JP6541499B2 - マイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 165
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 58
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 14
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 12
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 38
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 38
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- SDIXRDNYIMOKSG-UHFFFAOYSA-L disodium methyl arsenate Chemical compound [Na+].[Na+].C[As]([O-])([O-])=O SDIXRDNYIMOKSG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
図1(a)〜(h)は、第1の実施形態における液体吐出ヘッド用の積層ウェハの製造工程図である。通常、円形状平面のウェハには複数のマイクロデバイスがレイアウトされるが、ここでは、1つのマイクロデバイスに相当する領域に着目し、その断面図を示している。
本実施形態においても第1の実施形態と同様、2つの基板を積層させた構成の液体吐出ヘッドを製造する例を用いて説明を行う。
101 第1の基板
102 仮接着層
Claims (11)
- 第1の基板と第2の基板が積層されて構成されるマイクロデバイスの製造方法であって、
2つの前記第1の基板を、仮接着層を介して、互いの面を接着する仮接着工程と、
一対の前記第1の基板の仮接着面とは反対の面に対して、閉塞穴、溝、凹部、あるいは前記仮接着層に至るホールの加工、もしくは前記第1の基板の厚みを薄くする加工の少なくともいずれかを行う加工工程と、
加工が施された前記第1の基板の面に、前記第2の基板を接合し、前記第1の基板と前記第2の基板とを積層する積層工程と、
前記仮接着層を剥離する剥離工程と
を有することを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。 - 前記加工工程は、ウェットエッチング、ドライエッチング、機械的な加工、の少なくともいずれかを含んでいる請求項1に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 前記積層工程において、前記第1の基板の厚みは100μm以上かつ600μm以下である請求項1または2に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 前記マイクロデバイスは、液体吐出ヘッド用の積層基板であり、
前記第1の基板には液体を供給するための供給口が形成され、
前記第2の基板には、液体を吐出する吐出口と、前記供給口から供給された液体を前記吐出口まで導く流路と、前記吐出口から液体を吐出させるエネルギを発生させるためのエネルギ発生素子とが備えられている請求項1ないし3のいずれか1項に記載のマイクロデバイスの製造方法。 - 前記マイクロデバイスは、液体吐出ヘッド用の積層基板であり、
前記第1の基板には、液体を吐出させるエネルギを発生させるためのエネルギ発生素子と、当該エネルギ発生素子まで液体を導く流路とが備えられ、
前記第2の基板には前記流路に液体を供給するための供給口が備えられている請求項1ないし3のいずれか1項に記載のマイクロデバイスの製造方法。 - 前記エネルギ発生素子は、前記第1の基板の前記仮接着層に接触する面に予め形成されている請求項5に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 前記仮接着工程によって仮接着される前記2つの第1の基板は、厚みまたは構造が異なっている請求項1ないし6のいずれか1項に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 前記積層工程によって積層される前記2つの第2の基板は、厚みまたは構造が異なっている請求項1ないし6のいずれか1項に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 第1の基板と第2の基板が積層されて構成されるマイクロデバイスの製造方法であって、
2つの前記第1の基板を、仮接着層を介して、互いの面を接着する仮接着工程と、
前記第1の基板における前記面とは反対の面に、第1の構造を形成する加工工程と、
前記加工工程によって前記第1の構造が形成された前記第1の基板の面に、前記第1の構造とは異なる第2の構造が形成されている前記第2の基板を接合し、前記第1の基板と前記第2の基板とを積層する積層工程と、
前記仮接着層を剥離する剥離工程と
を有することを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。 - 前記第1の構造は、前記第1の基板に対する貫通穴、閉塞穴、溝、凹部の少なくともいずれかを含んでいる請求項9に記載のマイクロデバイスの製造方法。
- 前記第2の基板は、複数の基板が積層して形成されている請求項9または10に記載のマイクロデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015153289A JP6541499B2 (ja) | 2015-08-03 | 2015-08-03 | マイクロデバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015153289A JP6541499B2 (ja) | 2015-08-03 | 2015-08-03 | マイクロデバイスの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017030266A JP2017030266A (ja) | 2017-02-09 |
JP2017030266A5 JP2017030266A5 (ja) | 2018-07-12 |
JP6541499B2 true JP6541499B2 (ja) | 2019-07-10 |
Family
ID=57987012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015153289A Expired - Fee Related JP6541499B2 (ja) | 2015-08-03 | 2015-08-03 | マイクロデバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6541499B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2097263B1 (en) * | 2006-12-22 | 2012-02-08 | Telecom Italia S.p.A. | Ink-jet printhead manufacturing process |
JP5775809B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2015-09-09 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-08-03 JP JP2015153289A patent/JP6541499B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017030266A (ja) | 2017-02-09 |
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