JP2022510882A - 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法 - Google Patents
超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022510882A JP2022510882A JP2021529685A JP2021529685A JP2022510882A JP 2022510882 A JP2022510882 A JP 2022510882A JP 2021529685 A JP2021529685 A JP 2021529685A JP 2021529685 A JP2021529685 A JP 2021529685A JP 2022510882 A JP2022510882 A JP 2022510882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- ultrasonic welding
- welding system
- ultrasonic
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims abstract description 241
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 208000032366 Oversensing Diseases 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/10—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating making use of vibrations, e.g. ultrasonic welding
- B23K20/106—Features related to sonotrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/10—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating making use of vibrations, e.g. ultrasonic welding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/22—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded
- B23K20/233—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded without ferrous layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/32—Wires
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/42—Printed circuits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/08—Non-ferrous metals or alloys
- B23K2103/12—Copper or alloys thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2019年11月28日付で出願した米国特許仮出願第62/772,113号に対して利益を主張するものであり、その内容の全体がこの参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (30)
- 超音波溶接システムであって、
被加工物を支持する支持構造と、
ソノトロードを保持する超音波変換器を含む溶接ヘッドアセンブリと、
前記溶接ヘッドアセンブリを保持するz軸移動システムであって、(i)当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるz軸強制移動部と、(ii)前記z軸強制移動部と前記溶接ヘッドアセンブリとの間に配置されたz軸オーバートラベル機構とを含むものである、前記z軸移動システムと
を有する、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸強制移動部は、当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるリニアモータを含むものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸強制移動部は、当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるボールねじシステムを含むものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸強制移動部は、当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させる空気圧シリンダを含むものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸オーバートラベル機構はz軸上ばねを含むものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸オーバートラベル機構は空気圧シリンダを含むものである、超音波溶接システム。
- 請求項6記載の超音波溶接システムにおいて、前記空気圧シリンダは、当該超音波溶接システムのz軸に沿って可変力を提供する二次的なz軸強制移動部である、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
当該超音波溶接システムのx軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるx軸移動システムと、
当該超音波溶接システムのy軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるy軸移動システムと
を有し、
前記x軸移動システムおよび前記y軸移動システムのうちの一方は、前記x軸移動システムおよび前記y軸移動システムのうちのもう一方を保持するものである、
超音波溶接システム。 - 請求項8記載の超音波溶接システムにおいて、前記z軸移動システムは、前記x軸移動システムおよび前記y軸移動システムにより保持されるものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
当該超音波溶接システムのz軸に沿った、(i)前記z軸強制移動部の可動部の(ii)前記z軸強制移動部の固定部に対する移動を感知するz軸エンコーダを有するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
当該超音波溶接システムのz軸に沿った、(i)前記z軸強制移動部の可動部の(ii)前記溶接ヘッドアセンブリに対する移動を感知するオーバートラベルエンコーダを有するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
前記z軸強制移動部の可動部によって保持された二次的なz軸強制移動部を有し、
前記二次的なz軸強制移動部は、当該超音波溶接システムのz軸に沿って可変力を提供するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
当該超音波溶接システムのz軸に沿って当該超音波溶接システムによりz軸に対して加えられる力を検出する力検出機構を有するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記ソノトロードは、溶接作業中5~500kgの接合力で動作するように構成されており、溶接作業中のソノトロードチップの運動振幅は5ミクロン~150ミクロンである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記ソノトロードは、直線超音波運動、およびねじり超音波運動の少なくとも1つを用いて前記被加工物の第1の部分を前記被加工物の第2の部分に溶接するように構成されているものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
前記被加工物を提供する被加工物投入・供給部と、
前記被加工物を前記被加工物投入・供給部から前記支持構造に移動する材料処理システムと
を有するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記被加工物は、パワーモジュール、リードフレーム、および電池モジュールからなる群から選択されるものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記被加工物は端子を含み、
前記ソノトロードは前記端子を前記被加工物の別の部分に超音波溶接するように構成されているものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
前記ソノトロードによる超音波溶接中に前記被加工物を前記支持構造に固定する被加工物クランプシステムを有するものである、超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、さらに、
前記ソノトロードによる超音波溶接の前に前記被加工物を組み立てるように構成された被加工物アセンブリステーションを有し、
前記被加工物アセンブリステーションは、前記被加工物の端子を前記被加工物の別の部分に位置合わせするように構成されているものである、
超音波溶接システム。 - 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記ソノトロードは、前記被加工物の端子と、1.5mm2~30mm2の範囲の面積を有する前記被加工物の別の部分との間に超音波溶接部を形成するように構成されているものである、超音波溶接システム。
- 請求項1記載の超音波溶接システムにおいて、前記ソノトロードは、15kHz~40kHzの範囲の周波数で動作するように構成されているものである、超音波溶接システム。
- 超音波溶接システムであって、
被加工物を支持する支持構造と、
ソノトロードを保持する超音波変換器を含む溶接ヘッドアセンブリと、
前記溶接ヘッドアセンブリを保持するz軸移動システムであって、
(i)当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるz軸強制移動部であって、当該超音波溶接システムのz軸に沿って前記溶接ヘッドアセンブリを移動させるボールねじシステムを含むものである、前記z軸強制移動部と、
(ii)前記z軸強制移動部と前記溶接ヘッドアセンブリとの間に配置され、z軸上ばねを含むz軸オーバートラベル機構と
を含むものである、前記z軸移動システムと、
当該超音波溶接システムのz軸に沿った、(i)前記z軸強制移動部の可動部の(ii)前記z軸強制移動部の固定部に対する移動を感知するz軸エンコーダと、
当該超音波溶接システムのz軸に沿った、(i)前記z軸強制移動部の可動部の(ii)前記溶接ヘッドアセンブリに対する移動を感知するオーバートラベルエンコーダと
を有する、超音波溶接システム。 - 導電端子を被加工物に超音波溶接する方法であって、
(a)被加工物を超音波溶接システムの支持構造上で支持する工程であって、前記導電端子は、前記被加工物の導電領域に位置合わせされているものである、前記支持する工程と、
(b)ソノトロードを保持する超音波変換器を含む溶接ヘッドアセンブリを提供する工程であって、当該溶接ヘッドアセンブリは、前記超音波溶接システムのz軸移動システムにおけるz軸強制移動部により前記超音波溶接システムのz軸に沿って移動されるように構成されているものである、前記溶接ヘッドアセンブリを提供する工程と、
(c)前記z軸強制移動部と前記溶接ヘッドアセンブリとの間に配置されz軸オーバートラベル機構を提供する工程であって、前記z軸強制移動部は前記溶接ヘッドアセンブリおよび当該z軸オーバートラベル機構を保持するものである、前記z軸オーバートラベル機構を提供する工程と、
(d)前記ソノトロードの溶接チップが前記導電端子に接触するまで前記z軸強制移動部の可動部を前記超音波溶接システムのz軸に沿って下方移動させる工程と、
(e)前記工程(d)の後、前記z軸オーバートラベル機構を作動させるために、前記z軸強制移動部の前記可動部を前記超音波溶接システムのz軸に沿ってさらに下方移動させる工程と、
(f)前記導電端子を前記被加工物の導電領域に溶接するために、前記ソノトロードの前記溶接チップに超音波エネルギーを加える工程と
を有する方法。 - 請求項24記載の方法において、前記工程(e)は、前記導電端子に制御された溶接力を加える工程を含むものである、方法。
- 請求項24記載の方法において、前記工程(e)は、前記z軸オーバートラベル機構のばねを所定の圧縮外形となるように圧縮して前記導電端子に制御された溶接力を加えるために、前記z軸強制移動部の前記可動部を前記超音波溶接システムのz軸に沿ってさらに下方移動させる工程を含むものである、方法。
- 請求項24記載の方法において、前記工程(e)は、前記z軸オーバートラベル機構の空気圧シリンダを動作させて前記導電端子に制御された溶接力を加えるために、前記z軸強制移動部の前記可動部を前記超音波溶接システムのz軸に沿ってさらに下方移動させる工程を含むものである、方法。
- 請求項24記載の方法において、さらに、
前記工程(d)の後であって前記工程(f)の前に、(e1)前記z軸強制移動部の前記可動部によって保持された二次的なz軸強制移動部により、前記ソノトロードによって前記導電端子に加えられるz軸における力を増加させる工程を有し、
前記二次的なz軸強制移動部は、前記超音波溶接システムのz軸に沿って可変力を提供するように構成されているものである、
方法。 - 請求項28記載の方法において、前記二次的なz軸強制移動部は空気圧シリンダを含むものである、方法。
- 請求項28記載の方法において、前記二次的なz軸強制移動部は電気リニアモータを含むものである、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862772113P | 2018-11-28 | 2018-11-28 | |
US62/772,113 | 2018-11-28 | ||
PCT/US2019/063007 WO2020112635A1 (en) | 2018-11-28 | 2019-11-25 | Ultrasonic welding systems and methods of using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022510882A true JP2022510882A (ja) | 2022-01-28 |
JPWO2020112635A5 JPWO2020112635A5 (ja) | 2022-11-14 |
Family
ID=70771461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021529685A Pending JP2022510882A (ja) | 2018-11-28 | 2019-11-25 | 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11285561B2 (ja) |
EP (2) | EP4403292A2 (ja) |
JP (1) | JP2022510882A (ja) |
CN (2) | CN113165102B (ja) |
WO (1) | WO2020112635A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113681145B (zh) * | 2017-04-04 | 2023-02-03 | 库利克和索夫工业公司 | 超声焊接系统及其使用方法 |
US11626677B2 (en) * | 2020-05-13 | 2023-04-11 | Semiconductor Components Industries, Llc | Bonding module pins to an electronic substrate |
JP2023527970A (ja) * | 2020-06-03 | 2023-07-03 | クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク. | 超音波溶接システム、その使用方法、および溶接された導電性ピンを含む関連被加工物 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3966217B2 (ja) * | 2003-04-23 | 2007-08-29 | 松下電器産業株式会社 | ボンディング装置およびボンディングツール |
JP4792945B2 (ja) | 2005-01-28 | 2011-10-12 | 日産自動車株式会社 | 超音波接合装置および接合構造体 |
US7748590B2 (en) * | 2005-05-16 | 2010-07-06 | Ford Global Technologies, Llc | Ultrasonic welding apparatus |
JP4577509B2 (ja) | 2005-06-22 | 2010-11-10 | トヨタ自動車株式会社 | パワー半導体モジュール及びその製造方法 |
DE102005048368B3 (de) | 2005-10-10 | 2007-05-03 | Schunk Ultraschalltechnik Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer Schweißverbindung zwischen elektrischen Leitern |
JP5014151B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2012-08-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | チップ実装装置およびチップ実装方法 |
US8052816B2 (en) * | 2006-05-08 | 2011-11-08 | Dukane Corporation | Ultrasonic press using servo motor with delayed motion |
JP4399869B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2010-01-20 | Tdk株式会社 | 超音波振動を用いて実装部品を被実装部品に実装する実装装置 |
JP4311582B1 (ja) * | 2008-04-07 | 2009-08-12 | 株式会社アドウェルズ | 共振器の支持装置 |
JP4336732B1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-09-30 | Tdk株式会社 | 超音波実装装置 |
US8746537B2 (en) * | 2010-03-31 | 2014-06-10 | Orthodyne Electronics Corporation | Ultrasonic bonding systems and methods of using the same |
CN102844851B (zh) * | 2010-03-31 | 2015-08-26 | 奥托戴尼电气公司 | 超声波焊接系统及利用该超声波焊接系统的方法 |
JP4808283B1 (ja) * | 2010-06-30 | 2011-11-02 | 株式会社新川 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
US8651354B2 (en) | 2010-07-19 | 2014-02-18 | Orthodyne Electronics Corporation | Ultrasonic bonding systems including workholder and ribbon feeding system |
ES1075973Y (es) * | 2011-05-12 | 2012-04-13 | Eficiencia Y Tecnologia S A | Dispositivo de soldadura longitudinal en continuo para maquinas envasadoras |
JP2013051366A (ja) | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Hitachi Ltd | パワーモジュール及びその製造方法 |
JP5779761B2 (ja) | 2011-09-15 | 2015-09-16 | 精電舎電子工業株式会社 | 超音波溶着装置、超音波接合装置、布線装置 |
KR101276408B1 (ko) * | 2012-01-02 | 2013-06-19 | 뉴모텍(주) | 초음파 융착 방식을 적용한 모터의 pcb 조립 장치 |
JP6033011B2 (ja) | 2012-09-12 | 2016-11-30 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置および電力用半導体装置の製造方法 |
JP5426000B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-02-26 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 |
US8858742B2 (en) | 2012-11-16 | 2014-10-14 | GM Global Technology Operations LLC | Automatic monitoring of vibration welding equipment |
CH707378A1 (de) * | 2012-12-21 | 2014-06-30 | Besi Switzerland Ag | Thermokompressionsverfahren und Vorrichtung für die Montage von Halbleiterchips auf einem Substrat. |
US9620477B2 (en) * | 2013-01-25 | 2017-04-11 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Wire bonder and method of calibrating a wire bonder |
JP6349502B2 (ja) * | 2013-04-10 | 2018-07-04 | 株式会社アドウェルズ | 接合装置 |
US20150210003A1 (en) | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Frito-Lay Noth America, Inc. | Transverse Sonotrode Design for Ultrasonic Welding |
FR3019083B1 (fr) * | 2014-04-01 | 2016-12-30 | Sonimat | Dispositif de soudure par ultrasons |
US9751257B2 (en) * | 2014-06-17 | 2017-09-05 | GM Global Technology Operations LLC | Ultrasonic welder clamp |
JP6406983B2 (ja) | 2014-11-12 | 2018-10-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5950994B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-13 | 株式会社新川 | 実装装置 |
JP6433590B2 (ja) | 2015-06-11 | 2018-12-05 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置の製造方法および電力用半導体装置 |
JP2017024040A (ja) | 2015-07-22 | 2017-02-02 | 矢崎総業株式会社 | 超音波接合装置 |
CN113681145B (zh) * | 2017-04-04 | 2023-02-03 | 库利克和索夫工业公司 | 超声焊接系统及其使用方法 |
CN111201683A (zh) | 2017-10-13 | 2020-05-26 | 库利克和索夫工业公司 | 导电端子、汇流条及其制造方法、以及组装相关的功率模块的方法 |
WO2020006062A1 (en) * | 2018-06-26 | 2020-01-02 | Db Sonics, Inc. | Sonotrode and method of manufacturing |
-
2019
- 2019-11-25 CN CN201980078598.7A patent/CN113165102B/zh active Active
- 2019-11-25 CN CN202310078303.4A patent/CN115971633A/zh active Pending
- 2019-11-25 JP JP2021529685A patent/JP2022510882A/ja active Pending
- 2019-11-25 EP EP24020076.6A patent/EP4403292A2/en active Pending
- 2019-11-25 EP EP19890498.9A patent/EP3887085B1/en active Active
- 2019-11-25 WO PCT/US2019/063007 patent/WO2020112635A1/en unknown
- 2019-11-26 US US16/697,010 patent/US11285561B2/en active Active
-
2022
- 2022-01-27 US US17/586,105 patent/US11504800B2/en active Active
- 2022-10-19 US US17/969,028 patent/US11958124B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11958124B2 (en) | 2024-04-16 |
CN113165102B (zh) | 2022-11-25 |
EP3887085B1 (en) | 2024-03-13 |
WO2020112635A1 (en) | 2020-06-04 |
CN113165102A (zh) | 2021-07-23 |
EP3887085A4 (en) | 2022-11-02 |
EP4403292A2 (en) | 2024-07-24 |
US11504800B2 (en) | 2022-11-22 |
EP3887085A1 (en) | 2021-10-06 |
US20200164460A1 (en) | 2020-05-28 |
US20220143737A1 (en) | 2022-05-12 |
CN115971633A (zh) | 2023-04-18 |
US20230043068A1 (en) | 2023-02-09 |
US11285561B2 (en) | 2022-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2022510882A (ja) | 超音波溶接システムおよび当該システムを使用する方法 | |
CN102844851B (zh) | 超声波焊接系统及利用该超声波焊接系统的方法 | |
US11364565B2 (en) | Ultrasonic welding systems and methods of using the same | |
WO2018110417A1 (ja) | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 | |
CN108140584B (zh) | 超声波振动接合装置 | |
JP2020537330A (ja) | 導電性端子、バスバー、その製造方法、及び関連するパワーモジュールの組立方法 | |
KR20040102170A (ko) | 실장 방법 및 실장 장치 | |
CN101298115B (zh) | 基于激光动态压力的一种微器件焊接方法及装置 | |
US20150306701A1 (en) | Method and apparatus for connecting connection elements to the substrate of a power semiconductor module by welding | |
JP2011206808A (ja) | 溶接装置 | |
CN109530198A (zh) | 一种楔形预紧的二维柔顺振动平台 | |
EP4385652A1 (en) | Laser welding device and welding method using same | |
JP7488656B2 (ja) | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 | |
JP5506899B1 (ja) | 超音波接合方法及び超音波接合装置 | |
CN110270788B (zh) | 一种高速精密焊线平台及其控制方法 | |
CN116984727A (zh) | 焊头结构和焊接设备 | |
JPH11135543A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2004298880A (ja) | 抵抗溶接装置 | |
KR20230166955A (ko) | 레이저 용접장치 및 이를 이용한 용접방법 | |
CN112548367A (zh) | 一种激光加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221104 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231205 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240305 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240605 |