JP2001105160A - 超音波溶着装置 - Google Patents

超音波溶着装置

Info

Publication number
JP2001105160A
JP2001105160A JP27965399A JP27965399A JP2001105160A JP 2001105160 A JP2001105160 A JP 2001105160A JP 27965399 A JP27965399 A JP 27965399A JP 27965399 A JP27965399 A JP 27965399A JP 2001105160 A JP2001105160 A JP 2001105160A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
ultrasonic
air cylinder
stopper
mounting table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP27965399A
Other languages
English (en)
Inventor
Motoki Hirano
元基 平野
Yutaka Takayanagi
裕 高柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzuki Motor Corp
Original Assignee
Suzuki Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzuki Motor Corp filed Critical Suzuki Motor Corp
Priority to JP27965399A priority Critical patent/JP2001105160A/ja
Publication of JP2001105160A publication Critical patent/JP2001105160A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小さい加圧を正確に行うことが可能な超音波
加圧装置を提供する。 【解決手段】 被圧着物Sに接して超音波を付与する加
工面29を備える超音波発振手段5と、前述した被圧着
物Sを載置する載置台103と、前述した超音波発振手
段5の加工面29を前述した載置台103に対して加圧
する超音波溶着用加圧機構6とを備え、前述した超音波
溶着用加圧機構6が、前述した超音波発振手段5を前述
した載置台103に対して近接遠退させるエアシリンダ
7と、前述した超音波発振手段5に往復運動を伝える前
述したエアシリンダ7の第1のロッド73aと前述した
超音波発振手段5との間に設けられて加圧時に前述した
超音波発振手段5に弾性荷重を付加する荷重印加手段8
と、前述したエアシリンダ7の第1のロッド73aのス
トロークを所定長さに調節するストローク調節手段9
と、前述したエアシリンダ7を保持する保持手段102
とを備えたことを特徴とする超音波溶着装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波溶着装置に
関し、特に、エアシリンダを用いた超音波溶着装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、小型で小出力の超音波溶着装置と
してコストが安いことやその使用が容易であることから
被圧着物に対して超音波を付与する超音波発振手段をエ
アシリンダの先端部に設けたエアー式の超音波溶着装置
が使用されている。このエアー式の超音波溶着用装置で
は、超音波発振手段の加圧面をエアシリンダにより被圧
着物の圧着部に対して加圧するのと併せて超音波発振手
段で超音波を付与することにより被圧着物が溶着され
る。ここで、超音波溶着装置を使用する場合に微少な加
圧力の変化により溶着結果に大きな変化を与える。この
ため、超音波発振手段の加圧面の圧力は略4.9×10
[N/m](工学系単位で0.5[Kgf])単位
で調節される。そして、この加圧面の加圧力の略4.9
×10[N/m]単位での調節はエアシリンダへの
供給圧力を変化させることにより行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エアー
式の超音波溶着装置は、超音波発振手段の加圧面の加圧
力を略98×10[N/m](工学系単位で10
[Kgf])以下にして使用する場合があり、この場合
に加圧面の加圧力を略4.9×10[N/m]単位
で調節するため、エアシリンダへのエアーの供給圧力を
微妙に調整することはとても困難であるという不都合を
生じている。さらに、超音波発振手段の加圧面の加圧力
を略98×10[N/m]以下にして使用する場合
にエアシリンダへのエアーの供給圧力を下げる必要があ
り、エアシリンダのロッドの昇降スピードを延滞させる
原因となり、生産性が低下するという不都合を生じてい
る。さらに、エアー式の超音波溶着装置の場合、周囲温
度の変化により、安定した加圧力が得られず、特に、略
98×10[N/m]以下の低圧で使用した場合に
その影響が著しく大きいという不都合を生じている。
【0004】
【発明の目的】本発明は、上記従来の課題を解決するた
めになされたものであり、小さい加圧を正確に行うこと
が可能な超音波溶着装置を提供することを、その目的と
する。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、請求項1記載の発明は、被圧着物に接して超音
波を付与する加工面を備える超音波発振手段と、前述し
た被圧着物を載置する載置台と、前述した超音波発振手
段の加工面を前記載置台に対して加圧する超音波溶着用
加圧機構とを備えている。さらに、前述した超音波溶着
用加圧機構が、前述した超音波発振手段を前述した載置
台に対して近接遠退させるエアシリンダと、前述した超
音波発振手段に往復運動を伝える前述したエアシリンダ
の第1のロッドと前述した超音波発振手段との間に設け
られて加圧時に前述した超音波発振手段に弾性荷重を付
加する荷重印加手段と、前述したエアシリンダの第1の
ロッドのストロークを所定長さに調節するストローク調
節手段と、前述したエアシリンダを前述した載置台に保
持する保持手段とを備えている。さらに、前述した荷重
印加手段が、前述した超音波発振手段を支持する支持体
と、この支持体を前述したエアシリンダのストローク方
向に往復自在に保持する保持体と、この保持体と前述し
た支持体との間で前記支持体の移動方向に沿って伸縮を
自在として装備される圧縮バネとを備えたという構成を
採っている。
【0006】このように構成したことで、エアシリンダ
にエアーを供給することにより、被圧着物に対して超音
波発振手段が近接を開始し、超音波発振手段の加工面が
被圧着物に当接する迄前進する。ここで、エアーは十分
に高い圧力とされている(例えば、98×10[N/
](工学系単位で10[Kgf])以上)。この当
接後、さらにエアシリンダにエアーを供給することによ
り支持体が保持体側に摺動し、圧縮バネを圧縮させる。
そして、ストローク調節手段によりストロークが制限さ
れた所でエアシリンダが停止する。この超音波発振手段
の加工面が被圧着物に当接した後に圧縮バネを圧縮した
分の圧縮バネの弾性荷重が超音波発振手段から被圧着物
に加圧力として作用する。このため、エアシリンダへの
エアー供給圧力が十分に高ければ、エアーの使用環境に
よらない安定した加圧力を得ることができる。さらに、
エアーは十分に高い圧力に設定可能であるため、エアシ
リンダの作動速度を低下させることがない。このため、
圧着物の生産性を高めることができる。
【0007】請求項2記載の発明は、前述した請求項1
記載の超音波溶着装置であって、前述したエアシリンダ
を、第1のロッドと同時に作動する第2のロッドを備え
た両ロッドシリンダで形成し、前述した第2のロッドに
前記ストローク調節手段を設け、前述したストローク調
節手段は、第2の外周面に形成された雄ネジ部と、この
雄ネジ部に螺合されるストッパーとを備えたという構成
を採っている。
【0008】このように構成しても、前述した請求項1
記載の超音波溶着装置と同等に機能する他、さらに、ス
トッパーを第2のロッドに対してシリンダ本体側に回す
ことにより、ストッパーがシリンダ本体側に近接し、エ
アシリンダのストローク長さが短縮する。そして、エア
シリンダのストローク長さを短縮することで、超音波発
振手段の加工面が被圧着物に当接してから圧縮バネを圧
縮させる長さも短縮する。このように圧縮バネを圧縮さ
せる長さを短縮することで、その弾性荷重も小さくな
る。また、ストッパーをシリンダ本体側から離れる方向
に回すことにより、ストッパーが第2のロッドから遠退
し、エアシリンダのストローク長さが伸張する。そし
て、エアシリンダのストローク長さが伸張することで、
超音波発振手段の端面が前記被圧着物の圧着部に当接し
てから圧縮バネを圧縮させる長さも伸張する。このよう
に圧縮バネを圧縮させる長さを伸張することで、その弾
性荷重も大きくなる。このように、ストッパーを第2の
ロッドに対して移動することにより、圧縮バネの付勢
力、即ち、被圧着物に対する超音波発振手段の加工面の
加圧力を容易に変更することができる。さらに、ストッ
パーを第2のロッドに対して小さく回すことにより細か
い加圧力の設定ができる。
【0009】請求項3記載の発明は、前述した請求項2
記載の超音波溶着装置であって、前述したストッパーの
外壁面に印を設けると共に、前述したエアシリンダの第
2のロッド側に前述したストッパーの移動方向に沿った
目盛りが付された目盛り板を設けたという構成を採って
いる。
【0010】このように構成しても、請求項2記載の超
音波溶着装置と同等に機能する他、さらに、必要とする
加圧力の所までストッパーを第2のロッドに対して回
し、目盛りにストッパーの印を合わせることにより、目
視しながら必要な加圧力に容易に設定することができ
る。
【0011】請求項4記載の発明は、前述した請求項2
記載の超音波溶着装置であって、前述したストッパーの
外壁面に第2のロッドの軸線を中心として当該外壁面を
一周した印を設けると共に、前述したエアシリンダの第
2のロッド側に前述したストッパーに面した窓を有する
ロッドカバーを設け、前述したロッドカバーに前述した
印に対応し前述した圧縮バネの付勢力を表示する目盛り
を設けたという構成を採っている。
【0012】このように構成しても、請求項2記載の超
音波溶着装置と同等に機能する他、さらに、ストッパー
とエアシリンダとの当接面に物が挟持されるのを防止で
きる。さらに、必要とする加圧力の所までストッパーを
第2のロッドに対して回し、目盛りにストッパーの印を
合わせることにより、目視しながら必要な加圧力に容易
に設定することができる。この際に、印がストッパーの
外壁面に第2のロッドの軸線と直交して設けられている
ため、確実に印の位置を目視できる。
【0013】請求項5記載の発明は、前述した請求項
1,2,3又は4記載の超音波溶着装置であって、前述
した保持手段が、前述したエアシリンダを前述した載置
台に対して近接遠退自在に距離調節するシリンダ移動機
能を備えたという構成を採っている。
【0014】このように構成しても、前述した請求項
1,2,3又は4記載の超音波溶着装置と同等に機能す
る他、さらに、被圧着物の厚さを変更したい場合にシリ
ンダ移動機能で容易にエアシリンダ、即ち、超音波発振
手段の加工面を被圧着物に対して移動することができ
る。
【0015】請求項6記載の発明は、前述した請求項
2,3又は4記載の超音波溶着装置であって、前述した
ストッパーが所定の停止位置に到達したことを検出し検
出信号を出力する当接検出手段と、前述した検出信号に
応じて前述した超音波発振手段の動作を制御する制御手
段とを備えたという構成を採っている。
【0016】このように構成しても、前述した請求項
2,3又は4記載の超音波溶着装置と同等に機能する
他、さらに、ストッパーが所定の停止位置に到達したこ
とを当接検出手が検出し、制御手段が超音波発振手段を
動作させる。この際に、被圧着物の厚さを変更した場合
にも、所定の停止位置は変化しないため、当接検出手の
位置合わせをする必要がないため、短時間で容易に被圧
着物の厚さの変更に対する超音波溶着装置の設定変更が
行える。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図1乃至図
7に基づいて説明する。
【0018】[超音波溶着装置]超音波溶着装置1は、
図1に示すように、被圧着物Sに接して超音波を付与す
る加工面105aを備える超音波発振手段5と、被圧着
物Sを載置する載置台103と、超音波発振手段5の加
工面105aを載置台103に対して加圧する超音波溶
着用加圧機構6とを備えて構成されている。さらに、超
音波溶着装置1は図4(B)に示すように、超音波発振
手段5及び超音波溶着用加圧機構6を制御する制御手段
14を備えている。
【0019】[超音波発振手段]まず、超音波発振手段
5は、図2に示すように、超音波振動を発振する超音波
振動子21とこの超音波振動子21から出力された超音
波振動を増幅してその先端部から出力するホーン部22
とを一体的に備える超音波発振体2と、この超音波発振
体2を支持する超音波発振体の支持体4とを備えて構成
されている。
【0020】この内、超音波振動子21は、ホーン部2
2の上端部に接して配設されているセラミックリング2
3と、その上方に順番に配設された電極板24,セラミ
ックリング25,電極板26及びテールマス27と、こ
れらをホーン部22と共に一体的に締め付け固定する図
示を省略した埋め込みボルトとから構成されている。こ
れら超音波振動子21を構成する各部材は、一様にほぼ
等しい外径に形成されており、一体的に固定されると外
径がほぼ一様な円柱形状となる。この超音波振動子21
の二つの電極板24,26には、各々の半径方向に沿っ
て突設した接続端子を有しており、これらにリード線L
1,L2を介して超音波発信器11(図4(B)参照)
に接続されている。この超音波発信器11から所定周波
数の電圧が出力されると、超音波振動子21から超音波
振動が発生する。そして、この超音波振動がホーン部2
2の上端部に伝達される。
【0021】ホーン部22は、図2における下端面に平
面状に形成された加工面29を備え、直径が比較的小さ
い円柱部30と直径が比較的大きい円柱部32とが略円
錐形状をなす中間体31を介して連結されている。さら
に、大きい円柱部32の上端部近傍には鍔状のフランジ
33が設けられ、これらが一体的に形成されている。な
お、大きい円柱部32の直径は前述した超音波振動子2
1の外径とほぼ等しい大きさに形成されている。
【0022】このホーン部22及び超音波振動子21は
前述したように一体的に形成されており、その長手方向
に沿って超音波振動が伝達する。また、ホーン部22
は、先細りになったその形状により超音波振動が加工面
に向かって伝達されるに従ってその振幅が増大する。
【0023】また、ホーン部22のフランジ33は、超
音波振動子21から発振された超音波振動の振動モード
における振動の節となる位置に位置設定されている。さ
らに、ホーン部22の加工面29は、ちょうど振幅の腹
となる位置に位置設定されている。なお、フランジ33
の配置は振幅の節となる位置であれば他の配置でも良
く、例えば、ホーン部22ではなく超音波振動子21側
に設けても良い。
【0024】また、かかるホーン部22はその中心軸方
向に対して垂直に加工面29が形成されており、溶着を
行う際には、超音波振動子21により中心軸方向に超音
波振動が伝達され、加工面29をその垂直方向に振動さ
せる。即ち、加工面全体が連続的な押圧を繰り返すこと
により、被圧着物S(図1参照)に超音波振動を伝達す
ることとなり、これにより、被圧着物Sは、溶解されて
溶着が行われるようになっている。
【0025】超音波発振体5の支持体4は枠体41と、
支持部材42とから構成されている。この内、枠体41
は、金属製の中空直方体で形成されている。その下面の
中央部には、上下方向に貫通する孔41aが設けられて
いる。この孔41aには、前述した超音波発振体21の
フランジ33を境えとするホーン部22側の端部が挿通
される。
【0026】支持部材42は、枠体41に挿入可能な大
きさの略正方状の金属平板であり、その平板面を上下方
向に貫通する孔42aが設けられている。この孔42a
は、前述したホーン部22のフランジ33を境えとする
超音波振動子21側の端部が挿通される。
【0027】これら枠体41と支持部材42とは、フラ
ンジ33を挟持した状態で4本の止めネジ43により、
枠体41の下方から螺着される。このときに、枠体41
と支持部材42との間には略正方形状で中央にホーン部
22よりも大径の挿通孔44aを有するゴム製の介装部
材44が介装される。この介装部材44は、枠体41の
底面と支持部材42の相互間を平行状態に維持するため
のものである。
【0028】また、支持体4の枠体41の上面には開口
部が設けられている。この開口部の内周壁面には雌ネジ
41bが形成されている。この雌ネジ41bには後述す
る荷重印加手段8の支持体84が螺着される。
【0029】[超音波溶着用加圧機構]次に、超音波溶
着用加圧機構6は、図1に示すように、超音波発振手段
5を載置台103に対して近接遠退させるエアシリンダ
7と、超音波発振手段5に往復運動を伝えるエアシリン
ダ7のロッド73と超音波発振手段5との間に設けられ
て加圧時に超音波発振手段5に弾性荷重を付加する荷重
印加手段8と、エアシリンダの7ロッド73のストロー
クを所定長さに調節するストローク調節手段9と、エア
シリンダ7を載置台103に支持する保持手段10とを
備えて構成されている。さらに、超音波溶着装置1は、
超音波溶着用加圧機構6を作動させるコンプレッサー1
2と、このコンプレッサー12と超音波溶着用加圧機構
6との間に設けられて超音波溶着用加圧機構6の作動方
向を切り換える切換弁13(図4(B)参照)とを備え
ている。
【0030】[荷重印加手段]この内、荷重印加手段8
は、図2に示すように、超音波発振手段5を支持する支
持体84と、この支持体84をエアシリンダ7のストロ
ーク方向に往復自在に保持する保持体83と、この保持
体83と支持体84と間で且つ支持体84の移動方向に
沿って装備される圧縮バネ81とを備えている。
【0031】圧縮バネ81は、コイルバネで形成されて
いる。このコイルバネは、図4(A)に示すように、1
[mm]圧縮すると略9.8×10[N/m](工
学系単位で1[Kgf])の弾性荷重が得られ、最大で
10[mm]圧縮したときに略98×10[N/
](工学系単位で10[Kgf])の弾性荷重が得
られる線形および巻き数で形成されている。
【0032】保持体83は、支持体84をエアシリンダ
7のストローク方向に往復自在に保持する円筒部82
と、この円筒部82をエアシリンダ7に接合する接合部
88とで形成されている。円筒部82は、円筒状の小径
部材85と大径部材86とが一体的に形成されている。
この小径部材85と大径部材86には上面から下面に貫
通する孔85a,86aが設けられている。小径部材8
5の孔85aは、大径部材86の孔86aより小径に形
成されている。また、小径部材85の大径部材86側端
部には、その内周面の円周方向に連続する突起85bが
設けられている。また、小径部材85の孔85aにはス
リーブ851が嵌合されている。このスリーブ851を
介して支持体84が円筒部82に往復自在に嵌合されて
いる。さらに、大径部材86の上端部側内周面には、孔
86aより大径の雌ネジ86bが形成されている。
【0033】接合部材88は、エアシリンダ7に接合さ
れる棒部材88aと、円柱部材88bとが一体的に接合
されている。この円柱部材88bの棒部材88aが接合
された反対側面には雄ネジ88cが形成されている。こ
の雄ネジ88cは、前述した円筒部82の雌ネジ86b
に螺着される。
【0034】支持体84は、前述した保持体83に摺動
自在に係合する棒部材84aと、前述した超音波発振手
段5が接続される接合部材89とで形成されている。棒
部材84aの一方の端部の壁面には、円周方向に連続す
る溝が設けられている。この溝にはCリング841が係
止される。また、棒部材84aの他方の端面には、前述
した圧縮バネ81の外径より大きい接合部材89が一体
的に接合されている。接合部材89の棒部材84が接合
された面の反対面には雄ネジ89aが形成されている。
この雄ネジ89aは前述した超音波発振手段5の枠体4
1の雌ネジ41bに螺着される。
【0035】かかる保持体83と支持体84との組み付
けは、保持体83の小径部材85に前述した圧縮バネ8
1を嵌合するのと併せて、支持体84の棒部材84aを
この圧縮バネ81、スリーブ851さらに突起部85b
と順次挿入し、その後、棒部材84aの溝に大径部材8
6の孔86aからCリング841を係止することにより
行われる。また、保持体83と接合部材88との接合
は、大径部材86の雌ネジ86bに接合部材88の雄ネ
ジ88cを螺着することにより行われる。
【0036】[エアシリンダ]次に、エアシリンダ7
は、図3に示すように、シリンダ本体71と、このシリ
ンダ本体71に摺動自在に嵌合されるピストン72と、
このピストン72に接合されたピストンロッド73と、
シリンダ本体71の両端を覆う一方と他方のカバー7
4,75とにより形成されている。
【0037】シリンダ本体71は、略円筒形状で、その
両端及び一側壁に開口部71a,71b,71cが形成
されている。一側壁の開口部71cには、後述する支持
体10の一部を形成する移動部材101がシリンダ本体
71の両端を覆うカバー74にボルト711で螺着され
ている。移動部材101のシリンダ本体71と接合され
る面は、シリンダ本体71の内周面と同一形状とされ、
シリンダ本体71と移動部材との間からエアーが漏れる
ことのないように形成されている。
【0038】このシリンダ本体71内部に嵌合される円
柱状のピストン72は、中央部からやや偏った位置に上
面から下面に向かって貫通す孔72aが穿設されてい
る。この孔72aの周囲の他方のカバー75側の面に
は、位置決め用の凹部72bが形成されている。また、
このピストン72の外周面の略中央部には、連続する溝
72cが形成され、この溝にシール部材721が係着さ
れている。また、孔72aの内周面には環状溝が設けら
れ、シール部材722が係着されている。
【0039】次に、一方のカバー74は、小円柱部74
aと大円柱部74bとを一体に接合した鍔状に形成され
ている。大円柱部74bの小円柱部74a側と反対の端
面には、凸部74cが形成されている。この小円柱部7
4a,大円柱部74b及び凸部74cには各々を貫通す
る孔74dが形成されている。この孔74dの軸方向略
中央部の内壁には円周方向に連続する溝が形成され、シ
ール部材741が係着されている。さらに、大円柱部7
4bの凸部74c側の面で、この凸部74cの近傍に
は、上面から下面に貫通する孔74bが穿設され、こ
の孔74bの凸部側の内周面には、エア継手741を
螺着する雌ネジが形成されている。小円柱部74aの端
面には、その外周より少し小さい凹部74aが形成さ
れている。前述したエア継手741から導入された圧縮
空気がこの凹部74aに溜まり、前述したピストン7
2が第1のロッド73a側に作動を開始する。
【0040】他方のカバー75も一方のカバー74とほ
ぼ同一に形成され、小円柱部75a,と大円柱部75b
とを一体に接合した鍔状に形成されている。大円柱部7
5bの小円柱部75a側と反対の端面には、凸部75c
が形成されている。この小円柱部75a,大円柱部75
b及び凸部75cには各々を貫通する孔75dが形成さ
れている。この孔75dの軸方向略中央部の内壁には連
続する溝が形成され、シール部材751が係着されてい
る。さらに、大円柱部75bの凸部75c側の面で、こ
の凸部75cの近傍には、上面から下面に貫通する孔7
5bが穿設され、この孔75bの凸部側の内周面に
は、エア継手751を螺着する雌ネジが形成されてい
る。小円柱部75aの端面には、その外周より少し小さ
い凹部75aが形成されている。前述したエア継手7
51から導入された圧縮空気がこの凹部75aに溜ま
り、前述したピストン72が第2のロッド73b側に作
動を開始する。
【0041】次に、ロッド73は、第1のロッド73a
から第2のロッド73bが延設されている。さらに、第
1のロッド73aと第2のロッド73bとの間にはピス
トン72に接合される接合部73cが形成されている。
第1のロッド73aの端面には、その軸方向に孔73a
が穿設されている。この孔73aと直交するネジ孔
が穿設され、ボルト731が螺着されている。また、接
合部73cは、第1のロッド73aよりも小さく、第2
のロッド73bよりも大きい外径とされている。この接
合部73cの第2のロッド73b側の部位には、雄ネジ
73cが形成されている。また、接合部73cの外周
面には、孔が設けられ、ノックピン731が圧入されて
いる。
【0042】かかるロッド73,ピストン72,シリン
ダ本体71及び一方と他方のカバー74,75の組み付
けは次のように行われる。まず、ロッド73の第2のロ
ッド73bをピストン72の孔72aに挿入し、ノック
ピン731をピストン72の位置決め用の凹部72bに
挿入することで、ロッド73とピストン72と位置決め
が完了し、その後、ロッド73の第2のロッド73b側
からスプリングワッシャ732及びナット733を通
し、ナット733を雄ネジ73cに螺着することでロ
ッド73のピストン72への接合が完了する。次に、シ
リンダ本体71の開口部71bに、他方のカバー75の
小円柱部75aを、大円柱部75bの端面が当接する迄
挿入し、ボルト752でシリンダ本体71に他方のカバ
ー75を螺着する。この状態で、他方のカバー75の孔
75dに第1のロッド73aを挿入しながらピストン7
2をシリンダ本体71の内部に挿入する。そして、一方
のカバー74の孔74dに第2のロッド73b挿入しな
がら一方のカバー74の小円柱部74aを、大円柱部7
4bの端面が当接する迄挿入し、ボルト711で支持体
10の一部を形成する移動部材に他方のカバー75を螺
着する。これで、ロッド73,ピストン72,シリンダ
本体71及び一方と他方のカバー74,75の組み付け
が完了する。
【0043】さらに、エアシリンダ7と荷重印加手段8
との接合は、荷重印加手段8の接合部材89の棒体88
aを第1のロッド73aの孔73aに挿入し、ボルト
731をその先端が棒体88aに当接するまで螺着する
ことで行われる。
【0044】シリンダ本体71に螺着されたエア継手7
41,751には、各々ホースを介して図4(B)参照
に示す、超音波溶着用加圧機構6の作動方向を切り換え
る切換弁13のポートP2及びポートP3に接続されて
いる。また、この切換弁のポートP1はホース及びレギ
ュレータ16(図1参照)等を介してコンプレッサーC
(図1参照)に接続されている。ここで、レギュレータ
16は、ポンプから吐出された圧縮空気を一定圧で超音
波溶着用加圧機構6に供給する。このレギュレータ16
の前後には空気圧力計や水分を除去するフィルタ等が設
けられている。さらに、切換弁13のTポート(廃棄ポ
ート)には廃棄音を小さくするサイレンサ(図示を省略
する)が設けられ、このサイレンサを介して大気に開放
されている。この切換弁13は、所謂、4ポート(P
1,P2,P3,T)、3位置(13a,13b,13
c)の電磁弁とされている。この切換弁13が13bの
位置にある時にシリンダ7のピストン72が第1のロッ
ド73a側に移動し、13cの位置にある時にシリンダ
7のピストン72が第2のロッド73b側に移動する。
そして、この切換弁13は、制御手段14に接続されて
いる。この制御手段14により位置(13a,13b,
13c)が切換られ、各々のポート(P1,P2,P
3,T)が切換られる。さらに、制御手段14には、リ
ミットスイッチ15及び前述した超音波発信器11が接
続されている。このリミットスイッチ15がオンされた
時に、超音波発信器11作動するようにされている。こ
のリミットスイッチ15の取り付け位置に関しては後に
詳述する。
【0045】[ストローク調節手段]さらに、前述した
第2のロッド73bの先端部には、ストローク調節手段
9が設けられている。このストローク調節手段9は、ロ
ッドの端部に形成された雄ネジ部91と、この雄ネジ部
91に螺合されてエアシリンダ7の凸部74cの端面に
当接するストッパー92とで形成されている。
【0046】ストッパー92は略円筒形状とされてい
る。このストッパー92の内周面の一端部にのみ雌ネジ
部92aが形成され、それ以外の内周面は、ロッド73
の第2のロッド73bの緩嵌するように形成されてい
る。このストッパー92は、第2のロッド73bの雄ネ
ジ部91に螺着されるが、その緩みを防止するためバッ
クアップナット94が螺着されている。雄ネジ部91及
びストッパー92の雌ネジ部92aは、なみ目ネジで形
成することも可能であるが、ほそ目ネジで形成すること
により圧縮バネ81の弾性荷重の細かい設定が可能とな
る。
【0047】このストッパー92の外壁面には、図5に
示すように、印921が設けられている。この印921
は、第2のロッド73bの軸線を中心として一周て設け
られている。さらに、エアシリンダ7の第2のロッド7
3b側にストッパー92の移動方向に沿った目盛りが付
された目盛り板17が設けられている。目盛りは、図6
に示すように、圧縮バネ81の付勢力を表示する目盛が
貼付されている。この目盛は、9.8×10[N/m
](工学系単位で1[Kgf])から98×10
[N/m](工学系単位で10[Kgf])とされ
ている。
【0048】さらに、ストローク調節手段9は、図3に
示すように、ロッドカバー94で覆うことも可能であ
る。このロッドカバー94は略円筒形状で、一端及び他
端を開口する形状とされている。そして、開口する一端
を前述したエアシリンダ7の一方のカバー74の凸部7
4cに嵌合することにより、一方のカバー74、即ち、
エアシリンダ7に保持されている。
【0049】さらに、このロッドカバー94には、図6
に示すように、ストッパー92に対応する部位にはこの
ストッパー92より長い窓94aが形成されている。こ
のロッドカバー94の窓94aの側面には、シール状の
圧縮バネ81の付勢力を表示する目盛が貼付されてい
る。この目盛は、9.8×10[N/m](工学系
単位で1[Kgf])から98×10[N/m
(工学系単位で10[Kgf])とされている。また、
ストッパー92の外周面の下端近傍には、目盛に対応す
る印921が設けられている。第2のロッド73bの軸
線を中心として一周して設けられている。
【0050】さらに、ストッパー92がエアシリンダ7
の一方のカバー74と当接する位置近傍に、ストッパー
92とエアシリンダ7との当接(ストッパー92の所定
の停止位置)を検出する当接検出手段(リミットスイッ
チ)15が設けられている。さらに詳細には、リミット
スイッチ15のアーム15aがストッパー92に接触、
離隔できるようにロッドカバー94に孔94bが設けら
れている。また、リミットスイッチ15は、断面L字状
のブラケット151でエアシリンダ7の一方のカバー7
4に支持されている。
【0051】次に、支持体10は、エアシリンダ7を載
置台103上で当該載置台103に対して離間近接を許
容した状態で支持する。さらに詳細には、支持体10
は、エアシリンダ7に接合される移動体101と、この
移動体101が摺動自在に係止される棒体102とで構
成されている。移動体101は、略直方体状に形成さ
れ、一方の面がエアシリンダのシリンダ内周面と同一の
形状に形成されている。さらに中央部の上下面に貫通す
る孔101aが穿設されている。この孔101aからエ
アシリンダの接合される面と反対側の面側に開口するス
リットが設けられ、このスリットとの手前の部位から背
後の部位にスリットに直交して、孔が穿設され背後の部
位に雌ネジ101bが形成されている。ボルトが手前の
部位の孔を挿通し、背後の部位に雌ネジ101bに螺着
されている。そして移動体101の孔101aに棒体1
02を挿入し、ボルトを螺着することで、棒体102に
対して移動体101が位置決めされる。また、ボルトを
緩めることで、棒体102に対して移動体101が摺動
自在となる。
【0052】[載置台]棒体102は、載置台103に
垂直に支持されている。また、載置台103の超音波発
生手段5側の面には、板状部材104を介してチップ1
05が装備されている。このチップ105は、エアシリ
ンダ7により、超音波発振手段5を近接させた際にその
加工面105aがホーン部22の加工面29に当接する
位置に配備されている。この加工面105aは、ホーン
部22の加工面29と平行になるように形成されてい
る。
【0053】[本実施形態の作用]本発明の実施形態の
作用を図1及び図7に基づいて説明する。
【0054】まず、被圧着物Sの厚さに対してエアシリ
ンダ7の高さをオフセットする。これは、次のように行
われる。まず、ストッパー92の印921が0[N/m
](工学系単位で0[Kgf])に成るまで回す(図
6参照)。これと前後してチップ105の上面に被圧着
物Sを配置し、エアシリンダ7の第2のロッド73bを
ストッパー92が当接する迄作動させた状態で、移動体
101を超音波発振手段5の加工面29が被圧着物Sに
当接する迄移動し固定する。その後、第2のロッド73
bを上昇させる。そして、設定したい加圧力まで、スト
ッパー92を回す(ここでは、98×10 [N/
](工学系単位で10[Kgf])に設定するもの
とする。)。これでオフセットが完了する。
【0055】ここで、ストッパー92を第2のロッド7
3bに対して回すことにより、ストッパー92がシリン
ダ本体71側に近接し、エアシリンダ7のストローク長
さが短縮する。そして、エアシリンダ7のストローク長
さを短縮することで、超音波発振手段5の加工面29が
被圧着物Sに当接してから圧縮バネ81を圧縮させる長
さも短縮する。このように圧縮バネ81を圧縮させる長
さを短縮することで、その弾性荷重も小さくなる。ま
た、ストッパー92をシリンダ本体71側から離れる方
向に回すことにより、ストッパー92が第2のロッド7
3bから遠退し、エアシリンダ7のストローク長さが伸
張する。そして、エアシリンダ7のストローク長さが伸
張することで、超音波発振手段5の加工面29が被圧着
物Sの圧着部に当接してから圧縮バネ81を圧縮させる
長さも伸張する。このように圧縮バネ81を圧縮させる
長さを伸張することで、その弾性荷重も大きくなる。
【0056】そして、エアシリンダ7のエア継手741
側から圧縮空気を供給することにより、被圧着物Sに対
して超音波発振手段5が近接を開始し、超音波発振手段
5の加工面29が被圧着物Sに当接する迄前進する。こ
の当接後、さらにエアシリンダ7のエア継手741側か
ら圧縮空気を供給することにより支持体84が保持体8
3側に摺動し、圧縮バネ81を圧縮させる。そして、ス
トッパー92によりストロークが制限された所でエアシ
リンダ7が停止する。この状態を図7に示す。そして、
超音波発振手段5の加工面29が被圧着物Sの圧着部に
当接してから圧縮バネ81を圧縮した分の弾性荷重が超
音波発振手段5から被圧着物Sに作用する。この弾性荷
重は圧縮バネ81を短縮させることにより発生する。こ
のため、エアシリンダ7へのエアー供給圧力が十分に高
ければ、エアーの使用環境に影響されることがない加圧
力を得ることができる。
【0057】そして、ストッパー92により、リミット
スィッチ15が押されてオンの状態となる。これによ
り、超音波振動子21に超音波発信器11から発信周波
数の電圧が印加され、超音波振動子21から超音波振動
が発信する。そして、かかる超音波振動が、ホーン部2
2により増幅されつつ、ホーン部22の中心軸方向に伝
達され、加工面29をその垂直方向に振動させる。被圧
着物Sは加工面29と加工面105aとに挟持されてい
るため、加工面29から被圧着物Sに超音波振動が伝達
される。これにより、この被圧着物Sでは溶解を生じ、
且つ加工面29と加工面105aとの圧接により溶着が
行われる。
【0058】所定時間超音波振動を加えることにより、
被圧着物Sを圧着させせ、超音波発信器11を停止さ
せ、エアシリンダ7のエア継手751側から圧縮空気を
供給することにより、第2のロッド73aを上昇させ、
被圧着物の溶着が完了する。さらに前述した工程を繰り
返すことにより、次の振動溶着が順次行われる。
【0059】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、以上のよ
うに構成され機能するため、エアシリンダにエアーを供
給することにより荷重印加手段の支持体が保持体側に摺
動し、圧縮バネを圧縮させる。そして、ストローク調節
手段によりストロークが制限された所でエアシリンダが
停止する。この超音波発振手段の加工面が被圧着物に当
接した後に圧縮バネを圧縮した分の圧縮バネの弾性荷重
が超音波発振手段から被圧着物に加圧力として作用する
ため、エアシリンダへのエアー供給圧力が十分に高けれ
ば、エアーの使用環境によらない安定した加圧力を得る
ことが可能となった。さらに、エアーは十分に高い圧力
に設定可能であるため、エアシリンダの作動速度を低下
させることがない。このため、圧着物の生産性を高める
ことが可能となった。
【0060】請求項2記載の発明によれば、ストローク
調節手段のストッパーを第2のロッドに対して回すこと
により、圧縮バネの弾性荷重の設定、即ち、超音波発振
手段の被圧着物への加圧力の設定を簡単に行うことが可
能となった。また、細かい加圧力の調整も確実に行うこ
とが可能となった。
【0061】請求項3記載の発明によれば、必要とする
加圧力を目視しながら容易に設定することができるよう
になった。
【0062】請求項4記載の発明によれば、ロッドカバ
ーを設けることにより、ストッパーとエアシリンダとの
当接面に物が挟持されるのを防止できる。また、必要と
する加圧力に目視しながら容易に設定することができ
る。さらに、印がストッパーの外壁面に第2のロッドの
軸線と直交して設けられているため、確実に印の位置を
目視できる。
【0063】請求項5記載の発明によれば、被圧着物の
厚さを変更したい場合にシリンダ移動機能で容易にエア
シリンダ、即ち、超音波発振手段の加工面を被圧着物に
対して移動することができるようになった。
【0064】請求項6記載の発明によれば、ストッパー
とエアシリンダの当接位置近傍に当接検出手を設けるこ
とにより、被圧着物の厚さを変更した場合にも、ストッ
パーとエアシリンダの当接位置は変化しないため、当接
検出手段の位置合わせをする必要がないため、短時間で
被圧着物の厚さの変更が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示す図である。
【図2】図1の超音波発振手段及び荷重印加手段を示す
図である。
【図3】図1のエアシリンダ及びストローク調節手段を
示す図である。
【図4】図4(A)は図1の荷重印加手段の圧縮バネの
バネ特性を示す図で、図4(B)は、図1の超音波溶着
装置の制御手段に接続された機器を示す図である。
【図5】図1のエアシリンダの第2のロッド側に目盛り
板を設けた状態を示す図である。
【図6】図1のストローク調節手段のA部を示す斜視図
である。
【図7】図1の超音波溶着装置のストローク調節手段が
98×10[N/m]に設定され作動した状態を示
す図である。
【符号の説明】
1 超音波溶着装置 5 超音波発振手段 6 超音波溶着用加圧機構 7 エアシリンダ 8 荷重印加手段 9 ストローク調節手段 10 保持手段 15 当接検出手段 29 加工面 73a 第1のロッド 73b 第2のロッド 83 保持体 84 支持体 91 雄ネジ部 93 ストッパー 94 ロッドカバー 94a 窓 103 載置台 S 被圧着物

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被圧着物に接して超音波を付与する加工
    面を備える超音波発振手段と、前記被圧着物を載置する
    載置台と、前記超音波発振手段の加工面を前記載置台に
    対して加圧する超音波溶着用加圧機構とを備え、 前記超音波溶着用加圧機構が、前記超音波発振手段を前
    記載置台に対して近接遠退させるエアシリンダと、前記
    超音波発振手段に往復運動を伝える前記エアシリンダの
    第1のロッドと前記超音波発振手段との間に設けられて
    加圧時に前記超音波発振手段に弾性荷重を印加する荷重
    印加手段と、前記エアシリンダの第1のロッドのストロ
    ークを所定長さに調節するストローク調節手段と、前記
    エアシリンダを保持する保持手段とを備え、 前記荷重印加手段が、前記超音波発振手段を支持する支
    持体と、この支持体を前記エアシリンダのストローク方
    向に往復自在に保持する保持体と、この保持体と前記支
    持体との間で、前記支持体の移動方向に沿って伸縮を自
    在として装備される圧縮バネとを備えたことを特徴とす
    る超音波溶着装置。
  2. 【請求項2】 前記エアシリンダを、前記第1のロッド
    と同時に動作する第2のロッドを備えた両ロッドシリン
    ダで形成し、 前記第2のロッドに前記ストローク調節手段を設け、 前記ストローク調節手段は、前記第2のロッドの外周面
    に形成された雄ネジ部と、この雄ネジ部に螺合されるス
    トッパーとを備えたことを特徴とする請求項1記載の超
    音波溶着装置。
  3. 【請求項3】 前記ストッパーの外壁面に印を設けると
    共に、前記エアシリンダの第2のロッド側に前記ストッ
    パーの移動方向に沿った目盛りが付された目盛り板を設
    けたことを特徴とする請求項2記載の超音波溶着装置。
  4. 【請求項4】 前記ストッパーの外壁面に第2のロッド
    の軸線を中心として当該外壁面を一周した印を設けると
    共に、前記エアシリンダの第2のロッド側に前記ストッ
    パーに面した窓を有するロッドカバーを設け、 前記ロッドカバーに前記印に対応し前記圧縮バネの付勢
    力を表示する目盛りを設けたことを特徴とする請求項2
    記載の超音波溶着装置。
  5. 【請求項5】 前記保持手段が、前記エアシリンダを前
    記載置台に対して近接遠退自在に距離調節するシリンダ
    移動機能を備えたことを特徴とする請求項1,2,3又
    は4記載の超音波溶着装置。
  6. 【請求項6】 前記ストッパーが所定の停止位置に到達
    したことを検出し検出信号を出力する当接検出手段と、
    前記検出信号に応じて前記超音波発振手段の動作を制御
    する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項2,3
    又は4記載の超音波溶着装置。
JP27965399A 1999-09-30 1999-09-30 超音波溶着装置 Withdrawn JP2001105160A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27965399A JP2001105160A (ja) 1999-09-30 1999-09-30 超音波溶着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27965399A JP2001105160A (ja) 1999-09-30 1999-09-30 超音波溶着装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001105160A true JP2001105160A (ja) 2001-04-17

Family

ID=17613989

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27965399A Withdrawn JP2001105160A (ja) 1999-09-30 1999-09-30 超音波溶着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001105160A (ja)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011110574A (ja) * 2009-11-26 2011-06-09 Nippon Avionics Co Ltd ばね加圧式接合装置
JP4880617B2 (ja) * 2005-01-03 2012-02-22 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 超音波溶接システムのギャップ調節
KR101134870B1 (ko) 2009-11-16 2012-04-13 서기원 가압 조절수단을 갖는 방수테이프 열풍용착기의 상부롤러 승강구동체
KR101134798B1 (ko) 2009-11-16 2012-04-13 서기원 상부롤러에 대한 가압조절수단을 갖는 방수테이프 열풍용착기
JP2013010546A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Toyo Jidoki Co Ltd ロータリー式真空包装機
JP2013063521A (ja) * 2011-09-15 2013-04-11 Seidensha Electronics Co Ltd 超音波溶着装置、超音波接合装置、布線装置
KR101274559B1 (ko) 2011-08-31 2013-06-13 한국생산기술연구원 스테이지 고정형 초음파혼이 구비된 초음파접합장치
WO2013103191A1 (en) * 2012-01-02 2013-07-11 New Motech Co.,Ltd. Assembling apparatus of motor for assembling stator assembly to printed circuit board
KR101308410B1 (ko) 2011-08-31 2013-09-16 한국생산기술연구원 교체형 가압부재가 구비된 초음파접합장치
WO2014003295A1 (en) * 2012-06-26 2014-01-03 New Motech Co.,Ltd. Assembling apparatus for motor for assembling stator assembly with printed circuit board and stator assembly structure therefor
CN103990903A (zh) * 2014-06-13 2014-08-20 金兴汽车内饰股份有限公司 超声波焊接设备用焊头压紧装置
JP5926439B1 (ja) * 2015-12-25 2016-05-25 株式会社シンアペックス 超音波接合装置
JP2016107279A (ja) * 2014-12-02 2016-06-20 日本アビオニクス株式会社 ばね加圧式接合装置
CN109277688A (zh) * 2018-12-07 2019-01-29 上海骄成机电设备有限公司 一种紧凑型超声波焊机
CN112756767A (zh) * 2021-01-26 2021-05-07 德召尼克(常州)焊接科技有限公司 一种超声波立式金属点焊机
CN113954373A (zh) * 2021-10-25 2022-01-21 高梵(浙江)信息技术有限公司 一种用于羽绒服的超声波无缝压合装置
JP2022510882A (ja) * 2018-11-28 2022-01-28 クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク. 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法
KR102439651B1 (ko) * 2021-03-08 2022-09-02 주식회사 지엠글로벌 열경화성 수지 필름을 서로 연결시키기 위한 롤투롤용 극음파 융착 장치

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4880617B2 (ja) * 2005-01-03 2012-02-22 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 超音波溶接システムのギャップ調節
KR101134870B1 (ko) 2009-11-16 2012-04-13 서기원 가압 조절수단을 갖는 방수테이프 열풍용착기의 상부롤러 승강구동체
KR101134798B1 (ko) 2009-11-16 2012-04-13 서기원 상부롤러에 대한 가압조절수단을 갖는 방수테이프 열풍용착기
JP2011110574A (ja) * 2009-11-26 2011-06-09 Nippon Avionics Co Ltd ばね加圧式接合装置
JP2013010546A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Toyo Jidoki Co Ltd ロータリー式真空包装機
KR101274559B1 (ko) 2011-08-31 2013-06-13 한국생산기술연구원 스테이지 고정형 초음파혼이 구비된 초음파접합장치
KR101308410B1 (ko) 2011-08-31 2013-09-16 한국생산기술연구원 교체형 가압부재가 구비된 초음파접합장치
JP2013063521A (ja) * 2011-09-15 2013-04-11 Seidensha Electronics Co Ltd 超音波溶着装置、超音波接合装置、布線装置
WO2013103191A1 (en) * 2012-01-02 2013-07-11 New Motech Co.,Ltd. Assembling apparatus of motor for assembling stator assembly to printed circuit board
WO2014003295A1 (en) * 2012-06-26 2014-01-03 New Motech Co.,Ltd. Assembling apparatus for motor for assembling stator assembly with printed circuit board and stator assembly structure therefor
CN103990903A (zh) * 2014-06-13 2014-08-20 金兴汽车内饰股份有限公司 超声波焊接设备用焊头压紧装置
JP2016107279A (ja) * 2014-12-02 2016-06-20 日本アビオニクス株式会社 ばね加圧式接合装置
JP5926439B1 (ja) * 2015-12-25 2016-05-25 株式会社シンアペックス 超音波接合装置
JP2022510882A (ja) * 2018-11-28 2022-01-28 クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク. 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法
JP7541806B2 (ja) 2018-11-28 2024-08-29 クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク. 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法
CN109277688A (zh) * 2018-12-07 2019-01-29 上海骄成机电设备有限公司 一种紧凑型超声波焊机
CN112756767A (zh) * 2021-01-26 2021-05-07 德召尼克(常州)焊接科技有限公司 一种超声波立式金属点焊机
CN112756767B (zh) * 2021-01-26 2022-05-06 德召尼克(常州)焊接科技有限公司 一种超声波立式金属点焊机
KR102439651B1 (ko) * 2021-03-08 2022-09-02 주식회사 지엠글로벌 열경화성 수지 필름을 서로 연결시키기 위한 롤투롤용 극음파 융착 장치
CN113954373A (zh) * 2021-10-25 2022-01-21 高梵(浙江)信息技术有限公司 一种用于羽绒服的超声波无缝压合装置
CN113954373B (zh) * 2021-10-25 2024-02-13 高梵(浙江)信息技术有限公司 一种用于羽绒服的超声波无缝压合装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001105160A (ja) 超音波溶着装置
US7959054B2 (en) Device for processing workpieces using ultrasound
JP3078231B2 (ja) 超音波振動接合装置
US7819158B2 (en) Ultrasonic press using servo motor with integrated linear actuator
US6818098B2 (en) Ultrasonic bonding machine
JP4138850B1 (ja) 超音波振動接合装置
US9216540B2 (en) Ultrasonic welding device and method of operating said device
JP3487264B2 (ja) 電子部品のボンディング装置
KR20060003032A (ko) 본딩 장치 및 본딩 툴
US5958262A (en) Equalizing mechanism for robotically carried spot weld guns
CA2464557A1 (en) Improved anvil and vibrator pad support for strapping machine
CN102661756B (zh) 超声波传感器的定位加压装置
KR102376232B1 (ko) 초음파 용접 방법
KR102371107B1 (ko) 초음파 용접 장치
JP3487162B2 (ja) ボンディングツールおよびボンディング装置
US8714081B2 (en) Press for ultrasonic welding device
JPH10202752A (ja) 超音波溶接装置
CN202630977U (zh) 超声波传感器的定位加压装置
JP2002067162A (ja) ボンディングヘッド及びこれを備えたボンディング装置
JP3409689B2 (ja) 電子部品のボンディングツールおよびボンディング装置
JP4626810B2 (ja) 電子部品実装装置
JP2002043377A (ja) 超音波振動接合用ツール
JP2004134426A (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール
KR20050118934A (ko) 레이저 용접장치의 패널 가압장치
JP2002016105A (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20061205