JPH11284247A - 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ - Google Patents
圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサInfo
- Publication number
- JPH11284247A JPH11284247A JP8567598A JP8567598A JPH11284247A JP H11284247 A JPH11284247 A JP H11284247A JP 8567598 A JP8567598 A JP 8567598A JP 8567598 A JP8567598 A JP 8567598A JP H11284247 A JPH11284247 A JP H11284247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- piezoelectric ceramics
- pyroelectric
- piezoelectric
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電セラミックが同一性能でなくても焦電効
果を無効化する。 【解決手段】 圧電セラミック２、３を金属振動板１に
接着剤６で接着する際に、圧電セラミックの電極４、５
間を焦電ピン１０、１１、加圧駒７、受駒８、センター
ピン９を通じて電気的に短絡または抵抗値を有する導体
で短絡させながら加熱硬化させる。複数の圧電セラミッ
クが接着時の加熱硬化の間、焦電効果により発生する電
荷を強制的にディスチャージさせることにより、焦電特
性の大きい圧電セラミックを焦電特性の小さい圧電セラ
ミックに合わせ込むことができ、結果的に電効果を無効
化できる。これにより、加速度センサに利用した場合
に、振動加速度に比例した出力のみが得られ、温度によ
る不要な出力を排除できる。
果を無効化する。 【解決手段】 圧電セラミック２、３を金属振動板１に
接着剤６で接着する際に、圧電セラミックの電極４、５
間を焦電ピン１０、１１、加圧駒７、受駒８、センター
ピン９を通じて電気的に短絡または抵抗値を有する導体
で短絡させながら加熱硬化させる。複数の圧電セラミッ
クが接着時の加熱硬化の間、焦電効果により発生する電
荷を強制的にディスチャージさせることにより、焦電特
性の大きい圧電セラミックを焦電特性の小さい圧電セラ
ミックに合わせ込むことができ、結果的に電効果を無効
化できる。これにより、加速度センサに利用した場合
に、振動加速度に比例した出力のみが得られ、温度によ
る不要な出力を排除できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミックの
熱処理方法およびそれを用いた製造された電気機械変換
素子、特に振動加速度を電気信号に変換する加速度セン
サに関する。
熱処理方法およびそれを用いた製造された電気機械変換
素子、特に振動加速度を電気信号に変換する加速度セン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の加速度センサの基本構造を
示す。図２において、円板状の金属振動板１の表裏に
は、それぞれ円板状の圧電セラミック２、３が接着され
ている。また、圧電セラミック２、３のそれぞれの表裏
には、内側にセンシング電極４、外側にドライビング電
極５が同心円状に予め形成されている。
示す。図２において、円板状の金属振動板１の表裏に
は、それぞれ円板状の圧電セラミック２、３が接着され
ている。また、圧電セラミック２、３のそれぞれの表裏
には、内側にセンシング電極４、外側にドライビング電
極５が同心円状に予め形成されている。
【０００３】圧電セラミック２、３には、ポーリング方
向による極性があり、図２に示すように、上側がプラス
になるように、金属振動板１の接着面に対し圧電セラミ
ック２、３は接着面が逆極性になるように接着し、かつ
圧電セラミック２、３の電極４、５と金属振動板１とは
電気的な導通がとれるように、接着硬化時の加熱時に
は、圧電セラミック２、３の上下から加圧しておく。な
お、圧電セラミック２、３の極性は、図２とは逆の上側
がマイナスになるように接着してもよく、この場合は出
力が逆になる。
向による極性があり、図２に示すように、上側がプラス
になるように、金属振動板１の接着面に対し圧電セラミ
ック２、３は接着面が逆極性になるように接着し、かつ
圧電セラミック２、３の電極４、５と金属振動板１とは
電気的な導通がとれるように、接着硬化時の加熱時に
は、圧電セラミック２、３の上下から加圧しておく。な
お、圧電セラミック２、３の極性は、図２とは逆の上側
がマイナスになるように接着してもよく、この場合は出
力が逆になる。
【０００４】次に図３を用いて加速度センサの動作を説
明する。この加速度センサに振動加速度を与えるか、ま
たは図２に示すドライビング電極５に交流電圧を与える
と、圧電セラミック２、３が撓み、それぞれプラス、マ
イナスの電荷（電圧）を発生させる。これは圧電セラミ
ックが、伸び方向ではプラス極性にプラスの電荷を発生
させ、縮み方向ではプラス極性にマイナスの電荷を発生
させるからである。
明する。この加速度センサに振動加速度を与えるか、ま
たは図２に示すドライビング電極５に交流電圧を与える
と、圧電セラミック２、３が撓み、それぞれプラス、マ
イナスの電荷（電圧）を発生させる。これは圧電セラミ
ックが、伸び方向ではプラス極性にプラスの電荷を発生
させ、縮み方向ではプラス極性にマイナスの電荷を発生
させるからである。
【０００５】また、焦電効果つまり温度上昇時には圧電
セラミックのプラス極性にプラスの電荷が発生し、温度
下降時にはプラス極性にマイナスの電荷が発生する現象
は、圧電セラミックに特有の現象であり、加速度センサ
のように振動加速度に正確に比例した出力を取り出した
いセンサでは、温度変化時に焦電効果による出力変動が
あっては困るため、図２に示すように、センシング電極
４を圧電セラミック２のプラス側および圧電セラミック
３のマイナス側に接続するように形成することにより、
温度変化に対して焦電効果による電荷の発生をキャンセ
ル（無効化）することができ、振動加速度に比例した出
力を得ることができる。
セラミックのプラス極性にプラスの電荷が発生し、温度
下降時にはプラス極性にマイナスの電荷が発生する現象
は、圧電セラミックに特有の現象であり、加速度センサ
のように振動加速度に正確に比例した出力を取り出した
いセンサでは、温度変化時に焦電効果による出力変動が
あっては困るため、図２に示すように、センシング電極
４を圧電セラミック２のプラス側および圧電セラミック
３のマイナス側に接続するように形成することにより、
温度変化に対して焦電効果による電荷の発生をキャンセ
ル（無効化）することができ、振動加速度に比例した出
力を得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、圧電
セラミック２、３は、振動加速度に対しては足し算、焦
電効果に対しては引き算になるように構成しているが、
これは圧電セラミック２と３とが同一性能であることが
条件となる。特に、焦電効果はキャンセルさせることが
必要であるため、圧電セラミック２、３が同一特性でな
いと、図４に示すように、温度変化時に不要が出力を発
生させることになる。しかしながら、現実の問題とし
て、製造時のばらつきがあるため、すべての場合におい
て同一特性の圧電セラミックを使用することは困難であ
る。
セラミック２、３は、振動加速度に対しては足し算、焦
電効果に対しては引き算になるように構成しているが、
これは圧電セラミック２と３とが同一性能であることが
条件となる。特に、焦電効果はキャンセルさせることが
必要であるため、圧電セラミック２、３が同一特性でな
いと、図４に示すように、温度変化時に不要が出力を発
生させることになる。しかしながら、現実の問題とし
て、製造時のばらつきがあるため、すべての場合におい
て同一特性の圧電セラミックを使用することは困難であ
る。
【０００７】本発明は、このような従来の課題を解決す
るものであり、圧電セラミックが同一性能でなくても焦
電効果を無効化することのできる熱処理方法およびそれ
を用いた加速度センサを提供することを目的とする。
るものであり、圧電セラミックが同一性能でなくても焦
電効果を無効化することのできる熱処理方法およびそれ
を用いた加速度センサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、圧電セラミックを金属振動板に接着する
際に、圧電セラミックの電極間を電気的に短絡または抵
抗値を有する導体で短絡させながら加熱硬化させるよう
にしたものである。複数の圧電セラミックが接着時の加
熱硬化の間、焦電効果により発生する電荷を強制的にデ
ィスチャージさせることにより、焦電特性の大きい圧電
セラミックを焦電特性の小さい圧電セラミックに合わせ
込むことができ、結果的に焦電効果を無効化することが
できる。これにより、加速度センサに利用した場合に、
振動加速度に比例した出力のみが得られ、温度による不
要な出力を排除することができる。
成するために、圧電セラミックを金属振動板に接着する
際に、圧電セラミックの電極間を電気的に短絡または抵
抗値を有する導体で短絡させながら加熱硬化させるよう
にしたものである。複数の圧電セラミックが接着時の加
熱硬化の間、焦電効果により発生する電荷を強制的にデ
ィスチャージさせることにより、焦電特性の大きい圧電
セラミックを焦電特性の小さい圧電セラミックに合わせ
込むことができ、結果的に焦電効果を無効化することが
できる。これにより、加速度センサに利用した場合に、
振動加速度に比例した出力のみが得られ、温度による不
要な出力を排除することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、複数の圧電セラミックを金属振動板の両面に接着剤
により接着する際に、前記圧電セラミックの両面に予め
形成された複数の電極間を電気的に短絡または抵抗値を
有する導体で短絡させながら前記接着剤を加熱硬化させ
ることを特徴とする圧電セラミックの熱処理方法であ
り、焦電特性が同一になることにより、圧電セラミック
が同一性能でなくても焦電効果を無効化できるという作
用を有する。
は、複数の圧電セラミックを金属振動板の両面に接着剤
により接着する際に、前記圧電セラミックの両面に予め
形成された複数の電極間を電気的に短絡または抵抗値を
有する導体で短絡させながら前記接着剤を加熱硬化させ
ることを特徴とする圧電セラミックの熱処理方法であ
り、焦電特性が同一になることにより、圧電セラミック
が同一性能でなくても焦電効果を無効化できるという作
用を有する。
【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、複数の
圧電セラミックを加圧駒と受駒との間に挟んで加圧しな
がら加熱硬化させることを特徴とする請求項１記載の圧
電セラミックの熱処理方法であり、圧電セラミックと金
属振動板との接着を確実に行えるという作用を有する。
圧電セラミックを加圧駒と受駒との間に挟んで加圧しな
がら加熱硬化させることを特徴とする請求項１記載の圧
電セラミックの熱処理方法であり、圧電セラミックと金
属振動板との接着を確実に行えるという作用を有する。
【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、加圧駒
と受駒の少なくとも圧電セラミックと接触する面を前記
接着剤に対し離型性を有する材料でコーティングすると
ともに、前記複数の電極間に導電性を有するピンの先端
部を接触させて電気的に短絡することを特徴とする請求
項２記載の圧電セラミックの熱処理方法であり、接着剤
が駒に付着するのを防止でき、かつ電極間を短絡できる
という作用を有する。
と受駒の少なくとも圧電セラミックと接触する面を前記
接着剤に対し離型性を有する材料でコーティングすると
ともに、前記複数の電極間に導電性を有するピンの先端
部を接触させて電気的に短絡することを特徴とする請求
項２記載の圧電セラミックの熱処理方法であり、接着剤
が駒に付着するのを防止でき、かつ電極間を短絡できる
という作用を有する。
【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、離型性
を有する材料として４弗化フルオロエチレンを用いるこ
とを特徴とする請求項３記載の圧電セラミックの熱処理
方法であり、接着剤が駒に付着するのを確実に防止でき
るという作用を有する。
を有する材料として４弗化フルオロエチレンを用いるこ
とを特徴とする請求項３記載の圧電セラミックの熱処理
方法であり、接着剤が駒に付着するのを確実に防止でき
るという作用を有する。
【００１３】本発明の請求項５に記載の発明は、加圧駒
と受駒の少なくとも圧電セラミックと接触する面をニッ
ケル・弗素材料によりめっきしたことを特徴とする請求
項２記載の圧電セラミックの熱処理方法であり、接着剤
が駒に付着するのを防止でき、かつ電極間を短絡できる
という作用を有する。
と受駒の少なくとも圧電セラミックと接触する面をニッ
ケル・弗素材料によりめっきしたことを特徴とする請求
項２記載の圧電セラミックの熱処理方法であり、接着剤
が駒に付着するのを防止でき、かつ電極間を短絡できる
という作用を有する。
【００１４】本発明の請求項６に記載の発明は、請求項
１から５のいずれかに記載の圧電セラミックの熱処理方
法を用いて製造された電気機械変換素子であり、精度の
高い電気機械変換素子が得られるという作用を有する。
１から５のいずれかに記載の圧電セラミックの熱処理方
法を用いて製造された電気機械変換素子であり、精度の
高い電気機械変換素子が得られるという作用を有する。
【００１５】本発明の請求項７に記載の発明は、請求項
１から５のいずれかに記載の圧電セラミックの熱処理方
法を用いて製造された加速度センサであり、振動加速度
に比例した出力のみが得られ、温度による不要な出力を
排除できるという作用を有する。
１から５のいずれかに記載の圧電セラミックの熱処理方
法を用いて製造された加速度センサであり、振動加速度
に比例した出力のみが得られ、温度による不要な出力を
排除できるという作用を有する。
【００１６】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。 （実施の形態）図１は本発明の実施の形態における熱処
理工程を断面図として示したものであり、図２に用いた
符号が同様な部材に対して用いてある。図１において、
圧電セラミック２、３のそれぞれの表裏には、内側にセ
ンシング電極４、外側にドライビング電極５が同心円状
に予め形成されている。このような圧電セラミック２、
３は、それぞれ接着剤６を介して円板状の金属振動板１
の両面に重ねられ、その両側をそれぞれ金属製の加圧駒
７および受駒８により加圧されながら加熱硬化される。
加圧駒７および受駒８の少なくとも圧電セラミック２、
３と接触する面には、数十ミクロン程度の厚さに４弗化
フルオロエチレンがコーディングされ、この付着防止膜
１２により、加圧の際にはみ出した接着剤６により駒
７、８が圧電セラミック２、３に接着するのを防止して
いる。加圧駒７と受駒８の中心にはセンターピン９が貫
通しており、このセンターピン９により、金属振動板１
と加圧駒７と受駒８とが電気的に導通（接触）してい
る。また、加圧駒７と受駒８には、それぞれ圧電セラミ
ック２の上側と圧電セラミック３の下側のセンシング電
極４とドライビング電極５にそれぞれ接触する焦電ピン
１０、１１が、図示されない圧縮コイルばねにより加圧
された状態で設けられている。この焦電ピン１０、１１
は、それぞれ加圧駒７および受駒８に電気的に接続（接
触）しており、結果的に圧電セラミック２、３のセンシ
ング電極４およびドライビング電極が短絡、またはある
抵抗値を持って短絡している。
て説明する。 （実施の形態）図１は本発明の実施の形態における熱処
理工程を断面図として示したものであり、図２に用いた
符号が同様な部材に対して用いてある。図１において、
圧電セラミック２、３のそれぞれの表裏には、内側にセ
ンシング電極４、外側にドライビング電極５が同心円状
に予め形成されている。このような圧電セラミック２、
３は、それぞれ接着剤６を介して円板状の金属振動板１
の両面に重ねられ、その両側をそれぞれ金属製の加圧駒
７および受駒８により加圧されながら加熱硬化される。
加圧駒７および受駒８の少なくとも圧電セラミック２、
３と接触する面には、数十ミクロン程度の厚さに４弗化
フルオロエチレンがコーディングされ、この付着防止膜
１２により、加圧の際にはみ出した接着剤６により駒
７、８が圧電セラミック２、３に接着するのを防止して
いる。加圧駒７と受駒８の中心にはセンターピン９が貫
通しており、このセンターピン９により、金属振動板１
と加圧駒７と受駒８とが電気的に導通（接触）してい
る。また、加圧駒７と受駒８には、それぞれ圧電セラミ
ック２の上側と圧電セラミック３の下側のセンシング電
極４とドライビング電極５にそれぞれ接触する焦電ピン
１０、１１が、図示されない圧縮コイルばねにより加圧
された状態で設けられている。この焦電ピン１０、１１
は、それぞれ加圧駒７および受駒８に電気的に接続（接
触）しており、結果的に圧電セラミック２、３のセンシ
ング電極４およびドライビング電極が短絡、またはある
抵抗値を持って短絡している。
【００１７】電極４、５を短絡する際の抵抗値は、かな
り大きな値でも構わない。その理由として温度変化の周
波数が低いことが挙げられる。例えば、温度変化は、速
くとも１０℃／分であり、数ミリＨｚと考えられる。こ
れに対し、圧電セラミックの静電容量を１０μＦとする
と、抵抗値を１ＭΩとしても、時定数は１０秒１００ミ
リＨｚと考えられる。したがって、抵抗値が１ＭΩで
も、十分に温度変化時に発生する電荷（電圧）をディス
チャージすることができる。
り大きな値でも構わない。その理由として温度変化の周
波数が低いことが挙げられる。例えば、温度変化は、速
くとも１０℃／分であり、数ミリＨｚと考えられる。こ
れに対し、圧電セラミックの静電容量を１０μＦとする
と、抵抗値を１ＭΩとしても、時定数は１０秒１００ミ
リＨｚと考えられる。したがって、抵抗値が１ＭΩで
も、十分に温度変化時に発生する電荷（電圧）をディス
チャージすることができる。
【００１８】このように、本実施の形態によれば、圧電
セラミック２、３が接着時の加熱硬化の間、強制的に焦
電効果により発生する電荷をディスチャージさせること
により、焦電特性の大きい圧電セラミックを焦電特性の
小さい圧電セラミックに合わせ込むことができ、結果的
に焦電効果を無効化することができる。
セラミック２、３が接着時の加熱硬化の間、強制的に焦
電効果により発生する電荷をディスチャージさせること
により、焦電特性の大きい圧電セラミックを焦電特性の
小さい圧電セラミックに合わせ込むことができ、結果的
に焦電効果を無効化することができる。
【００１９】なお、上記実施の形態において、加圧駒７
および受駒８の４弗化フルオロエチレンによる付着防止
膜１２の代わりに、ニッケル・弗素材料をめっきするこ
とにより、接着剤に対する離型性を有するとともに導電
性を有することにより、電極４、５間を短絡させるため
の焦電ピン１０、１１を省略することができる。
および受駒８の４弗化フルオロエチレンによる付着防止
膜１２の代わりに、ニッケル・弗素材料をめっきするこ
とにより、接着剤に対する離型性を有するとともに導電
性を有することにより、電極４、５間を短絡させるため
の焦電ピン１０、１１を省略することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、上記実施の形態から明らかな
ように、圧電セラミックを金属振動板に接着する際に、
圧電セラミックの電極間を電気的に短絡または抵抗値を
有する導体で短絡させながら加熱硬化させるようにした
ので、複数の圧電セラミックが接着時の加熱硬化の間、
焦電効果により発生する電荷を強制的にディスチャージ
させることにより、焦電特性の大きい圧電セラミックを
焦電特性の小さい圧電セラミックに合わせ込むことがで
き、結果的に焦電効果を無効化することができる。これ
により、このようにして製造された電気機械変換素子を
加速度センサとして利用した場合に、振動加速度に比例
した出力のみが得られ、温度による不要な出力を排除す
ることができる。
ように、圧電セラミックを金属振動板に接着する際に、
圧電セラミックの電極間を電気的に短絡または抵抗値を
有する導体で短絡させながら加熱硬化させるようにした
ので、複数の圧電セラミックが接着時の加熱硬化の間、
焦電効果により発生する電荷を強制的にディスチャージ
させることにより、焦電特性の大きい圧電セラミックを
焦電特性の小さい圧電セラミックに合わせ込むことがで
き、結果的に焦電効果を無効化することができる。これ
により、このようにして製造された電気機械変換素子を
加速度センサとして利用した場合に、振動加速度に比例
した出力のみが得られ、温度による不要な出力を排除す
ることができる。
【００２１】また、圧電セラミックが１枚の場合でも、
加熱によって蓄えられた電荷が一度に放電することによ
って、かなりの高電圧が発生し、測定器等を破壊するこ
とがあるため、本発明のように圧電セラミックの電極間
を短絡して加熱することは、測定器等の破壊を未然に防
止できる効果を有する。
加熱によって蓄えられた電荷が一度に放電することによ
って、かなりの高電圧が発生し、測定器等を破壊するこ
とがあるため、本発明のように圧電セラミックの電極間
を短絡して加熱することは、測定器等の破壊を未然に防
止できる効果を有する。
【図１】本発明の実施の形態における熱処理工程を示す
断面図
断面図
【図２】加速度センサの基本構造を示す平面図（ａ）と
回路図（ｂ）
回路図（ｂ）
【図３】加速度センサの動作を示す断面図（ａ）（ｂ）
（ｃ）
（ｃ）
【図４】加速度センサの時間と温度の関係を示す特性図
１ 金属振動板 ２、３ 圧電セラミック ４ センシング電極 ５ ドライビング電極 ６ 接着剤 ７ 加圧駒 ８ 受駒 ９ センターピン １０、１１ 焦電ピン １２ 付着防止膜
Claims (7)
- 【請求項１】 複数の圧電セラミックを金属振動板の両
面に接着剤により接着する際に、前記圧電セラミックの
両面に予め形成された複数の電極間を電気的に短絡また
は抵抗値を有する導体で短絡させながら前記接着剤を加
熱硬化させることを特徴とする圧電セラミックの熱処理
方法。 - 【請求項２】 複数の圧電セラミックを加圧駒と受駒と
の間に挟んで加圧しながら加熱硬化させることを特徴と
する請求項１記載の圧電セラミックの熱処理方法。 - 【請求項３】 加圧駒と受駒の少なくとも圧電セラミッ
クと接触する面を前記接着剤に対し離型性を有する材料
でコーティングするとともに、前記複数の電極間に導電
性を有するピンの先端部を接触させて電気的に短絡する
ことを特徴とする請求項２記載の圧電セラミックの熱処
理方法。 - 【請求項４】 離型性を有する材料として４弗化フルオ
ロエチレンを用いることを特徴とする請求項３記載の圧
電セラミックの熱処理方法。 - 【請求項５】 加圧駒と受駒の少なくとも圧電セラミッ
クと接触する面をニッケル・弗素材料によりめっきした
ことを特徴とする請求項２記載の圧電セラミックの熱処
理方法。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の圧電
セラミックの熱処理方法を用いて製造された電気機械変
換素子。 - 【請求項７】 請求項１から５のいずれかに記載の圧電
セラミックの熱処理方法を用いて製造された加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8567598A JPH11284247A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8567598A JPH11284247A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11284247A true JPH11284247A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13865418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8567598A Ceased JPH11284247A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11284247A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017152533A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8567598A patent/JPH11284247A/ja not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017152533A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20130016647A (ko) | 초음파 센서 | |
| JP2013021176A (ja) | 圧電素子 | |
| JPS6156920A (ja) | 圧電素子を用いた振動及び音波の検出器 | |
| TW202014867A (zh) | 感測膜及其製備方法、電子裝置 | |
| JP2015523672A (ja) | タッチ感応式センサー及びそのようなセンサーを製造するための方法 | |
| US4367408A (en) | Pyroelectric type infrared radiation detecting device | |
| JPH11284247A (ja) | 圧電セラミックの熱処理方法と加速度センサ | |
| JP6158583B2 (ja) | セラミックデバイス及びその動作方法 | |
| JP2002022561A5 (ja) | ||
| JP3426185B2 (ja) | 圧電スピーカ | |
| JPH1126829A (ja) | 圧電アクチュエータ装置 | |
| US20200267478A1 (en) | Manufacturing method of a piezoelectric microphone with pillar structure | |
| US10581404B2 (en) | Tunable lithium niobate resonators and filters via lithiation and delithiation | |
| JPH0252599A (ja) | 超音波トランスデューサ及びその製造方法 | |
| JP6760809B2 (ja) | 圧電部品 | |
| JPS5927699A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP6117555B2 (ja) | 圧電部品 | |
| JP6096579B2 (ja) | セラミックデバイス及びその検査方法 | |
| JPH02236431A (ja) | 圧電型圧力センサ | |
| JP3377922B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH0610254Y2 (ja) | 渦検出器 | |
| JPS63266338A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS62204584A (ja) | 圧電体の分極方法 | |
| JPH0238933A (ja) | 温度検知器 | |
| JPS6336445B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041007 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070402 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080527 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080617 |
|
| A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20081028 |