JP6547614B2 - シリコン結晶の金属不純物分析方法及び評価方法 - Google Patents
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Description
チョクラルスキー法によってシリコン結晶をルツボに収容されているシリコン溶融液から引上げた後に、前記ルツボ内のシリコン溶融液の残湯から融液状態の試料を採取する工程と、
前記採取した試料が固化した後に、該固化後の試料の金属不純物をDLTS法により分析する工程とを有することを特徴とするシリコン結晶の金属不純物分析方法を提供する。
CS(x)=CL0・k・(1−x)(k−1) (1)
CZ法でシリコン結晶を育成し、結晶育成後の残湯から融液状態の試料を採取した。ここで、育成したCZ結晶のドーパントはボロン(B)であり、残湯を採取した時の固化率は、投入したポリシリコンの重量と育成したCZ結晶の重量の比から算出した結果、97%であった。採取した残湯を固化した試料の抵抗率は、100Ωcmであり、採取した残湯量は20gであった。
Claims (3)
- シリコン結晶の金属不純物を分析する方法であって、
チョクラルスキー法によってシリコン結晶をルツボに収容されているシリコン溶融液から引上げた後に、前記ルツボ内のシリコン溶融液の残湯から融液状態の試料を採取する工程と、
前記採取した試料が固化した後に、該固化後の表面が鏡面の試料の金属不純物をDLTS法により分析する工程とを有することを特徴とするシリコン結晶の金属不純物分析方法。 - 前記DLTS法により分析する金属不純物は、Fe、Ti、Cr、及びMoのうちのいずれか1つ以上であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン結晶の金属不純物分析方法。
- 前記請求項1又は請求項2に記載のシリコン結晶の金属不純物分析方法を実施することで得られた残湯の不純物の分析値から、前記チョクラルスキー法によって育成されたシリコン結晶の金属不純物濃度を評価することを特徴とするシリコン結晶の評価方法。
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