JP6521616B2 - ばね加圧式接合装置 - Google Patents
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Description
22 エアシリンダ(昇降/加圧用エアアクチュエータ)
24 ピストン軸
22A 中心軸線
28 エアレギュレータ
28A ダイヤル
36 コイルばね(反発力設定用ばね)
38 上のばねケース半体
40 下のばねケース半体
44,46 ばね座
48 ナットブロック
54 送りねじ
58 反発力調整機構
60 水平調整軸(六角穴付きボルト)
64 六角穴付きボルトヘッド
70 位置検出器
80 超音波接合ヘッド
82 支持腕
84 超音波振動子
86 ホーン
88 支持棒
98 接合チップ
Claims (4)
- 基台部に対して昇降自在に保持した接合ヘッドを、反発力設定用ばねを介して下向きに加圧するばね加圧式接合装置において、
前記基台部に設けた垂直なスライドレールにそれぞれ独立に上下スライド可能に保持され最大離隔間隔が設定された上下一対のばねケース半体と、
これらのばねケース半体の間に縮装された反発力設定用ばねと、
この反発力設定用ばねの圧縮量を設定する反発力調整機構と、
前記基台部に固定され上の前記ばねケース半体を昇降しかつ下向きに加圧する昇降/
加圧用エアアクチュエータと、
前記昇降/加圧用エアアクチュエータによる加圧力を設定するエアレギュレータと、
このエアレギュレータの空気圧を増加させることにより前記反発力設定用ばねの圧縮を開始し、前記上下のばねケース半体の間隔を減少させるダイヤルと、
前記上下のばねケース半体の間隔減少が一定量になると前記接合ヘッドによる接合を開始させる位置検出器と、
を備え、前記昇降/加圧用エアアクチュエータの加圧力と前記反発力設定用ばねの反発力とを直列に協働させた状態で前記接合ヘッドに加えつつ接合することを特徴とするばね加圧式接合装置。 - 前記昇降/加圧用エアアクチュエータは垂直に進退動する出力軸を持ち、前記反発力設定用ばねはコイルばねであり、前記出力軸は前記反発力設定用ばねと共通な中心軸線上に配設されている請求項1のばね加圧式接合装置。
- 前記接合ヘッドは、超音波接合用のホーンを介して被接合物を加圧し接合する超音波接合ヘッドである請求項1のばね加圧式接合装置。
- 前記接合ヘッドは、下のばねケース半体の下端に一端が固定された支持腕と、この支持腕の他端に固定された超音波振動子と、この超音波振動子から前記ばねケース半体の下方に延出する超音波振動ホーンと、前記支持腕の下面に固定され前記超音波振動ホーンをその振動節付近で支持する支持棒と、を備える請求項3のばね加圧式接合装置。
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