JP6545602B2 - コントローラシステム及びセンサシステム - Google Patents

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Description

本発明は、センサユニットと接続されるコントローラシステム及びセンサシステムに関するものである。
従来、センサユニットの一例として変位センサユニットを複数用いて検出対象物の高さや厚み、平坦度などを測定するセンサシステムが知られている(例えば特許文献1参照)。
特許文献1のセンサシステムでは、検出を行う変位センサユニット(特許文献1では検出部)と、変位センサユニットとは別体のコントローラ(特許文献1では信号処理部)とをそれぞれ複数有する。各変位センサユニットは、検出対象物に対して投光して得られる反射光を受光して検出対象物との距離に応じた検出信号を各変位センサユニットに接続されるコントローラに対して出力する。特許文献1の各コントローラは、接続される変位センサユニットから出力される検出信号から検出対象物との距離を算出するようになっている。また、各コントローラは、各コントローラ間で信号の授受が可能なように各コントローラ同士が電気的に接続され、他のコントローラに対して検出対象物との距離の算出データを出力することが可能となっている。すなわち、子機コントローラで算出した距離のデータを親機コントローラに出力し、親機コントローラにおいて親機コントローラ自身が算出した距離のデータと子機コントローラで算出した距離のデータとから論理演算が可能となっている。
特開2002−286413号公報
ところで、上記のようなセンサシステムでは、複数台の変位センサユニットと、各変位センサユニットと接続される複数台のコントローラとを有し、各コントローラを接続して親機コントローラにおいて論理演算が可能となっている。このようなセンサシステムにおいては使用者が様々な方法を用いて利用する方法が考えられ、更なる利便性の向上が望まれている。また、センサユニットとしては光電センサ、近接センサや圧力センサなどもあり、このようなセンサユニットを用いた場合においても利便性の向上が望まれている。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、利便性を向上させることができるコントローラシステム及びセンサシステムを提供することにある。
上記課題を解決するコントローラシステムは、センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算部で演算した演算結果と前記判定部で判定した判定結果とを用いて総合判定を行う総合判定部と、前記演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果を出力可能な結果出力部と、前記結果出力部から出力する結果を選択可能な選択部とを有する。
この構成によれば、演算結果と比較結果情報とから総合判定を行う総合判定部と、演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果とを出力可能な結果出力部と、結果出力部から出力する結果を選択可能な選択部とを有するため、使用者の要望に合わせて各種結果を得ることができ、利便性を向上させることができる。
上記課題を解決するコントローラシステムは、センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記演算部で演算した演算結果と任意の前記子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報とを用いて総合判定を行う総合判定部と、少なくとも前記総合判定結果を出力可能な結果出力部とを有する。
この構成によれば、演算結果と比較結果情報とから総合判定を行う総合判定部と、その結果を出力可能な結果出力部を有するため、単純な演算結果でなく、複数の条件から総合的な判定を行い、それを出力することができるため、利便性を向上させることができる。
上記課題を解決するコントローラシステムは、センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算部で演算した演算結果と前記判定部で判定した判定結果とを用いて総合判定を行う総合判定部と、前記演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果のうちの少なくとも前記総合判定結果を出力可能な結果出力部とを有する。
この構成によれば、演算結果と比較結果情報とから総合判定を行う総合判定部と、演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果の内の少なくとも総合判定結果を出力可能な結果出力部を有するため、単純な演算結果でなく、複数の条件から総合的な判定を行いその結果を出力することができるため、利便性を向上させることができる。
上記課題を解決するコントローラシステムは、センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算結果と前記判定結果とを出力可能な結果出力部とを有する。
この構成によれば、演算結果と判定結果とを結果出力部から出力可能であるため、単純な演算結果のみでなく判定結果も出力でき、利便性を向上させることができる。
上記コントローラシステムにおいて、前記結果出力部は、使用者に対して表示によって報知する表示部であることが好ましい。
この構成によれば、使用者に対して表示部による表示によって演算結果と判定結果と総合判定結果を報知することができる。
また、上記課題を解決するセンサシステムは、上記いずれかに記載のコントローラシステムと、前記コントローラシステムの親機コントローラ及び子機コントローラのそれぞれに接続されるセンサユニットと、を有する。
この構成によれば、上記いずれかに記載の効果と同様の効果を奏することができる。
また、上記課題を解決するセンサシステムにおいて、センサユニットは、測定対象物の変位を測定することが好ましい。
この構成によれば、センサユニットを測定対象物の変位を測定するものとした所謂変位センサシステムにおいて上記いずれかに記載の効果と同様の効果を奏することができる。
本発明のコントローラシステム及びセンサシステムによれば、利便性を向上させることができる。
一実施形態における変位センサシステムの斜視図である。 同上における変位センサシステムの概略構成を説明するためのブロック図である。
以下、センサシステムを変位センサシステムに適用した一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図1に示すように、本実施形態の変位センサシステム10は、複数のセンサユニット11と、複数のセンサユニット11のそれぞれに接続されるコントローラ12とを有する。本実施形態の変位センサシステム10は、センサユニット11の先端に測定子13aを有するスピンドル13がセンサユニット11の長手方向において移動可能に支持されており、測定子13aを測定対象物に接触させることでスピンドル13が移動し、それに基づいて測定対象物の厚みや表面の凹凸等の測定を行うものである。即ち、本実施形態の変位センサシステム10は所謂接触式の変位センサシステムである。
図1及び図2に示すように、各センサユニット11は、接続ケーブル14を介して各コントローラ12に接続されている。各センサユニット11は、複数の投光素子15と、各投光素子15と対向する位置に設けられる複数の受光素子16とを有する。各センサユニット11では、前記スピンドル13がセンサユニット11の長手方向に移動して投光素子15の光がスピンドル13によって遮られることで対向する受光素子16により光が遮られたことを検出し、スピンドル13の移動量(変位量)が電気信号に変換されて接続されるコントローラ12に出力される。
本実施形態のコントローラ12は、1つが親機コントローラ17として動作し、他の物は子機コントローラ18として動作するコントローラシステムとなっている。
図2に示すように親機コントローラ17及び子機コントローラ18は、それぞれ制御回路19と、表示部20と、操作部21と、メモリ22とを有する。ちなみに、図2においては親機コントローラ17と1つの子機コントローラ18のみに制御回路19、表示部20等の構成部材を記載しており、残りの子機コントローラ18では図示を割愛している。
親機コントローラ17及び子機コントローラ18の制御回路19は、センサユニット11から出力される信号を適宜処理する信号処理部と、各種信号の授受が可能な送受信部とを含む。
表示部20は、各種の表示を行うものである。その一例として、センサユニット11で測定されるスピンドル測定値(生データ値)や、スピンドル測定値を加工した加工値などが表示可能である。なお、以下ではスピンドル測定値又は加工値を総称して計測値と呼ぶ場合がある。
操作部21は、各コントローラ17,18の判定に用いる閾値を設定する閾値設定部21aを含む。閾値設定部21aは、例えばセンサユニット11で測定されるスピンドル測定値(生データ値)又はスピンドル測定値を加工した加工値のいずれかの計測値と比較するための閾値を使用者が使用する際に用いるものである。
また、親機コントローラ17の操作部21は、第1表示切替部21bと第2表示切替部21cとを含む。
第1表示切替部21bは、例えば使用者が操作可能なスイッチであって、押し操作される度に表示部20における表示内容を切り替えるようになっている。表示内容の一例としては「演算結果」、「論理演算判定結果」、「総合判定結果」が挙げられる。
第2表示切替部21cは、使用者が操作可能なスイッチであって、「演算結果」選択時での表示部20における表示内容を切り替えるようになっている。表示内容の一例としては、「最大値」、「最小値」、「平坦度」、「平均値」、「基準差」、「ねじれ」、「反り」、「厚み」、「厚み」が挙げられる。
メモリ22は、閾値設定部21aによって設定された閾値情報、親機コントローラ17や子機コントローラ18の各種プログラムなどが記憶されている。
次に、変位センサシステム10の演算結果出力機能について説明する。
親機コントローラ17の第1表示切替部21bにおいて「演算結果」が選択されている場合、第2表示切替部21cにおいて演算結果表示機能における表示内容が切り替え可能とされる。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「最大値」が選択された場合には、親機コントローラ17の制御回路19は、対象となるコントローラ17,18の内で最も計測値が大きな値を演算結果A1として親機コントローラ17の表示部20に表示するようになっている。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「最小値」が選択された場合には、親機コントローラ17の制御回路19は、対象となるコントローラ17,18の内で最も計測値が小さな値を演算結果A1として親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「平坦度」が選択された場合には、親機コントローラ17の制御回路19は、コントローラ17,18を複数用いて検出対象物の平坦度を表示部20に表示する。より具体的には、対象となるコントローラ17,18の内で計測値が最大及び最小のものを選択し、その差(最大値−最小値)をとった演算結果A1を親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「平均値」が選択された場合には、親機コントローラ17の制御回路19は、対象となるコントローラ17,18の計測値の合計値を対象となるコントローラ17,18の台数で除算した演算結果A1を親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「基準差」が選択された場合には、親機コントローラ17の制御回路19は、対象となる子機コントローラ18の計測値(スピンドル測定値又は加工値)と親機コントローラ17の計測値(スピンドル測定値又は加工値)との差を演算結果A1として親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「ねじれ」が選択された場合には、例えば対象となる4つのコントローラ17,18の計測値(スピンドル測定値又は加工値)を基にねじれの度合いを算出し、その演算結果A1を親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「反り」が選択された場合には、例えば対象となる3つのコントローラ17.18の計測値(スピンドル測定値又は加工値)を基に反りの度合いを算出し、その演算結果A1を親機コントローラ17の表示部20に表示する。
例えば、第2表示切替部21cにおいて「厚み」が選択された場合には、例えば対象となる2つのコントローラ17,18の計測値(スピンドル測定値又は加工値)を基に、測定対象物の厚みを算出し、その演算結果A1を親機コントローラ17の表示部20に表示する。
次に、変位センサシステム10の論理演算判定結果出力機能について説明する。
例えば第1表示切替部21bにおいて「論理演算判定結果」が選択された場合には、各コントローラ17,18毎に設定された閾値と計測値との比較結果情報を判定した判定結果を親機コントローラ17の表示部20に表示するようになっている。
より具体的には、各子機コントローラ18の制御回路19は、閾値設定部21aにて設定された閾値と計測値(スピンドル測定値又は加工値)とを比較する。制御回路19は、閾値と測定値とを比較し、測定値が閾値以上であれば比較結果情報としてハイ信号を、測定値が閾値未満であれば比較結果情報としてロー信号を親機コントローラ17の制御回路19に対して出力する。なお、閾値として下限値と上限値とを設定した所定範囲内であればハイ信号を、前記所定範囲外であればロー信号を外部に出力する構成を採用してもよい。また、これらを使用者の任意で切替可能に構成してもよい。
親機コントローラ17の制御回路19は、閾値設定部21aにて設定された閾値と計測値(スピンドル測定値又は加工値)とを比較する。制御回路19は、閾値と測定値とを比較し、測定値が閾値以上か否かを判定する。
親機コントローラ17の制御回路19は、各子機コントローラ18の制御回路19から出力される信号(比較結果情報)と、親機コントローラ17の制御回路19で判定された判定結果と論理演算を行って論理演算結果A2を親機コントローラ17の表示部20に表示する。論理演算は論理積又は論理和のいずれであってもよく、使用者が任意に設定可能としてもよい。
次に、変位センサシステム10の総合判定結果出力機能について説明する。
例えば第1表示切替部21bにおいて「総合判定結果」が選択された場合には、「演算結果」で算出された演算結果A1と「論理演算判定結果」における論理演算結果A2とに基づいて総合判定を行うようになっている。ここで、親機コントローラ17の制御回路19は、「演算結果」で算出された演算結果A1と親機コントローラ17の閾値設定部21aで設定された演算結果用閾値と比較を行って比較結果A3を算出するようになっている。そして、制御回路19は、比較結果A3と論理演算結果A2とを論理演算し、その総合的な論理演算結果A4を親機コントローラ17の表示部20に表示する。論理演算は論理積又は論理和のいずれであってもよく、使用者が任意に設定可能としてもよい。
次に、上記のように構成された変位センサシステムの作用について説明する。
本実施形態の変位センサシステム10では、各センサユニット11の測定子13aを検出対象物に対して当接させることで各センサユニット11の測定子13a及びスピンドル13が移動(変位)し、その移動量に基づく電気信号が各コントローラ12(17,18)に出力される。
親機コントローラ17及び子機コントローラ18では、センサユニット11から出力される電気信号に基づいて種々の処理を行う。
次に、本実施形態の効果を記載する。
(1)選択部としての親機コントローラ17の操作部21によって演算結果A1と、論理演算結果A2と、論理演算結果A4とから使用者が表示(出力)したい結果を選択できるため、使用者の要望に合わせて各種結果を得ることができ、利便性を向上させることができる。
(2)使用者に対して表示部20による表示によって演算結果A1と判定結果としての論理演算結果A2と総合判定結果としての論理演算結果A4を報知することができる。
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、操作部21によって演算結果A1と、論理演算結果A2と、論理演算結果A4とから使用者が表示(出力)したい結果を選択できる構成としたが、これに限らない。少なくとも論理演算結果A4を出力(表示部20に表示)する構成であればよい。このような構成であっても単純な演算結果でなく、複数の条件から総合的な判定を行いそれを出力することができるため、利便性を向上させることができる。
・上記実施形態では、親機コントローラ17の制御回路19によって各子機コントローラ18から出力される閾値との比較に基づくロー又はハイ信号(比較情報)を基に判定する構成としたが、これを省略した構成を採用してもよい。即ち、上記実施形態における論理演算判定結果出力機能を省略した構成を採用してもよい。この場合における総合判定結果出力機能としては、前記演算部で演算した演算結果と任意の子機コントローラ18の制御回路19から出力される比較結果情報とから総合判定を行う。なお、「任意の子機コントローラ18」とは、例えば使用者が子機コントローラ18又は親機コントローラ17などを用いて使用する子機コントローラ18を選択することを指す。このような構成であっても単純な演算結果Aでなく、複数の条件から総合的な判定を行いその判定結果を出力することができるため、利便性を向上させることができる。
・上記実施形態では、表示部20において総合判定結果としての論理演算結果A4を表示する構成としたが、例えば論理演算結果A4の表示は省略し、演算結果A1と論理演算結果A2とを表示部20に同時に表示する構成を採用してもよい。このような構成であっても演算結果と判定結果としての論理演算結果A2とを表示部20から表示(出力)可能であるため、単純な演算結果A1のみでなく論理演算結果A2も出力でき、利便性を向上させることができる。
・上記実施形態では、複数のコントローラ12の1つを親機コントローラ17とし、残りのコントローラ12を子機コントローラ18としたが、例えば、各コントローラ12(17,18)について子機コントローラ18を包含する親機コントローラ17の機能を有し、使用者によって設定することで親機と子機の関係を切り替える構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、親機コントローラ17の表示部20に各種の結果を表示する構成としたが、子機コントローラ18や外部接続された他の機器に表示(出力)する構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、親機コントローラ17の表示部20に各種の結果を出力(表示)することとしたが、これに限らない。例えば音(音声)等によって各種の結果を出力する構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、各コントローラ17,18と、センサユニット11とを接続ケーブル14にて有線接続する構成としたが、これに限らず、コントローラ17,18とセンサユニット11とを無線接続する構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、各コントローラ12(17,18)と、センサユニット11とを別体としたが一体構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、変位センサシステム10のセンサユニット11として接触式を採用したが、レーザ式、渦電流式、超音波式などの非接触式のセンサユニットを採用してもよい。
・上記実施形態では、センサユニット11にて測定対象物の変位を測定する構成としたが、これに限らない。センサユニット11として光電センサを用いて測定対象物の有無などを測定する構成を採用してもよい。この場合、光電センサにおける測定値は受光量である。
また、センサユニット11として近接センサを用いて測定対象物の有無などを測定する構成を採用してもよい。近接センサとしては、電磁誘導を利用した高周波発振型、磁石を用いた磁気型、検出物体とセンサとの間の静電容量の変化を検出する静電容量型の3種類が挙げられる。
また、センサユニット11として圧力センサを用いて液圧や気圧(空圧)などを検出する構成を採用してもよい。この場合、圧力センサにおける測定値は、圧力値である。
・上記実施形態並びに各変形例は適宜組み合わせてもよい。
10…変位センサシステム(センサシステム)、11…センサユニット、12…コントローラ、17…コントローラシステムを構成する親機コントローラ、18…コントローラシステムを構成する子機コントローラ、19…制御回路(演算部、判定部、総合判定部、情報出力部)、20…表示部(結果出力部)、21…操作部(選択部)、21b…選択部を構成する第1表示切替部、21c…選択部を構成する第2表示切替部。

Claims (7)

  1. センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、
    前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、
    前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算部で演算した演算結果と前記判定部で判定した判定結果とを用いて総合判定を行う総合判定部と、前記演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果を出力可能な結果出力部と、前記結果出力部から出力する結果を選択可能な選択部とを有することを特徴とするコントローラシステム。
  2. センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、
    前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、
    前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記演算部で演算した演算結果と任意の前記子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報とを用いて総合判定を行う総合判定部と、少なくとも前記総合判定結果を出力可能な結果出力部とを有することを特徴とするコントローラシステム。
  3. センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、
    前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、
    前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算部で演算した演算結果と前記判定部で判定した判定結果とを用いて総合判定を行う総合判定部と、前記演算結果と前記判定結果と前記総合判定結果のうちの少なくとも前記総合判定結果を出力可能な結果出力部とを有することを特徴とするコントローラシステム。
  4. センサユニット及び子機コントローラを接続可能な親機コントローラと、該親機コントローラに接続されるセンサユニットとは別のセンサユニットをそれぞれ接続可能な複数の子機コントローラとを有し、前記親機コントローラと前記各子機コントローラとの間で通信可能に接続されるコントローラシステムであって、
    前記各子機コントローラは、前記センサユニットで測定された測定値を予め設定された閾値と比較した比較結果情報と、前記センサユニットで測定された測定値の情報とを前記親機コントローラに出力可能な情報出力部を有し、
    前記親機コントローラは、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される測定値の情報を基に所定の演算を行う演算部と、前記各子機コントローラの前記情報出力部から出力される比較結果情報を基に所定の判定を行う判定部と、前記演算結果と前記判定結果とを出力可能な結果出力部とを有することを特徴とするコントローラシステム。
  5. 前記結果出力部は、使用者に対して表示によって報知する表示部であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のコントローラシステム。
  6. 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のコントローラシステムと、
    前記コントローラシステムの親機コントローラ及び子機コントローラのそれぞれに接続されるセンサユニットと、
    を有することを特徴とするセンサシステム。
  7. 前記センサユニットは、測定対象物の変位を測定することを特徴とする請求項6に記載のセンサシステム。
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