JP6587956B2 - 圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
圧電アクチュエータの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6587956B2 JP6587956B2 JP2016033397A JP2016033397A JP6587956B2 JP 6587956 B2 JP6587956 B2 JP 6587956B2 JP 2016033397 A JP2016033397 A JP 2016033397A JP 2016033397 A JP2016033397 A JP 2016033397A JP 6587956 B2 JP6587956 B2 JP 6587956B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- manufacturing
- shim plate
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
図1は、バイモルフ型の圧電アクチュエータの断面図である。圧電アクチュエータ100は、バイモルフ型の圧電アクチュエータであって、電圧の印加により屈曲運動する。圧電アクチュエータ本体105は、シム板120と圧電素子(130、140)を備えている。シム板120は、SUS等の金属で形成されている。シム板120の両主面上には、圧電素子(130、140)が設けられている。シム板120と圧電素子(130、140)は、エポキシまたはアクリル系の接着剤で接着されている。
図2は、圧電アクチュエータの製造工程を示す断面図である。まず、本実施形態で使用するプレス機について、説明する。プレス機200は、断熱プレート(絶縁体)(201、203)、ヒーター(211、213)、および加圧部(221、223)を備える。また、加圧部(221、223)のプレス面は、圧電アクチュエータ本体のプレス面に均一の圧力をかけることができる。その結果、接着剤の厚みを一定にすることができる。この構造を有するプレス機を用いて、以下に示す手順で圧電アクチュエータを製造する。
まず、上記の製造方法で、圧電素子を準備する。シム板の両主面に、アクリル系の接着剤を塗布し、2つの圧電素子を重ね合わせ、プレス機を用いて、熱圧着を行なった。熱圧着は、温度100℃、圧力の大きさ4kg/cm2で60秒間行なった。接着剤は、圧電素子に塗布してもよい。
105 圧電アクチュエータ本体
107、109 接合部
115 リード線
120 シム板
130、140 圧電素子
131、141 圧電セラミック体
133、135 外部電極
143、145 外部電極
200 プレス機
201、203 断熱プレート(絶縁体)
211、213 ヒーター
221、223 加圧部
301 定盤
Claims (2)
- 電圧の印加により屈曲する圧電アクチュエータの製造方法であって、
分極された板状の圧電セラミック体および前記圧電セラミック体の主面に設けられた外部電極を有する圧電素子を準備する工程と、
シム板に前記圧電素子を重ね合わせ、電気的に短絡された2つの加圧部により、前記圧電素子を前記シム板の主面に垂直な方向に接着剤で熱圧着する工程と、を含み、
前記加圧部間を予めリード線で接続することにより、電気的に短絡させることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記熱圧着する工程において、
前記圧電素子は、前記シム板の両主面に重ね合わせることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016033397A JP6587956B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016033397A JP6587956B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017152533A JP2017152533A (ja) | 2017-08-31 |
JP6587956B2 true JP6587956B2 (ja) | 2019-10-09 |
Family
ID=59741045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016033397A Active JP6587956B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6587956B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11284247A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ |
JP4795748B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2011-10-19 | 株式会社デンソー | 圧電アクチュエータ |
JP2008218953A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 圧電振動体、電子機器、圧電振動体の製造方法 |
JP5433148B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2014-03-05 | 株式会社タムラ製作所 | 圧電トランスの実装方法及び圧電トランス |
JP6173938B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2017-08-02 | 株式会社東芝 | 圧電ポンプ |
-
2016
- 2016-02-24 JP JP2016033397A patent/JP6587956B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017152533A (ja) | 2017-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3866258B2 (ja) | 圧電デバイスおよびこれを備える圧電スイッチ | |
JP2007173456A (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子およびその製造方法 | |
JP2007287910A (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子 | |
JP6587956B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5135674B2 (ja) | 積層圧電素子 | |
JP2010199271A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
JP2002015942A (ja) | 積層型電子部品 | |
JP2013197250A (ja) | 圧電素子、その製造方法および圧電アクチュエータの製造方法 | |
JPH04167580A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
JP5643561B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
JP5635319B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
JP2010199272A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
KR101685104B1 (ko) | 압전 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2827299B2 (ja) | 積層圧電セラミックス素子の製造方法 | |
JP2000332312A (ja) | 積層型圧電セラミック部品の製造方法 | |
JP2508314B2 (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
JP4730362B2 (ja) | 積層電子部品の製造方法、及び、電極パターン付グリーンシートの製造方法 | |
JP6542618B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2014030290A (ja) | 振動体及び振動波アクチュエータ | |
JP2010272626A (ja) | モノモルフアクチュエータの製造方法 | |
JP2007266468A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JPS639168A (ja) | 電歪式変位素子 | |
JPH04334076A (ja) | 積層型圧電素子とその製造方法 | |
JP3960738B2 (ja) | 加圧成形装置 | |
JP4090278B2 (ja) | 積層型圧電体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190911 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6587956 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |