TWI683193B - 輸入輸出控制單元、可程式邏輯控制器及檢查系統 - Google Patents

輸入輸出控制單元、可程式邏輯控制器及檢查系統 Download PDF

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TWI683193B TW108103865A TW108103865A TWI683193B TW I683193 B TWI683193 B TW I683193B TW 108103865 A TW108103865 A TW 108103865A TW 108103865 A TW108103865 A TW 108103865A TW I683193 B TWI683193 B TW I683193B
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Abstract

輸入輸出控制單元(120)具備有存儲器、輸入輸出控制部(126)、類比訊號輸入介面(129)及脈衝訊號輸入介面(127A)。輸入輸出控制部(126)具有：脈衝訊號輸入塊(1411)，係產生觸發訊號；A/D轉換塊(1431)，係對類比訊號進行類比數位轉換而產生晶圓厚度資訊；記錄器塊(1501)，係與觸發訊號同步，而將晶圓厚度資訊儲存至存儲器中的預先設定的表格TA；計數器塊(1461)，係持續從數位訊號產生表示計數值之計數值資訊並輸出；記錄器塊(1502)，係與觸發訊號同步，而將計數值資訊以與晶圓厚度資訊有對應關係的方式儲存到存儲器(124)中的表格TB。

Description

輸入輸出控制單元、可程式邏輯控制器及檢查系統
本發明係關於輸入輸出控制單元、可程式邏輯控制器及檢查系統。
習知已有一種可程式邏輯控制器，係具備有：根據來自編碼器的脈衝訊號而產生同步控制訊號之同步控制訊號產生單元、計數器單元、類比輸入單元及CPU單元(參照例如專利文獻1)。其中，計數器單元係以與同步控制訊號同步的時序，將來自編碼器的脈衝訊號的脈衝的計數值鎖存(latch)到內部記憶體中。類比輸入單元係以與同步控制訊號同步的時序，將表示從感測器輸出的類比訊號的訊號準位(level)之值鎖存到內部記憶體中。CPU單元係與同步控制訊號同步，而經由匯流排通訊線讀取鎖存於計數器單元的內部記憶體中之計數值，及鎖存於類比輸入單元的內部記憶體中之表示類比訊號的訊號準位之值。
[先前技術文獻] [專利文獻]
(專利文獻1) 國際公開第2014/207825號
在專利文獻1記載的可程式邏輯控制器中，CPU單元在同步控制訊號的各週期，每次都要讀取鎖存於各內部記憶體中之計數值及表示類比訊號的訊號準位之值。因此，必須使同步控制訊號的週期比CPU單元讀取計數值及表示類比訊號的訊號準位之值的時間長。亦即，同步控制訊號的週期會受到CPU單元的處理速度的限制。因此，可程式邏輯控制器的處理時間必然會變長，使用該可程式邏輯控制器之製造裝置因而難以實現作業時間(takt time)之減低。另外，專利文獻1記載的可程式邏輯控制器，並未在計數器單元的內部記憶體及在類比輸入單元的內部記憶體分別設置複數個儲存區域。因此，CPU單元必須在分別儲存於計數器單元的內部記憶體的一個儲存區域及類比輸入單元的內部記憶體的一個儲存區域之資料被新的要儲存到儲存區域之資料覆寫之前，及時將該資料從各內部記憶體讀出。因此，可程式邏輯控制器的處理時間會變長。
本發明係有鑑於上述事由而完成者，其目的在提供可使可程式邏輯控制器的處理速度提高之輸入輸出控制單元、可程式邏輯控制器及檢查系統。
為了達成上述目的，本發明之輸入輸出控制單元係具備有： 記憶部；輸入輸出控制部；第一輸入介面，係與第一機器連接並將從前述第一機器輸入的第一訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部；以及第二輸入介面，係與第二機器連接並將從前述第二機器輸入的第二訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述輸入輸出控制部係具有：觸發輸出部，係產生觸發訊號(trigger signal)；第一記錄器塊(first logger block)，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第一訊號之第一資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第一儲存區域；第二記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第二訊號之第二資訊與前述第一資訊建立對應關係，並將前述第二資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第二儲存區域。
根據本發明，輸入輸出控制部具有：第一記錄器塊，係與觸發訊號同步，而將根據第一訊號之第一資訊儲存至複數個第一儲存區域；以及第二記錄器塊，係與觸發訊號同步，而將根據第二訊號之第二資訊與第一資訊建立對應關係，並將該第二資訊儲存至複數個第二儲存區域。因此，CPU單元無須進行例如在儲存於一個儲存區域之第一資訊或第二資訊被新的要轉送至該儲存區域之第一資訊或第二資訊覆寫之前及時將等資訊讀出之處理。另外，輸入輸出控制單元可使同時取得的數位資訊及計數資 訊互相建立對應關係而記憶至記憶部。因此，不管例如CPU單元的處理速度為何都可縮短觸發訊號的週期，所以可用縮短了該份量之週期同時取得數位資訊及計數資訊，可使具備本發明的輸入輸出控制單元之可程式邏輯控制器的處理速度提高。
10‧‧‧PLC
16‧‧‧晶圓厚度檢查單元
30‧‧‧電腦
31‧‧‧CPU
32‧‧‧主記憶部
33‧‧‧輔助記憶部
34‧‧‧輸入部
35‧‧‧顯示部
36‧‧‧通訊介面
39‧‧‧匯流排
40‧‧‧工程工具
41‧‧‧動作參數產生部
42‧‧‧判定基準資訊產生部
43‧‧‧指標表格產生部
44‧‧‧轉送部
100‧‧‧CPU單元
101、121‧‧‧運算部
102‧‧‧記憶體
102a‧‧‧參數
102b‧‧‧階梯程式
103‧‧‧PC介面
104、125‧‧‧通訊匯流排介面
110‧‧‧基座單元
111‧‧‧匯流排通訊線
120、2120‧‧‧輸入輸出控制單元
120a‧‧‧輸入輸出介面
122‧‧‧內部記憶體
123‧‧‧非揮發性記憶體
124‧‧‧存儲器
126、2126‧‧‧輸入輸出控制部
127A、127B‧‧‧脈衝訊號輸入介面
128‧‧‧數位訊號輸出介面
129‧‧‧類比訊號輸入介面
130‧‧‧類比訊號輸出介面
140‧‧‧電路塊切換匯流排
1411~141q‧‧‧脈衝訊號輸入塊
1421~142r‧‧‧數位訊號輸出塊
1431~143p‧‧‧A/D轉換塊
1441~144o‧‧‧D/A轉換塊
1451~145x‧‧‧濾波器塊
1461~146y‧‧‧計數器塊
1471~147z‧‧‧邏輯運算塊
1481~148v‧‧‧四則運算塊
1491~149u‧‧‧比較運算塊
1501~150w‧‧‧記錄器塊
161‧‧‧旋轉台
162‧‧‧雷射位移感測器
163‧‧‧編碼器
164‧‧‧近接感測器
165‧‧‧開關
166‧‧‧閥
14111~1411q、14211~1421r、14311~1431p、14411~1441o、14511~1451x、14611~1461y、14711~1471z、14811~1481v、14911~1491u、15011~1501w‧‧‧暫存器
14121~1412q、14221~1422r、14321~1432p、14421~1442o、14521~1452x、14621~1462y、14721~1472z、14821~1482v、14921~1492u、15021~1502w‧‧‧輸入輸出端子
15031~1503w‧‧‧觸發輸入端子
DAJ‧‧‧判定基準資訊
DAM‧‧‧動作參數資訊
L1、L2‧‧‧通訊線
LPT‧‧‧指標表格資訊
W‧‧‧晶圓
第1圖係顯示本發明的實施形態之晶圓厚度檢查系統之圖。
第2圖係顯示實施形態之晶圓厚度檢查系統的一部分之圖。
第3圖係顯示實施形態之可程式邏輯控制器的構成之方塊圖。
第4圖係顯示實施形態中的輸入輸出控制部的構成之方塊圖。
第5圖係顯示實施形態中的電腦的構成之方塊圖。
第6圖係顯示實施形態之晶圓厚度檢查系統的初始設定時的動作之順序圖。
第7圖係顯示實施形態中的判定基準資訊的一例之圖。
第8圖係顯示實施形態中的指標表格資訊的一例之圖。
第9圖係實施形態之輸入輸出控制單元的控制方塊圖。
第10圖係顯示實施形態中的存儲器所記憶的表格的一例之圖。
第11圖係顯示實施形態中的MPU所執行的晶圓厚度判定處理的流程的一例之流程圖。
第12圖係顯示實施形態中的晶圓厚度判定處理的判定結果的一例之圖。
第13圖係顯示實施形態中的晶圓厚度判定處理的判定結果的一例之圖。
第14A圖係用來說明比較例之可程式邏輯控制器的動作之時間圖。
第14B圖係用來說明實施形態之可程式邏輯控制器的動作之時間圖。
第15圖係變化例之輸入輸出控制單元的控制方塊圖。
第16圖係用來說明變化例之可程式邏輯控制器的動作之時間圖。
以下，參照圖式來說明本發明的一實施形態之可程式邏輯控制器。本實施形態之可程式邏輯控制器的輸入輸出控制單元係具備有：輸入輸出控制部，係具有複數個泛用電路塊(circuit block)；第一輸入介面，係將從外部輸入的第一訊號予以輸出至輸入輸出控制部；以及第二輸入介面，係將從外部輸入的第二訊號予以輸出至輸入輸出控制部。本實施形態中，第一訊號為類比訊號，第二訊號為脈衝訊號。第一輸入介面為類比訊號輸入介面，第二輸入介面為脈衝訊號輸入介面。輸入輸出控制單元還具備有大容量的存儲器(storage)。輸入輸出控制部係分別針對同時輸入的第一訊號及第二訊號進行平行處理而同時產生複數種類的資訊，亦即根據第一訊號之第一資訊及根據第二訊號之第二資訊。然後，輸入輸出控制部每次產生複數種類的資訊都使之依序記憶於存儲器中。此處，存儲器具有：用來儲存複數個第一資訊之複數個第一儲存區域，及用來儲存複數個第二資訊之複數個第二儲存區域。存儲器係分別以共通的相對位址(address)管理第一資訊及第二資訊，以使兩者建立對應關係之形態來予以記憶。另外， 輸入輸出控制單元還具備有判定部，該判定部係針對存儲器所記憶的複數種類的資訊，根據預先設定的判定資訊進行判定。
如例如第1圖所示，本實施形態之可程式邏輯控制器(以下稱為「PLC(Programmable Logic Controller)」)10係與晶圓厚度檢查單元16一併構成晶圓厚度檢查系統。
晶圓厚度檢查單元16係具備有旋轉台161、雷射位移感測器162、編碼器163及近接感測器164。此處，雷射位移感測器162相當於申請專利範圍中記載的第一機器，編碼器163相當於申請專利範圍中記載的第二機器，近接感測器164相當於申請專利範圍中記載的第三機器。晶圓厚度檢查單元16還具備有：用來切換旋轉台161的旋轉動作的on/off之開關165；以及用來切換設於旋轉台161的真空夾具(chuck)(未圖示)的吸著狀態之閥166。旋轉台161、雷射位移感測器162、編碼器163、近接感測器164、開關165及閥166都經由通訊線L2與PLC 10的輸入輸出介面120a連接。此晶圓厚度檢查系統係一面使載置於晶圓厚度檢查單元16的旋轉台161上之晶圓W旋轉，並一面利用雷射位移感測器162測出晶圓W的厚度。
雷射位移感測器162係如第2圖所示配置於旋轉台161的上方，輸出屬於類比訊號之電流訊號。此電流訊號係表示反映出例如晶圓W的厚度之電流值之訊號。編碼器163係例如光電型式的旋轉編碼器，設於圓盤狀的旋轉台161的周圍。編碼器163係具有例如隨著旋轉台161的旋轉而旋轉之切縫圓板以及光電晶體(photo transister)，利用光電晶體接受隨著旋轉台161的旋轉而通過切縫圓板的狹縫之光而輸出對應於所接受的光 之脈衝訊號。編碼器163係隨著旋轉台161的旋轉而連續地輸出脈衝訊號。此脈衝訊號係脈衝的發生頻率依旋轉台的旋轉速度而增減之訊號。因此，計數從編碼器163輸出的脈衝訊號中含有的脈衝數目所得到的計數值，係與旋轉台161之從初始位置開始算起的旋轉角度，亦即晶圓W的旋轉角度成正比而增大。近接感測器164係偵測晶圓W的接近之感測器，配置於例如旋轉台161的周緣部上方，一旦晶圓W與上方的近接感測器164的距離小到預先設定的距離以下就輸出脈衝訊號。
回到第1圖，PLC 10係具備有基座單元(base unit)110、CPU(Central Processing Unit)單元100以及輸入輸出控制單元120。CPU單元100設有在屬於USB介面之PC介面103。輸入輸出控制單元120設有：經由通訊線L2而與晶圓厚度檢查單元16連接之輸入輸出介面120a。基座單元110係如第3圖所示，具備有：用來進行例如在CPU單元100與輸入輸出控制單元120之間的資訊的發送接收之匯流排(bus)通訊線111。基礎單元110還具有配置於CPU單元100及輸入輸出控制單元120的背側之板面部，在板面部經由連接器(未圖示)而與CPU單元100及輸入輸出控制單元120連接。
CPU單元100係具備有：記憶預先設定的參數102a及階梯程式(ladder program)102b之記憶體102；以及按照參數102a而執行階梯程式102b之運算部101。運算部101係具有CPU及作為CPU的工作區域之RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)。記憶體102係為例如磁碟、半導體快閃記憶體等之非揮發性記憶體。CPU單元100還具備有： 屬於例如USB(Universal Serial Bus，通用序列匯流排)介面之PC介面103；以及用來進行經由匯流排通訊線111的通訊之通訊匯流排介面104。
輸入輸出控制單元120係具備有：運算部121、內部記憶體122、非揮發性記憶體123、存儲器124以及輸入輸出控制部126，該輸入輸出控制部126係具有複數個泛用的電路塊(circuit block)之可再建構的積體電路。非揮發性記憶體123及存儲器124係為例如磁碟、半導體快閃記憶體等。另外，輸入輸出控制單元120具備有：用來進行經由匯流排通訊線111的通訊之通訊匯流排介面125。輸入輸出控制單元120還具備有：脈衝訊號輸入介面127A、127B、數位訊號輸出介面128、類比訊號輸入介面129以及類比訊號輸出介面130。
脈衝訊號輸入介面127A係將從編碼器163輸入的屬於第二訊號之脈衝訊號予以輸出至輸入輸出控制部126之第二輸入介面。脈衝訊號輸入介面127B係將從近接感測器164輸入的屬於第三訊號之脈衝訊號予以輸出至輸入輸出控制部126之第三輸入介面。數位訊號輸出介面128係將從輸入輸出控制部126輸入的數位訊號予以輸出至開關165。類比訊號輸入介面129係將從雷射位移感測器162輸入的類比訊號予以輸出至輸入輸出控制部126。類比訊號輸出介面130係將從輸入輸出控制部126輸入的類比訊號予以輸出至閥166，藉以驅動該閥166。
輸入輸出控制部126係如第4圖所示，具有：濾波器塊1451~145x、計數器塊1461~146y、邏輯運算塊1471~147z、四則運算塊1481~148v、比較運算塊1491~149u及記錄器塊1501~150w。另外，輸入輸出控制部126具有脈衝訊號輸入塊1411~141q、數位訊號輸出塊 1421~142r、A/D轉換塊1431~143p、D/A轉換塊1441~144o及電路塊切換匯流排140。以下，適當地將此等各種功能塊稱為泛用電路塊。此等複數的泛用的電路塊藉由進行平行處理可實現奈秒等級的高速動作。電路塊切換匯流排140係具有變更複數個泛用電路塊的組合或使用順序之功能。複數個泛用電路塊各自根據暫存器(register)中記憶的執行參數而動作。輸入輸出控制部126還具有輸出奈秒週期的內部控制時脈之時脈輸出部(未圖示)。
脈衝訊號輸入塊1411~141q係具有記憶執行參數之暫存器14111~1411q以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14121~1412q。其中，脈衝訊號輸入塊1411、1412每當有脈衝訊號分別從脈衝訊號輸入介面127A、127B輸入時，就將與該脈衝訊號對應之數位資訊經由輸入輸出端子14121、14122而輸出至各泛用電路塊。
數位訊號輸出塊1421~142r係具有記憶執行參數之暫存器14211~1421r以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14221~1422r。其中，數位訊號輸出塊1421係每當有數位資訊從例如運算部121經由輸入輸出端子14221而輸入時，就將與該數位資訊對應之數位訊號輸出至數位訊號輸出介面128。
A/D轉換塊1431~143p係具有記憶執行參數之暫存器14311~1431p以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14321~1432p。A/D轉換塊1431~143p係將從類比訊號輸入介面129輸入的類比訊號連續地轉換為表示與類比訊號的訊號準位對應的數位值之數位資訊並予以輸出。亦即，A/D轉換塊1431~143p係對類比訊號進行類比數位轉換而產生表示 與類比訊號的訊號準位對應的數位值之數位資訊之數位資訊產生功能塊。然後，A/D轉換塊1431~143p將轉換得到的數位資訊經由輸入輸出端子14321~1432p而輸出至各泛用電路塊。
D/A轉換塊1441~144o係具有記憶執行參數之暫存器14411~1441o以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14421~1442o。D/A轉換塊1441~144o將從例如運算部121經由輸入輸出端子14421~1442o而輸入的表示類比訊號的訊號準位及極性之數位資訊轉換為按照該訊號準位及極性之類比訊號。然後，D/A轉換塊1441~144o將轉換得到的類比訊號輸出至類比訊號輸出介面130。
濾波器塊1451~145x係具有記憶執行參數之暫存器14511~1451x以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14521~1452x。濾波器塊1451~145x係將輸入至輸入輸出控制部126之訊號中含有的雜訊去除掉。
計數器塊1461~146y係具有記憶執行參數之暫存器14611~1461y以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14621~1462y。計數器塊1461~146y係每當有與脈衝訊號對應之數位資訊從例如脈衝訊號輸入塊1411~141q經由輸入輸出端子14621~1462y而輸入時，就根據該數位資訊而計數脈衝訊號中含有的脈衝的數目。計數器塊1461~146y產生表示與連續地計數脈衝訊號中含有的脈衝的數目而得到的計數值之計數資訊並予以輸出。
邏輯運算塊1471~147z係具有記憶執行參數之暫存器14711~1471z以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14721~1472z。邏輯 運算塊1471~147z係針對位元資料(bit data)而進行基本的邏輯運算。此處，基本的邏輯運算的例子，有邏輯非、邏輯與、邏輯或、邏輯互斥或、邏輯或非、邏輯與非等邏輯運算子。
四則運算塊1481~148v係具有記憶執行參數之暫存器14811~1481v以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14821~1482v。四則運算塊1481~148v係針對字元資料(word data)而進行加、減、乘、除之四則運算。
比較運算塊1491~149u係具有記憶執行參數之暫存器14911~1491u以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子14921~1492u。比較運算塊1491~149u係進行比較處理。
記錄器塊1501~150w係具有記憶執行參數之暫存器15011~1501w以及進行資訊的輸入輸出之輸入輸出端子15021~1502w。另外，記錄器塊1501~150w具有觸發輸入端子15031~1503w以供觸發該等記錄器塊開始處理之觸發訊號輸入。記錄器塊1501~150w係與輸入至觸發輸入端子15031~1503w之觸發訊號同步，而取得各泛用的電路塊所輸出的位元資料或字元資料形式的數位資訊或計數資訊，並依序將之寫入存儲器124。此處，記錄器塊1501~150w係根據後述的指標(pointer)表格資訊，而與觸發訊號同步，將取得的數位資訊或計數資訊依序寫入存儲器124中的預先設定的記憶區域。
存儲器124係記憶從輸入輸出控制部126的記錄器塊1501~150w轉送來的數位資訊及計數資訊。
內部記憶體122係記憶動作參數資訊，動作參數資訊係規定使輸入輸出控制部126所具有複數個泛用電路塊動作的順序之資訊。另外，內部記憶體122記憶指標表格資訊LPT，指標表格資訊LPT係規定存儲器124中將由各記錄器塊1501~150w分別寫入數位資訊或計數資訊的記憶區域之資訊。內部記憶體122及非揮發性記憶體123兩者發揮作為判定基準資訊記憶部之功能，判定基準資訊記憶部係將表示相對於數位資訊所表示的數值而預先設定的判定基準之判定基準資訊，與和數位資訊有對應關係的計數資訊建立對應關係並予以記憶。
運算部121係根據內部記憶體122所記憶的動作參數，而進行輸入輸出控制部126所具有的複數個泛用的電路塊的再建構。具體而言，運算部121係分析內部記憶體122所記憶的動作參數，而決定出泛用電路塊的組合或使用順序及動作內容。然後，運算部121按照決定出的動作內容而將執行參數儲存至輸入輸出控制部126的各泛用電路塊的暫存器。另外，運算部121使用存儲器124所記憶的輸入輸出控制部126所輸出的數位資訊、計數資訊而進行後述的晶圓檢查處理。
回到第1圖，要在PLC 10執行的程式的作成、PLC 10的各種參數的設定及PLC 10的動作狀態的監視，可藉由經由通訊線L1及PC介面103而與PLC 10連接之PC 30進行。
PC 30係為例如泛用的個人電腦，如第5圖所示，具備有CPU 31、主記憶部32、輔助記憶部33、輸入部34、顯示部35、通訊介面36以及將各部連接起來之匯流排39。主記憶部32係為揮發性記憶體，作為CPU 31的工作區域而使用。輔助記憶部33係為磁碟、半導體快閃記憶體 等之非揮發性記憶體，記憶用來實現工程工具(engineering tool)40之程式。CPU將該程式從輔助記憶部33讀出到主記憶部32而執行，藉此而實現工程工具40。輸入部34係為例如鍵盤，接受使用者輸入的各種操作資訊，且將接受的操作資訊輸出至CPU 31。顯示部35係為例如液晶顯示器，顯示出從CPU傳過來的各種資訊。通訊介面36係在PC 30經由通訊線L1及PC介面103而與PLC 10連接的狀態下，在與PLC 10之間進行資訊的發送接收。
工程工具40係具有進行PLC 10所執行的程式之生成、PLC 10的動作內容的設定及PLC 10的動作狀態的監視之功能。對於按照前述的晶圓厚度檢查系統的規格而定之輸入輸出控制部126，要求要有對於從類比訊號輸入介面129輸進來的電流訊號進行A/D轉換而產生表示對應於電流訊號的訊號準位的數位值之數位資訊之功能。另外，對於該輸入輸出控制部126要求要有：產生表示計數從脈衝訊號輸入介面127A輸進來的脈衝訊號中含有的脈衝數目而得到的計數值之計數資訊之功能。又，對於該輸入輸出控制部126還要求要有：將產生的數位資訊及計數資訊寫入存儲器124中的預先設定的記憶區域之功能。工程工具40係產生用來使複數個泛用電路塊再建構成能夠使輸入輸出控制部126發揮上述的各種功能之程式。另外，工程工具40也產生出規定在存儲器124中數位資訊及計數資訊能寫入之區域之指標表格資訊LPT。工程工具40還產生出在輸入輸出控制單元120的運算部121判定晶圓W的厚度之際所使用之判定基準資訊。此外，工程工具40適當地使對使用者提示進行程式的作成、PLC 10 的動作內容的設定及PLC 10的動作狀態的監視所需的資訊之工程工具畫面顯示於顯示部35。
工程工具40係具有動作參數產生部41、判定基準資訊產生部42、指標表格產生部43以及轉送部44。動作參數產生部41係根據使用者經由輸入部34而輸入之邏輯電路資訊，而產生出表示要利用輸入輸出控制部126的複數個泛用電路塊加以實現的邏輯電路的動作參數之動作參數資訊。邏輯電路資訊係包含邏輯電路的作圖資訊及設定資訊。動作參數產生部41使產生的動作參數資訊DAM記憶於輔助記憶部33中。判定基準資訊產生部42係使用輸入輸出控制單元120的存儲器124中記憶的各種數位資訊，而產生出執行後述的晶圓檢查處理所需的判定基準資訊。判定基準資訊產生部42使產生的判定基準資訊DAJ記憶於輔助記憶部33中。
指標表格產生部43係根據動作參數資訊DAM而產生出指標表格資訊LPT，指標表格資訊LPT係規定輸入輸出控制部126的記錄器塊1501~150w各自的在存儲器124中寫入數位資訊或計數資訊的記憶區域。指標表格產生部43使產生的指標表格資訊LPT記憶於輔助記憶部33中。轉送部44係每當接收到使用者對於輸入部34進行的要將動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT轉送到PLC 10之操作，就將輔助記憶部33中記憶的該等資訊轉送到PLC 10。
接著，參照第6圖來說明本實施形態之晶圓厚度檢查系統中使用的PLC 10的初始設定時的一連串的動作。此處，假設在PC 30中工程工具40已啟動，且PC 30與PLC 10已經由通訊線L1而連接。以及， 假設工程工具40已使工程工具畫面顯示於顯示部35。首先，使用者看著顯示於顯示部35之工程工具畫面並經由輸入部34輸入前述的邏輯電路資訊。在此情況，動作參數產生部41會接收到輸入的邏輯電路資訊(步驟S1)。
接著，動作參數產生部41根據接收到的邏輯電路資訊，產生出動作參數資訊DAM並使之記憶於輔助記憶部33中(步驟S2)。
接著，使用者看著顯示於顯示部35之工程工具畫面而透過輸入部34輸入與晶圓W的厚度的判定基準有關之資訊。在此情況，判定基準資訊產生部42會接收到輸入的與晶圓W的厚度的判定基準有關之資訊(步驟S3)。然後，判定基準資訊產生部42根據接收到的與晶圓W的判定基準有關之資訊，產生出判定基準資訊DAJ並使之記憶於輔助記憶部33中(步驟S4)。此處，判定基準資訊DAJ係如第7圖所示，係為表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之資訊與在各旋轉角度的晶圓W的厚度的上限基準值及下限基準值建立有對應關係之資訊。在第7圖所示的例子中，係在晶圓W的每旋轉角度360/N度各設定有判定基準值。而且，表示旋轉角度之資訊，係利用整數「n」而表示成旋轉角度(360/N)×n度。
回到第6圖，接著，指標表格產生部43根據動作參數資訊DAM，產生出規定輸入輸出控制部126的記錄器塊1501~150w各自在存儲器124中寫入數位資訊或計數資訊的記憶區域之指標表格資訊LPT(步驟S5)。
此處，例如第8圖所示，指標表格資訊LPT係用來使屬於存儲器124的記憶區域之表格(table)的識別資訊及該表格的前頭物理位址及該表格儲存的資訊數(字元數)這三個要素互相建立對應關係之資訊。各 前頭物理位址係表示在存儲器124內之與各個表格識別資訊對應的記錄器塊1501~150w所使用的記憶區域的前頭物理位址。因此，分配給各記錄器塊1501~150w的是存儲器124內之以對應的前頭物理位址為前頭且以由資訊數所指定的大小而連續的記憶區域。此處，所有表格都設定為相同的大小。
回到第6圖，接著，假設使用者對於輸入部34進行了要將動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT轉送到PLC 10之轉送操作。在此情況，轉送部44會接收到轉送操作(步驟S6)。然後，PC 30將動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT透過PC介面103而轉送到CPU單元100(步驟S7)。
然後，轉送到CPU單元100之動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT，再透過通訊匯流排介面104、124及匯流排通訊線111而轉送到輸入輸出控制單元120(步驟S8)。
接著，在輸入輸出控制單元120，運算部121使轉送來的動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT記憶到內部記憶體122中(步驟S9)。此時，運算部121也使動作參數資訊DAM、判定基準資訊DAJ及指標表格資訊LPT記憶到非揮發性記憶體123中。如此，晶圓厚度檢查系統中使用的PLC 10的初始設定就完成。
然後，運算部121在晶圓厚度檢查時，根據內部記憶體122中記憶的動作參數資訊DAM及指標表格資訊LPT，來使輸入輸出控制部126的複數個泛用電路塊再建構。此時，運算部121係分析動作參數資訊 DAM而決定出泛用電路塊的組合或使用順序及動作內容，然後按照決定出的動作內容將執行參數儲存到各泛用電路塊的暫存器。
接著，參照第9圖來說明本實施形態之晶圓厚度檢查系統中使用的PLC 10的輸入輸出控制單元120的晶圓厚度檢查時的動作。從雷射位移感測器162輸出的屬於類比訊號之電流訊號係如第9圖所示，輸入至類比訊號輸入介面129。類比訊號輸入介面129將輸入的電流訊號予以輸出至A/D轉換塊1431。A/D轉換塊1431將輸入的電流訊號轉換為表示該電流訊號的訊號準位，亦即電流值的大小的數值，產生出表示該數值之數位資訊。然後，A/D轉換塊1431將表示電流訊號的電流值之數位資訊輸出至相當於第一記錄器塊之記錄器塊1501的輸入輸出端子15021。A/D轉換塊1431係與前述的時脈輸出部所輸出的內部控制時脈同步，而持續將電流訊號轉換為數位資訊並輸出至記錄器塊1501的輸入輸出端子15021。
從編碼器163輸出的脈衝訊號係輸入至脈衝訊號輸入介面127A。脈衝訊號輸入介面127A將輸入的脈衝訊號予以輸出至脈衝訊號輸入塊1411。脈衝訊號輸入塊1411將輸入的脈衝訊號輸出至計數器塊1461。計數器塊1461計數輸入的脈衝訊號中含有的脈衝，產生出表示計數值之數位資訊。然後，計數器塊1461將表示計數值之數位資訊輸出至相當於第二記錄器塊之記錄器塊1502的輸入輸出端子15022。其中，計數器塊1461係與前述的奈秒週期的內部控制時脈同步，而持續地將表示計數值之數位資訊輸出至記錄器塊1502的輸入輸出端子15022。另外，從近接感測器164輸出的脈衝訊號也輸入至脈衝訊號輸入介面127B。脈衝訊號輸入介面 127B將輸入的脈衝訊號予以輸出至脈衝訊號輸入塊1412。脈衝訊號輸入塊1412係發揮作為觸發塊(trigger block)之功能，將輸入的脈衝訊號直接作為觸發訊號而將之輸出至記錄器塊1501及記錄器塊1502的觸發輸入端子15031、15032。亦即，脈衝訊號輸入塊1412係發揮作為將觸發訊號輸出至記錄器塊1501及記錄器塊1502之觸發輸出部之功能。
記錄器塊1501及記錄器塊1502係在各個脈衝訊號的準位升高或降低的時點讀取到達輸入輸出端子15021、15022之數位資訊、計數資訊。此處，到達記錄器塊1501的輸入輸出端子15021的是表示從雷射位移感測器162輸出的電流訊號的電流值之數位資訊，亦即表示晶圓W的厚度之數位資訊。到達記錄器塊1502的輸入輸出端子15022的是表示從編碼器163輸出的脈衝訊號中含有的脈衝的計數值之數位資訊，亦即表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊。然後，記錄器塊1501、記錄器塊1502根據其各自使用的表格的表格識別資訊，將表示晶圓W的厚度之數位資訊、表示從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊寫入存儲器124中與各表格識別資訊對應的記憶區域。
此處，若指標表格資訊LPT如第8圖所示，假設各表格的資訊數設定為「10000」，則記錄器塊150n係根據從0到9999的相對位址對存儲器124進行存取。然後，假設記錄器塊1501使用的表格的表格識別資訊係設定為「TA」，記錄器塊1502使用的表格的表格識別資訊係設定為「TB」。在此情況，記錄器塊1501係將表示晶圓W的厚度之數位資訊寫入存儲器124中與表格TA對應的屬於複數個第一儲存區域之複數個儲存區域。該複數個儲存區域係以物理位址「10000」到物理位址「19999」 之間之連續的物理位址來指定之儲存區域。記錄器塊1502係將表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊寫入存儲器124中與表格TB對應的屬於複數個第二儲存區域之複數個儲存區域。該複數個儲存區域係以物理位址「20000」到物理位址「29999」之間之連續的物理位址加以指定之儲存區域。而且，以儲存前述的數位資訊之儲存區域的物理位址與對應於表格TA之記憶區域的前頭的儲存區域的物理位址「10000」之差分值表示第一相對位址，以儲存與數位資訊有對應關係的計數資訊之儲存區域的物理位址與對應於表格TB之記憶區域的前頭的儲存區域的物理位址「20000」之差分值表示第二相對位址，該第一相對位址與第二相對位址兩者係相等。此時，記錄器塊1501及記錄器塊1502係根據第一相對位址及第二相對位址而搜尋對應的物理位址，然後利用硬體處理高速地將數位資訊及計數資訊寫入存儲器124。以此方式，如例如第10圖所示，將數位資訊A〔0〕至A〔9999〕、數位資訊B〔0〕至B〔9999〕分別儲存入存儲器124之與表格TA、TB對應之記憶區域。如上所述，根據相同的第一相對位址及第二相對位址，同時地將表示晶圓W的厚度之數位資訊及表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊這兩種不同的資訊寫入存儲器124中之不同的記憶區域。
記錄器塊1501、1502針對一片晶圓W使一旋轉份的表示晶圓W的厚度及從初始位置開始算起的旋轉角度之數位資訊寫入完成後，就輸出用來通知已檢查完一片晶圓W之檢查結束通知資訊至運算部121。
接著，參照第11圖來說明本實施形態之晶圓厚度檢查系統中使用的PLC 10的輸入輸出控制單元120的運算部121所執行的晶圓厚 度判定處理。此晶圓厚度判定處理係在對於用於晶圓厚度檢查系統之PLC 10完成前述的初始設定後進行。首先，運算部121從非揮發性記憶體123將判定基準資訊讀出(步驟S101)。運算部121係在例如PLC 10電源開啟時，將判定基準資訊從非揮發性記憶體123讀出並使之在內部記憶體122展開。
接著，運算部121判定是否有來自記錄器塊1501及記錄器塊1502之檢查結束通知資訊輸入(步驟S102)。如前述，在記錄器塊1501、1502將一片份的晶圓W之表示晶圓W的厚度、從初始位置開始算起的旋轉角度之數位資訊寫入存儲器124之動作完成時，就輸出檢查結束通知資訊給運算部121。若運算部121判定為沒有來自記錄器塊1501、記錄器塊1502之檢查結束通知資訊輸入(步驟S102：“否”)，就進行後述的步驟S105之處理。
另一方面，若運算部121判定為有來自記錄器塊1501、記錄器塊1502之檢查結束通知資訊輸入(步驟S102：“是”)，就進行晶圓W的厚度判定(步驟S103)。此處，運算部121係判定晶圓W之在各旋轉角度的厚度是否在如例如第7圖所示的判定基準資訊所表示的上限基準值以下且在下限基準值以上。具體而言，運算部121係依序取得表示晶圓W的厚度及晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之數位資訊所分別表示的晶圓厚度An及旋轉角度Bn，並據以搜尋與旋轉角度Bn對應之判定基準資訊。然後，運算部121判定晶圓厚度An是否在與旋轉角度Bn對應之判定基準資訊所表示的上限基準值AU以下且在下限基準值AL以上。若如同例如第12圖所示，在所有的旋轉角度Bn，晶圓W的厚度An都在上 限基準值AU以下且在下限基準值AL以上的話，運算部121就針對該晶圓W的厚度判定為「OK」。另一方面，若如同例如第13圖所示，在旋轉角度B3，晶圓厚度A3超出上限基準值AU之情況，則運算部121針對該晶圓W的厚度判定為「NG」。
如上所述，運算部121發揮作為分別從內部記憶體122之與表格TA對應的記憶區域及與表格TB對應之的記憶區域取得數位資訊及計數資訊，然後根據判定基準資訊判定取得的數位資訊所表示的數值是否滿足判定基準之判定部之功能。
接著，運算部121將晶圓W的厚度判定的判定結果輸出至存儲器124(步驟S104)。
然後，運算部121判定是否有指示要結束晶圓厚度判定處理之結束指令輸入(步驟S105)。此處，結束指令係例如在使用者進行了使PLC 10停止之操作時，就輸入至運算部121。運算部121若判定為沒有結束指令輸入(步驟S105：“否”)，就再進行步驟S102之處理。另一方面，若運算部121判定為有結束指令輸入(步驟S105：“是”)，晶圓厚度判定處理就結束。然後，使表示晶圓厚度判定處理所得到的關於各晶圓W的厚度的判定結果之資訊記憶於存儲器124中。此存儲器124所記憶的關於各晶圓W的厚度的判定結果之資訊可轉送至例如PC 30。然後，在PC 30已啟動了晶圓厚度檢查處理用的程式之情況，可在PC 30，如例如第12、13圖所示，將晶圓W的厚度的判定結果作成縱軸表示晶圓W的厚度A，横軸表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度Bn之圖表使之顯示於顯示部35。 而且，可如例如第13圖所示，針對判定結果為「NG」之晶圓W，顯示出判定結果為「NG」之旋轉角度「B3」及晶圓W的厚度「A3」。
然而，以往的PLC，一般係在CPU單元執行用以使表示晶圓W的厚度之數位資訊與表示晶圓W的旋轉角度之計數資訊建立對應所需之處理。因此，CPU單元為了從輸入輸出控制單元取得表示晶圓W的厚度之數位資訊及表示晶圓W的旋轉角度之計數資訊，必須進行與輸入輸出控制單元之間的同步處理以及及時從輸入輸出控制單元讀出數位資訊及計數資訊之處理。此處，所謂的及時讀出處理，係指CPU單元要在已儲存於輸入輸出控制單元的一組的儲存區域中的數位資訊及計數資訊被要儲存到該一組儲存區域之新的數位資訊及計數資訊覆寫之前，將該已儲存之數位資訊讀出之處理。作為此以往的PLC的比較例，可考慮例如CPU單元100使輸入輸出控制單元120所取得的表示晶圓W的厚度之數位資訊及表示晶圓W的旋轉角度之計數資訊記憶於記憶體102中之構成。在此情況，CPU單元100係執行在已儲存於輸入輸出控制單元120的內部記憶體122的一組的儲存區域中之一組數位資訊及計數資訊被要儲存到內部記憶體122之新的一組數位資訊及計數資訊覆寫之前，及時經由匯流排通訊線111而將數位資訊及計數資訊從內部記憶體122讀出之處理。如例如第14A圖所示，每次晶圓W的旋轉角度變化，都會有進行記錄器塊1501、記錄器塊1502之將數位資訊、計數資訊寫入內部記憶體122的處理之期間WM，執行將數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100所需的準備之準備所需(overhead)期間IH1，以及實際將數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100之轉送期間IH2發生。然後，在時刻TC，有檢查結束通知資訊輸入到 運算部121時，就進入到晶圓厚度判定期間JP。在此情況，從開始一片晶圓W的晶圓厚度的判定到完成為止，需花時間T9(=(T91+T92+T93)×N+T94)。
相對於此，在本實施形態之PLC 10中，記錄器塊1501將表示晶圓W的厚度之數位資訊依序寫入存儲器124中與表格TA對應的記憶區域。記錄器塊1502將表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊依序寫入存儲器124中與表格TB對應的記憶區域。因此，如第14B圖所示，每次晶圓W的旋轉角度變化，都只有進行記錄器塊1501、記錄器塊1502之將數位資訊及計數資訊寫入存儲器124的處理之期間WM發生。然後，在時刻TC，有檢查結束通知資訊輸入到運算部121時，就進入到晶圓厚度判定期間JP。然後，當晶圓厚度判定結束，才會有執行將表示判定結果的資訊從輸入輸出控制單元120轉送到CPU單元100所需的準備之準備所需期間IH1及將表示判定結果的資訊轉送之期間IH3發生。尤其，表示判定結果之資訊若只是表示晶圓厚度判定的結果為「OK」還是「NG」之資訊的話，其大小就會比數位資訊及計數資訊小。第14B圖顯示表示判定結果之資訊只是表示晶圓厚度判定的結果為「OK」還是「NG」之資訊的情況。在此情況，從開始一片晶圓W的晶圓厚度的判定到完成為止，只需時間T1(=T11×N+T14+T12+T13)。其中，時間T11、T12、T14分別與時間T91、T92、T94相同程度，若時間T13在時間T93以下的話，本實施形態之PLC 10的情況之檢查一片晶圓W所需的時間T1，與前述的比較例之PLC相比較會縮短時間(T92+T93)×(N-1)以上。因此，可使晶圓厚度檢查系統的處理速度提高而使處理率(throughput)提高。
如以上說明的，根據本實施形態之輸入輸出控制單元120，記錄器塊1501與觸發訊號同步而將表示晶圓W的厚度之數位資訊轉送到存儲器124中與表格TA對應之記憶區域。記錄器塊1502與觸發訊號同步而使表示晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊與表示晶圓W的厚度之數位資訊建立對應關係並將之轉送到存儲器124中與表格TB對應之記憶區域。因此，例如CPU單元100就無須輸入輸出控制單元120中的一組儲存區域中儲存的數位資訊及計數資訊被要儲存到該一組儲存區域之新的數位資訊及計數資訊覆寫之前及時進行讀出處理。另外，輸入輸出控制單元120可使得同時取得的數位資訊與計數資訊互相建立對應關係而記憶於存儲器124中。因此，不管例如CPU單元100的處理速度為何都可縮短觸發訊號的週期，所以能夠以縮短了該份量之週期同時取得數位資訊及計數資訊，可使PLC 10的處理速度以至於晶圓厚度檢查系統的處理速度提高。
又，在本實施形態之輸入輸出控制單元120中，脈衝訊號輸入塊1412發揮作為將從近接感測器164經由脈衝訊號輸入介面127B而輸進來的脈衝訊號直接作為觸發訊號將之輸出至記錄器塊1501及記錄器塊1502的觸發輸入端子15031、15032之觸發輸出部的功能。因此，可減低近接感測器164檢測出晶圓W的時序與記錄器塊1501、1502將關於晶圓W的數位資訊寫入的時序之偏差。因此，具有晶圓W的厚度判定的精度會提高之優點。
又，根據本實施形態之晶圓厚度檢查系統，在輸入輸出控制單元120，使用存儲器124中記憶的表示晶圓W的厚度之數位資訊及表示 晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊來進行晶圓W的厚度的判定。因此，可在單一個輸入輸出控制單元120中，進行從晶圓W的厚度測定到晶圓W的厚度是否滿足預先設定的判定基準資訊所表示的判定基準之判定為止之一連串的處理。換言之，在從晶圓W的厚度測定到晶圓W的厚度判定之一連串的處理中就無需將數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100之處理，而有可相應地使得進行晶圓W的厚度的判定之處理加速之優點。而且，也可達成晶圓厚度檢查系統的小規模化。
以上，針對本發明的實施形態進行了說明，但本發明並不限定於前述的實施形態。例如，可如第15圖所示的輸入輸出控制單元2120，記錄器塊1501及記錄器塊1502使用輸入輸出控制部126的計數器塊1462所產生的觸發訊號而讀取數位資訊及計數資訊。此輸入輸出控制單元2120的輸入輸出控制部2126與實施形態之輸入輸出控制部126之不同點在於，具有作為以固定週期動作之環式計數器(ring counter)而發揮功能的計數器塊1462以及比較運算塊1491。該計數器塊1462及比較運算塊1491分別發揮作為將觸發訊號輸出至記錄器塊1501、記錄器塊1502之觸發輸出部的功能。
此處，從雷射位移感測器162輸出的電流訊號係輸入至類比訊號輸入介面129，類比訊號輸入介面129將該電流訊號予以輸出至A/D轉換塊1431。A/D轉換塊1431將輸入的電流訊號轉換為表示該電流訊號的電流值，亦即晶圓W的厚度之數位資訊。然後，A/D轉換塊1431將該數位資訊輸出至記錄器塊1501的輸入輸出端子15021。從編碼器163輸出的脈衝訊號係輸入至脈衝訊號輸入介面127A，脈衝訊號輸入介面127A將 該脈衝訊號予以輸出至脈衝訊號輸入塊1411。脈衝訊號輸入塊1411將輸入的脈衝訊號輸出至計數器塊1461。計數器塊1461計數輸進來的脈衝訊號中含有的脈衝，產生出表示計數值，亦即晶圓W之從初始位置開始算起的旋轉角度之計數資訊。然後，計數器塊1461將該計數資訊輸出至記錄器塊1502的輸入輸出端子15022。
另外，計數器塊1462將表示計數值之計數資訊輸出至比較運算塊1491。該比較運算塊1491中預先設定有相對於計數值之計數閾值。比較運算塊1491進行從計數器塊1462輸進來的計數資訊所表示的計數值與計數閾值之比較。然後，比較運算塊1491在計數值與計數閾值一致之情況，將脈衝狀的觸發訊號輸出至記錄器塊1501及記錄器塊1502的觸發輸入端子15031、15032。記錄器塊1501及記錄器塊1502分別在從比較運算塊1491輸進來的觸發訊號的準位升高或降低的時點讀取到達輸入輸出端子15021、15022之數位資訊或計數資訊。然後，記錄器塊1501、記錄器塊1502根據其各自使用的表格的表格識別資訊，將數位資訊或計數資訊寫入存儲器124中與各表格識別資訊對應的記憶區域。
根據本構成，即使沒有觸發訊號從輸入輸出控制單元2120的外部輸入，也能夠以任意的時序同時取得數位資訊及計數資訊。
實施形態針對輸入輸出控制單元120具備有內建的存儲器124，記錄器塊1501、1502將與類比訊號的訊號準位對應之數位資訊及計數資訊轉送至存儲器124之例進行了說明。但並不限於此，亦可為例如輸入輸出控制單元120具備有內建的存儲器120以外的所謂的外接的存儲 器，記錄器塊1501、1502將與類比訊號的訊號準位對應之數位資訊及計數資訊轉送到該外接的存儲器之構成。
實施形態針對判定基準資訊係表示晶圓W的厚度的上限值及下限值之例進行了說明，但判定基準資訊所表示的內容並不限定於此。例如，判定基準資訊亦可為只表示晶圓W的厚度的下限值或只表示晶圓W的厚度的上限值。
實施形態針對將晶圓厚度檢查單元16連接至PLC 10之例進行了說明，但不限於此，亦可將其他的輸出類比訊號之外部機器、其他的輸出脈衝訊號或數位訊號之外部機器連接至PLC 10。
實施形態針對輸入輸出控制單元120的運算部121發揮作為：從內部記憶體122取得數位資訊及計數資訊，然後根據判定基準資訊來判定取得的數位資訊所表示的數值是否滿足判定基準之判定部的功能之例進行了說明。但並不限於此，亦可由例如CPU單元100的運算部101發揮作為判定部的功能。在此情況，運算部101只要經由通訊匯流排介面104、125及匯流排通訊線111分別從輸入輸出控制單元120的存儲器124之記憶數位資訊的記憶區域及記憶計數資訊的記憶區域取得數位資訊及計數資訊即可。此處，CPU單元只要在存儲器124的兩個記憶區域分別儲存了判定部進行判定所需的複數個數位資訊及複數個計數資訊之後，分別從存儲器124的兩個記憶區域一併取得複數個數位資訊及複數個計數資訊即可。以及，在此情況，CPU單元100的記憶體102記憶有判定基準資訊。然後，運算部101根據記憶體102所記憶的判定基準資訊，來判定取得的數位資訊所表示的數值是否滿足判定基準。
如第16圖所示，在本變化例之PLC中，首先，在每次晶圓W的旋轉角度有變化，都會產生進行記錄器塊1501、記錄器塊1502之將數位資訊及計數資訊寫入存儲器124的處理之期間WM。在第16圖中，與第14A及第14B圖相同的符號係與第14A及第14B圖中的符號相同意義。在時刻TC，假設通知關於一片晶圓W的所有的數位資訊及計數資訊之寫入存儲器124已完成之寫入完成通知資訊輸入至運算部121。在此情況，會有進行將寫入存儲器124之數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100所需的準備之準備所需期間IH1，及將數位資訊及計數資訊轉送至CPU單元100之轉送時間IH4發生。然後，在CPU單元100中係進入到判定晶圓W的厚度之晶圓厚度判定期間JP。在此情況，從開始一片晶圓W的晶圓厚度的判定到完成為止，要花T2=T11×N+T12+T23+T94之時間。此處，時間T23係與時間T93×N相同程度。在此情況，本變化例之PLC之檢查一片晶圓W的的厚度所需的時間T2，與前述的比較例之PLC相比較，會縮短相當於N-1次的準備所需期間IH1的和之時間T92×(N-1)的程度。
根據本構成，可減低將寫入存儲器124的數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100的次數，所以可相應地縮短將數位資訊及計數資訊轉送到CPU單元100之準備所需的時間。因此，可使晶圓厚度檢查系統的處理速度提高而使處理率提高。又，根據本構成，可在輸入輸出控制單元120可與數位資訊及計數資訊之轉送到內部記憶體122之處理，平行地在CPU單元100中判定在輸入輸出控制單元120取得的數位資訊所表示的數值是否滿足判定基準。因此，可縮短包含取得數位資訊及計數資訊之處理、 判定數位資訊所表示的數值是否滿足判定基準之處理之一連串處理所需的時間。
實施形態針對第一訊號為類比訊號，第二訊號為脈衝訊號，第一輸入介面為類比訊號輸入介面，第二輸入介面為脈衝訊號輸入介面之例進行了說明。但第一訊號及第二訊號並不限於此，亦可例如第一訊號及第二訊號都為類比訊號，或第一訊號及第二訊號都為數位訊號。在此情況，只要形成為第一輸入介面及第二輸入介面都為類比訊號輸入介面或都為脈衝訊號輸入介面之構成即可。
本發明可在未脫離本發明的廣義的精神及範圍的情況下，採用各種實施形態及做各種變化。上述的實施形態係用來說明本發明者，並非要限定本發明的範圍。換言之，本發明的範圍並非實施形態所揭示，而是申請專利範圍所記載者。另外，在申請專利範圍內及與之均等的發明的意義的範圍內實施的各種變化，都視為落在本發明的範圍內。
[產業上的可利用性]
本發明良好應用於例如半導體製造領域中使用的PLC的輸入輸出控制單元。
120‧‧‧輸入輸出控制單元
124‧‧‧存儲器
126‧‧‧輸入輸出控制部
127A、127B‧‧‧脈衝訊號輸入介面
129‧‧‧類比訊號輸入介面
1411、1412‧‧‧脈衝訊號輸入塊
1431‧‧‧A/D轉換塊
1461‧‧‧計數器塊
1501、1502‧‧‧記錄器塊
162‧‧‧雷射位移感測器
163‧‧‧編碼器
164‧‧‧近接感測器
14121、14122、14321、14621、15021、15022、15031、15032‧‧‧觸發輸入端子

Claims (15)

  1. 一種輸入輸出控制單元，具備有：記憶部；輸入輸出控制部；第一輸入介面，係與第一機器連接並將從前述第一機器輸入的第一訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部；以及第二輸入介面，係與第二機器連接並將從前述第二機器輸入的第二訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部；前述輸入輸出控制部係具有：觸發輸出部，係產生觸發訊號；第一記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第一訊號之第一資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第一儲存區域；以及第二記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第二訊號之第二資訊以與前述第一資訊有對應關係的方式，將之儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第二儲存區域。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之輸入輸出控制單元，其中，前述第一訊號係類比訊號，前述第二訊號係脈衝訊號，前述輸入輸出控制單元還具備有： 數位資訊產生塊，係對前述第一訊號進行類比數位轉換而產生表示與前述第一訊號的訊號準位對應的數位值之數位資訊作為前述第一資訊；以及計數器塊，係產生表示計數前述第二訊號中含有的脈衝而得到的計數值之計數資訊作為前述第二資訊並予以輸出。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之輸入輸出控制單元，其中，前述輸入輸出控制部係具有複數個泛用電路塊，且可藉由變更前述複數個泛用電路塊的組合及使用順序而再建構，可從前述複數個泛用電路塊之中，選擇要發揮作為前述觸發輸出部、前述數位資訊產生塊、前述第一記錄器塊、前述計數器塊及前述第二記錄器塊的功能之泛用電路塊。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之輸入輸出控制單元，還具備有：第三輸入介面，係與第三機器連接並將從前述第三機器輸入的第三訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述觸發輸出部具有觸發塊，前述觸發塊係將前述第三訊號輸出作為前述觸發訊號。
  5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之輸入輸出控制單元，其中，前述觸發輸出部還具有：計數器塊，係發揮作為環式計數器的功能；以及 比較運算塊，係每當從前述計數器塊輸出的計數資訊所表示的計數值與預先設定的相對於前述計數值的計數閾值一致，就輸出前述觸發訊號。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之輸入輸出控制單元，其中，前述複數個第一儲存區域及前述複數個第二儲存區域分別為以連續的物理位址加以指定之儲存區域，以儲存前述第一資訊之第一儲存區域的物理位址與前述複數個第一儲存區域的前頭的物理位址之差分值表示之第一相對位址，係與以儲存與前述第一資訊建立有對應關係的第二資訊之第二儲存區域的物理位址與前述複數個第二儲存區域的前頭的物理位址之差分值表示之第二相對位址相等。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之輸入輸出控制單元，還具備有：判定基準資訊記憶部，係將表示相對於前述第一資訊所表示的數值之預先設定的判定基準之判定基準資訊以與和前述第一資訊建立有對應關係之第二資訊建立對應關係並加以記憶；以及判定部，係分別從前述複數個第一儲存區域及前述複數個第二儲存區域取得第一資訊及第二資訊，然後根據前述判定基準資訊而判定取得的前述第一資訊所表示的數值是否滿足前述判定基準。
  8. 一種可程式邏輯控制器，具備有：輸入輸出控制單元，係具有記憶部、輸入輸出控制部、第一輸入介面以及第二輸入介面，前述第一輸入介面係與第一機器連接並將從前述第一機器輸入的第一訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述第二輸入介面 係與第二機器連接並將從前述第二機器輸入的第二訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部；以及CPU單元，係可對前述記憶部進行存取，其中，前述輸入輸出控制部具有：觸發輸出部，係產生觸發訊號；第一記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第一訊號之第一資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第一儲存區域；以及第二記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第二訊號之第二資訊與前述第一資訊建立對應關係，並將之儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第二儲存區域。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之可程式邏輯控制器，其中，前述CPU單元具備有：判定部，係分別從前述記憶部的前述複數個第一儲存區域及前述複數個第二儲存區域取得前述第一資訊及前述第二資訊，然後根據表示相對於前述第一資訊所表示的數值之預先設定的判定基準之判定基準資訊，判定取得的前述第一資訊所表示的數值是否滿足前述判定基準。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之可程式邏輯控制器，其中，前述CPU單元係在前述複數個第一儲存區域及前述複數個第二儲存區域儲存前述判定部進行判定所需的複數個第一資訊及複數個第二資訊之後，分別從前述複數個第一儲存區域及從前述複數個第二儲存區域一併取得前述複數個第一資訊及前述複數個第二資訊。
  11. 一種用於可程式邏輯控制器輸入輸出控制單元之檢查系統，具備有：第一機器；第二機器；以及具有輸入輸出控制單元以及可對記憶部進行存取的CPU單元之可程式邏輯控制器，該輸入輸出控制單元係具有前述記憶部、輸入輸出控制部、第一輸入介面及第二輸入介面，前述第一輸入介面係與前述第一機器連接並將從前述第一機器輸入的第一訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述第二輸入介面係與前述第二機器連接並將從前述第二機器輸入的第二訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述輸入輸出控制部具有：觸發輸出部，係產生觸發訊號；第一記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第一訊號之第一資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第一儲存區域；以及第二記錄器塊，係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第二訊號之第二資訊與前述第一資訊建立對應關係，並將之儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第二儲存區域。
  12. 如申請專利範圍第11項之用於可程式邏輯控制器輸入輸出控制單元之檢查系統，其中，前述輸入輸出控制單元還具有： 判定基準資訊記憶部，係將表示相對於前述第一資訊所表示的數值之預先設定的判定基準之判定基準資訊與和前述第一資訊建立有對應關係之第二資訊建立對應關係並加以記憶；以及判定部，係分別從前述複數個第一儲存區域及前述複數個第二儲存區域取得前述第一資訊及前述第二資訊，然後根據前述判定基準資訊而判定取得的前述第一資訊所表示的數值是否滿足前述判定基準。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之用於可程式邏輯控制器輸入輸出控制單元之檢查系統，其中，前述第一機器係雷射位移感測器，前述第二機器係編碼器，前述第一訊號係反映出晶圓的厚度之訊號，前述第二訊號係反映出前述晶圓的旋轉角度之訊號，前述第一記錄器塊係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第一訊號之反映出前述晶圓的厚度之前述第一資訊儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第一儲存區域，前述第二記錄器塊係與前述觸發訊號同步，而將根據前述第二訊號之反映出前述晶圓的旋轉角度之前述第二資訊與前述第一資訊建立對應關係，並將之儲存至前述記憶部中的預先設定的複數個第二儲存區域，前述判定基準資訊記憶部係將表示相對於前述第一資訊所表示的反映出前述晶圓的厚度的數值之預先設定的判定基準之判定基準資訊與和前述 第一資訊建立有對應關係之反映出前述晶圓的旋轉角度之第二資訊建立對應關係並加以記憶，前述判定部係分別從前述複數個第一儲存區域及從前述複數個第二儲存區域取得前述第一資訊及前述第二資訊，然後根據前述判定基準資訊而判定取得的前述第一資訊所表示的反映出前述晶圓的厚度之數值是否滿足前述判定基準。
  14. 如申請專利範圍第11至13項中任一項所述之用於可程式邏輯控制器輸入輸出控制單元之檢查系統，還具備有第三機器，前述輸入輸出控制單元還具有第三輸入介面，前述第三輸入介面係與前述第三機器連接並將從前述第三機器輸入的第三訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部，前述觸發輸出部具有觸發塊，前述觸發塊係將前述第三訊號輸出作為前述觸發訊號。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之用於可程式邏輯控制器輸入輸出控制單元之檢查系統，其中，前述第三機器係偵測晶圓的接近之近接感測器，前述第三輸入介面係與前述第三機器連接並將從前述第三機器輸入的作為觸發訊號之第三訊號予以輸出至前述輸入輸出控制部。
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