JP2006086345A - 超音波接合方法および超音波接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方主面にバンプが形成された部品4の他方主面にボンディングツールを接触させ、部品4に押圧力と超音波振動とを印加してバンプを被接合面2に接合する超音波接合方法であって、バンプを被接合面に接合する初期に、超音波を印加しながらボンディングツールをほぼ一定の速度で降下させ、バンプの潰れ速度を制御する第1の工程と、第1の工程の後、超音波を印加しながらボンディングツールに対してほぼ一定の押圧荷重を印加し、バンプを被接合面に接合する第2の工程とを有する。接合初期のバンプ潰れ速度を遅く制御することで、バンプを徐々に潰し、接合部に超音波振動を十分に作用させることができる。
【選択図】 図2
Description
一般に、超音波接合装置は、一方主面にバンプが形成された部品の他方主面をボンディングツールで吸着保持し、部品に押圧力と超音波振動とを印加してバンプを被接合面に接合するものである。
しかし、荷重を印加しながら超音波を印加するプロセスの場合、超音波を印加した瞬間にバンプの剛性が低下してしまうため、超音波印加直後の非常に短い時間(数ms)にバンプがある程度潰れてしまう。その時に潰れた部分には十分な超音波エネルギーが加えられないため、最初に潰れた部分が基板に十分に接合しない。つまり、最初に潰れた部分であるバンプの中央部分が十分に接合しないため、接合強度が弱いという問題があった。
しかしながら、超音波振動を印加する第2の工程において、荷重を増加印加しているため、特許文献1と同様に超音波印加直後の非常に短い時間にバンプが潰れてしまい、バンプの中央部分が十分に接合しないという問題がある。
荷重を印加しながら超音波を印加してバンプを被接合面に接合する場合、超音波印加直後の非常に短い時間にバンプが潰れてしまい、この潰れた部分には十分な超音波エネルギーが伝わらない。そこで、本発明では接合初期のバンプの潰れ速度を所定に制御することで、バンプを徐々に潰し、接合部に超音波振動を十分に作用させる。その結果、従来では接合されていなかった初期接合部(バンプの中央部)を接合させることが可能になり、接合強度を向上させることができる。その後、超音波を印加しながらボンディングツールに対して所定の押圧荷重を印加することで、バンプの周辺部だけでなく中央部も被接合面に対して確実に接合できる。また、バンプの単位面積当たりの接合強度が増加し、バンプを小さくすることができ、デバイスの小型化が図れる。
また、この降下速度はほぼ一定速度であってもよいし、任意の速度プロファイルを設定し、そのプロファイルに従ってボンディングツールを降下させてもよい。少なくとも、荷重と超音波とを印加してバンプを接合する際における超音波印加直後でのバンプの潰れ最大速度よりも低速であればよい。
接合初期のボンディングツールの降下速度、つまりバンプの潰れ速度について、発明者は0.1mm/s〜10mm/sまで変更した実験を行っているが、いずれも従来は接合されていなかったバンプ中央部が接合され、接合強度が向上していることを確認している。上記範囲の中でも、0.1mm/s〜2mm/s程度が望ましい。
さらに、第2の工程では所定の押圧荷重を印加するが、この押圧荷重はほぼ一定荷重であってもよいし、ゆるやかな勾配で上昇あるいは減少させてもよい。さらに、途中で勾配を変更してもよい。
請求項2に記載の第1の方法は、接合初期つまり部品からボンディングツールへの反力(バンプ抗力)が荷重印加手段の押圧荷重未満のときは速度制御を実施し、バンプの潰れ速度を制御する。一方、部品からの反力(バンプ抗力)が所定値を越えると、所定の押圧荷重を印加する荷重制御に切り替える。つまり、第1の方法は、部品からの反力に応じて自動的に速度制御から荷重制御へと切り替えるものである。
請求項3に記載の第2の方法は、接合初期である第1の工程では、ボンディングツールと荷重印加手段とを一体に連結し、両者を一体に降下させることで速度制御を実施する。接合終期である第2の工程では、ボンディングツールと荷重印加手段とを相対的に変位自在とし、荷重印加手段による押圧荷重を印加することにより荷重制御を実施する。つまり、ブレーキ手段などによってボンディングツールと荷重印加手段とを一体に連結した締結状態と相対変位自在とした解放状態とに切り替えることで、速度制御と荷重制御とを切り替えるものである。
この場合は、ボンディングツールの自重をキャンセルすることで、部品のバンプが被接合面に接触したとき、バンプは殆ど潰れない。
被接合面である基板の電極や、バンプには高さばらつきがあり、このような高さばらつきは接合品質に影響する。そこで、バンプが被接合面に接触したことを検知し、そこから一定高さまでバンプを潰すことで、高さバラツキの影響を受けずに安定した接合が可能になる。
ボイスコイルモータはその起電力の変化により可動部が停止したことを検出できるので、部品のバンプが被接合面と接触したことを容易に検知できる。
また、バンプの単位面積当たりの接合強度が増加し、バンプを小さくすることができ、デバイスの小型化が図れる。
図1に示すように、ボンディング装置の装置フレーム1の上面には、被接合面の一例である基板2を搭載支持する装着ステージ3、および接合部材であるバンプ付きのチップ部品4を整列収容した部品供給部5が装備されている。装置フレーム1の上方には、部品搬送ステージ6、部品供給部5から取り出された部品4を部品搬送ステージ6に供給する部品供給ユニット7、部品搬送ステージ6に供給された部品4を受け取って装着ステージ3上の基板2に接合する接合ヘッド8、およびこの接合ヘッド8を支持して昇降させる昇降ブロック9などが装備されている。
ここで、装着ステージ3は、接合ヘッド8に保持された部品4に対する位置合わせのため、X方向およびY方向に水平移動可能に構成されており、その上に支持された基板2を内蔵ヒータにより加熱している。また、部品搬送ステージ6は、部品供給ユニット7によって供給された部品4を接合ヘッド8の上下移動経路内に搬入して、接合ヘッド8に受け渡すよう、Z方向およびX方向に移動可能に構成されている。
昇降ブロック9は、ベース板40、ベース板40に固定されたサーボモータ等からなる昇降駆動装置41、ベース板40にガイドレール42によって上下方向に移動自在に取り付けられたスライド板43、スライド板43上に取付台44を介して固定されたエアーシリンダよりなる荷重印加装置30などを備えている。昇降駆動装置41の回転軸はネジ軸41aで構成され、このネジ軸41aがスライド板43の背面に設けられたナット部48に螺合している。なお、ネジ軸41aの先端部はベース板40に固定された軸受49により回転自在に支持されている。昇降駆動装置41を駆動することにより、スライド板43は上下に移動し、後述する接合ヘッド8に保持された部品4を基板2と接触する位置まで降下させることができる。
この実施例では、超音波ホーン10の上辺14が2つの斜面14a,14bと1つの底面14cとを持つ凹状に形成したものであるが、上辺14が平坦であってもよいし、凸状であってもよい。
なお、当接部材17の水平面17bには、部品4を吸着するための吸着穴17cが形成されている。この吸着穴17cは超音波ホーン10に設けた吸引穴10aと連通しており、吸引穴10aの上端部は真空吸引装置(図示せず)と接続されている。
部品4を基板2にボンディングする際には、装着ステージ3上に搭載支持された基板は、装着ステージ3に内蔵されたヒータにより予め加熱されている。部品4を当接部材17,37間で保持するには、アクチュエータ33を挟持部材35の先端の当接部材37が当接部材17から開く方向に駆動し、当接部材17を部品搬送ステージ6上に供給された部品4の側面に当接させ、次にアクチュエータ33を閉じ方向に駆動し、部品4を当接部材17,37の間で挟持する。次に、基板2と部品4とを位置合わせした後、以下のような接合動作を開始する。
その後、下降し続けると、部品4が基板2に接触し、接合ヘッド8とスライド板43との位置関係が変化し、センサ39が接触したことを検知する。このとき、接合ヘッド8はバネ46によって自重キャンセルされているので、部品4のバンプは殆ど潰れない。この接触した時点から、ピストンロッド31と押圧治具32との隙間分だけスライド板43を下降させて停止させる。この状態で、ピストンロッド31が押圧治具32に当接し、荷重印加装置30の押圧力が押圧治具32に伝わるようになる。ここで、この下降量を隙間分+αにすると、α分だけバンプが潰れることになる。このように、接合前にバンプを少しだけ潰しておくと、接合後のバンプ形状が安定する。
次に、昇降駆動装置41によってスライド板43を設定速度(例えば0.1mm/s〜2mm/s程度)で設定量だけ下降させると同時に(若干タイミングをずらしてもよい)、圧電振動子20を作動させて超音波を部品4に印加し、接合を開始する。接合初期は、部品4から接合ヘッド8への反力、つまりバンプの抗力が荷重印加手段30の設定荷重未満であるから、スライド板43と接合ヘッド8とは一体的に下降し、スライド板43の下降速度でバンプは徐々に潰れていく。この下降速度は、昇降駆動装置41の回転速度を制御することで、ほぼ一定に制御される。バンプがある程度潰れ、バンプの抗力が荷重印加手段30の設定荷重以上になった時点で、接合ヘッド8はスライド板43の下降に追従しなくなる。これ以降は、部品4に荷重印加手段30の設定荷重と超音波とが印加された状態で接合が行われ、接合を完了する。
昇降駆動装置41を駆動してスライド板32が下降を開始すると、バネ6によって吊り下げられた接合ヘッド8も一体に下降する。
時刻t1 でバンプが基板に接触し、これをセンサ39で検出する。時刻t1 以後、スライド板32は下降し続けるが、接合ヘッド8の下降はほぼ停止する。ここではスライド板32の速度勾配を時刻t1 の前後で変化させているが、同じ速度勾配でもよい。
時刻t2 でピストンロッド31が押圧治具32に当接し、それ以後、速度制御を開始し、バンプの潰れ速度を制御すると同時に、超音波を印加し、接合を開始する。時刻t2 〜t3 までの間、超音波印加によってバンプの剛性が低下するため、押圧力(=バンプ抗力)は時間に比例した変化を示さない。速度制御を実施している時刻t2 〜t3 までの間、スライド板32と接合ヘッド8はほぼ一体に下降する。
時刻t3 になると、バンプの抗力が荷重印加装置30の設定荷重に等しくなるので、速度制御から荷重制御に切り換わり、ほぼ一定の押圧荷重を印加しながら超音波を印加することで、接合を行う。時刻t3 以後、接合ヘッド8はスライド板43の下降に追従しなくなる。
時刻t4 で接合が完了し、スライド板32は上昇し、超音波も停止する。
測定方法は、超音波接合後、塩酸で部品側の電極を溶解し、部品を取り外した。そして、基板側に残ったバンプに剪断荷重を印加し、基板から剥離した時点の荷重を測定した。試料数は20個とし、20個の測定値の平均値を求めた。
比較例として挙げた従来方法とは、接合初期から終了時まで一定荷重を印加し続けて接合した場合(バンプの潰れ速度制御を行わない場合)をいう。
図6から明らかなように、本発明方法では従来方法に比べて約2割の強度向上が見られる。
このように、接合初期のバンプ潰れ速度を制御することで、初期の接合部に超音波振動を十分に作用させ、従来は接合されていなかったバンプ中央部を接合させることが可能になり、接合強度を向上させることができる。
また、センサ39によって接触検出を行うため、基板2やバンプ高さにバラツキがあっても、安定した接合が可能になる。
第1実施例では、荷重印加装置30としてエアーシリンダを用いたが、この実施例では、荷重制御装置としてボイスコイルモータ50を用いている。なお、図2,図3と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
ボイスコイルモータ50の出力軸51は取付台44を摺動自在に貫通し、その下端は押圧治具32の上面に連結されている。出力軸51は貫通穴44bによって上下動自在にガイドされている。取付台44には、出力軸51を締結,解放の2状態に制御するブレーキ手段であるガイドブレーキ52が設けられている。このガイドブレーキ52は、電気信号によって締結、解放の2状態に切り替え可能な一種の電磁ブレーキである。
この実施例では、ボイスコイルモータ50から発生する起電力をモニタすることで接触検知が可能となるので、第1実施例における接触検出用センサ39は設けられていない。
まずガイドブレーキ52を解放した状態で、部品4を保持した接合ヘッド8を降下させ、基板2に部品4を接触させる(時刻t1 )。このとき、接合ヘッド8は自重キャンセル用のバネ46で吊り下げられているため、部品4に設けられたバンプは殆ど潰れない。
次に、時刻t5 でガイドブレーキ52を締結させて、出力軸51を取付台44に固定し、接合ヘッド8をスライド板43に対して上下方向に動かないように拘束する。
次に、時刻t2 で昇降駆動装置41を駆動してスライド板43を設定速度(例えば0.1mm/s〜2mm/s程度)で下降させると同時に(若干タイミングをずらしてもよい)、超音波を部品4に印加し、接合を開始する。つまり、バンプの潰れ速度を制御しながら初期接合を行う。
次に、時刻t6 でボイスコイルモータ50の出力軸51に下方への設定荷重を出力させる。しかし、この時はガイドブレーキ52が締結しているため、接合ヘッド8には荷重は作用しない。
しかる後、時刻t3 で時間あるいは下降量によって決められたタイミングでガイドブレーキ52を解放すると、予め設定されたボイスコイルモータ50の押圧荷重が接合ヘッド8に作用する。それ以後、部品4にはボイスコイルモータ50による設定荷重と超音波とが印加された状態で接合が行われる。
なお、時刻t3 でバンプ高さとヘッド位置が少し変化しているのは、ガイドブレーキ52を解放することで、バンプへの押圧力が上昇し、バンプが少し潰れるからである。
上記実施例では、バンプを予め部品に固定しておき、このバンプを被接合面(例えば基板の電極)に接合する例について説明してが、バンプを予め被接合面(例えば基板の電極)に固定しておき、バンプを部品の電極に接合する場合でも本発明を同様に適用できる。
上記実施例では、荷重印加装置としてエアーシリンダとボイスコイルモータとを用いた例について説明したが、これに限らず、押圧荷重を制御できる装置であれば、任意の装置を用いることができる。
また、第2実施例におけるボイスコイルモータに代えてエアーシリンダを用いることも可能であり、第1実施例におけるエアーシリンダに代えてボイスコイルモータを用いることも可能である。
ボイスコイルモータを用いた場合、その入力電流により押圧荷重の制御が可能であるが、別にロードセルなどの荷重検出手段を用いて押圧荷重をフィードバック制御してもよい。
上記実施例では、部品4を超音波ホーン10の当接部材17と挟持部材35の当接部材37とで挟持した例を示したが、挟持部材35を省略して超音波ホーン10の当接部材17に設けられた吸着穴17cで部品4を吸着するだけでもよい。
上記実施例では、逆三角形状の超音波ホーンを用いたが、超音波ホーンの形状は任意であり、公知の超音波ホーンを使用することもできる。
2 基板(被接合面)
4 部品
8 接合ヘッド(ボンディングツール)
10 超音波ホーン
20 振動子
30 エアーシリンダ(荷重印加手段)
31 ピストンロッド
32 押圧治具
39 接触検出用センサ
41 昇降駆動装置
43 スライド板
46 自重キャンセル用バネ
50 ボイスコイルモータ(荷重印加手段)
51 出力軸
52 ガイドブレーキ(ブレーキ手段)
Claims (8)
- 一方主面と他方主面とを持つ部品の他方主面にボンディングツールを接触させ、部品に押圧力と超音波振動とを印加して、部品の一方主面をバンプを介して被接合面に接合する超音波接合方法において、
上記バンプを被接合面に接合する初期に、上記超音波を印加しながらボンディングツールを所定の速度で降下させ、バンプの潰れ速度を制御する第1の工程と、
上記第1の工程の後、上記超音波を印加しながらボンディングツールに対して所定の押圧荷重を印加し、部品の一方主面をバンプを介して被接合面に接合する第2の工程と、を有することを特徴とする超音波接合方法。 - 上記第1の工程は、上記部品からボンディングツールへの反力が上記所定の押圧荷重未満のときに実施され、
上記第2の工程は、上記部品からボンディングツールへの反力が上記所定の押圧荷重以上になると実施されることを特徴とする請求項1に記載の超音波接合方法。 - 上記ボンディングツールに所定の押圧荷重を印加する荷重印加装置が設けられ、
上記第1の工程は、上記ボンディングツールと荷重印加手段とを一体に連結し、両者を一体に降下させることにより実施され、
上記第2の工程は、上記ボンディングツールと荷重印加手段とを相対的に変位自在とし、上記荷重印加手段による押圧荷重を印加することにより実施されることを特徴とする請求項1に記載の超音波接合方法。 - 一方主面と他方主面とを持つ部品の他方主面にボンディングツールを接触させ、部品に押圧力と超音波振動とを印加して、部品の一方主面をバンプを介して被接合面に接合する超音波接合装置において、
上記ボンディングツールに取り付けられ、ボンディングツールに超音波を印加する超音波印加手段と、
上記ボンディングツールに所定の押圧荷重を印加する荷重印加装置と、
上記荷重印加装置を降下させ、その降下速度を制御可能なZ軸駆動装置とを備え、
上記部品からボンディングツールへの反力が上記荷重印加手段の押圧荷重未満のときはボンディングツールと荷重印加装置とをZ軸駆動装置による速度で一体に降下させ、部品からボンディングツールへの反力が上記荷重印加手段の押圧荷重以上になるとボンディングツールと荷重印加手段とを相対変位させ、ボンディングツールに対して荷重印加手段の押圧荷重を印加することを特徴とする超音波接合装置。 - 一方主面と他方主面とを持つ部品の他方主面にボンディングツールを接触させ、部品に押圧力と超音波振動とを印加して、部品の一方主面をバンプを介して被接合面に接合する超音波接合装置において、
上記ボンディングツールに取り付けられ、ボンディングツールに超音波を印加する超音波印加手段と、
上記ボンディングツールに所定の押圧荷重を印加する荷重印加装置と、
上記ボンディングツールと荷重印加装置との間に設けられ、両者を一体的に固定する締結状態と相対的に変位可能な解放状態とに切り替え可能なブレーキ手段と、
上記荷重印加装置を降下させ、その降下速度を制御可能なZ軸駆動装置とを備え、
上記ブレーキ手段を締結状態としたときはボンディングツールと荷重印加装置とをZ軸駆動装置による速度で一体に降下させ、上記ブレーキ手段を解放状態としたときはボンディングツールと荷重印加手段とを相対変位させ、ボンディングツールに対して荷重印加手段の押圧荷重を印加することを特徴とする超音波接合装置。 - 上記ボンディングツールを荷重印加手段に対して上下方向に相対変位自在に支持するガイド機構と、ボンディングツールの自重をキャンセルするバネ手段とをさらに備えることを特徴とする請求項4または5に記載の超音波接合装置。
- 上記荷重印加手段とボンディングツールとの間に、上記部品の一方主面がバンプを介して被接合面に接触したことを検知する接触検知手段が設けられていることを特徴とする請求項6に記載の超音波接合装置。
- 上記荷重印加手段はボイスコイルモータよりなり、
上記接触検知手段は上記ボイスコイルモータの起電力の変化により上記部品の一方主面がバンプを介して被接合面に接触したことを検知する手段であることを特徴とする請求項7に記載の超音波接合装置。
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