情報と対応づけて、前記記憶部における予め設定された複数の第2格納領域に格納する第2ロガーブロックと、を有する、
検査システム。 - 前記入出力制御ユニットは、
前記第1情報が示す数値に対する予め設定された判定基準を示す判定基準情報を前記第1情報に対応づけられた第2情報に対応づけて記憶する判定基準情報記憶部と、
前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域それぞれから前記第1情報および前記第2情報を取得し、前記判定基準情報に基づいて、取得した前記第1情報が示す数値が前記判定基準を満たすか否かを判定する判定部と、を更に有する、
請求項11に記載の検査システム。 - 前記第1機器は、レーザ変位センサであり、
前記第2機器は、エンコーダであり、
前記第1信号は、ウェハの厚さを反映した信号であり、
前記第2信号は、前記ウェハの回転角度を反映した信号であり、
前記第1ロガーブロックは、前記トリガ信号に同期して、前記第1信号に基づく前記ウェハの厚さを反映した前記第1情報を、前記記憶部における予め設定された複数の第1格納領域に格納し、
前記第2ロガーブロックは、前記トリガ信号に同期して、前記第2信号に基づく前記ウェハの回転角度を反映した前記第2情報を、前記第1情報と対応づけて、前記記憶部における予め設定された複数の第2格納領域に格納し、
前記判定基準情報記憶部は、前記第1情報が示す前記ウェハの厚さを反映した数値に対する予め設定された判定基準を示す判定基準情報を前記第1情報に対応づけられた前記ウェハの回転角度を反映した第2情報に対応づけて記憶し、
前記判定部は、前記複数の第1格納領域および前記複数の第2格納領域それぞれから前記第1情報および前記第2情報を取得し、前記判定基準情報に基づいて、取得した前記第1情報が示す前記ウェハの厚さを反映した数値が前記判定基準を満たすか否かを判定する、
請求項12に記載の検査システム。 - 第3機器を更に備え、
前記入出力制御ユニットは、
前記第3機器に接続され前記第3機器から入力される第3信号を前記入出力制御部へ出力する第3入力インタフェースを更に有し、
前記トリガ出力部は、前記第3信号を前記トリガ信号として出力するトリガブロックを有する、
請求項11から13のいずれか1項に記載の検査システム。 - 前記第3機器は、ウェハの接近を検知する近接センサであり、
前記第3入力インタフェースは、前記第3機器に接続され前記第3機器から入力されるトリガ信号である第3信号を前記入出力制御部へ出力する、
請求項14に記載の検査システム。
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