JP6562503B2 - クライオトラップ - Google Patents

Description

本発明はクライオトラップに関し、特に耐腐食環境での冷凍などに用いて好適な技術に関する。

医薬品、食品、化粧品又は化学品等の原料液を凍結して真空乾燥するための、コールドトラップを備えた真空乾燥装置が提案されている（例えば、特許文献１）。

従来の真空乾燥装置によれば、被乾燥物を収容する乾燥室に排気経路を介して真空ポンプが接続され、この排気経路の途中に、コールドトラップが設けられる。乾燥室内の被乾燥物から昇華した水蒸気を、コールドトラップにて凝結させて捕集することにより、被乾燥物を乾燥させることができる。

また、医薬品向けの凍結乾燥装置における最近の流れとして、『抗体医薬』や『バイオ医薬』のニーズが高まっている。
これらの薬剤は、従来の化学物質よりも水分活性が高いため、より含水率を低く製造しなければならないという背景があり、非特許文献１においては、液体窒素を用いた熱交換器を追加して低温を作り出し、凍結乾燥槽内圧力を低くしてこれらの薬剤製造に対応している。
これらの薬剤の場合、治験薬の作り方を「全くそのままの製法で実現」することが求められる。

しかし、非特許文献１に示す技術であると、液体窒素を用いることにより、極めて装置が大がかりとなり、小型化、省スペース化したいという要求があった。さらに、液体窒素を用いることにより、メンテナンスの手間やランニングコストが増大するため、このようなコストがかからずに作業性のよい装置・方法が要求されている。

このため、従来から半導体やＦＰＤの製造装置で用いられていたクライオトラップを用いることを検討した。（特許文献２）

特許第５５７４３１８号公報 特開平０５−０４４６４２号公報

大陽日酸技報 No. 33(2014) p1-p2 森公哉 米倉正浩 「バイオ医薬品向け液化窒素式真空凍結乾燥機」インターネット（ＵＲＬ； https://www.tn-sanso-giho.com/pdf/33/tnscgiho33_06.pdf ）

しかし、クライオトラップは、もともと、半導体やＦＰＤの製造で使用されてきたものであり、水分などの腐食性ガスがこれほど多く存在する環境で使用することを想定されたものではなく、これをそのまま適応することはできなかった。
また、医薬品製造においては、厳密な基準があり、装置内部の滅菌洗浄が必要なため、従来の冷凍能力の高いコンパクトな装置をそのまま適用することができなかった。同時に、医薬製剤に暴露する部分には、銅などの金属を用いることができず、冷却能力を維持することとの両立を図る必要があった。
また、半導体やＦＰＤの製造で想定された冷却能力、温度範囲、圧力範囲も異なるため、これをそのまま適応することはできなかった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１． 医薬品の製造に適応可能な高性能な凍結乾燥を可能とすること。
２． クライオトラップを凍結乾燥（真空乾燥）装置に適応可能とすること。
３． 耐腐食ガス性能を向上すること。

本発明のクライオトラップは、被脱気空間であるチャンバに接続されるケース内に、機械式冷凍機により冷却された低温パネルをケース壁から離隔させてクライオトラップとして設置したものにおいて、
該低温パネルの一方の板面に接するとともに、前記ケース内を、前記チャンバ側と前記低温パネル側とに分離する冷却分離隔壁を設け、
前記冷却分離隔壁の平板部には、その周縁から前記低温パネルの周囲を囲むように筒状部が接続され、
前記筒状部の端部は前記ケースに接続されて、前記冷却分離隔壁が、前記ケース内を、前記チャンバ側の第１空間と前記低温パネル側の第２空間とに分離し、前記第１空間を密閉させることにより上記課題を解決した。
本発明において、前記冷却分離隔壁が、前記低温パネルの一方の板面と密着された平板部を有し、該平板部の前記チャンバ側表面が、トラップ面とされてなることがより好ましい。
本発明において、前記冷却分離隔壁は、前記筒状部に設けられる変形部を含み、
前記筒状部は、前記第１空間と前記第２空間との圧力差が生じた場合に、前記変形部の変形によって伸縮されることがより好ましい。
また、本発明において、前記冷却分離隔壁の前記低温パネル側となる後背空間には、排気手段が接続される手段を採用することもできる。
また、前記冷却分離隔壁が耐腐食性材からなることができる。

本発明のクライオトラップは、被脱気空間であるチャンバに接続されるケース内に、機械式冷凍機により冷却された低温パネルをケース壁から離隔させてクライオトラップとして設置したものにおいて、
該低温パネルの一方の板面に接するとともに、前記ケース内を、前記チャンバ側と前記低温パネル側とに分離する冷却分離隔壁を設けたことにより、低温パネルをチャンバ側に暴露することなくチャンバ内を真空冷凍乾燥などの処理をおこなうことが可能となる。
これに加えて、本発明のクライオトラップは、前記冷却分離隔壁の平板部には、その周縁から前記低温パネルの周囲を囲むように筒状部が接続され、
前記筒状部の端部は前記ケースに接続されて、前記冷却分離隔壁が、前記ケース内を、前記チャンバ側の第１空間と前記低温パネル側の第２空間とに分離し、前記第１空間を密閉させることにより、筒状部が背面部に接続された箇所以外はケースと接触しないように構成されているため、低温パネル付近が充分冷却可能となり、トラップパネル（トラップ面）として作用できるようになっている。

本発明において、前記冷却分離隔壁が、前記低温パネルの一方の板面と密着された平板部を有し、該平板部の前記チャンバ側表面が、トラップ面とされてなることにより、チャンバ側に対向して暴露される平板部のチャンバ側表面において水分などを捕集して、チャンバ内の脱気をおこなうことができる。

本発明のクライオトラップには、前記冷却分離隔壁の平板部には、その周縁から前記低温パネルの周囲を囲むように筒状部が接続されることにより、低温パネルに接した冷却分離隔壁をケース壁から離間させて、冷却された低温パネルの温度が上昇してしまうことを防止することが可能である。

また、本発明において、前記冷却分離隔壁の前記低温パネル側となる後背空間には、排気手段が接続されることにより、となる後背空間における真空度をチャンバ側の被脱気空間に対応して設定し、低温パネルの設定温度を維持することが可能となる。

また、前記冷却分離隔壁が耐腐食性材からなることにより、水分や腐食性ガスに対応して真空凍結乾燥処理をおこなうことが可能となる。

本発明によれば、クライオトラップを真空乾燥など耐腐食性ガスの存在する状態でも用いることを可能とし、真空乾燥における被乾燥物の含水率を充分低減することができることができるという効果を奏することが可能となる。

本発明に係るクライオトラップの設けられた真空乾燥装置の第１実施形態を示す模式図である。 本発明に係るクライオトラップの第１実施形態を示す断面図である。 本発明に係るクライオトラップの第１実施形態を用いた真空乾燥工程を示すフローチャートである。

以下、本発明に係るクライオトラップの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態におけるクライオトラップの設けられた真空乾燥装置を示す模式図であり、図において、符号１０は、真空乾燥装置である。

本実施形態に係る真空乾燥装置１０は、例えば医薬品、医薬製剤、およびその原材料などを製造するために、その原料液を凍結して真空乾燥するためのものである。被乾燥物Ｆ１は医薬製剤またはその材料とされて、上記原料液を容器に収容した液体状態であってもよいし、前工程で真空凍結させた固体状態（例えば塊状、粉末状）であってもよい。本実施形態は、前者の例で説明する。

本実施形態に係る真空乾燥装置１０は、図１に示すように、被乾燥物を収容する乾燥室１１と、乾燥室１１に接続され、被乾燥物Ｆ１から昇華した水分を凝結させて捕集することが可能な第１の温度に冷却されることが可能な第１の捕集手段１７を有する第１の脱水部１２と、第１の脱水部１２と独立に乾燥室１１に接続され、第１の温度より低い第２の温度に冷却されることが可能な捕集手段３８を有する第２の脱水部３０と、切り替え手段として乾燥室１１と第１の脱水部１２とを選択的に連通・脱離可能とする第１仕切部２１と、同じく切り替え手段として乾燥室１１と第２の脱水部３０とを選択的に連通・脱離可能とする第２仕切部２３と、制御部１４と、を有するものとされる。

乾燥室１１は、被乾燥物たる原料Ｆ１を真空乾燥させるための空間である。乾燥室１１内の真空度は、例えば５〜３００Ｐａの範囲で調整可能とされている。乾燥室１１は、それぞれ試料Ｆ１が載置されたトレー（図示略）を支持する複数の棚１１ａを多段に有する。

乾燥室１１における複数の棚１１ａには、それぞれヒータ（調温手段）１１ｂが設けられている。ヒータ１１ｂは、コントロールユニット（制御部）１４に制御され、棚１１ａに載置された試料Ｆ１を加熱可能および冷却可能とされる。ヒータ１１ｂとしては、例えば、棚１１ａの内部に温媒を循環させる機構や、シーズヒータなどの抵抗加熱式のヒータ等で構成することができる。加熱時におけるヒータ１１ｂの設定温度は特に限定されず、例えば２０℃とすることができる。

少なくともいずれか１つの棚１１ｂには、温度センサ１１ｃが設けられている。温度センサ１１ｃは、ヒータ１１ｂにより加熱される棚３上に載置された試料Ｆ１の温度を検知し、これを検知信号としてコントロールユニット１４に出力する。温度センサ１１ｃは、棚１１ａの上側から温度を測定する物とすることができ、各棚１１ａに対してそれぞれ設けることが好ましい。

乾燥室１１には、それぞれ独立して第１の脱水部１２と第２の脱水部３０とが接続され、乾燥室１１はこの第１の脱水部１２および第２の脱水部３０を介して真空ポンプ（第１排気手段）１５およびポンプ（第２排気手段）１６に連通される。真空ポンプ１５は、乾燥室１１内を所定の真空度に排気するためのポンプである。真空ポンプ１５としては、ロータリーポンプやドライポンプ等の各種の真空ポンプを採用することができる。

乾燥室１１には、後述するように、乾燥室１１、第１の脱水部１２、および、第２の脱水部３０内を、洗浄、滅菌するための、洗浄・滅菌手段１９が設けられ、コントロールユニット１４により制御されて、滅菌工程用に１２２℃程度のスチーム、あるいは、洗浄工程用に所定の基準を満たした純水を乾燥室１１、第１の脱水部１２、および、第２の脱水部３０内部に供給可能とされている。

乾燥室１１には、乾燥室１１内部の圧力を測定するための圧力計２６，２７が設けられる。圧力計２６は、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第１の真空計とされ、例えば、バラトロン真空計、隔膜圧力計であるキャパシタンスマノメータとされる。圧力計２７は、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第２の真空計とされ、例えば、ピラニ真空計とされる。

第１の脱水部１２による第１乾燥工程または加熱乾燥工程中に、前記第１の真空計２６による乾燥室１１における測定指示値と、第２の真空計２７による乾燥室１１における測定指示値とを比較し、測定指示値の差が極小に収束する時点を第１乾燥工程または加熱乾燥工程の終点時と判断する。これが後述する判別工程となる。
つまり、これら圧力計２６，２７の測定値が離間した状態から一致した状態に変化した際に、乾燥室１１内部の水分が、第１の脱水部１２の能力限界まで除去されたと判断し、第２の脱水部３０による第２可能工程へと切り替え可能とされている。圧力計２６，２７の計測値は、コントロールユニット１４に出力される。

第１の脱水部１２は、乾燥室１１と真空ポンプ（第１排気手段）１５とを連通させる一方の排気経路となるとともに、第１の脱水部１２には、第１のコールドトラップ１７が設けられている。第１のコールドトラップ１７は、水蒸気を凝結させて捕集することが可能な捕集面（第１の捕集面）を構成する。第１のコールドトラップ１７は、後に説明する第２のコールドトラップ３８よりも例えば大型とされ、より大量の水蒸気を捕集することが可能な主乾燥用のコールドトラップとして用いられる。

第１の脱水部１２における第１のコールドトラップ１７は、冷却媒体が流通するチューブがコイル状に巻回されて構成されている。これ以外にも、第１のコールドトラップは、平板（プレート）状に構成されていてもよい。第１のコールドトラップ１７は、チューブの両端に冷媒の導入部１７ａ及び導出部１７ｂを有する。これら冷媒の導入部１７ａ及び導出部１７ｂは、第１のコールドトラップ１７内に冷媒を供給し流通させる第１の冷却ユニット１７ｃに接続されている。

第１の冷却ユニット１７ｃは、コントロールユニット１４により制御され、第１のコールドトラップ１７内に冷媒を流通させる。第１の冷却ユニット１７ｃは、冷媒を圧縮する圧縮機と、圧縮された高温高圧冷媒を液化する凝縮器と、液体冷媒を断熱膨張させる膨張弁と、液体冷媒を気化する蒸発器とを有し、第１のコールドトラップ１７は上記蒸発器に相当する。冷媒は、導入部１７ａより第１のコールドトラップ１７内に導入され、第１のコールドトラップ１７を流通し、導出部１７ｂより導出されることにより循環する。なお、冷媒としては例えばフロンガスＲ４０４Ａや、シリコンオイル等を用いることができる。

第１の冷却ユニット１７ｃは、第１のコールドトラップ１７の表面（第１の捕集面）を第１の温度に冷却する。第１の温度とは、第１のコールドトラップ１７が乾燥室１１内の試料Ｆ１から昇華した水蒸気の殆どを凝結させて捕集できることが可能な温度であり、その値は、乾燥対象物である試料Ｆ１の種類、乾燥室の到達圧力等に応じて設定され、本実施形態では、−４０℃程度、−２０℃〜−６０℃程度の範囲である。

第１の脱水部１２において、乾燥室１１と第１のコールドトラップ１７との間には、切替弁となる第１仕切部２１が設けられ、第１のコールドトラップ１７と真空ポンプ（第１排気手段）１５との間には、切り替え手段としての第１の切替弁２２が設けられている。第１仕切部２１および第１の切替弁２２は、コントロールユニット１４により開閉制御される。

第１仕切部２１は、乾燥室１１壁面に開口した部分を閉塞可能な仕切体２１ａと、この仕切体２１ａを壁面に接触する閉塞状態と壁面から離脱する開放状態とで移動させる図示しない駆動部と、この駆動部を駆動する図示しない駆動源とを有する。駆動源がコントロールユニット１４により駆動制御されることで、第１仕切部２１の開閉制御がおこなわれる。仕切体２１ａおよび駆動部は、後述するように、第１の脱水部１２および乾燥室１１を洗浄・滅菌する際に、洗浄可能な構成とされている。

第１仕切部２１を開放することにより、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを互いに連通することができる。第１仕切部２１および第１の切替弁２２をともに開放することにより、乾燥室１１と真空ポンプ１５とを互いに連通することができる。第１仕切部２１を閉塞し第１の切替弁２２を開放することにより、第１の脱水部１２内を排気することができる。第１仕切部２１および第１の切替弁２２をともに閉塞することにより、第１の脱水部１２を介しての乾燥室１１内の排気を制限することができる。
真空ポンプ１５と第１の切替弁２２とは、第１排気手段を構成している。

本実施形態において、乾燥室１１に連通する他方の排気経路である第２の脱水部３０には、第２のコールドトラップ３８が設けられている。第２のコールドトラップ３８は、水蒸気を凝結させて捕集することが可能な捕集面（第２の捕集面）を構成する。第２のコールドトラップ３８は、第１のコールドトラップ１７における第１の捕集面よりも低い第２の温度に冷却されることが可能に構成されている。

図２は、本実施形態におけるクライオトラップを示す断面図である。
本実施形態におけるクライオトラップは、仕上げ乾燥用の第２の脱水部３０として、真空乾燥装置１０に取り付けられ、被脱気空間である乾燥室（チャンバ）１１に接続されたケース３１内に設けられている。

本実施形態において、第1のコールドトラップ１７の冷凍機１７ｃに要求される能力は、−５０〜−６０℃近辺の温度で、大きな熱容量を持つことであるのに対し、第２のコールドトラップ３０は二次乾燥であり、この場合には一次乾燥で水分を吸着した後の処理であるため、より低温（例えば−８０℃〜−１００℃）であるが熱容量は小さくてよい。このため、第２のコールドトラップ３８は、第１のコールドトラップ１７よりも小型とされ、捕集可能な水蒸気量は第１のコールドトラップ１７よりも少量であり、仕上げ乾燥用のコールドトラップとして用いられる。例えば、被乾燥物における５００ｋｇ程度の水分のうち、最後の１％を第２のコールドトラップ３８によって乾燥するものとして設けられる。

第２のコールドトラップ３８は、コントロールユニット１４により制御され、機械式冷凍機３８ｂにより冷却された低温パネル３８ａをクライオトラップとして冷却分離隔壁３６によって分割されたケース３１内に設置したものとされる。低温パネル３８ａの板面がチャンバ１１内の脱気源（被乾燥物）Ｆ１へ向けて設置されている。

冷却分離隔壁３６は、図２に示すように、低温パネル３８ａの一方の板面に接するとともに、ケース３０内の空間を、前記チャンバ１１側である被脱気空間３０Ａと、低温パネル３８ａ側である後背空間３０Ｂとに分離するように設けられている。

冷却分離隔壁３６は、図２に示すように、低温パネル３８ａの一方の板面と密着された平板部３６ａを有し、平板部３６ａの乾燥室（チャンバ）側表面が、クライオトラップのトラップ面とされている。

冷却分離隔壁３６の平板部３６ａには、図２に示すように、その周縁から低温パネル３８ａの周囲を囲むように筒状部３６ｂが接続されており、冷却分離隔壁３６は有底円筒状とされて、筒状部３６ｂの端部はケース３１の背面部３１ｃに接続されて被脱気空間３０Ａを密閉可能とされている。筒状部３６ｂが背面部３１ｃに接続された箇所以外はケース３１と接触しないように構成されているため、低温パネル３８ａ付近が充分冷却可能となり、トラップパネル（トラップ面）として作用できるようになっている。

筒状部３６ｂの中心軸方向中程には、図２に示すように、突条とされる変形部３６ｃが周設されており、被脱気空間３０Ａと後背空間３０Ｂとの圧力差が生じた場合にこの変形部３６ｃが変形することで対応可能となっている。

冷却分離隔壁３６は、耐腐食性材としてのＳＵＳ３１６，３１６Ｌから構成されている。
平板部３６ａと例えば銅からなる低温パネル３８ａとは、密着性を向上して冷却効率を上げるために、その間にグリース等が得されている。このグリースは高熱伝導であり、低温使用可能であり、蒸気圧が低い事が求められる。

冷却分離隔壁３６の低温パネル３８ａ側となる後背空間３０Ｂには、図１に示すように、排気手段３９が接続されている。
排気手段３９は、排気ポンプ１６と別体として設けた場合には、排気ポンプ１６と同様のポンプとすることができる。また、排気ポンプ１６として共通に用いることもできる。排気手段３９と排気ポンプ１６とを共通に使う場合には、後背空間３０Ｂ側から被脱気空間３０Ａ側に逆流しないように逆至弁などを設けておくことが好ましい。

第２のコールドトラップ３８は、図２に示すように、第２の脱水部３０となるケース３１内に、機械式冷凍機３８ｂにより冷凍された低温パネル３８ａをケース壁３１から離隔させて設け、第２の脱水部３０内において低温パネル３８ａに水分子等を凝縮させることにより第２の脱水部３０内に維持して、乾燥室１１内部における水分子等を減少させるものである。

低温パネル３８ａは、機械式冷凍機３８ｂがヘリウムガスをサイモン膨張させることにより例えば８０Ｋの超低温にまで冷却することができるものであり、これに気体分子を凝縮することで排気ポンプ１６等では到達できない高真空にまで乾燥室１１内の真空度を高めることができるものである。
排気ポンプ１６は、第２の脱水部３０のうち被脱気空間３０Ａ内を真空に排気するものとされ、ターボ分子ポンプとされることができる。

第２のコールドトラップ３８は、低温パネル３８ａの表面（第２の捕集面）を、第１のコールドトラップ１７の表面よりも低い、例えば、およそ−７０℃〜−１００℃、−８５℃程度に冷却する。低温パネル３８ａの表面温度をあまり低く設定しすぎると、必要な機械式冷凍機３８ｂの能力が大きすぎるため好ましくなくまた、低温パネル３８ａの表面温度をあまり高く設定しすぎると、被乾燥物Ｆ１の含水率を必要なレベルまで低減できないため好ましくない。

なお、第２のコールドトラップ３８は、もともと上記のように、半導体やＦＰＤの製造に適用可能である高性能なクライオトラップを用いるものであるが、通常使用される条件よりも極めて異なった条件で使用されるものである。

第２の脱水部３０において、図１に示すように、乾燥室１１と第２のコールドトラップ３８との間には、切替弁となる第２仕切部２３が設けられ、第２のコールドトラップ０８と排気ポンプ（第２排気手段）１６との間には、切り替え手段としての第２の切替弁２４が設けられている。第２仕切部２３および第２の切替弁２４は、コントロールユニット１４により開閉制御される。

第２仕切部２３は、乾燥室１１壁面に開口した部分を閉塞可能な仕切体２３ａと、この仕切体２３ａを壁面に接触する閉塞状態と壁面から離脱する開放状態とで移動させる図示しない駆動部と、この駆動部を駆動する図示しない駆動源とを有する。この駆動源がコントロールユニット１４により駆動制御されることで、第２仕切部２３の開閉制御がおこなわれる。仕切体２３ａおよび駆動部は、後述するように、第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａおよび乾燥室１１を洗浄・滅菌する際に、洗浄可能な構成とされている。
仕切体２３ａは、オリフィス板３３よりも乾燥室１１の被乾燥物Ｆ１側に配置されている。

第２仕切部２３を開放することにより、乾燥室１１と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを互いに連通することができる。第２仕切部２３および第２の切替弁２４をともに開放することにより、乾燥室１１と排気ポンプ（第２排気手段）１６とを互いに連通することができる。第２仕切部２３を閉塞し第２の切替弁２４を開放することにより、第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａ内を排気することができる。第２仕切部２３および第２の切替弁２４をともに閉塞することにより、第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａおよび乾燥室１１内を独立に閉塞することができる。なお、被脱気空間３０Ａを排気する際には、後背空間３０Ｂも排気して、被脱気空間３０Ａと同程度の気圧にすることが好ましい。さらに、クライオトラップ３８を動作させる際には、後背空間３０Ｂを排気して真空状態とすることが必要である。
排気ポンプ１６と第２の切替弁２４とは、第２排気手段を構成している。

本実施形態に係る真空乾燥装置１０は、乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０とを洗浄した後に、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを連通するとともに第２の脱水部３０を閉塞して第１の凍結乾燥工程をおこない、その後、乾燥室１１と第２の脱水部３０とを連通するとともに第１の脱水部１２を閉塞して第２の凍結乾燥工程をおこなうものとされる。
このため、本実施形態に係る真空乾燥装置１０においては、乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとが、それぞれ洗浄可能かつ密閉可能とされている。

具体的には、第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとにおいて、滅菌時の熱対策、医薬製剤製造用として、仕切体２１ａとその駆動部、仕切体２３ａとその駆動部、冷却分離隔壁３６の表面が、ＳＵＳ、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、Ａｕ、Ｐｔ等の金属で覆われた構成とされることができる。なお、洗浄されない面、つまり、脱水部１２，３０の内側表面と接しない部分は熱伝導が良好であるＣｕを使用してもよい。

同様に、第１の切替弁２２および、第１の切替弁２２よりも真空ポンプ１５側と、第２の切替弁２４および、第２の切替弁２４よりも排気ポンプ１６側とは、いずれも、乾燥室１１側へ逆流しない構成とされている。
また、後背空間３０Ｂは、被脱気空間３０Ａと分離されて、乾燥室１１および被脱気空間３０Ａ側へ逆流しない構成とされている。

クライオトラップは、通常、冷凍機とトラップパネルの接続部に伝熱を向上させるために、この部分にＩｎ箔が挟んであるが、これをＩｎ箔から金箔へと変更し、被脱気空間３０ＡにＩｎ箔が暴露しないように冷却分離隔壁３６によって分離している。
また、第２の脱水部１４において、後述する本実施形態における真空乾燥方法では、滅菌工程、洗浄工程、収容工程、第１乾燥工程において、第２排気手段の第２の切替弁２４よりも排気ポンプ１６側が閉塞された状態とされている。

以下、本実施形態におけるクライオトラップを用いた真空乾燥方法について説明する。
図３は、本実施形態におけるクライオトラップを用いた真空乾燥方法を示すフローチャートである。

本実施形態のクライオトラップを用いた真空乾燥方法は、図３に示すように、準備工程Ｓ０１と、開閉工程Ｓ０２と、滅菌工程０３と、洗浄工程０４と、予備乾燥工程Ｓ０５と、開閉工程Ｓ０６と、収容工程Ｓ０７と、開閉工程Ｓ０８と、第１乾燥工程Ｓ０９と、加熱乾燥工程Ｓ１０と、第２排気工程Ｓ１１と、判別工程Ｓ１２と、開閉工程Ｓ１３と、第２乾燥工程Ｓ１４と、第１排気工程Ｓ１５と、密閉工程Ｓ１６と、開閉工程Ｓ１７と、取出工程Ｓ１８とを有するものとされる。

本実施形態の真空乾燥方法は、図３に示す準備工程Ｓ０１として、必要な被乾燥物Ｆ１を棚１１ａに搬入可能なように準備しておく。またコントロールユニット１４において、必要な製造条件情報を準備する。

次いで、図３に示す開閉工程Ｓ０２として、コントロールユニット１４の制御により各仕切、弁を以下のように開閉する。
乾燥室１１開
第１仕切部２１開
第２仕切部２３開
第１の切替弁２２閉
第２の切替弁２４閉

次いで、図３に示す滅菌工程０３として、開閉工程Ｓ０２で設定した状態、つまり、第１仕切部２１および第２仕切部２３を開放して乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０とを連通させ、コントロールユニット１４の制御により洗浄・滅菌手段１９からスチームを供給することにより乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの内部を滅菌する。

被乾燥物Ｆ１である医薬製剤が暴露される部分は、完全に無菌が担保されなければならず、このため、薬剤生産工程を開始するごとにその前工程として、蒸気滅菌工程Ｓ０３を有する。医薬品向けの凍結乾燥装置において必要な滅菌とは１２２℃以上のスチームに２０分以上曝すことにより菌を死滅させるものである。

この蒸気滅菌工程における圧力は、２１０ｋＰａ程度。２２０ｋｐａ〜２４０ｋｐａ程度とされている。実際には、蒸気滅菌工程Ｓ０３として、３時間程度装置内部を高温に維持することになる。

このとき、第１のコールドトラップ１７の、冷却媒体が流通するチューブ側は、この温度に耐えるために、冷却ユニット１７ｃを駆動運転させることで７０℃以下を保つように構成されている。
同様に、第２のコールドトラップ３８の低温パネル３８ａ側は、この温度に耐えるために、加熱されている時に機械式冷凍機３８ｂを駆動運転させることで機械式冷凍機３８ｂが７０℃以下を保つように構成されている。従来使用されるクライオトラップは、低温パネル３８ａからの伝熱を受けた際、機械式冷凍機３８ｂの耐熱温度が７０℃であるが、これにより、機械式冷凍機３８ｂの耐熱温度以下に保持する。また機械式冷凍機３８ｂの耐熱も向上させる。
このとき、冷却分離隔壁３６よりも後背空間３０Ｂ側は、排気手段３９によって排気することが好ましい。

次いで、図５に示す洗浄工程０４として、開閉工程Ｓ０２で設定した状態、つまり、第１仕切部２１および第２仕切部２３を開放して乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを連通させ、コントロールユニット１４の制御により洗浄・滅菌手段１９から洗浄用に所定の基準を満たした純水を供給することにより乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの内部を洗浄する。半導体など他の製造分野における真空装置では想定外であるが、装置内部に水をかけて洗浄する。このため、乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの内部はできるだけ水が溜まらない構造が望ましい。

次いで、図５に示す予備乾燥工程０５として、開閉工程Ｓ０２で設定した状態、つまり、第１仕切部２１および第２仕切部２３を開放して乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを連通させ、コントロールユニット１４の制御により、第１のコールドトラップ１７を駆動して、乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを予備乾燥し、洗浄水を除去する。この際、棚１１ａの調温手段により、乾燥室１１内を加温することができる。

予備乾燥工程０５においては、コントロールユニット１４が、第１の冷却ユニット１７ｃを駆動して第１のコールドトラップ１７中に冷媒を流通させ、第１仕切部２１、第２仕切部２３および第１の切替弁２２を開、かつ、第２の切替弁２４を閉とし、真空ポンプ１５を駆動して、乾燥室１１を第１の排気経路となる第１の脱水部１２を介して排気する。これにより、乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの圧力が低下することで、内部の水分が蒸発する。真空ポンプ１５は、水蒸気を含む乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの内部の気体を、第１の排気経路を介して汲み出す。水蒸気は、第１のコールドトラップ１７で捕集される。

なお、予備乾燥工程０５においては、第２のコールドトラップ３８は駆動させない方が好ましいが、後述する第２排気行程Ｓ１１により第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａ内部の水分を後工程で排気する場合などでは、この限りではない。

次いで、図５に示す開閉工程Ｓ０６として、コントロールユニット１４の制御により各仕切、弁を以下のように開閉する。
乾燥室１１開
第１仕切部２１開
第２仕切部２３閉
第１の切替弁２２閉
第２の切替弁２４閉

次いで、図５に示す収容工程Ｓ０７として、開閉工程Ｓ０６で設定した状態、つまり、第１仕切部２１を開放して、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを連通させるとともに、第２仕切部２３を閉塞して第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａを独立させた状態で、乾燥室１１に被乾燥物Ｆ１を搬入する。

次いで、図５に示す開閉工程Ｓ０８として、コントロールユニット１４の制御により各仕切、弁を以下のように開閉する。
乾燥室１１閉
第１仕切部２１開
第２仕切部２３閉
第１の切替弁２２開
第２の切替弁２４閉

次いで、図５に示す第１乾燥工程０９として、開閉工程Ｓ０８で設定した状態、つまり、第１仕切部２１を開放して、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを連通させるとともに、第２仕切部２３を閉塞して第２の脱水部３０を独立させた状態で、コントロールユニット１４の制御により、第１のコールドトラップ１７を駆動して、乾燥室１１と第１の脱水部１２の内部、特に乾燥室１１を凍結乾燥する。これにより、乾燥室１１と第１の脱水部１２との圧力が低下することで、内部の水分が蒸発する。真空ポンプ１５は、水蒸気を含む乾燥室１１内の気体を、第１の排気経路を介して汲み出す。水蒸気は、第１のコールドトラップ１７で捕集される。

乾燥室１１より汲み出された気体のうち窒素等の非凝結気体は、第１のコールドトラップ１７で凝結せず真空ポンプ１５により汲み出される。棚１１ａに載置された試料Ｆ１は、水分から蒸発潜熱を奪われることによって凍結する。
第１乾燥工程０９における第１のコールドトラップ１７は、−４０℃程度に温度設定される。

次いで、図５に示す加熱乾燥工程Ｓ１０として、開閉工程Ｓ０８で設定した状態、つまり、第１仕切部２１を開放して、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを連通させるとともに、第２仕切部２３を閉塞して第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａを独立させた状態で、コントロールユニット１４の制御により、各棚１１ａに設けられた調温手段１１ｂを駆動する。

ヒータ（調温手段）１１ｂは、乾燥室１１内の棚１１ａを２０℃に加熱することにより棚１１ａに載置された試料Ｆ１を加熱することで、試料Ｆ１の乾燥を促進する。加熱された試料Ｆ１に含まれる氷は、この試料Ｆ１から潜熱を取り込み、昇華して水蒸気になる。

真空ポンプ１５は、この水蒸気を含む乾燥室１１内の気体を、第１の排気経路を介して汲み出す。真空ポンプ１５により汲み出された気体のうち、水蒸気は第１のコールドトラップ１７の表面で潜熱を放出し、凝結して氷になることで、第１のコールドトラップ１７により捕集される。乾燥室１１より汲み出された気体のうち窒素等の非凝結気体は、第１のコールドトラップ１７で凝結せず真空ポンプ１５により汲み出される。

真空ポンプ１５による乾燥室１１の排気動作が継続することで、乾燥室１１は真空ポンプ１５のもつ到達圧力に達する。また、乾燥室１１内の水蒸気の凝結点が下がることで、第１のコールドトラップ１７の捕集能力が劣化し、乾燥室１１内の真空度の上昇が停止する。乾燥室１１内の真空度の上昇が停止すると、試料Ｆ１に含まれる氷は昇華することができなくなる。その結果、昇華が行われない以上試料Ｆ１に含まれる氷は固体原料から潜熱を取り込むことがないので、ヒータ１１ｂの加熱作用により試料Ｆ１の温度が上昇する。棚１１ａに設けられた温度センサ１１ｃは、ヒータ１１ｂにより加熱される試料Ｆ１の表面温度を検知し、これを検知信号としてコントロールユニット１４に出力する。

同時に、真空ポンプ１５による乾燥室１１の排気動作が継続することで、乾燥室１１内の真空度の上昇が停止する。このとき、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第１の真空計とされる圧力計２６の測定指示値と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第２の真空計とされる圧力計２７の測定指示値と、をコントロールユニット１４に出力する。

コントロールユニット１４は、前記第１の真空計２６による乾燥室１１における測定指示値と、第２の真空計２７による乾燥室１１における測定指示値とを比較し、測定指示値の差が極小に収束する時点を検知する。これら第１及び第２の真空計における測定指示値の差を比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断することによって、又は第２の真空計の測定指示曲線における下降曲線の変曲点の時刻を乾燥終点確認時として検知する。
同時に、コントロールユニット１４は、温度センサ１１ｃからの検知信号に基き、試料Ｆ１の表面温度がヒータ１１ｂの加熱温度と等しくなって上限に達したことを検知する。

次いで、図５に示す判別工程Ｓ１２として、コントロールユニット１４は、圧力計２６，２７からの測定指示値比較により離検知した乾燥終点確認時、および／または、温度センサ１１ｃからの検知信号に基いて検知した試料Ｆ１の表面温度とヒータ１１ｂの温度とが等しくなった上限時になったと判断すると、これが加熱乾燥工程Ｓ１０の終点時であると判断して、まず第１仕切部２１を閉塞し、その後、第１のコールドトラップ１７の駆動を停止する。なお、第１仕切部２１の閉塞後であれば、第１の切替弁２２の開閉状態はどちらでもかまわない。

次いで、図５に示す開閉工程Ｓ１３として、コントロールユニット１４の制御により各仕切、弁を以下のように開閉する。
乾燥室１１閉
第１仕切部２１閉
第２仕切部２３開
第１の切替弁２２閉
第２の切替弁２４開

次いで、図５に示す第２乾燥工程Ｓ１４として、開閉工程Ｓ１３で設定した状態、つまり、第２仕切部２３を開放して、乾燥室１１と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを連通させるとともに、第１仕切部２１を閉塞して第１の脱水部１２を独立させた状態で、コントロールユニット１４の制御により、第２のコールドトラップ３８を駆動して、乾燥室１１と第２の脱水部３０の内部、特に乾燥室１１を凍結乾燥する。
このとき、低温パネル３８ａの冷却を確実(真空断熱状態)にするために、後背空間３０Ｂを排気手段３９により排気して真空状態としておく。後背空間３０Ｂの圧力状態は被脱気空間３０Ａと同程度となるように設定される。

これにより、乾燥室１１と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの圧力が低下することで、内部の水分が蒸発する。ターボ分子ポンプ１６は、水蒸気を含む乾燥室１１内の気体を、第２の排気経路を介して汲み出す。水蒸気は、第２のコールドトラップであるクライオトラップ３８によって捕集される。

なお、ヒータ１１ｂおよびターボポンプ１６は、加熱乾燥工程Ｓ１０から引き続き駆動状態とされている。また、第２仕切部２３が開放される前に、クライオトラップ３８の駆動が開始されてもよい。
クライオトラップ３８は第１のコールドトラップ１７よりも低い温度、例えば−１００℃程度に設定されている。

−１００℃に冷却された第２のコールドトラップ３８は、第１のコールドトラップ１７で捕集できなかった水蒸気を捕集する。これに伴い乾燥室１１の圧力が低下する。これにより、試料Ｆ１に残存する氷の昇華が再開される。試料Ｆ１に残存する氷は、試料Ｆ１から潜熱を取り込んで昇華し、発生した水蒸気は第２のコールドトラップ３８の低温パネル３８ａ位置となる冷却分離隔壁３６表面で潜熱を放出して凝結して氷になって第２のコールドトラップ３８により捕集される。この仕上げ乾燥により、加熱乾燥工程Ｓ１０が行われた試料Ｆ１をさらに乾燥させることができ、試料Ｆ１の最終的な乾燥度を上げて、含水率を２桁低下することができる。なお、第１の脱水部１２を用いた第１乾燥工程Ｓ０９および加熱乾燥工程Ｓ１０で除去する水分に対しいて、第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａを用いた第２乾燥工程Ｓ１４で除去する水分は１％程度、つまり５ｋｇ程度とされることができる。

次いで、図５に示す密閉工程Ｓ１６として、開閉工程Ｓ１３で設定した状態、つまり、第２仕切部２３を開放して、乾燥室１１と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを連通させるとともに、第１仕切部２１を閉塞して第１の脱水部１２を独立させた状態で、コントロールユニット１４の制御により、図示しない密閉手段を用いて、被乾燥物Ｆ１にアルミシール等を施して密閉する。

次いで、図５に示す開閉工程Ｓ１７として、コントロールユニット１４の制御により各仕切、弁を以下のように開閉する。
乾燥室１１開
第１仕切部２１閉
第２仕切部２３閉
第１の切替弁２２閉
第２の切替弁２４閉

次いで、図５に示す取出工程Ｓ１８として、乾燥室１１から、所望の状態まで含水率が低減されて乾燥処理の終了した被乾燥物Ｆ１を取り出して、このバッチにおける乾燥処理を終了する。

なお、図５に示すように、第１乾燥工程０９および加熱乾燥工程Ｓ１０の一部または全部において、第２排気行程Ｓ１１として、開閉工程Ｓ０８で設定した状態、つまり、第１仕切部２１を開放して、乾燥室１１と第１の脱水部１２とを連通させるとともに、第２仕切部２３を閉塞して第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａを独立させた状態で、第２の切替弁２４を開として、この独立状態となっている第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａを排気して、第２のコールドトラップ３８で捕集した水分を外部に排気しておくことができる。これにより、次バッチの凍結乾燥工程に遅滞なく取りかかることが可能となる。
この被脱気空間３０Ａを排気する第２排気工程Ｓ１１においては、排気手段３９を動作させないことができる。

同様に、図５に示す第２乾燥工程Ｓ１４の一部または全部において、第１排気行程Ｓ１５として、開閉工程Ｓ１３で設定した状態、つまり、第２仕切部２３を開放して、乾燥室１１と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとを連通させるとともに、第１仕切部２１を閉塞して第１の脱水部１２を独立させた状態で、第１の切替弁２２を開として、この独立状態となっている第１の脱水部１２を排気して、第１のコールドトラップ１７で捕集した水分を外部に排気しておくことができる。これにより、次バッチの凍結乾燥工程に遅滞なく取りかかることが可能となる。

本実施形態においては、２つの切り替え可能なコールドトラップ１７，３８のうち、片方を独立したクライオトラップ３８とするとともに、銅からなるクライオトラップ３８の低温パネル３８ａを冷却分離隔壁３６で分離した後背空間３０Ｂに配置したことによって、従来は到達できなかった２桁低い含水率まで被乾燥物を凍結乾燥することが可能となった。
また、従来提案されていた液体窒素により極低温を得る方法よりもランニングコストが安く、また温度の条件も可変とできるため様々な乾燥条件に対応することができる。

クライオトラップ３８を起動する際には、第１仕切部２１または第２仕切部２３を閉塞状態とすることにより、第１のコールドトラップ１７よりも処理温度の低いクライオトラップ３８に、第１のコールドトラップ１７に付着した氷が吸着する可能性を防止することができる。

または、被乾燥物Ｆ１の種類、または被乾燥物Ｆ１による制約によっては、クライオトラップ３８における低温パネル３８ａを、冷却分離隔壁３６で分離した状態として、乾燥室１１の中に直付けすることもできる。これは、例えば、被乾燥物Ｆ１が密閉されて取り出されるような製品である場合など、クライオトラップ３８に付着した氷が製品出庫時に問題にならないケースで可能である。

また、まず、既設の凍結乾燥装置に第１のコールドトラップ１７と同様に穴をあけてバルブを追加し、クライオトラップ３８を追加することもできる。この場合には、洗浄・滅菌工程に対応可能なように、銅製の低温パネル３８ａを冷却分離隔壁３６で分離した仕様とすること、または、これに準じた構成とすることが必要である。

被乾燥物Ｆ１が暴露される乾燥室１１と第１の脱水部１２と第２の脱水部３０の被脱気空間３０Ａとの内部は、乾燥処理において完全に無菌が担保されなければならず、このため、薬剤生産工程を開始するごとに前工程として、蒸気滅菌工程、洗浄工程をおこなうことが必須となる。医薬品向け、特に、注射用水(ＷＦＩ：water for injection)製造等に適用される凍結乾燥装置において必要な滅菌処理とは、１２２℃以上のスチームに２０分以上曝すことにより菌を死滅させるものである。

この蒸気滅菌工程における乾燥室１１内部の圧力は、２１０ｋＰａ程度、２２０ｋｐａ〜２４０ｋｐａ程度とされている。実際には、３時間程度蒸気滅菌工程として、装置内部を高温に維持することになる。このとき、第１のコールドトラップ１７および、クライオトラップ３８のトラップ側は、この温度に耐えるために、冷却ユニット１７ｃ、機械式冷凍機３８ｂ側は、スチーム加熱されている時にコンプレッサーを動かして運転させること、および、排気手段３９を運転させることで７０℃以下を保つように構成される。

クライオトラップ３８においては、機械式冷凍機３８ｂが７０℃を超える環境で長時間保持できないため、滅菌工程Ｓ０３中は機械式冷凍機３８ｂを運転状態として冷却しながらの殺菌処理をおこなうことが好ましい。この場合、機械式冷凍機３８ｂの冷却能力が勝り、トラップパネル３８ａの温度が、殺菌に十分な温度まで達しないことのないように機械式冷凍機３８ｂの出力設定をおこなうことが必要である。

また、本実施形態のように医薬製剤製造向け装置であれば、機械式冷凍機３８ｂと低温パネル３８ａの接続部に伝熱を向上させるための箔体を金メッキ、金箔等とすることができる。
同時に、冷却分離隔壁３６と低温パネル３８ａとの接続部にはグリース等を設けてその密着性を維持して伝熱を維持することができる。

−５０℃〜−７０℃での第１のコールドトラップ１７による水のトラップをおこなう第１乾燥工程Ｓ０９および加熱乾燥工程Ｓ１０が終わった後、さらに総仕上げとして−９０℃〜−１００℃でのクライオトラップ３８による残った水分を搾り取る第２乾燥工程Ｓ１４をおこなう。このため、第１のコールドトラップ１７とクライオトラップ３８とは切り離した部屋（空間）に設置することが好ましい。また、低温パネル３８ａにおける融氷にヒータ１１ｂは用いないことが好ましい。

クライオトラップ３８においては、機械式冷凍機３８ｂのシリンダー部の材質はＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌからなる。また、トラップパネルとなる冷却分離隔壁３６の材質は、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌで、伝熱部には金箔など耐食性の高い金属で構成したものとされる。

極低温で水分をトラップして被乾燥物Ｆ１の含水率を下げる第２乾燥工程Ｓ１４は、通常の運転で凍結乾燥を行った第１乾燥工程Ｓ０９後の仕上げ工程として、残されたわずかな水分を吸着するという運転になる。したがって、処理速度を上昇して処理時間を短縮させることが必要とされておらず、含水率の到達度を２桁程度改善することを目的として、従来には、半導体やＦＰＤ（flat panel display）の製造装置で用いられていたクライオトラップ３８を選択して構成したものである。

なお、本実施形態においては冷却分離隔壁３６（低温パネル３８ａ）表面を被乾燥物Ｆ１に向けて配置したが、冷却分離隔壁３６（低温パネル３８ａ）の面内方向を被乾燥物Ｆ１に向く配置等、所定の冷却ができる状態であればその配置はこの状態に限定されるものではない。

以下、本発明にかかる実施例を説明する。

なお、本発明における具体例について説明する。
本実施形態におけるクライオトラップ３０の諸元を以下に示す。
直径ｒ０：φ４００ｍｍ
低温パネル３８ａ厚さ：５ｍｍ
低温パネル３８ａ材質：Ｃｕ
機械式冷凍機１８ｃ方式；Ｈｅを使用したＧ−Ｍ（Gifford-McMahon）冷凍機
ケース３１内の圧力変化：大気圧から１３Ｐａまで３０分以内（−１００℃）
クライオトラップ３８に切り替える際の乾燥室１１内における圧力；約１Ｐａ
冷却分離隔壁３６の厚さ：３ｍｍ
冷却分離隔壁３６の筒状部の軸方向寸法：φ３５０ｍｍ
冷却分離隔壁３６の材質：ＳＵＳ３１６Ｌ

このようなクライオトラップ３０において、低温パネル３８ａと冷却分離隔壁３６との表面温度を測定したところ、低温パネル３８ａと冷却分離隔壁３６との表面温度はいずれも−１００℃に安定に維持できることが分かった。

本発明の活用例として、バイオ医薬や抗体医薬などの含水率を低く抑えることが求められる凍結乾燥に対する適用や、微生物(細菌、ウィルス)、生細胞(原生動物・哺乳類細胞の血液・精子)の保存、食品関係に対する適用を挙げることができる。

１０…真空乾燥装置
１１…乾燥室（チャンバ）
１１ａ…棚
１１ｂ…ヒータ（調温手段）
１１ｃ…温度センサ
１２…第１の脱水部
１４…制御部（コントロールユニット）
１５…真空ポンプ（第１排気手段）
１６…排気ポンプ（第２排気手段）
１７…第１の捕集手段（第１のコールドトラップ）
１７ａ…導入部
１７ｂ…導出部
１７ｃ…冷却ユニット
１９…洗浄・滅菌手段
２１…第１仕切部
２１ａ…仕切体
２２…第１の切替弁（第１排気手段）
２３…第２仕切部
２３ａ…仕切体
２４…第２の切替弁（第２排気手段）
２６…圧力計
２７…圧力計
Ｆ１…被乾燥物（脱気源）
３０…第２の脱水部（クライオトラップ）
３０Ａ…被脱気空間
３０Ｂ…後背空間
３１…ケース
３１ａ…フランジ
３１ｂ…円筒部
３１ｃ…背面部
３６…冷却分離隔壁
３６ａ…平板部
３６ｂ…筒状部
３６ｃ…変形部
３８…第２の捕集手段（コールドトラップ）
３８ａ…低温パネル
３８ｂ…機械式冷凍機
３９…排気手段

Claims (5)

1. 被脱気空間であるチャンバに接続されるケース内に、機械式冷凍機により冷却された低温パネルをケース壁から離隔させてクライオトラップとして設置したものにおいて、
   該低温パネルの一方の板面に接するとともに、前記ケース内を、前記チャンバ側と前記低温パネル側とに分離する冷却分離隔壁を設け、
   前記冷却分離隔壁の平板部には、その周縁から前記低温パネルの周囲を囲むように筒状部が接続され、
   前記筒状部の端部は前記ケースに接続されて、前記冷却分離隔壁が、前記ケース内を、前記チャンバ側の第１空間と前記低温パネル側の第２空間とに分離し、前記第１空間を密閉させることを特徴とするクライオトラップ。
2. 前記冷却分離隔壁が、前記低温パネルの一方の板面と密着された平板部を有し、該平板部の前記チャンバ側表面が、トラップ面とされてなることを特徴とする請求項１記載のクライオトラップ。
3. 前記冷却分離隔壁は、前記筒状部に設けられる変形部を含み、
   前記筒状部は、前記第１空間と前記第２空間との圧力差が生じた場合に、前記変形部の変形によって伸縮される請求項１または２記載のクライオトラップ。
4. 前記冷却分離隔壁の前記低温パネル側となる後背空間には、排気手段が接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか記載のクライオトラップ。
5. 前記冷却分離隔壁が耐腐食性材からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか記載のクライオトラップ。

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