JP6559588B2 - 封止装置用弾性シートおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、真空チャンバと弾性ダイアフラム31と弾性シート22を備える封止装置Aが開示され、当該封止装置により、弾性シート22に保持した封止基板(例えばバリア層)と、治具5上に置かれた成形基板(例えば、有機EL表示装置の本体部分)とを、真空環境下で一体化する技術が開示されており、当該技術によれば、機能材料薄膜層から空気を排した3次元形状の機能材料デバイスが製造できることが開示されている。参考のため、特許文献1中の図を図5として引用して示す。
また、本発明の封止装置用弾性シート製造方法(第2発明)によれば、そのような弾性シートが効率的に製造できる。
弾性シート1は、弾力性を有するメッシュMに対し、少なくとも片面に、所定の平面パターンで弾性層Rを設けて構成されている。本実施形態においては、弾性層Rは、メッシュMの片面側に、設けられている。なお、弾性層RはメッシュMの両面に設けられていてもよい。また、弾性シート1には、メッシュMと弾性層の他、他の要素(例えばバックアップ層等)が設けられていてもよい。
典型的には、メッシュの線径が30〜150μmとされ、厚みt1は3〜80μmとされ、厚みt2は40〜300μmとされる。
本実施形態においては、メッシュを構成する線の線径dが80μmとされ、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1が、8μm(線径dの0.1倍)とされ、メッシュの目開き部における厚みt2が100μm(線径dの1.25倍)とされている。
転写面TSは、例えば、金属板、樹脂板、樹脂シートなどに準備すればよい。図3には、金属板上に転写面TSを設けてスクリーン印刷した例を示している。転写面TS上にスクリーン印刷用のマスクMSを置いて、ペースト状の樹脂材料PMをスクリーン印刷する。マスクMSには、弾性層Rとなるべき平面パターンの開口が設けられていて、スキージSQなどを用いて、ペースト状樹脂材料PMを開口に押し込むようにスクリーン印刷すれば、弾性層Rとなるべき平面パターンを転写面TS上にペースト状樹脂材料PMによって形成することができる。なお、この段階では、樹脂材料PMは、未硬化のペースト状の状態を保っている。以上が印刷工程である。
上記実施形態の封止装置用弾性シート1は、従来この用途に用いられてきたゴムシートや粘着剤付の弾性シートに比べ、保持力と引きはがしやすさのバランスに優れており、封止基板をしっかりと保持できる一方で、引きはがす際には、封止基板から引きはがしやすい。また、粘着剤を用いた弾性シートのように、粘着剤が封止基板の側に残ってしまうこともない。
封止装置用弾性シート1は図2の断面図と図4の透視図に示すように、メッシュMに弾性層Rを特定の構成で積層したものである。そして、図4に示すように、メッシュの線が交差する部分X、Xでは、弾性層の厚みt1がかなり薄くされていて、メッシュの目開き部分Y、Yでは、弾性層の厚みt1が比較的厚くされている。このことにより、線の交差部分X、Xでは、メッシュの線により弾性層Rが強く封止基板に押しつけられることになり、メッシュの目開き部分Y,Yでは、弾性層の押し付けが弱く、柔らかく封止基板に接触することになる。
M メッシュ
R 弾性層
Pt 平滑面(弾性層表面)
t1、t2 厚み
X 線の交差部
Y 目開き部
TS 転写面
MS マスク
SQ スキージ
PM ペースト状樹脂材料
Claims (3)
- パネル形状の機能材料デバイスの製造過程に使用される封止装置に用いられる弾性シートであって、
弾性シートは、弾力性を有するメッシュに対し、少なくとも片面に、所定の平面パターンで弾性層が設けられて構成されており、
前記弾性層の表面は、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの平滑な面とされて、吸着性を有しており、
前記弾性層の厚みは、メッシュを構成する線の線径をdとして、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1がdの0.03〜0.5倍とされ、メッシュの目開き部における厚みt2がdの0.7倍以上とされた
封止装置用弾性シート。 - 請求項1に記載の封止装置用弾性シートを製造する方法であって、
表面粗度がRa0.01〜0.20μmの転写面を準備し、当該転写面に、ペースト状の樹脂材料を印刷して、弾性層となるべき平面パターンを転写面上にペースト状樹脂材料によって形成する工程、
印刷工程に引き続き、形成された平面パターンを覆うようにメッシュを配置して、メッシュを転写面に向かって押圧して、ペースト状樹脂材料の一部をメッシュの目開き部に入り込ませて、厚みt1及び厚みt2を所定の厚みとする工程、
メッシュの押圧工程の後に、ペースト状樹脂材料を硬化させて弾性層とする工程、
硬化工程の後に、転写面から弾性層をメッシュとともに引きはがす工程、
を含む封止装置用弾性シートの製造方法。 - メッシュの番手が80〜250メッシュであり、弾性層が硬度60〜70デュロAのシリコーンゴムにより形成されている請求項1に記載の封止装置用弾性シート。
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