JP6519653B2 - ノイズ源分析方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノイズの発生原因であるノイズ源を分析するノイズ源分析方法に関する。

一般に、ノイズ対策として様々な方法が知られている。例えば、制御盤内部に各種センサを設け、これらセンサから得られるデータに基づいて、制御盤内部の環境が異常であるか否かを判断する遠隔監視装置が開示されている（特許文献１参照）。

また、互いに離れた場所に設置した複数の検出器で、電子装置の電圧や電流などの物理量のデータを測定し、これを無線方式でデータ収集装置に伝送し、１０ナノ秒以下の精度で同時刻の各検出器の測定データを収集することができるデータ収集システムが開示されている（特許文献２参照）。

一方、信号線又は直流電源線などの電線が敷設される場合、その電線にリレーなどのノイズ源が接続されることがある。また、ノイズ源を有する電線が別の電線の近傍に敷設され、ノイズが誘導により、近傍にあるその電線に重畳してくることがある。しかし、ノイズが印加されたり、ノイズが誘導により重畳されたりすることが想定されずに敷設される電線もある。その場合、その電線を利用する装置では、ノイズにより誤動作等が生じることがある。

ノイズ対策としては、ノイズの伝達及び誘導の阻止、装置のノイズ耐力の増加、及びノイズ源での対策がある。

ノイズ対策としては、ノイズの伝達及び誘導の阻止を行うことが多いが、次のような問題がある。ノイズの伝わり方は、誘導、伝達及び電磁波の３つがある。従って、ある対策をしても、ノイズによる影響が違う箇所に現れることがある。完全な対策をとるには、経験と知識を有する作業が必要になる。このため、複数の対策案をカットアンドトライで実施することになり、成果を確認できるまでに時間を要する。

例えば、ノイズ対策として、電線をシールドしてノイズをアースに落とす方法がある。しかし、この方法では、アースが他のノイズ源からのノイズの伝達媒体となることがあり、又は、アースが十分な高周波電流を流せるだけの低いインピーダンス特性を持たず、対策とならないこともある。

一方、ノイズ対策として、装置のノイズ耐力を増加させるには、装置側でコストを掛ける必要があるため、この対策は採用できないことが多い。

そこで、根本的なノイズ対策としては、ノイズ源での対策がある。ノイズ源での対策は、ノイズ源の除去及びノイズ源からのノイズの出力の防止がある。但し、ノイズ源は、除去できないことがある。例えば、ノイズ源が、雷のような自然現象に起因するもの又は遮断器のように機器を保護するためのものである場合である。

しかしながら、ノイズ源での対策をするには、ノイズ源の位置を特定しなければならない。ノイズを伝播する電線が敷設される距離は、数百ｍにおよぶことがある。さらに、その敷設箇所は床下又は配電盤などの他の電線が多く存在することが多い。従って、ノイズ源の位置を特定する作業は容易ではない。

国際公開第２００９／１４４８２０号 特開２０１０−２１８０５６号

本発明の目的は、ノイズの発生原因であるノイズ源を分析することのできるノイズ源分析方法を提供することにある。

本発明の観点に従ったノイズ源分析方法は、互いに時刻同期された複数のセンサでノイズを測定し、前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズのデータに基づいて、前記ノイズの発生原因であるノイズ源を特定するための分析をすることを含む。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るノイズ測定装置の構成を示す構成図である。 図２は、第１の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図３は、第１の実施形態に係るノイズ測定装置により測定される電圧データを示す波形図である。 図４は、第１の実施形態に係るノイズ測定装置の実験がされる構成を示す構成図である。 図５は、第１の実施形態に係る図４に示す実験により得られた電圧データのトレンドグラフを表すグラフ図である。 図６は、本発明の第２の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図７は、第２の実施形態に係るノイズ測定装置により測定される電圧データを示す波形図である。 図８は、本発明の第３の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図９は、第３の実施形態におけるノイズが第１の観測点に達した時点の誘導ノイズの位置を示す波形を概念化した概念図である。 図１０は、第３の実施形態におけるノイズが第２の観測点に達した時点の誘導ノイズの位置を示す波形を概念化した概念図である。 図１１は、本発明の第４の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図１２は、第４の実施形態に係る２つの電圧センサでそれぞれ測定された誘導ノイズの波形を同一の時刻座標で示した波形図である。 図１３は、本発明の第５の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図１４は、本発明の第６の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図１５は、第６の実施形態に係る電圧センサでそれぞれ測定されたノイズの波形を同一の時刻座標で示した波形図である。 図１６は、第６の実施形態に係るノイズ源分析装置によるノイズ源の分析方法を示す概念図である。 図１７は、本発明の第７の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図１８は、第７の実施形態に係る電圧センサでそれぞれ測定された誘導ノイズの波形を同一の時刻座標で示した波形図である。 図１９は、本発明の第８の実施形態に係るノイズ測定装置による測定方法を実施する構成を示す構成図である。 図２０は、第８の実施形態に係る電圧センサでそれぞれ測定された電磁ノイズの波形を同一の時刻座標で示した波形図である。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るノイズ測定装置１の構成を示す構成図である。なお、図面における同一部分には同一符号を付してその詳しい説明を省略し、異なる部分について主に述べる。

ノイズ測定装置１は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂ、２つの光信号処理器３ａ，３ｂ、データ収集装置４、及びノイズ源分析装置５を備える。

電圧センサ２ａ，２ｂは、ノイズの発生原因であるノイズ源を分析するための測定対象である電線２１の電位（又は、電流などの他の電気量）を電圧として測定するセンサである。電圧センサ２ａ，２ｂは、それぞれ電線２１の異なる箇所Ｐａ，Ｐｂを測定する。電圧センサ２ａ，２ｂは、電線２１の電位を常時測定し、少なくとも予め決められた時間の間、測定値を保持する。

電圧センサ２ａ，２ｂは、測定している電位が予め設定された閾値を超えた場合、超えた電位をノイズとして検出する。電圧センサ２ａ，２ｂは、ノイズを検出すると、それぞれ対応する光信号処理器３ａ，３ｂにノイズ検出信号を出力するとともに、そのノイズを検出した時刻の前後の電圧データを記録する。電圧センサ２ａ，２ｂは、記録した電圧データをデータ収集装置４に出力する。

また、各電圧センサ２ａ，２ｂは、対応する光信号処理器３ａ，３ｂに、他の電圧センサ２ａ，２ｂで検出されたノイズ検出信号が入力されると、そのノイズを検出した時刻の前後の電圧データを記録する。電圧センサ２ａ，２ｂは、記録した電圧データをデータ収集装置４に出力する。ここで、ノイズを検出した時刻は、他の電圧センサ２ａ，２ｂでノイズが検出されてから、そのノイズの検出を示すノイズ検出信号を受信するまでに掛かる遅延時間を考慮した時刻である。この遅延時間は、予め電圧センサ２ａ，２ｂに設定される。例えば、各電圧センサ２ａ，２ｂは、他の電圧センサ２ａ，２ｂでノイズを検出した時刻として、ノイズを検出した電圧センサ２ａ，２ｂからノイズ検出信号を受信した時刻よりも遅延時間分前の時刻を求める。

光信号処理器３ａ，３ｂは、電圧センサ２ａ，２ｂにそれぞれ対応して設けられる。光信号処理器３ａ，３ｂは、光信号の発信、受信及びその他の処理を行う。全ての光信号処理器３ａ，３ｂは、光ケーブル１１で相互に接続される。光ケーブル１１には、光カプラが接続されてもよい。光信号処理器３ａ，３ｂは、全ての電圧センサ２ａ，２ｂの時刻の同期をとるための信号の送受信を常時行う。光信号処理器３ａ，３ｂは、１０ナノ秒以下の精度で時刻同期を行う。光信号処理器３ａ，３ｂは、対応する電圧センサ２ａ，２ｂからノイズ検出信号が入力されると、他の全ての光信号処理器３ａ，３ｂに、ノイズ検出信号を光信号として、光ケーブル１１を介して発信する。また、各光信号処理器３ａ，３ｂは、他の光信号処理器３ａ，３ｂから光信号としてノイズ検出信号を受信すると、対応する電圧センサ２ａ，２ｂにノイズ検出信号を出力する。

データ収集装置４は、電圧センサ２ａ，２ｂからの電圧データを収集する。データ収集装置４は、収集した電圧データを、ノイズ源を分析するための分析用データに加工する。データ収集装置４は、加工した分析用データをノイズ源分析装置５に出力する。

ノイズ源分析装置５は、データ収集装置４から入力される分析用データに基づいて、ノイズ源を分析する。ノイズ源分析装置５は、分析結果からノイズ源に関する情報を出力する。例えば、ノイズ源に関する情報は、ノイズ源の位置及び方向である。

なお、データ収集装置４及びノイズ源分析装置５により行われる処理の一部又は全部を人が行ってもよい。

ノイズ源分析装置５によるノイズ源の分析方法の概要は、次の通りである。ノイズが電線２１を伝播する速度は、光速度（以下、０．２［ｍ／ｎｓ］に統一して説明する。）である。ノイズを複数箇所で測定すると、測定箇所毎に、ノイズが検出された時刻が異なる。これらの時刻差に基づいて、ノイズの伝播方向及び伝播距離が求まる。ノイズ源分析装置５は、それぞれの測定箇所で測定されたノイズを示す電圧の時系列データを比較することで、ノイズ源の分析を行う。

図２は、本実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。

ここで、ノイズ源２２は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の外側にある。２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の電線２１の距離をＬｔ［ｍ］とする。ノイズ源２２は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の外側で、電圧センサ２ｂ側にあるものとする。ノイズ源２２からノイズＳｎを発生させる。

図３は、本実施形態に係るノイズ測定装置１により測定される電圧データを示す波形図である。図３に示す波形図は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂによりそれぞれ測定された２つの電圧データを、時刻を一致させて表示したものである。

波形Ｗａは、ノイズ源２２から遠い方の電圧センサ２ａにより測定された電圧データである。波形Ｗｂは、ノイズ源２２に近い方の電圧センサ２ｂにより測定された電圧データである。時刻ｔａは、電圧センサ２ａによりノイズＳｎが検出された時刻（測定箇所Ｐａの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時刻ｔｂは、電圧センサ２ｂによりノイズＳｎが検出された時刻（測定箇所Ｐｂの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時間Ｔ１は、時刻ｔａと時刻ｔｂの時間差である。

ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２を次のように分析する。

ノイズ源２２が２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の外側にあれば、２つの時刻ｔａ，ｔｂの差である時間Ｔ１とノイズＳｎが電線２１を伝播する光速度（０．２［ｍ／ｎｓ］）との積は、２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の電線２１の長さＬｔとなる。一方、ノイズ源２２が２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の内側にあれば、時間Ｔ１と光速度との積は、電線２１の長さＬｔよりも短くなる。これにより、ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２が２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の外側又は内側のどちらにあるかを判断することができる。なお、ノイズ源２２が２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の外側にあることが予め分かっているのであれば、ノイズ源分析装置５は、このような判断を行わなくてもよい。

時刻ｔｂが時刻ｔａよりも早いことから、ノイズＳｎは、電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂの方向から電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａの方向に電線２１を伝播したことが分かる。

図４は、本実施形態に係るノイズ測定装置１の実験がされる構成を示す構成図である。

実験の構成は、次の通りである。電線２１として、１２０［ｍ］の２芯ケーブルを用いている。電線２１の一端を電圧センサ２ｂにより測定し、電線２１のもう一端を電圧センサ２ａにより測定する。電線２１には、直流電源３１から＋５［Ｖ］の電圧を印加する。光信号処理器３ａ，３ｂを接続する２つの光ケーブル１１は、光スターカプラ１２により接続される。ノイズ発生器２２ａにより、電圧センサ２ａの測定箇所ＰａにノイズＳｎを印加する。

電圧センサ２ａは、時刻ｔａにノイズＳｎを検出して、光信号処理器３ａ、電圧センサ２ａ側の光ケーブル１１、光スターカプラ１２、電圧センサ２ｂ側の光ケーブル１１、及び光信号処理器３ｂを順次に介して、ノイズ検出信号を電圧センサ２ｂに送信する。

電圧センサ２ｂは、ノイズ検出信号を受信すると、電圧センサ２ａによるノイズＳｎの検出からノイズ検出信号を受信するまでの時間分遡った時点の前後の電圧データを記録する。これにより、２つの電圧センサ２ａ，２ｂがほぼ同時刻近辺で測定したそれぞれの電圧データが記録される。

図５は、図４に示す実験により得られた電圧データのトレンドグラフを表すグラフ図である。図５に示すグラフ図は、ノイズ源分析装置５により表示される。

２つの電圧センサ２ａ，２ｂがそれぞれノイズＳｎを検出した時刻ｔａ，ｔｂの時間差は、６００［ｎｓ］である。この時間差と電線２１における光速度（０．２［ｍ／ｎｓ］）との積は、６００×０．２＝１２０［ｍ］となる。この長さは、２つの電圧センサ２ａ，２ｂを接続する電線２１の長さと一致する。これにより、電線２１の２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂの間をノイズＳｎが伝播したと推測される。また、電圧センサ２ａの測定箇所ＰａでのノイズＳｎの検出時刻ｔａが早いことから電圧センサ２ａの方向からノイズＳｎが伝播してきたことが分かる。

ノイズ源分析装置５は、上述の分析過程及び分析結果等を出力する。

本実施形態によれば、２つの電圧センサ２ａ，２ｂにより、電線２１の２つの箇所Ｐａ，Ｐｂの電位を測定することで、電線２１の２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂの間の区間外にあるノイズ源２２の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第２の実施形態）
図６は、本発明の第２の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係るノイズ測定装置１の構成は、図１に示す第１の実施形態に係るノイズ測定装置１と同様の構成である。従って、図６では、本実施形態の説明に必要な構成を図示し、その他の構成は適宜省略する。

ここで、ノイズ源２２は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の内側にある。２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の電線２１の距離をＬｔ［ｍ］とする。電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａとノイズ源２２との間の電線２１の距離をＬａ［ｍ］とする。電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂとノイズ源２２との間の電線２１の距離をＬｂ［ｍ］とする。

ノイズ源２２からノイズＳｎを発生させると、ノイズＳｎは、電線２１の両側の方向に光速度で伝播する。電線２１の両側に伝播するノイズＳｎは、電線２１の両側にそれぞれ設けられた電圧センサ２ａ，２ｂにより検出される。データ収集装置４は、第１の実施形態と同様に、電圧センサ２ａ，２ｂにより収集された電圧データに基づいて、分析用データをノイズ源分析装置５に出力する。

図７は、本実施形態に係るノイズ測定装置１により測定される電圧データを示す波形図である。図７に示す波形図は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂによりそれぞれ測定された２つの電圧データを、時刻を一致させて表示したものである。

波形Ｗａ２は、ノイズ源２２から遠い方の電圧センサ２ａにより測定された電圧データである。波形Ｗｂ２は、ノイズ源２２に近い方の電圧センサ２ｂにより測定された電圧データである。時刻ｔａ２は、電圧センサ２ａによりノイズＳｎが検出された時刻（測定箇所Ｐａの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時刻ｔｂ２は、電圧センサ２ｂによりノイズＳｎが検出された時刻（測定箇所Ｐｂの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時間Ｔ２は、時刻ｔａ２と時刻ｔｂ２の時間差である。

ノイズ源分析装置５は、データ収集装置４から入力される分析用データに基づいて、ノイズ源２２を次のように分析する。

ノイズ源分析装置５は、第１の実施形態と同様に、ノイズ源２２が２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の内側にあるか否かを判断する。

電線２１の測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の距離ＬｔをノイズＳｎが伝播する時間は、Ｌｔ÷光速度（０．２［ｍ／ｎｓ］）で求まる。この求めた時間よりも、２つの時刻ｔａ２，ｔｂ２の差である時間Ｔ２の方が短い場合、ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２が２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の内側にあると判断する。なお、ノイズ源２２が２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の内側にあることが予め分かっているのであれば、ノイズ源分析装置５は、このような判断を行わなくてもよい。

ノイズ源２２と２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂとのそれぞれの距離Ｌａ，Ｌｂの差は、光速度×時間Ｔ２となる。また、２つの距離Ｌａ，Ｌｂの合計は、２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の電線２１の長さＬｔである。これにより、次の２つの式が得られる。

Ｌａ＋Ｌｂ ＝Ｌｔ …式（１）
｜Ｌａ−Ｌｂ｜＝光速度×Ｔ２ …式（２）
これらの式から、２つの距離Ｌａ，Ｌｂが求まる。これにより、ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２の位置を特定する。

本実施形態によれば、２つの電圧センサ２ａ，２ｂにより、電線２１の２つの箇所Ｐａ，Ｐｂの電位を測定することで、電線２１の２つの測定箇所Ｐａ，Ｐｂの間の区間にあるノイズ源２２の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係るノイズ測定装置１の構成は、図１に示す第１の実施形態に係るノイズ測定装置１と同様の構成である。従って、図８では、本実施形態の説明に必要な構成を図示し、その他の構成は適宜省略する。また、電線２１は、直線状に延びているものとし、電線２１と垂直方向の距離については、無視できるものとする。

電線２１ｎは、２つの電圧センサ２ａ，２ｂが設置された電線２１と、観測点Ｐｗと観測点Ｐｘとの間の区間で、静電誘導又は電磁誘導（以下、「誘導」という。）が生じる距離で近接し並行している。観測点Ｐｙは、観測点Ｐｗと観測点Ｐｘとのほぼ中間に位置する。ノイズ源２２は、電線２１ｎの２つの観測点Ｐｗ，Ｐｘ間の外側にある。観測点Ｐｗと観測点Ｐｘとの間の電線２１の距離をＬｗｘ［ｍ］とする。

ノイズ源２２から発生するノイズＳｎは、電線２１ｎを伝わって、観測点Ｐｗ側から観測点Ｐｘ側の方向に、光速度で伝播する。ノイズＳｎが電線２１ｎの観測点Ｐｗに達してから観測点Ｐｘを通過するまでの間で、誘導によるノイズＳｎｉ（以下、「誘導ノイズＳｎｉ」という。）が電線２１に重畳する。ノイズＳｎが観測点Ｐｗに達した時点で、電線２１に重畳される誘導ノイズＳｎｉは、電線２１の観測点Ｐｗから観測点Ｐｘの方向とその反対方向の両方向に伝播を開始する。

図９は、ノイズＳｎが観測点Ｐｙに達した時点の誘導ノイズＳｎｉの位置を示す波形を概念化した概念図である。

ノイズＳｎが観測点Ｐｙに達した時点では、観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉのノイズＳｎの伝播方向（観測点Ｐｘの方向）の先端は、観測点Ｐｙに達している。このとき、観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉのノイズＳｎの伝播方向と反対方向の先端は、観測点Ｐｗから観測点Ｐｗと観測点Ｐｙとの距離Ｌｗｙと同距離分の地点Ｐｙｒまで達している。

図１０は、ノイズＳｎが観測点Ｐｚに達した時点の誘導ノイズＳｎｉの位置を示す波形を概念化した概念図である。

ノイズＳｎが観測点Ｐｘを通過した時点では、観測点Ｐｗと観測点Ｐｘとの距離Ｌｗｘと同じ長さの幅の波形が観測点Ｐｗから両方向にそれぞれ広がる誘導ノイズＳｎｉが発生している。即ち、観測点Ｐｗを中心として、距離Ｌｗｘの２倍の幅の波形の誘導ノイズＳｎｉが発生している。また、誘導ノイズＳｎｉが発生する区間の終端である観測点ＰｘをノイズＳｎが過ぎてからは、電線２１に誘導ノイズＳｎｉは発生しない。

従って、ノイズＳｎが観測点Ｐｚに達した時点では、ノイズＳｎの伝播方向と反対方向には、距離Ｌｗｘの倍の幅の波形の誘導ノイズＳｎｉが伝播している。このときの誘導ノイズＳｎｉの後端は、観測点Ｐｘから観測点Ｐｘと観測点Ｐｚとの距離Ｌｘｚと同距離分の地点Ｐｚｒに位置する。

一方、ノイズＳｎの伝播方向と同方向に伝播する誘導ノイズＳｎｉは、ノイズＳｎと同じ光速度で伝播する。このため、ノイズＳｎが観測点Ｐｚに達した時点では、誘導が生じる２つの観測点Ｐｗ，Ｐｘの間で発生した全ての誘導ノイズＳｎｉの波形は、ノイズＳｎが位置する観測点Ｐｚと同位置にある。

このように、一定の区間で誘導によるノイズＳｎｉが発生すると、誘導源である原ノイズＳｎの伝播方向と同方向及び反対方向のそれぞれに誘導ノイズＳｎｉが伝播する。原ノイズＳｎと同方向に伝播する誘導ノイズＳｎｉは、原ノイズＳｎとほぼ同じ波形で、誘導により幅が鈍る程度である。原ノイズＳｎと反対方向に伝播する誘導ノイズＳｎｉは、誘導が生じる区間の倍の長さとなる。

従って、原ノイズＳｎの伝播方向と同方向に測定箇所Ｐａがある電圧センサ２ａでは、原ノイズＳｎに近い波形のノイズ信号（誘導ノイズＳｎｉ）が検出される。原ノイズＳｎの伝播方向と反対方向に測定箇所Ｐｂがある電圧センサ２ｂでは、誘導が生じる区間（２つの観測点Ｐｗ，Ｐｘ間）の倍の距離を光速度で割った時間継続するノイズ信号（誘導ノイズＳｎｉ）が検出される。

また、電圧センサ２ｂでは、ノイズ信号が顕著に検出できない場合がある。ノイズ信号が顕著に検出できないとは、例えば、ノイズ信号が継続せずに断続的に検出される場合、又は、ノイズ信号の検出レベル（電圧など）が低い場合などである。このような場合でも、電圧センサ２ｂが、原ノイズＳｎの伝播方向と反対方向にあると判断してもよい。従って、２つの電圧センサ２ａ，２ｂで検出されるノイズ信号の波形の差異により、原ノイズＳｎの伝播方向を判断するのであれば、どのように判断してもよい。

ノイズ源分析装置５は、上述したような特徴を有するノイズ信号を検出した場合、ある区間で誘導により発生した誘導ノイズＳｎｉであると推定する。例えば、ノイズ源分析装置５は、一方の電圧センサ２ｂで検出されたノイズ信号よりも幅が短いノイズ信号がもう一方の電圧センサ２ａで検出された場合、ある区間で誘導により発生した誘導ノイズＳｎｉであると推定する。この場合、ノイズ源分析装置５は、誘導ノイズＳｎｉを誘導したノイズＳｎを発生させたノイズ源２２が、ノイズＳｎが重畳している可能性のある電線２１ｎの幅が長いノイズ信号が検出された方向にあると推定する。

本実施形態によれば、２つの電圧センサ２ａ，２ｂにより、電線２１の２つの箇所Ｐａ，Ｐｂの電位を測定することで、ある区間で誘導により発生した誘導ノイズＳｎｉの原因となるノイズ源２２の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第４の実施形態）
図１１は、本発明の第４の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。図１１は、観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉを主に示している。図１２は、２つの電圧センサ２ａ，２ｂでそれぞれ測定された誘導ノイズＳｎｉの波形Ｗａ４〜Ｗｂ４を同一の時刻座標で示した波形図である。

波形Ｗａ４は、ノイズ源２２から遠い方の電圧センサ２ａにより測定された電圧データである。波形Ｗｂ４は、ノイズ源２２に近い方の電圧センサ２ｂにより測定された電圧データである。

時刻ｔａ４ｆは、電圧センサ２ａにより誘導ノイズＳｎｉの先端（ノイズ信号の開始時点）が検出された時刻（測定箇所Ｐａの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時刻ｔａ４ｒは、電圧センサ２ａにより誘導ノイズＳｎｉの後端（ノイズ信号の終了時点）が検出された時刻（測定箇所Ｐａの電位が閾値以下になった時刻）を示している。時刻ｔｂ４ｆは、電圧センサ２ｂにより誘導ノイズＳｎｉの先端（ノイズ信号の開始時点）が検出された時刻（測定箇所Ｐｂの電位が閾値を超えた時刻）を示している。時刻ｔｂ４ｒは、電圧センサ２ｂにより誘導ノイズＳｎｉの後端（ノイズ信号の終了時点）が検出された時刻（測定箇所Ｐｂの電位が閾値以下になった時刻）を示している。

誘導ノイズＳｎｉが発生する仕組みについては、第３の実施形態と同じため、詳しい説明は省略する。

観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉは、ノイズ源２２から発生したノイズＳｎの伝播方向と同方向及び反対方向のそれぞれに光速度で伝播する。

ノイズＳｎと同方向に伝播する観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉは、その後に発生する全ての誘導ノイズＳｎｉと重なって伝播する。このときに、電圧センサ２ａで検出される時刻ｔａ４ｆは、観測点Ｐｗで発生した時刻から、光速度で観測点Ｐｗから電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａまでに掛かる時間経過後の時刻である。

ノイズＳｎと反対方向に伝播する観測点Ｐｗで発生した誘導ノイズＳｎｉは、その後に発生する誘導ノイズＳｎｉに比べ、最も早く電圧センサ２ｂでノイズ信号として検出される。このときに、電圧センサ２ｂで検出される時刻ｔｂ４ｆは、観測点Ｐｗで発生した時刻から、光速度で観測点Ｐｗから電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂまでに掛かる時間経過後の時刻である。

２つの電圧センサ２ａ，２ｂがノイズ信号の波形Ｗａ４，Ｗｂ４の先端をそれぞれ検出した時刻の時間差をΔＴｆ（＝｜ｔｂ４ｆ−ｔａ４ｆ｜）とし、電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂと観測点Ｐｗとの間の電線２１の距離をＬｂｗとし、電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａと観測点Ｐｗとの間の電線２１の距離をＬａｗとすると、次式が成り立つ。

ΔＴｆ＝｜Ｌｂｗ−Ｌａｗ｜／光速度 …式（３）
また、２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の距離をＬａｂとすると、次式が成り立つ。

Ｌｂｗ＋Ｌａｗ＝Ｌａｂ …式（４）
ここで、測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の距離Ｌａｂは、予め測定することができる。

従って、上記２式より、誘導ノイズＳｎｉが誘導される区間の開始位置である観測点Ｐｗの位置を特定することができる。

ノイズ源分析装置５は、上述の方法に基づいて、誘導が生じる区間の開始位置を推定する。

次に、観測点Ｐｘで発生した誘導ノイズＳｎｉについて説明する。観測点Ｐｘで発生した場合も、観測点Ｐｗで発生した場合と同様に、ノイズＳｎの伝播方向と同方向及び反対方向のそれぞれに光速度で伝播する。

ノイズＳｎと同方向に伝播する観測点Ｐｘで発生した誘導ノイズＳｎｉは、観測点Ｐｗ以後に発生した全ての誘導ノイズＳｎｉと重なって伝播する。このときに、電圧センサ２ａで検出される時刻ｔａ４ｒは、観測点Ｐｘで発生した時刻から、光速度で観測点Ｐｘから電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａまでに掛かる時間経過後の時刻である。

ノイズＳｎと反対方向に伝播する観測点Ｐｘで発生した誘導ノイズＳｎｉは、誘導が生じる区間で発生した誘導ノイズＳｎｉの終了を示すノイズ信号として検出される。このときに、電圧センサ２ｂで検出される時刻ｔｂ４ｒは、観測点Ｐｘで発生した時刻から、光速度で観測点Ｐｘから電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂまでに掛かる時間経過後の時刻である。

２つの電圧センサ２ａ，２ｂがノイズ信号の波形Ｗａ４，Ｗｂ４の後端をそれぞれ検出した時刻の時間差をΔＴｒ（＝｜ｔｂ４ｒ−ｔａ４ｒ｜）とし、電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂと観測点Ｐｘとの間の電線２１の距離をＬｂｘとし、電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａと観測点Ｐｘとの間の電線２１の距離をＬａｘとすると、次式が成り立つ。

ΔＴｒ＝｜Ｌｂｘ−Ｌａｘ｜／光速度 …式（５）
また、２つの電圧センサ２ａ，２ｂの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ間の距離をＬａｂとすると、次式が成り立つ。

Ｌｂｘ＋Ｌａｘ＝Ｌａｂ …式（６）
従って、上記２式より、誘導ノイズＳｎｉが誘導される区間の終了位置である観測点Ｐｘの位置を特定することができる。

ノイズ源分析装置５は、上述の方法に基づいて、誘導が生じる区間の終了位置を推定する。なお、ノイズ源分析装置５は、誘導が生じる区間の開始位置又は終了位置のいずれか一方のみを推定する構成でもよい。

また、電圧センサ２ｂで検出された誘導ノイズＳｎｉの波形の時間幅Ｔｗｂは、次式より求まる。

Ｔｗｂ＝｜ｔｂ４ｒ−ｔｂ４ｆ｜ …式（７）
ここで、ノイズＳｎと反対方向に伝播し、電圧センサ２ｂで検出される誘導ノイズＳｎｉの幅は、第３の実施形態で述べたように、誘導が生じる区間の距離Ｌｗｘの２倍である。従って、次式により、誘導が生じる区間の距離Ｌｗｘが求まる。

Ｌｗｘ＝（Ｔｗｂ／２）×光速度 …式（８）
上式により、ノイズ源分析装置５は、誘導が生じる区間の距離Ｌｗｘを推定する。

なお、ここでは、説明の便宜上、電圧センサ２ｂにより測定された波形Ｗｂ４を明確に図示したが、必ずしも明確でなくてもよい。波形Ｗｂ４の先端又は後端のいずれか一方が認識できれば、誘導が生じる区間に関する情報が得られる。

本実施形態によれば、誘導ノイズＳｎｉが誘導される区間の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第５の実施形態）
図１３は、本発明の第５の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係るノイズ測定装置１の構成は、図１に示す第１の実施形態に係るノイズ測定装置１と同様の構成である。従って、図１３では、本実施形態の説明に必要な構成を図示し、その他の構成は適宜省略する。

電線２１ｓは、図８に示す第３の実施形態に係る電線２１ｎにおいて、電線２１に誘導が生じる区間内にある分岐点Ｐｓで、ノイズ源２２が接続されている電線２１ｓｐが分岐したものである。ノイズ源２２から発生するノイズＳｎは、電線２１ｓの分岐点Ｐｓで、電線２１ｓの２つの方向のそれぞれに伝播する。従って、誘導ノイズＳｎｉは、電線２１ｓの分岐点Ｐｓで分岐した２つのノイズＳｎのそれぞれにより、電線２１の誘導が生じる区間内で発生する。

このような誘導ノイズＳｎｉを示すノイズ信号には、第３の実施形態又は第４の実施形態で述べたような波形の幅などの特徴がほとんどない。従って、第３の実施形態及び第４の実施形態に係るノイズ源２２の分析方法では、ノイズ源２２に関する有用な情報はあまり得られない。

そこで、ノイズ源分析装置５は、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る分析方法を実行する。ここで、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る分析方法は、電圧センサ２ａ，２ｂが電圧（電位）を検出する対象の電線２１にノイズ源２２があることを想定したものである。本実施形態では、得られた分析結果を、ノイズ源２２の位置の特定に代えて、図１３に示すような電線２１ｓの誘導が生じる区間にある分岐点Ｐｓの位置を特定するために用いる。

また、誘導が生じる区間が短い場合も、第３の実施形態又は第４の実施形態で述べたような特徴が誘導ノイズＳｎｉに、ほとんど表れない。このような場合には、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る分析方法による分析結果は、誘導が生じる区間の位置を特定するために用いることができる。

本実施形態によれば、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る分析方法を採用することで、誘導ノイズＳｎｉが生じる原因となるノイズ源２２の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第６の実施形態）
図１４は、本発明の第６の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係るノイズ測定装置１の構成は、図１に示す第１の実施形態に係るノイズ測定装置１において、電圧センサ２ｃ及び光信号処理器３ｃを追加した点以外は、同様の構成である。従って、図１４では、本実施形態の説明に必要な構成を図示し、その他の構成は適宜省略する。

ノイズ源２２は、平面状の導板２３にある。例えば、平面状の導板２３は、床面などに網目状に設置されたアース面又は電子基板内のベタコモン面などである。ノイズ源２２から発生するノイズＳｎは、ノイズ源２２を中心として、同心円状に光速度で伝播する。

３つの電圧センサ２ａ，２ｂ，２ｃのそれぞれの測定箇所Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃは、導板２３上にある。電圧センサ２ｃ及び光信号処理器３ｃは、第１の実施形態で述べた電圧センサ２ａ，２ｂ及び光信号処理器３ａ，３ｂと同様である。光信号処理器３ａ〜３ｃは、第１の実施形態と同様に、全ての電圧センサ２ａ〜２ｃの時刻の同期をとるための信号の送受信を常時行う。なお、ここでは、３つの電圧センサ２ａ〜２ｃによる構成について説明するが、電圧センサ２ａ〜２ｃは、３つ以上あればいくつでもよい。

図１５は、本実施形態に係る電圧センサ２ａ，２ｂ，２ｃでそれぞれ測定されたノイズＳｎの波形Ｗａ６，Ｗｂ６，Ｗｃ６を同一の時刻座標で示した波形図である。図１６は、本実施形態に係るノイズ源分析装置５によるノイズ源２２の分析方法を示す概念図である。

ここで、時刻ｔａ６，ｔｂ６，ｔｃ６は、それぞれ電圧センサ２ａ，２ｂ，２ｃがノイズＳｎを検出した時刻である。時間Ｔａｂは、時刻ｔａ６と時刻ｔｂ６との時刻差である。時間Ｔａｃは、時刻ｔａ６と時刻ｔｃ６との時刻差である。

各電圧センサ２ａ〜２ｃでノイズＳｎを検出するそれぞれの時刻ｔａ６〜ｔｃ６は、各測定箇所Ｐａ〜Ｐｃとノイズ源２２との距離に応じて異なる。ノイズ源２２に最も近い測定箇所Ｐｂの電圧センサ２ｂにより検出された時刻ｔｂ６が最も早い。ノイズ源２２に最も遠い測定箇所Ｐｃの電圧センサ２ｃにより検出された時刻ｔｃ６が最も遅い。

次に、図１６を参照して、ノイズ源分析装置５によるノイズ源２２の分析方法について説明する。

電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａまで光速度で掛かる時間と電圧センサ２ｂの測定箇所Ｐｂまで光速度で掛かる時間との時間差が時間Ｔａｂとなる点の集合である軌跡Ｃａｂを求める。また、電圧センサ２ａの測定箇所Ｐａまで光速度で掛かる時間と電圧センサ２ｃの測定箇所Ｐｃまで光速度で掛かる時間との時間差が時間Ｔａｃとなる点の集合である軌跡Ｃａｃを求める。このように求めた２つの軌跡Ｃａｂ，Ｃａｃの交点Ｐｏが、ノイズ源２２があると推定される位置になる。

このようにして、ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２の位置を特定する。

本実施形態によれば、３つの電圧センサ２ａ〜２ｃにより、平面状の導板２３の３つの箇所Ｐａ〜Ｐｃの電位を測定することで、導板２３上の任意の位置にあるノイズ源２２の位置を特定するための情報を得ることができる。

（第７の実施形態）
図１７は、本発明の第７の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係る構成は、図１４に示す第６の実施形態に係る構成と同様である。従って、ここでは、第６の実施形態と異なる部分について主に説明する。

電線２１ｎは、ノイズ源２２がある電線である。電線２１ｎは、３つの電圧センサ２ａ〜２ｃが設置された導板２３と、観測点Ｐｗと観測点Ｐｘとの間の区間で、誘導が生じる距離で近接している。

ノイズ源２２から発生するノイズＳｎは、電線２１ｎを光速度で伝播する。ノイズＳｎが電線２１ｎの観測点Ｐｗに達してから観測点Ｐｘを通過するまでの間で、ノイズＳｎの誘導により、誘導ノイズＳｎｉが導板２３に重畳する。誘導ノイズＳｎｉは、導板２３に重畳された地点を中心として、同心円状に光速度で伝播する。従って、誘導ノイズＳｎｉは、電線２１ｎに近接する導板２３上の観測点Ｐｗから観測点Ｐｘまでの区間に線状に並ぶ地点を起点として、同心円状に広がる。

導板２３上の任意の地点において、観測点Ｐｗから伝播する誘導ノイズＳｎｉの方が観測点Ｐｘから伝播する誘導ノイズＳｎｉよりも早く到達する。このため、導板２３上の任意の地点において検出される誘導ノイズＳｎｉは、観測点Ｐｗから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時点から、観測点Ｐｘから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出する時点まで継続する時間幅を有する波形となる。

図１８は、本実施形態に係る電圧センサ２ａ，２ｂ，２ｃでそれぞれ測定された誘導ノイズＳｎｉの波形Ｗａ７，Ｗｂ７，Ｗｃ７を同一の時刻座標で示した波形図である。

各電圧センサ２ａ〜２ｃにおいて、それぞれ誘導ノイズＳｎｉの波形Ｗａ７〜Ｗｃ７を最初に検出した時刻（各Ｗａ７〜Ｗｃ７の先端に位置する時刻）ｔａ７ｆ〜ｔｃ７ｆが、観測点Ｐｗから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻である。

２つの電圧センサ２ａ，２ｂで測定されたそれぞれの波形Ｗａ７，Ｗｂ７から、２つの電圧センサ２ａ，２ｂがそれぞれ観測点Ｐｗから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻ｔａ７ｆ，７ｂ７ｆの時刻差Ｔａｂｆが求まる。また、これと異なる組合せの２つの電圧センサ２ａ，２ｃで測定されたそれぞれの波形Ｗａ７，Ｗｃ７から、２つの電圧センサ２ａ，２ｃがそれぞれ観測点Ｐｗから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻ｔａ７ｆ，ｔｃ７ｆの時刻差Ｔａｃｆが求まる。

このように求めた２つの時刻差Ｔａｂｆ，Ｔａｃｆから、第６の実施形態と同様に演算処理することで、観測点Ｐｗの位置が推定される。

各電圧センサ２ａ〜２ｃにおいて、それぞれ誘導ノイズＳｎｉの波形Ｗａ７〜Ｗｃ７を最後に検出した時刻（各Ｗａ７〜Ｗｃ７の後端に位置する時刻）ｔａ７ｒ〜ｔｃ７ｒが、観測点Ｐｘから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻である。

２つの電圧センサ２ａ，２ｂで測定されたそれぞれの波形Ｗａ７，Ｗｂ７から、２つの電圧センサ２ａ，２ｂがそれぞれ観測点Ｐｘから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻ｔａ７ｒ，７ｂ７ｒの時刻差Ｔａｂｒが求まる。また、これと異なる２つの電圧センサ２ａ，２ｃで測定されたそれぞれの波形Ｗａ７，Ｗｃ７から、２つの電圧センサ２ａ，２ｃがそれぞれ観測点Ｐｘから伝播する誘導ノイズＳｎｉを検出した時刻ｔａ７ｒ，ｔｃ７ｒの時刻差Ｔａｃｒが求まる。

このように求めた２つの時刻差Ｔａｂｒ，Ｔａｃｒから、第６の実施形態と同様に演算処理することで、観測点Ｐｘの位置が推定される。

このようにして、ノイズ源分析装置５は、ノイズ源２２を特定するために、誘導ノイズＳｎｉが発生する箇所を推定する。

本実施形態によれば、３つの電圧センサ２ａ〜２ｃにより、平面状の導板２３の３つの箇所Ｐａ〜Ｐｃの電位を測定することで、導板２３に誘導ノイズＳｎｉが重畳された箇所を特定することができる。

（第８の実施形態）
図１９は、本発明の第８の実施形態に係るノイズ測定装置１による測定方法を実施する構成を示す構成図である。本実施形態に係る構成は、図１４に示す第６の実施形態に係る構成と同様の構成であるため、異なる部分について主に説明する。

ノイズ源２２ｍは、電磁ノイズＳｎｍを空間に発信する。例えば、ノイズ源２２ｍは、空間に発せられる違法な電波の電波源、又は、高周波ノイズを発生する高圧機器の配線部などである。

各電圧センサ２ａｍ，２ｂｍ，２ｃｍには、それぞれ電磁界プローブ１３ａ，１３ｂ，１３ｃが装着されている。その他の点については、電圧センサ２ａｍ〜２ｃｍは、第６の実施形態に係る電圧センサ２ａ〜２ｃと同様である。これにより、電圧センサ２ａｍ〜２ｃｍは、それぞれ空間中の異なる３つの箇所Ｐａ〜Ｐｃの電磁ノイズＳｎｍを測定する。なお、電磁ノイズＳｎｍを測定できれば、どのようなセンサを用いてもよい。電磁ノイズＳｎｍは、平面を伝播するのではないため、３つの電圧センサ２ａｍ〜２ｃｍの測定箇所Ｐａ〜Ｐｃは、同一平面上に位置する必要はなく、空間中の任意の位置でよい。

図２０は、本実施形態に係る電圧センサ２ａｍ，２ｂｍ，２ｃｍでそれぞれ測定された電磁ノイズＳｎｍの波形Ｗａ８，Ｗｂ８，Ｗｃ８を同一の時刻座標で示した波形図である。

ここで、時刻ｔａ８，ｔｂ８，ｔｃ８は、それぞれ電圧センサ２ａｍ，２ｂｍ，２ｃｍが電磁ノイズＳｎｍを検出した時刻である。時間Ｔａｂ８は、時刻ｔａ８と時刻ｔｂ８との時刻差である。時間Ｔａｃ８は、時刻ｔａ８と時刻ｔｃ８との時刻差である。時間Ｔｂｃ８は、時刻ｔｂ８と時刻ｔｃ８との時刻差である。

ノイズ源分析装置５は、第６の実施形態と同様に、電圧センサ２ａｍ〜２ｃｍのそれぞれの測定箇所Ｐａ〜Ｐｃ及び図２０に示す２つの時間Ｔａｂ８，Ｔａｃ８に基づいて、ノイズ源２２ｍの位置を特定する。ここで、電磁ノイズＳｎｍは、空中を伝播するため、光速度は、０．３［ｍ／ｎｓ］として演算する。ノイズ源分析装置５は、さらに、もう１つの時間Ｔｂｃ８を用いて、ノイズ源２２ｍの位置を特定してもよい。これにより、ノイズ源２２ｍが位置する範囲をさらに限定して特定することができる。

本実施形態によれば、３つのセンサ２ａｍ〜２ｃｍにより、ある空間中の３つの箇所Ｐａ〜Ｐｃの電磁ノイズＳｎｍを測定することで、空間中の任意の位置にあるノイズ源２２ｍの位置を特定するための情報を得ることができる。

なお、各実施形態において、ノイズ源分析装置５は、少なくとも自己の実施形態に係る分析を実行するように構成されていれば、いくつの実施形態に係る分析を実行するように構成されていてもよい。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

Claims (5)

1. 互いに時刻同期された複数のセンサでノイズを測定し、
   前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズのデータに基づいて、前記ノイズの発生原因であるノイズ源を特定するための分析をすること
   を含み、
   前記分析は、前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズの波形に基づいて、前記ノイズが原ノイズの誘導により発生したことを判断すること
   を特徴とするノイズ源分析方法。
2. 前記分析は、前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズの波形の差異に基づいて、前記ノイズを誘導により発生させた前記原ノイズの伝播方向を判断すること
   を特徴とする請求項１に記載のノイズ源分析方法。
3. 前記分析は、前記複数のセンサでそれぞれ前記ノイズが測定された時刻の時刻差、及び前記複数のセンサの検出箇所の間の距離に基づいて、前記原ノイズが前記ノイズを誘導により発生させた位置を判断すること
   を特徴とする請求項１に記載のノイズ源分析方法。
4. 前記分析は、前記複数のセンサのうち１つで測定された前記ノイズの波形に基づいて、前記原ノイズが前記ノイズを誘導により発生させた区間の距離を判断すること
   を特徴とする請求項１に記載のノイズ源分析方法。
5. 互いに時刻同期され、ノイズを測定する複数のセンサと、
   前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズのデータに基づいて、前記ノイズの発生原因であるノイズ源を特定するための分析をする分析手段と
   を備え、
   前記分析手段は、前記複数のセンサでそれぞれ測定された前記ノイズの波形に基づいて、前記ノイズが原ノイズの誘導により発生したことを判断することを特徴とするノイズ源分析装置。

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