JP6556221B2 - 処理液の脱気判定方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態にかかる処理液の脱気判定方法について、図面を参照しながら説明する。本実施形態は、めっき工程の前処理用の液体に対して脱気を行う例であり、表面に所要の凹凸を有する微細パターンを備えた疑似作業対象物を浸漬して、短時間で確実な判定を行う方法である。なお、本発明は、表面に溝や穴からなる微細パターンを有する作業対象物を処理するための処理液としては、めっきの前処理液に限定されず、他の脱気を要する種々の処理液に対して適用可能であり、例えば、半導体製造プロセスやその他の電子部品プロセスに使用される現像液、リンス液、フォトレジスト液、洗浄液、エッチング液、レジスト除去液、電解液、各種薬液などに対しても適用することができるのは勿論とされる。
本実施形態は、めっき処理用の液体に対して脱気を行う例であり、表面に所要の凹凸を有する微細パターンを備えた疑似作業対象物80をめっき槽60に浸漬して、短時間で確実な判定を行う方法である。本実施形態では、めっき槽60自体が脱気処理槽として機能する。
本実施形態は、めっきの前処理用の液体である前処理液Q1に対して脱気を行う例であって、脱気処理槽61に直接接続された、測定部として機能する測定槽94で、表面に所要の凹凸を有する微細パターンを備えた疑似作業対象物90が前処理液Q1に浸漬されて、短時間で確実な判定を行う方法である。なお、図6に示す、第3の実施形態の処理液の脱気判定方法にかかる前処理用の装置の各部材で、先に説明した第2の実施形態にかかるめっき装置と同様の部材については、同じ参照符号を付与して、重複する説明は省略する。
12 捕集槽
14、44、64 送液ポンプ
16、46、66 温度調節器
18、48、68 濾過フィルター
26、70 脱気膜モジュール
30、54、74 流量計
20、80、90 疑似作業対象物
21、81、91 表面部
22、82、92 保持部材
60 めっき槽
58、78 陽極電極
94 測定槽
W 作業対象物
Q1 前処理液
Q2 めっき液
Claims (11)
- 表面に溝や穴からなる微細パターンを有する作業対象物を処理するための処理液に含まれる気体の脱気を行う脱気処理槽内に、当該脱気処理槽内の前記処理液の脱気度を判定するための、表面に所要の凹凸を有する微細パターンを備えた疑似作業対象物を浸漬し、該疑似作業対象物の表面状態の時間変化に応じて、前記処理液の脱気度を判定するものであって、前記疑似作業対象物は多孔質材料からなる表面部を有することを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記処理液はめっきの前処理用若しくはめっき処理用の液体であることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記疑似作業対象物は、発泡樹脂材料から構成される前記表面部を有することを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記疑似作業対象物は、前記表面部を保持する保持部材を有し、脱気処理槽内に前記疑似作業対象物を浸漬する際には、前記保持部材に保持された前記表面部を前記保持部材と共に浸漬することを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項3記載の処理液の脱気判定方法であって、前記表面部を構成する発泡樹脂材料は、形成される微細な空隙の直径が0.01mmから2.0mmの範囲にあることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記疑似作業対象物の表面状態の時間変化は、浸漬開始時からその開始時に前記疑似作業対象物の表面に形成された気泡が当該表面から消失するまでの時間を測定するものであることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記疑似作業対象物の表面状態の時間変化は、前記疑似作業対象物の表面における気泡の変化を光学モニターにより測定若しくは目視により観察することを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記処理液に含まれる前記気体は空気であることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項1記載の処理液の脱気判定方法であって、前記脱気処理槽の側壁の一部に窓が形成され、前記疑似作業対象物の表面状態の時間変化は前記窓を介して判定されることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 表面に溝や穴からなる微細パターンを有する作業対象物を処理するための処理液に含まれる気体の脱気を行う脱気処理槽を有し、その脱気処理槽を循環した処理液がさらに循環する測定部を設け、表面に所要の凹凸を有する微細パターンを備えた疑似作業対象物を前記測定部内を循環する前記処理液に浸漬し、該疑似作業対象物の表面状態の時間変化に応じて、前記処理液の脱気度を判定するものであって、前記疑似作業対象物は多孔質材料からなる表面部を有することを特徴とする処理液の脱気判定方法。
- 請求項10記載の処理液の脱気判定方法であって、前記処理液はめっきの前処理用若しくはめっき処理用の液体であることを特徴とする処理液の脱気判定方法。
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