JP6570550B2 - 部品実装装置用ヘッドユニット - Google Patents

Description

本発明は、部品実装装置に用いられるヘッドユニットに関する。

従来より、ヘッドユニットを備えた部品実装装置が知られている。ヘッドユニットは、ヘッド本体や、ヘッド本体に設けられたノズル、ノズルに動力を伝えてノズルを上下方向に動かすモータ、ノズルに吸着された部品を側方から撮像する側方カメラ等を備えている。例えば、特許文献１に開示された部品実装装置では、ノズルを上下方向に動かすモータとして、リニアモータを使用している。

特開２００９−１７１６６５号公報

ところで、こうした部品実装装置において、モータや側方カメラ等を保護するために大きなカバーで覆うことがある。

しかしながら、モータは駆動に伴って発熱するため、カバーで覆われた内部に熱がこもるという問題が生じる。特にリニアモータは発熱量が大きいため、こうした問題が顕著になる。

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、部品実装装置用ヘッドユニットにおいて、カバーで覆われた内側の熱を効率よく放出することを主目的とする。

本発明の部品実装装置用ヘッドユニットは、
ヘッド本体と、
前記ヘッド本体に設けられ、部品を吸着可能なノズルと、
前記ヘッド本体及び前記ノズルの少なくとも一方に動力を伝えて動かす駆動源と、
前記駆動源を覆うカバーと、
前記カバーと前記駆動源又は該駆動源のフレームとの間を連結し、前記駆動源から発生した熱を前記カバーへ逃がす伝熱部材と、
を備えたものである。

この部品実装装置用ヘッドユニットでは、伝熱部材を介して、駆動源から発生した熱を比較的表面積の大きなカバーへ逃がす。これにより、カバーで覆われた内側の熱を効率よく放出することができる。

本発明の部品実装装置用ヘッドユニットにおいて、前記駆動源は、前記ノズルに動力を伝えて該ノズルを上下方向に動かすリニアモータとしてもよい。リニアモータは発熱量が比較的大きいため、本発明を適用する意義が高い。

本発明の部品実装装置用ヘッドユニットにおいて、前記カバーは、複数の開口を有していてもよい。こうすれば、ヘッドユニットが移動する際に開口を介してカバーに覆われた内側と外側とを空気が流通するため、カバーの内側の熱をより効率よく放出することができる。なお、カバーは、複数の開口に代えて又は加えて、溝を有していてもよい。この場合、溝はヘッドユニットの移動する方向に沿って形成されていることが好ましい。

本発明の部品実装装置用ヘッドユニットにおいて、前記伝熱部材は、複数の金属柱状部材又は複数のヒートパイプとしてもよい。こうすれば、伝熱部材の熱伝導率が高くなるため、カバーに覆われた内側の熱をより効率よく放出することができる。金属柱状部材の金属としては、例えば金、銀、銅、アルミなどが挙げられるが、コストや比重を考慮するとアルミが好ましい。ヒートパイプとは、パイプ内に少量の液体を真空密封し、内壁にウイックと呼ばれる毛細管構造を備えたものをいう。

本発明の部品実装装置用ヘッドユニットは、前記カバーに覆われた箇所に、前記ノズルに吸着された部品を撮影するカメラを備え、前記伝熱部材は、前記カバーのうち前記カメラに対向する面以外の面と前記駆動源又は該駆動源のフレームとの間を連結するようにしてもよい。こうすれば、カバーのうちカメラに対向する面は高温になりにくいため、比較的熱の影響を受けやすいカメラを熱から保護することができる。

部品実装装置１０の斜視図。 ヘッドユニット３４の斜視図。 アウタカバー４０を外した状態のヘッドユニット３４の斜視図。 アウタカバー４０を外した状態のヘッドユニット３４の右側面図。 ロータリーヘッド４２をメインフレーム３６に取り付ける様子を示す斜視図。

本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品実装装置１０の斜視図、図２はヘッドユニット３４の斜視図、図３はアウタカバー４０を外した状態のヘッドユニット３４の斜視図、図４は同じく右側面図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。また、図２では、取っ手３５は引っ張ると引き出されるようになっている。

部品実装装置１０は、図１に示すように、実装装置本体１４と、リールユニット９６と、コントローラ１００とを備えている。

実装装置本体１４は、基板１６を搬送する基板搬送装置１８と、ＸＹ平面を移動可能なヘッドユニット３４とを備えている。

基板搬送装置１８は、図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に延びる支持板２０，２０と、両支持板２０，２０の互いに対向する面に設けられたコンベアベルト２２，２２（図１では片方のみ図示）とを備えている。コンベアベルト２２，２２は、支持板２０，２０の左右に設けられた駆動輪及び従動輪に無端状となるように架け渡されている。基板１６は、一対のコンベアベルト２２，２２の上面に乗せられて左から右へと搬送される。この基板１６は、裏面側に多数立設された支持ピン２３によって支持される。

ヘッドユニット３４は、Ｘ軸スライダ２６の前面に着脱可能に取り付けられている。このヘッドユニット３４は、交換作業時に作業者が掴むための取っ手３５を前面に有している。Ｘ軸スライダ２６は、Ｙ軸スライダ３０の前面に設けられた左右方向に延びる上下一対のガイドレール２８，２８にスライド可能に取り付けられている。Ｙ軸スライダ３０は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール３２，３２にスライド可能に取り付けられている。ヘッドユニット３４は、Ｘ軸スライダ２６が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ３０が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ２６，３０は、それぞれ駆動モータ（図示せず）により駆動される。

リールユニット９６は、複数のリール９７を備え、実装装置本体１４の前側に着脱可能に取り付けられている。各リール９７には、テープが巻き付けられ、テープの表面には、部品が長手方向に沿って保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、リールから後方に向かって巻きほどかれ、フィーダ部９８においてフィルムが剥がされて部品が露出した状態で、吸着ノズル４８により吸着される吸着位置に送り出される。

コントローラ１００は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ、作業領域として用いられるＲＡＭ、各種データを記憶するＨＤＤなどを備えている。このコントローラ１００は、基板搬送装置１８、Ｘ軸スライダ２６の駆動モータ、Ｙ軸スライダ３０の駆動モータ、ヘッドユニット３４に設けられた各種モータなどへ駆動信号を出力し、ヘッドユニット３４に設けられた側方カメラ８０からの画像信号を入力する。また、コントローラ１００は、リールユニット９６と双方向通信可能に接続されている。

次に、ヘッドユニット３４の詳細について、図２〜図５を参照しながら以下に説明する。図２は取っ手３５を外した状態のヘッドユニット３４の斜視図、図３及び図４はアウタカバー４０を外した状態のヘッドユニット３４の斜視図及び右側面図、図５はロータリーヘッド４２をメインフレーム３６に取り付ける様子を示す斜視図である。

ヘッドユニット３４は、メインフレーム３６と、サブフレーム３８と、アウタカバー４０と、ロータリーヘッド４２と、リニアモータアクチュエータ６２と、側方カメラ８０とを備えている。

メインフレーム３６は、Ｘ軸スライダ２６（図１参照）に着脱自在に取り付けられるフレームであり、ロータリーヘッド４２のほかＲ軸モータ５８やθ軸モータ６０などを備えている。

サブフレーム３８は、図３及び図４に示すようにメインフレーム３６の前方に固着されたフレームであり、リニアモータアクチュエータ６２や側方カメラ８０、ステッピングモータ６１などを備えている。なお、サブフレーム３８は、図４に示すリニアモータアクチュエータ６２を左右両側から挟み込むように配置されている。そのため、サブフレーム３８は、リニアモータアクチュエータ６２のフレームと見ることもできる。

アウタカバー４０は、図２に示すようにメインフレーム３６やサブフレーム３８の前面、両側面及び上面を覆うように被せられたカバーであり、各面に多数の開口４０ａを有している。メインフレーム３６、サブフレーム３８及びアウタカバー４０は、比較的軽量で熱伝導のよい材料、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などで作製されている。

ロータリーヘッド４２は、円筒形状の部品であり、図３〜図５に示すように、ノズルホルダ４６と、吸着ノズル４８と、バルブレバー５０とを備えている。ロータリーヘッド４２は、図５に示すように、メインフレーム３６に軸回転可能に取り付けられた円柱形状で上下に延びるＲ軸５２に差し込まれた状態で係合されたり、Ｒ軸５２との係合を解除して抜去されたりすることが可能となっている。Ｒ軸５２は、Ｒ軸モータ５８の回転に伴って回転するようにＲ軸モータ５８と図示しないギア機構により連結されている。ロータリーヘッド４２は、Ｒ軸５２に係合された状態ではＲ軸モータ５８の回転に伴ってＲ軸５２と一体となって軸回転する。ノズルホルダ４６は、ロータリーヘッド４２の外周に沿って上下方向に摺動可能に複数本（ここでは１２本）装着されている。このノズルホルダ４６は、上端付近にノズル操作レバー５４を有し、スプリング５６によって上方へ付勢されて所定の定位置（上方位置）に位置決めされている。ノズル操作レバー５４が押下されると、スプリング５６の弾性力に抗してノズルホルダ４６及び吸着ノズル４８が下降し、ノズル操作レバー５４の押下が解除されると、ノズルホルダ４６及び吸着ノズル４８はスプリング５６の弾性力によって定位置に戻る。ノズルホルダ４６の上部外周には、小ギア５７が設けられている。各小ギア５７は、θ軸モータ６０の回転に伴って回転するようにθ軸モータ６０と図示しないギア機構により連結されている。吸着ノズル４８は、ノズルホルダ４６の下端に着脱可能に取り付けられている。図３及び図４には、便宜上、１本のノズルホルダ４６のみに吸着ノズル４８を装着した様子を示したが、実際には図５に示すようにすべてのノズルホルダ４６に吸着ノズル４８が装着される。この吸着ノズル４８は、部品の種類や大きさなどに応じて適宜交換される。また、吸着ノズル４８は、θ軸モータ６０の回転に伴って小ギア５７を備えたノズルホルダ４６と一体となって軸回転する。バルブレバー５０は、吸着ノズル４８ごとに設けられている。このバルブレバー５０は、ノズル先端に負圧を供給するか大気圧を供給するかを切り替えるレバーである。バルブレバー５０は、ステッピングモータ６１により操作される。

リニアモータアクチュエータ６２は、図４に示すように、スライダ６４と、リニアガイド６８とを備えている。スライダ６４は、電磁石となるコイルを内蔵しており、レバー係合部６６を有している。レバー係合部６６は、断面がＣ字状となっており、ノズル操作レバー５４を上下から挟むようにしてノズル操作レバー５４と係合する。複数のノズル操作レバー５４は、ロータリーヘッド４２が所定角度（ここでは３０°）軸回転するごとに順次レバー係合部６６と係合可能な位置に配置される。リニアガイド６８は、スライダ６４を直線方向にガイドするものであり、直線方向にＮ極とＳ極とが交互に多数配置されている。スライダ６４のレバー係合部６６がノズル操作レバー５４を上下から挟み込んだ状態でスライダ６４に内蔵されたコイルに電流を流すと、コイルに発生する磁束とリニアガイド６８の磁石との吸引・反発作用によりスライダ６４がリニアガイド６８に沿って上下に移動する。すると、ノズル操作レバー５４もノズルホルダ４６及び吸着ノズル４８と共に上下に移動する。リニアモータアクチュエータ６２を囲うサブフレーム３８は、複数のヒートパイプ７０を介してアウタカバー４０に接続されている。ヒートパイプ７０は、パイプ内に少量の液体を真空密封し、内壁にウイックと呼ばれる毛細管構造を備えた公知の部材である。ここでは、ヒートパイプ７０は、アウタカバー４０のうち側方カメラ８０に対向する面以外の面（本実施形態ではリニアモータアクチュエータ６２に対向する面）と、リニアモータアクチュエータ６２のうち最も発熱する箇所との間を連結している。

側方カメラ８０は、図３及び図４に示すように、光学系モジュール８２と、カメラ本体８６とを備えている。光学系モジュール８２は、吸着ノズル４８に吸着された部品の前方に配置された入射口８４から入射された光を図示しないプリズムやミラーを介して上方に配置されたカメラ本体８６へ導くように構成されている。入射口８４の両側には、図示しない発光体が配置されている。発光体は、ロータリーヘッド４２の下面中央に設けられた円筒形状の反射体８８に向かって紫外線を照射する光源である。反射体８８は、紫外線が照射されると蛍光発光する。そのため、吸着ノズル４８に吸着された部品はその蛍光発光によって後方から照らし出される。カメラ本体８６は、図示しないレンズと、撮像素子と、画像処理部とを有している。レンズは、光学系モジュール８２によって導かれた光を撮像素子へ送り出す。撮像素子は、レンズを通じて受光すると電荷を発生する。画像処理部は、撮像素子で発生した電荷を入力して、この電荷に基づく画像データ（画像信号）を生成する。

次に、部品実装装置１０の動作について説明する。以下には、コントローラ１００が、生産ジョブデータに基づいてヘッドユニット３４を利用して基板１６へ部品を実装する動作について説明する。

まず、コントローラ１００は、Ｘ軸スライダ２６及びＹ軸スライダ３０を制御して、フィーダ部９８においてフィルムが剥がされて露出した部品の上方に吸着ノズル４８が来るようにヘッドユニット３４を移動する。次に、コントローラ１００は、リニアモータアクチュエータ６２を制御して、吸着ノズル４８を下方へ移動させて部品と接触する直前の位置に来るようにする。具体的には、コントローラ１００は、リニアモータアクチュエータ６２のレバー係合部６６をノズル操作レバー５４に係合させた状態でスライダ６４を下方へ所定量移動させる。これにより、ノズル操作レバー５４と共に吸着ノズル４８も下方へ所定量移動する。その状態で、コントローラ１００は、ステッピングモータ６１を制御して、吸着ノズル４８の先端に負圧が供給されるようにバルブレバー５０を操作する。これにより、吸着ノズル４８の先端に部品が吸着される。次に、コントローラ１００は、リニアモータアクチュエータ６２を制御して、吸着された部品と共に吸着ノズル４８を上方の定位置へ移動させる。次に、コントローラ１００は、吸着ノズル４８に吸着された部品の画像データを側方カメラ８０から入力し、部品が吸着されていることをパターン認識などにより確認した後、Ｒ軸モータ５８を制御してロータリーヘッド４２を中心軸周りに所定角度（ここでは３０°）軸回転させる。これにより、リニアモータアクチュエータ６２のレバー係合部６６は、先ほどのノズル操作レバー５４の隣のノズル操作レバー５４に係合する。その後、コントローラ１００は、先ほどと同様の手順で、ノズル操作レバー５４がレバー係合部６６と係合したノズルホルダ４６の吸着ノズル４８に部品を吸着する。コントローラ１００は、この手順を繰り返し行い、すべての（ここでは１２個の）吸着ノズル４８に部品を吸着させる。なお、コントローラ１００は、吸着ノズル４８に吸着された部品の向きが正規の向きからずれていた場合には、θ軸モータ６０を制御してノズルホルダ４６を軸回転させることにより部品の向きを正規の向きになるように調整する。

続いて、コントローラ１００は、Ｘ軸スライダ２６及びＹ軸スライダ３０を制御して、最初に吸着された部品が基板１６の所定位置の上方に来るようにヘッドユニット３４を移動する。次に、コントローラ１００は、リニアモータアクチュエータ６２を制御して、吸着ノズル４８の先端に吸着された部品が基板１６の所定位置の直前の位置に来るようにする。その状態で、コントローラ１００は、ステッピングモータ６１を制御して、吸着ノズル４８の先端に正圧が供給されるようにバルブレバー５０を操作する。これにより、吸着ノズル４８の先端から部品が離れて基板１６の所定位置に実装される。次に、コントローラ１００は、リニアモータアクチュエータ６２を制御して、吸着ノズル４８を上方の定位置へ移動させる。次に、コントローラ１００は、吸着ノズル４８の画像データを側方カメラ８０から入力し、吸着ノズル４８から部品がなくなっていることをパターン認識などにより確認した後、Ｒ軸モータ５８を制御してロータリーヘッド４２を中心軸周りに所定角度（ここでは３０°）軸回転させる。これにより、リニアモータアクチュエータ６２のレバー係合部６６は、先ほどのノズル操作レバー５４の隣のノズル操作レバー５４に係合する。その後、コントローラ１００は、先ほどと同様の手順で、ノズル操作レバー５４がレバー係合部６６と係合したノズルホルダ４６の吸着ノズル４８に吸着されている部品を基板１６に実装する。コントローラ１００は、この手順を繰り返し行い、吸着ノズル４８に吸着されていた部品をすべて基板１６に実装する。

このように部品実装装置１０が動作している間、リニアモータアクチュエータ６２は発熱するが、その熱はヒートパイプ７０を介してアウタカバー４０へ逃がされる。また、アウタカバー４０は、ヘッドユニット３４がＸＹ方向へ移動する際に空冷される。特に、アウタカバー４０は、前面、両側面及び上面に複数の開口４０ａを有しているため、ヘッドユニット３４が移動する際にこれらの開口４０ａを介してアウタカバー４０の内側と外側とを空気が効率よく流通する。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のヘッドユニット３４が本発明の部品実装装置用ヘッドユニットに相当し、ロータリーヘッド４２がヘッド本体に相当し、吸着ノズル４８がノズルに相当し、リニアモータアクチュエータ６２が駆動源に相当し、ヒートパイプ７０が伝熱部材に相当する。

以上説明した本実施形態のヘッドユニット３４によれば、ヒートパイプ７０を介して、リニアモータアクチュエータ６２から発生した熱を比較的表面積の大きなアウタカバー４０へ逃がす。これにより、アウタカバー４０で覆われた内側の熱を効率よく放出することができる。

また、アウタカバー４０は複数の開口４０ａを有しているため、ヘッドユニット３４がＸＹ方向に移動する際にこれらの開口４０ａを介してアウタカバー４０に覆われた内側と外側とを空気が効率よく流通する。その結果、アウタカバー４０で覆われた内側の熱をより効率よく放出することができる。

更に、伝熱部材として熱伝導率が高いヒートパイプ７０を採用したため、アウタカバー４０に覆われた内側の熱をより効率よく放出することができる。

更にまた、ヒートパイプ７０は、アウタカバー４０のうち側方カメラ８０に対向する面以外の面とリニアモータアクチュエータ６２を囲うサブフレーム３８との間を連結するように設けられているため、アウタカバー４０のうち側方カメラ８０に対向する面は高温になりにくい。したがって、比較的熱の影響を受けやすい側方カメラ８０を熱から保護することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、アウタカバー４０の前面、両側面及び上面の４つの面に複数の開口４０ａを設けたが、これらの開口４０ａを４つの面のうちの１面だけに設けてもよいし、２面だけに設けてもよいし、３面だけに設けてもよい。あるいは、４つの面のいずれにも開口４０ａを設けなくてもよい。但し、開口４０ａを設けた方が、アウタカバー４０の内側と外側とを空気が流通しやすくなり冷却効率が上がるため好ましい。開口４０ａの形状は丸穴に限らずどのような形状でもよく、例えば角穴でもよいし、細長いスリット状の穴でもよい。アウタカバー４０に設けた複数の開口４０ａに代えて又は加えて溝（窪み）やフィンを設けてもよい。溝やフィンを設けることで放熱面積が増加するためアウタカバー４０を効率よく冷やすことができる。溝やフィンは例えばヘッドユニット３４の移動する方向に沿って形成してもよい。

上述した実施形態では、伝熱部材としてヒートパイプ７０を採用したが、ヒートパイプ７０の代わりに金属柱状部材を採用してもよい。金属柱状部材の金属としては、例えば金、銀、銅、アルミなどが挙げられるが、コストや重量（比重）を考慮するとアルミが好ましい。

上述した実施形態では、リニアモータアクチュエータ６２とアウタカバー４０とを水平に延びるヒートパイプ７０で連結したが、リニアモータアクチュエータ６２とアウタカバー４０とを屈曲あるいは湾曲したヒートパイプ７０で連結してもよい。こうすれば、アウタカバー４０のうちリニアモータアクチュエータ６２から離れた位置へ熱を逃がすことができる。

上述した実施形態では、同期型のリニアモータを例示したが、磁界中に置かれた導体に電流を流したときに生じるローレンツ力を利用する誘導型のリニアモータを採用してもよい。

上述した実施形態では、熱を発生する駆動源としてリニアモータアクチュエータ６２を例示したが、例えばロータリーヘッド４２に動力を伝えるＲ軸モータ５８や吸着ノズル４８に動力を伝えるθ軸モータ６０などの他の駆動源をヒートパイプ（伝熱部材）を介してアウタカバー４０に連結してもよい。リニアモータアクチュエータ６２は、スライダ６４とリニアガイド６８とを囲うモータカバーを有していてもよく、その場合、ヒートパイプ７０は、サブフレーム３８を貫通してモータカバーとアウタカバー４０とを連結するようにしてもよい。

上述した実施形態では、ヘッド本体として１２本のノズル４８を保持するロータリーヘッド４２を例示したが、一つのノズルのみを保持するヘッドを用いてもよいし、４つのノズルを保持するヘッドを用いてもよい。

上述した実施形態では、アウタカバー４０とリニアモータアクチュエータ６２のフレーム（サブフレーム３８）との間をヒートパイプ７０で連結したが、リニアモータアクチュエータ６２が樹脂等の金属よりも熱伝導率の低い低熱伝導部材を介してサブフレーム３８に固定され、リニアモータアクチュエータ６２とヒートパイプ７０（伝熱部材）とが直接接触するようにしてもよい。こうすれば、アウタカバー４０とリニアモータアクチュエータ６２そのものとがヒートパイプ７０で連結された構造となる。

本発明は、基板に部品を実装する部品実装装置に利用可能である。

１０ 部品実装装置、１４ 実装装置本体、１６ 基板、１８ 基板搬送装置、２０ 支持板、２２ コンベアベルト、２３ 支持ピン、２６ Ｘ軸スライダ、２８ ガイドレール、３０ Ｙ軸スライダ、３２ ガイドレール、３４ ヘッドユニット、３５ 取っ手、３６ メインフレーム、３８ サブフレーム、４０ アウタカバー、４０ａ 開口、４２ ロータリーヘッド、４６ ノズルホルダ、４８ 吸着ノズル、５０ バルブレバー、５２ Ｒ軸、５４ ノズル操作レバー、５６ スプリング、５７ 小ギア、５８ Ｒ軸モータ、６０ θ軸モータ、６１ ステッピングモータ、６２ リニアモータアクチュエータ、６４ スライダ、６６ レバー係合部、６８ リニアガイド、７０ ヒートパイプ、８０ 側方カメラ、８２ 光学系モジュール、８４ 入射口、８６ カメラ本体、８８ 反射体、９６ リールユニット、９７ リール、９８ フィーダ部、１００ コントローラ。

Claims (4)

1. ヘッド本体と、
   前記ヘッド本体に設けられ、部品を吸着可能なノズルと、
   前記ヘッド本体及び前記ノズルの少なくとも一方に動力を伝えて動かす駆動源と、
   前記駆動源を覆うカバーであって、前記駆動源のコイルを内蔵する部分の側方を覆うように設けられたカバーと、
   前記カバーと前記駆動源又は該駆動源のフレームとの間を連結し、前記駆動源から発生した熱を前記カバーへ逃がす伝熱部材と、
   を備えた部品実装装置用ヘッドユニットであって、
   前記カバーに覆われた箇所に、前記ノズルに吸着された部品を撮影するカメラを備え、
   前記ヘッド本体、前記駆動源及び前記カメラは、前記ヘッド本体、前記駆動源、前記カメラの順に前後方向に並ぶように設けられ、
   前記伝熱部材は、前記カバーのうち前記カメラに対向する面以外の面である前記コイルを内蔵する部分の側方を覆う面と前記駆動源又は該駆動源のフレームとの間を連結している、
   部品実装装置用ヘッドユニット。
2. 前記駆動源は、前記ノズルに動力を伝えて該ノズルを上下方向に動かすリニアモータである、
   請求項１に記載の部品実装装置用ヘッドユニット。
3. 前記カバーは、複数の開口を有している、
   請求項１又は２に記載の部品実装装置用ヘッドユニット。
4. 前記伝熱部材は、複数の金属柱状部材又は複数のヒートパイプである、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品実装装置用ヘッドユニット。