JP5028142B2 - クライオトラップ - Google Patents
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Description
前記トラップ容器は、前記真空処理装置と前記主排気ポンプとを接続する連結管であって、前記連結管の側部に、前記冷却ユニットの前記冷却パネルを前記連結管内へはめ込むことができる大きさの開口部を有し、
前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機の間にシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷凍機側に取り付けられたシールドパネルを有するクライオトラップである。
また本発明のクライオトラップは、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネルと、前記冷却パネルを冷却する冷凍機とを有する冷却ユニットがトラップ容器に支持され、前記トラップ容器を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合されるクライオトラップであって、
前記トラップ容器を前記真空処理装置と前記主排気ポンプとの間に接続したまま、前記冷却ユニットを分離可能とし、
前記冷却ユニットは、前記冷凍機側に固定された蓋板を有し、前記蓋板を前記開口部のフランジから取り外すことにより、前記真空処理装置と前記主排気ポンプから分離可能にし、
前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機の間にシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷凍機側に取り付けられたシールドパネルを有するクライオトラップである。
2…冷凍機
3…冷凍機フランジ
4…シリンダ
5…冷却ステージ
6…冷却パネル
7…トラップ容器
8…吸気口フランジ
9…排気口フランジ
10…冷却ユニット
11…真空処理装置
12…主排気ポンプ
13…メインバルブ
14…開口部
15…開口部フランジ
16…蓋板
17,18…シールドパネル
Claims (3)
- 少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネルと、前記冷却パネルを冷却する冷凍機とを有する冷却ユニットがトラップ容器に支持され、前記トラップ容器を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合されるクライオトラップであって、
前記トラップ容器を前記真空処理装置と前記主排気ポンプとの間に接続したまま、前記冷却ユニットを分離可能とし、
前記トラップ容器は、前記真空処理装置と前記主排気ポンプとを接続する連結管であって、前記連結管の側部に、前記冷却ユニットの前記冷却パネルを前記連結管内へはめ込むことができる大きさの開口部を有し、
前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機の間にシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷凍機側に取り付けられたシールドパネルを有するクライオトラップ。 - 少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネルと、前記冷却パネルを冷却する冷凍機とを有する冷却ユニットがトラップ容器に支持され、前記トラップ容器を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合されるクライオトラップであって、
前記トラップ容器を前記真空処理装置と前記主排気ポンプとの間に接続したまま、前記冷却ユニットを分離可能とし、
前記冷却ユニットは、前記冷凍機側に固定された蓋板を有し、前記蓋板を前記開口部のフランジから取り外すことにより、前記真空処理装置と前記主排気ポンプから分離可能にし、
前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機の間にシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷凍機側に取り付けられたシールドパネルを有するクライオトラップ。 - 請求項1又は2に記載のクライオトラップが前記主排気ポンプとの間に接続されたことを特徴とする真空処理装置。
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