JP2009019500A - クライオトラップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオトラップ1は、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネル6と、冷却パネル6を冷却する冷凍機2とを有する冷却ユニットがトラップ容器7に支持され、トラップ容器7を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合される。トラップ容器7の開口部13から冷却ユニットの冷却パネル部分を連結管内へはめ込み、トラップ容器7を真空処理装置と主排気ポンプとの間に接続したまま、冷却ユニットを分離可能とした。
【選択図】図1
Description
2…冷凍機
3…冷凍機フランジ
4…シリンダ
5…冷却ステージ
6…冷却パネル
7…トラップ容器
8…吸気口フランジ
9…排気口フランジ
10…冷却ユニット
11…真空処理装置
12…主排気ポンプ
13…メインバルブ
14…開口部
15…開口部フランジ
16…蓋板
17,18…シールドパネル
Claims (6)
- 少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネルと、前記冷却パネルを冷却する冷凍機とを有する冷却ユニットがトラップ容器に支持され、前記トラップ容器を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合されるクライオトラップであって、
前記トラップ容器を前記真空処理装置と前記主排気ポンプとの間に接続したまま、前記冷却ユニットを分離可能としたことを特徴とするクライオトラップ。 - 前記トラップ容器は、前記真空処理装置と前記主排気ポンプとを接続する連結管であって、前記連結管の側部に、前記冷却ユニットの前記冷却パネルを前記連結管内へはめ込むことができる大きさの開口部を有することを特徴とする請求項1に記載のクライオトラップ。
- 前記冷却ユニットは、前記冷凍機側に固定された蓋板を有し、前記蓋板を前記開口部のフランジから取り外すことにより、前記真空処理装置と前記主排気ポンプから分離可能にしたことを特徴とする請求項2に記載のクライオトラップ。
- 前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機の間にシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷凍機側に取り付けられたシールドパネルを有することを特徴とする請求項2又は3に記載のクライオトラップ。
- 前記冷却ユニットは、前記冷却パネルを冷却する冷却ステージと前記冷凍機を連結するシリンダを有し、更に前記シリンダを囲み前記冷却ステージに熱伝導良好に取り付けられたシールドパネルを有することを特徴とする請求項2又は3に記載のクライオトラップ。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載のクライオトラップが主排気ポンプとの間に接続されたことを特徴とする真空処理装置。
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