JP6267920B2 - 封止装置および封止方法 - Google Patents
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Description
C・・・・・有機EL発光パネル(機能材料デバイス)
CH1・・・真空チャンバー
CH2・・・加圧チャンバー
W1・・・・成形基板
W2・・・・封止基板
1・・・・・空室筐体
2・・・・・ステージ
3・・・・・台座
4・・・・・支脚
5・・・・・治具
6・・・・・静電チャックシート
7・・・・・電熱ヒーター
8・・・・・通気孔
9・・・・・透視孔
10・・・・アライメントカメラ
11・・・・透視板
12・・・・流体圧シリンダー
20・・・・保持ユニット
21・・・・枠体
22・・・・弾性シート
23・・・・静電チャックシート
25・・・・気密シール
30・・・・封支ユニット
31・・・・弾性ダイヤフラム
32・・・・冷却盤
33・・・・通水路
34・・・・断熱材
35・・・・電熱ヒーター
36・・・・ダイヤフラム固定プレート
40・・・・開閉扉
41・・・・昇降装置
42・・・・流体圧チューブ
50a・・・バルブ
50b・・・バルブ
50c・・・バルブ
51・・・・真空ポンプ
52・・・・加圧ポンプ
Claims (14)
- 真空チャンバー内で機能材料薄膜層を備えた三次元形状の成形基板の表面を封止する封止装置であり、
前記真空チャンバー内には前記成形基板を載置するための治具を固定したステージを備えるとともに、前記真空チャンバーの上面の開口部を覆う状態で配置される封止基板を保持する弾性シートを備えた保持ユニットおよび弾性ダイヤフラムを備えた封止ユニットを真空チャンバー上に上下動可能に配置してなることを特徴とする封止装置。 - 前記封止ユニットの内部に加熱手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記真空チャンバーの治具の裏面に加熱手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記封止ユニットの天板面に冷却手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記真空チャンバーの治具の表面に静電チャックシートを備えたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記保持ユニットの弾性シートの裏面に静電チャックシートを備えたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記保持ユニットの弾性シートの裏面に粘着剤を塗布してあることを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 前記粘着材が導電性であることを特徴とする請求項7に記載の封止装置。
- 前記保持ユニットを前記封止ユニットに対し着脱可能となるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 成形基板と封止基板のアライメント調整をするためのアライメントカメラを設けたことを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 真空チャンバー内で機能材料薄膜層を備えた三次元形状の成形基板の表面を封止する封止方法であり、
前記真空チャンバーのステージの治具に前記成形基板を搬入し、該成形基板を前記治具上に保持する工程と、
封止ユニットに配設した保持ユニット下に封止基板を搬入し、該封止基板を弾性シートで保持する工程と、
前記工程により封止基板を保持した保持ユニットと封止ユニットを同時に降下して前記真空チャンバーとの間に気密状態を形成する工程と、
前記真空チャンバー内の空気を排気して真空状態を形成する工程と、
前記封止ユニット内に空気を供給して弾性ダイヤフラムとともに弾性シートを延展し、封止基板を成形基板に面接触させて押圧する工程、
からなることを特徴とする封止方法。 - 前記封止ユニットの加熱手段により封止基板を加熱する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の封止方法。
- 前記真空チャンバーのステージの治具の加熱手段により成形基板を加熱する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の封止方法。
- 前記成形基板と封止基板のアライメント調整を行う工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の封止方法。
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