JP6511783B2 - ガスパージユニットおよびガスパージ装置 - Google Patents

Description

本発明は、たとえば半導体の製造工程などに用いられるガスパージユニットおよびガスパージ装置に関する。

半導体の製造工程において、ウエハ搬送容器内に収容されているウエハには、たとえば金属配線等が形成されたものが存在する。このような金属配線は表面が酸化されることによって素子完成時に所望の特性が得られなくなるおそれがあり、このために容器内部における酸素濃度を低レベルに保つ必要がある。

しかし、ポッド内のウエハを各種処理装置に持ち込んで所定の処理を施す際には、容器内部と処理装置内部とは常に連通した状態に維持されることとなる。移載ロボットが配置される室の上部にはファン及びフィルタが配置され、当該室内部には通常パーティクル等が管理された清浄空気が導入されている。しかし、このような空気が容器内部に侵入した場合、空気中の酸素あるいは水分によってウエハ表面が酸化されるおそれがある。

そこで、たとえば特許文献１では、容器の内部に向けて窒素ガスなどのパージガスを導入すると共に、処理室の内部から容器の内部への汚れた空気の導入を遮断するために、開口部の開口面に沿ってガスを吹き出すことが提案されている。

しかしながら、従来の装置では、容器の内部に向けてガスを吹き出す容器内向きノズルは、開口部の側辺部に配置され、開口部の開口面に沿ってガスを吹き出するカーテンノズルは、開口部の上辺部に配置されている。カーテンノズルから吹き出すガス流れは、開口面の下部では流れが弱くなり、十分な遮蔽効果（カーテン効果）が得られないおそれがある。

そのため、容器上部と容器下部とで、パージ完了までの到達速度にバラツキが生じるなどの課題がある。また、容器の内部でのパージガスの流路が複雑になり、理想的なガス置換ができないなどの課題を有する。このような場合には、たとえば容器の上部に配置されるウエハと、容器の下部に配置されるウエハとで、雰囲気中の酸素あるいは水分濃度が異なり、その後の製造工程で、ウエハの処理にバラツキが生じるなどの課題を有している。

ＷＯ２００５／１２４８５３号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、パージ対象容器の内部を、特に上下方向で均一にガス置換することが可能なガスパージユニットおよびガスパージ装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係るガスパージユニットは、
開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて、前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第１ノズル口と、
前記開口の開口面に沿って前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第２ノズル口とを有する。

本発明のガスパージユニットでは、開口の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す第２ノズル口が、開口の側辺部に沿って配置してある。このため、第２ノズル口から吹き出されるガスの流れは、開口を通して容器の外部から内部に入り込もうとする流れを遮るカーテン流れを構成する。このカーテン流れは、容器の開口の側辺部から生じるために、容器の上下方向において、均一な流れになる。また、容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第１ノズルも開口の側辺部に沿って配置してあることから、その容器内向き流れは、容器の上下方向において、均一な流れになる。

したがって本発明では、特に上下方向で均一にガス置換することが可能になる。その結果、容器内に収容してあるウエハなどの処理対象物の品質を均一化することができる。

好ましくは、前記第１ノズル口と第２ノズル口とが単一の双方向吹き出し部材に形成してある。第１ノズル口と第２ノズル口とを単一の双方向吹き出し部材に形成することで、部品点数を削減することが可能であり、ユニットの小型化に寄与する。

前記双方向吹き出し部材は、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してあればよいが、好ましくは、双方向吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してある。このように構成することで、カーテン流れが両側辺部から生じることになり、開口を通して容器の外部から内部に入り込もうとする流れを遮る効果が増大する。また、パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスが吹き出す流れが、開口の両側辺部からの２箇所になるため、容器の内部でのガス置換が迅速にしかも均一に行われる。

前記第１ノズル口は、第１専用吹き出し部材に形成してあり、前記第１専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してあってもよい。また、前記第２ノズル口が第２専用吹き出し部材に形成してあり、前記第２専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してあってもよい。

好ましくは、前記第１専用吹き出し部材が、前記第２専用吹き出し部材よりも前記開口に近い位置に配置してある。このように配置することで、第２専用吹き出し部材の第２ノズル口から吹き出されるカーテン流れが、第１専用吹き出し部材の第１ノズル口から吹き出される容器内向き流れに干渉することがなく、両者の流れがスムーズに行われる。

好ましくは、前記第１ノズル口および前記第２ノズル口は、前記開口の側辺部の長手方向に沿って連続的または断続的に形成してある。第１ノズル口および前記第２ノズル口は、スリット状に細長い吹き出し口でも良く、あるいは、複数の吹き出し口の集合体であっても良い。これらのノズル口は、管状部材の長手方向に沿って形成されたスリット状の貫通孔、円形の貫通孔、あるいは管状部材から突出したノズルの内部に形成してある貫通孔であっても良い。

本発明のガスパージ装置では、
前記パージ対象容器が、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
上記のいずれかに記載のガスパージユニットが、前記壁の内側で、前記壁側開口の少なくともいずれか一方の側辺部に取り付けてある。

図１Ａは本発明の一実施形態に係るガスパージユニットが適用されるロードポート装置の一部断面概略図である。 図１Ｂは図１Ａに示すロードポート装置の一部断面斜視図である。 図１Ｃは図１Ｂに示すガスパージユニットの横断面図である。 図２(Ａ）は図１Ｃに示すガスパージユニットの双方向吹き出し部材の斜視図、 図２(Ｂ）は図２（Ａ）に示す双方向吹き出し部材の変形例を示す斜視図、 図２(Ｃ）は図２（Ａ）に示す双方向吹き出し部材のその他の変形例を示す斜視図、 図２(Ｄ）は図２（Ａ）に示す双方向吹き出し部材のさらにその他の変形例を示す斜視図である。 図３Ａはフープの蓋がロードポート装置により開けられる工程を示す概略図である。 図３Ｂは図３Ａの続きの工程を示す概略図である。 図３Ｃは図３Ｂの続きの工程を示す概略図である。 図３Ｄは図３Ｃの続きの工程を示す概略図である。 図４Ａは図３Ｄに示すIV−IV線に沿う容器内の断面図である。 図４Ｂは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｃは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｄは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｅは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｆは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｇは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｈは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。 図４Ｉは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットを示す図４Ａと同様な容器内の断面図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。

第１実施形態
図１Ａに示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０は、イーフェム（ＥＦＥＭ）などの中間室６０に連結してある。ロードポート装置１０は、設置台１２と、その設置台１２に対して、Ｘ軸方向に移動可能な可動テーブル１４とを有する。なお、図面において、Ｘ軸が可動テーブル１４の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｙ軸がこれらのＸ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。

可動テーブル１４のＺ軸方向の上部には、複数のウエハ１を密封して保管して搬送するポットやフープなどで構成される密封搬送容器２が着脱自在に載置可能になっている。密封搬送容器２は、ケーシング２ａを有する。ケーシング２ａの内部には、被処理物たるウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。ケーシング２ａは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する略箱状の形状を有する。

また、密封搬送容器２は、ケーシング２ａの開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。ケーシング２ａの内部に水平に保持されたウエハ１を鉛直方向（Ｚ軸方向）に重ねるための複数の段を有する棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定として容器２の内部に収容される。

ロードポート装置１０は、密封搬送容器２の内部に密封状態で収容してあるウエハ１を、クリーン状態を維持しながら、中間室６０の内部に、移し替えるためのインターフェース装置である。中間室６０には、単一または複数の処理室７０が気密に連結してある。処理室７０は、特に限定されないが、たとえば蒸着装置、スパッタリング装置、エッチング装置など、半導体製造プロセスで用いられる装置である。

中間室６０の内部には、ロボットアーム５０が収容してある。中間室６０の上部には、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）４０が装着してあり、そのＦＦＵ４０から中間室６０の内部に清浄な空気をダウンフローで流し、局所的清浄環境を作り出している。中間室６０の内部の清浄度は、下述する密封搬送容器２の内部の清浄度よりは低いが、外部環境の清浄度よりは高い。

ロードポート装置１０は、壁１１の壁側開口１３を開閉するドア１８を有する。壁１１は、中間室６０の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。ドア１８の動きについては、図３Ａ〜図３Ｄを用いて簡単に説明する。

図３Ａに示すように、テーブル１４の上に容器２が設置されると、容器２のケーシング２ａの下面に設けられた位置決め部３の凹部に位置決めピン１６が嵌合することにより、容器２と可動テーブル１４との位置関係が一義的に決定される。ウエハ１の保管や搬送中には、密封搬送容器２の内部は密封され、ウエハ１の周囲は、クリーンな環境に維持される。

密封搬送容器２が可動テーブル１４の上面に位置決めされて設置されると、密封搬送容器２の下面に形成してある給気ポート５と排気ポート６とが、それぞれテーブル１４の内部に配置してあるボトムパージ装置に気密に連結される。そして、容器２の下部に設けられた給気ポート５および排気ポート６を通してボトムガスパージが行われる。ボトムガスパージが行われた状態で、図３Ｂに示すように、テーブル１４がＸ軸方向に移動し、容器２の開口２ｂを気密に塞いでいる蓋４が取り付けられている開口縁２ｃが、壁１１の壁側開口１３の内部に入り込む。

それと同時に、壁１１の内部（テーブル１４とは反対側）に位置するドア１８が、容器２の蓋４に係合する。その際に、開口縁２ｃと壁側開口１３の開口縁との間はガスケットなどによりシールされ、これらの間は良好に密封される。その後に、図３Ｃに示すように、ドア１８を蓋４と共に、Ｘ軸方向に平行移動させ、あるいは回動移動させて、蓋４を開口縁２ｃから取り外し、開口２ｂを開き、開口２ｂと壁側開口１３とを通して、容器２の内部と壁１１の内部とを連通させる。

その際にも、ボトムガスパージを継続させて動作させても良い。ボトムパージに加えて、あるいはボトムパージを停止させて、壁１１の内部から容器２の内部に向けて、窒素ガスやその他の不活性ガスなどのパージガス（清浄化ガス）を吹き出させる（フロントパージ）。

次に、図３Ｄに示すように、壁１１の内部で、ドア１８をＺ軸下方に移動させれば、容器２の開口２ｂは、壁１１の内部に対して完全に開き、壁１１の内部に配置されたロボットハンド５０などにより、開口２ｂおよび壁側開口１３を通して、壁１１の内部に、ウエハ１の受渡が行われる。その際にも、容器２の内部および壁１１の内部は、外気から遮断され、少なくともフロントパージが継続され、容器２の内部はクリーンな環境に維持される。容器２の内部にウエハ１を戻して容器２をテーブル１４から取り外すには、上記の逆の動作を行えば良い。

なお、図面においては、理解を容易にするために、密封搬送容器２に比較して、給気ポート５、排気ポート６、ガスパージユニット２０などを拡大して図示してあるが、実際の寸法比とは異なる。

次に、図面を参照しながら、本実施形態に係るフロントパージを行うためのガスパージユニット２０について説明する。

図１Ｂに示すように、本実施形態では、壁１１に形成してある壁側開口１３は、四角形の開口面を有し、壁１１における上辺部１３ｂ、下辺部１３ｃ、二つの両側辺部１３ａで囲まれている。図４Ａに示すように、容器２の開口２ｂは、壁側開口１３に対応する形状をしており、壁側開口１３と同じまたは少し小さな寸法に設定してある。

図１Ｂに示すように、本実施形態では、壁側開口１３の両側辺部１３ａに、それぞれガスパージユニット２０がドア１８を避けるように、壁１１の内面に取付てある。壁１１の内面とは、設置台１２とは反対側の壁１１の面である。

図３Ｄおよび図４Ａに示すように、ガスパージユニット２０は、壁側開口１３の両側辺部１３ａに、それぞれＺ軸方向に沿って、容器２の開口２ｂよりもＺ軸方向に長くなるように配置してある。ガスパージユニット２０は、それぞれ双方向吹き出し部材２２を有する。

双方向吹き出し部材２２は、本実施形態では、Ｚ軸方向に細長い管状部材で構成してあり、図１Ｃに示すように、内部に四角断面の吹き出し流路２３を有し、一つの角部に、第１ノズル口２６が形成してある。また、その第１ノズル口２６に隣接して、四角管状の双方向吹き出し部材２２の平面部には、第２ノズル口２８が形成してある。

本実施形態では、図２（Ａ）に示すように、第１ノズル口２６と第２ノズル口２８とは、四角管状の双方向吹き出し部材２２のＺ軸方向にそれぞれ連続して形成されたスリット状の貫通孔で構成してあり、それらはＸ軸方向に所定間隔で離れて平行なノズル口である。

図１Ｃに示すように、双方向吹き出し部材２２には、必ずしも必須ではないが、給気部材２４が連結してあっても良い。本実施形態では、給気部材２４は、双方向吹き出し部材２２と同様に、Ｚ軸方向に細長い管状部材で構成してあり、内部に四角断面の吹き出し流路２５を有する。双方向吹き出し部材２２に形成された連通孔２７と、給気部材２４に形成された連通孔２９とは、フィルタ２１を介して連通してある。

これらの連通孔２７および２９は、たとえばＺ軸方向にそれぞれ連続して形成されたスリット状の貫通孔、または断続的に形成された貫通孔で構成してある。給気部材２４の給気流路２５を流通する清浄化ガスは、連通孔２７および２９とフィルタ２１を通して、双方向吹き出し部材２２の吹き出し流路２３の内部に入り込み、第１ノズル口２６および第２ノズル口２８から外部に吹き出される。

給気部材２４を用いることで、第１ノズル口２６および第２ノズル口２８から外部に吹き出される清浄化ガスの流速をＺ軸方向により均一にすることができる。あるいは、給気部材２４を用いることで、第１ノズル口２６および第２ノズル口２８から外部に吹き出される清浄化ガスの流速をＺ軸方向に沿って意図的に制御することも可能である。

給気部材２４を通しての双方向吹き出し部材２２へのガスの供給、あるいは双方向吹き出し部材２２への直接のガスの供給は、図示省略してあるが、たとえば双方のガスパージユニット２０共に、Ｚ軸の下方向から行っても良いし、上から行っても良い。また、一方のガスパージユニット２０では、下方向からガスの供給を行い、他方のガスパージユニット２０では、上方向からガスの供給を行うようにしても良い。

なお、本実施形態では、第１ノズル口２６および第２ノズル口２８は、スリット状に細長い吹き出し口で構成してあるが、図２（Ｂ）に示すように、複数の吹き出し口の集合体であっても良い。また、これらのノズル口２６および２８は、管状部材の長手方向に沿って形成されたスリット状の貫通孔、円形の貫通孔、あるいは管状部材から突出したノズルの内部に形成してある貫通孔であっても良い。さらに、第１ノズル口２６と第２ノズル口２８とは、必ずしも同じ種類の貫通孔で構成する必要はなく、たとえば第１ノズル口２６をスリット状の貫通孔で構成し、第２ノズル口２８を複数の吹き出し口の集合体で構成しても良く、あるいは、その逆であっても良い。さらに本実施形態では、図２（Ｃ）および図２（Ｄ）に示すように、双方向吹き出し部材２２を円筒形状またはその他の筒形状にしても良い。

本実施形態では、図４Ａに示すように、一対の双方向吹き出し部材２２は、壁側開口１３の両側辺部１３ａで壁１１の内面に、それぞれ対向するように取り付けてある。そのため、第１ノズル口２６から吹き出されるガスの吹き出し方向が、容器２の内部に向き、第２ノズル口２８から吹き出されるガスの吹き出し方向が開口１３および２ｂの開口面に沿う方向になっている。

特に、本実施形態では、それぞれの双方向吹き出し部材２２に形成してある第２ノズル口２８から吹き出されるガスは、相互に対向して、開口１３および２ｂの開口面を遮蔽するように流れ、カーテン流れを構成している。また、それぞれの双方向吹き出し部材２２に形成してある第１ノズル口２６から吹き出されるガスは、容器２の内部に向けて、ウエハ１の略中央部で交差するように流れる。

ただし、本実施形態では、第１ノズル口２６から吹き出されるガスの流れ方向は、容器２の内部に向かう方向であれば特に限定されず、たとえば図４Ｂに示すように、ケーシング２ａの内壁に沿ってウエハ１の周辺部に向かう方向であっても良い。また、一対の第１ノズル口２６，２６から吹き出されるガスの流れ方向は、ウエハ１の中心を通るＸ軸に対して対称であることが好ましいが、必ずしも対称でなくても良い。

さらに、本実施形態では、それぞれの第２ノズル口２８，２８から吹き出されるガスの流量は略同じであることが好ましいが、場合によっては異ならせても良い。また、それぞれの第１ノズル口２６，２６から吹き出されるガスの流量は略同じであることが好ましいが、場合によっては異ならせても良い。

第１ノズル口２６から吹き出されるガスの流量をＱ１とし、第２ノズル口２８から吹き出されるガスの流量をＱ２とした場合には、Ｑ１／Ｑ２を変化可能に構成しても良い。流量比を調整するために、第１ノズル口２６と第２ノズル口２８とで、開口面積を変えたり、部材２２の内部に仕切り板を入れたり、吹き出し口の数を変えたりしても良い。

本実施形態では、これらの第１ノズル口２６および第２ノズル口２８のＺ軸方向の長さは同じであり、図３Ｄに示すように、容器２の開口２ｂのＺ軸方向高さと実質的に同等であることが好ましい。このように構成することで、容器２の内部に収容してある全てのウエハ１の表裏面に、第１ノズル口２６から吹き出される清浄化ガスが流通することになる。

なお、本実施形態では、これらの第１ノズル口２６および第２ノズル口２８のＺ軸方向の長さを同じにする必要はなく、たとえば第２ノズル口２８のＺ軸方向長さを、第１ノズル口２６のＺ軸方向長さよりも長くしても良い。その場合には、壁１１の内側から容器２の内部への汚れた気体の流れを遮蔽する効果が高められる。また、第１ノズル口２６のＺ軸方向長さは、容器２の開口２ｂのＺ軸方向高さと必ずしも同等である必要はなく、それよりも短く構成しても良い。

第１ノズル口２６および第２ノズル口２８から吹き出されるガスの種類は、特に限定されないが、少なくとも壁１１の内側環境よりも清浄度が高い（パーティクルや水分などを含まない）ガスであることが必要であり、たとえば窒素ガスなどの不活性ガスが例示される。第１ノズル口２６および第２ノズル口２８から吹き出されるガスの種類と清浄度は同じであることが好ましいが、場合によっては変化させても良い。

本実施形態のガスパージユニット２０では、開口１３の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す第２ノズル口２８が、開口１３の両側辺部１３ａに沿ってそれぞれ壁１１の内側に配置してある。このため、各第２ノズル口２８から吹き出されるガスの流れは、開口１３を通して容器２の外部（壁１１の内側）から容器２の内部に入り込もうとする流れを遮るカーテン流れを構成する。

このカーテン流れは、Ｚ軸方向に平行な開口１３の側辺部１３ａから生じるために、容器２の上下方向（Ｚ軸方向）において、均一な流れになる。また、容器２の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第１ノズル２６も開口１３の側辺部１３ａに沿って配置してあることから、その容器内向き流れ（容器２の内部に向かう流れ）は、容器２の上下方向において、均一な流れになる。

したがって本実施形態では、特に上下方向で均一に容器２の内部でガス置換することが可能になる。その結果、容器２内にＺ軸方向に複数で収容してあるウエハ１などの処理対象物の品質を均一化することができる。

また本実施形態では、第１ノズル口２６と第２ノズル口２８とが単一の双方向吹き出し部材２２に形成してある。第１ノズル口２６と第２ノズル口２８とを単一の双方向吹き出し部材２２に形成することで、部品点数を削減することが可能であり、ユニット２０の小型化に寄与する。

双方向吹き出し部材２２は、開口１３の少なくとも一方の側辺部１３ａに配置してあればよいが、本実施形態では、開口１３の両側辺部１３ａにそれぞれ対向して配置してある。このように構成することで、カーテン流れが両側辺部１３ａから生じることになり、開口１３を通して容器２の外部から内部に入り込もうとする流れを遮る効果が増大する。また、容器２の内部に向けて清浄化ガスが吹き出す流れが、開口１３の両側辺部１３ａからの２箇所になるため、容器２の内部でのガス置換が迅速にしかも均一に行われる。

本実施形態では、第２ノズル口２８２６を用いてカーテン流れを形成することができるため、図１Ｂおよび図３Ｄに示す壁側開口１３の上辺部１３ｂに取り付けてあるダウンフロー方式のカーテンノズル３０をなくすことが可能になる。ただし、このダウンフロー方式のカーテンノズル３０を併用して用いても良い。

ちなみに従来では、第２ノズル口２８が無く、ダウンフロー方式のカーテンノズル３０のみであったため、容器２の底面に近づくに従い、ガスが到達しにくい状態が発生するおそれがあった。たとえば容器２の開口２ｂのＺ軸方向高さが３０ｃｍの場合には、上から１５ｃｍ程度までしかダウンフローが到達しない場合があった。これは、図１Ａに示す中間室６０の上に装着してあるＦＦＵ４０からのダウンフローの影響により、カーテンノズル３０からのダウンフローが拡散してしまうためとも考えられる。

本実施形態では、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、カーテン流れを形成する第２ノズル口２８が、開口１３の両側辺部１３ａに形成してある。そのために、仮に、各第２ノズル口２８からのガスの流れが、１５ｃｍ程度までしか到達しない場合であっても、各第２ノズル口２８からのガスの流れが組み合わされて、開口１３の全面をカバーすることができる。

なお、従来のカーテンノズル３０を下辺部１３ｃにも具備させることも考えられる。しかしながら、下から上に向かうカーテン流れは、図１Ｃに示すＦＦＵ４０からのダウンフロー（清浄度が低い）との間でガス流が衝突して混じり合い、容器２の内部への清浄度が低いガスの混入防止効果を十分に発揮できないおそれがある。

第２実施形態
図４Ｃは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０ａの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｃに示すように、第１ノズル口２６は、第１専用吹き出し部材２２αに形成してあり、第２ノズル口２８が第２専用吹き出し部材２２βに形成してある。第１専用吹き出し部材２２αには、第１ノズル口２６のみが形成してあり、第２ノズル口２８は形成されていない。また、第２専用吹き出し部材２２βには、第２ノズル口２８のみが形成してあり、第１ノズル口２６は形成されていない。

本実施形態では、第１専用吹き出し部材２２αと、第２専用吹き出し部材２２βとで、ガスパージユニット２０ａを構成してあり、第１専用吹き出し部材２２αが、第２専用吹き出し部材２２βよりも開口１３に近い位置に配置してある。このように配置することで、第２専用吹き出し部材２２βの第２ノズル口２８から吹き出されるカーテン流れが、第１専用吹き出し部材２２αの第１ノズル口２６から吹き出される容器内向き流れに干渉することがなく、両者の流れがスムーズに行われる。

本実施形態では、第１専用吹き出し部材２２αと、第２専用吹き出し部材２２βとに、それぞれ共通の図１Ｃに示すような給気部材２４を連結しても良いし、別々の給気手段からガスを供給しても良い。

本実施形態では、第１専用吹き出し部材２２αと、第２専用吹き出し部材２２βとで、ガスパージユニット２０ａを構成してあり、部品点数が第１実施形態に比較して増大する以外は、第１実施形態と同様な構成と作用効果を奏する。

第３実施形態
図４Ｄは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０ｂおよび２０ｃの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｄに示すように、第１ノズル口２６は、第１専用吹き出し部材２２αに形成してあり、第２ノズル口２８が第２専用吹き出し部材２２βに形成してある。

本実施形態では、第２専用吹き出し部材２２βを有さずに第１専用吹き出し部材２２αを有するガスパージユニット２０ｂは、壁１１の内面で開口１３の一方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。また、第１専用吹き出し部材２２αを有さずに第２専用吹き出し部材２２βを有するガスパージユニット２０ｃは、壁１１の内面で開口１３の他方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。

本実施形態では、単一の第１専用吹き出し部材２２αにより容器内向き流れを形成し、第２専用吹き出し部材２２βのみでカーテン流れを形成する。その他の構成と作用効果は、第１実施形態または第２実施形態と同様である。なお、第１専用吹き出し部材２２αの第１ノズル口２６から吹き出されるガスの向きは、図４Ｄに限定されず、たとえば図４Ｅに示すように、容器２のケーシング２ａの内壁に沿った流れとしても良い。

図４Ｅに示すように、第１ノズル口２６から吹き出されるガスの流れと、第２ノズル口２８から吹き出されるガスの流れとにより、容器２の内部では、ケーシング２ａの壁面に沿って右回りに循環するガスの流れが形成される。その結果、開口１３の開口面でのカーテン効果を得つつ、容器２の内部のガス置換を容易に行うことができる。

第４実施形態
図４Ｆは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０ａおよび２０ｃの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｆに示すように、第１ノズル口２６は、第１専用吹き出し部材２２αに形成してあり、第２ノズル口２８が第２専用吹き出し部材２２βに形成してある。

本実施形態では、第２専用吹き出し部材２２βを有すると共に第１専用吹き出し部材２２αを有するガスパージユニット２０ａは、壁１１の内面で開口１３の一方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。また、第１専用吹き出し部材２２αを有さずに第２専用吹き出し部材２２βを有するガスパージユニット２０ｃは、壁１１の内面で開口１３の他方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。

本実施形態では、単一の第１専用吹き出し部材２２αにより容器内向き流れを形成し、一対の第２専用吹き出し部材２２βでカーテン流れを形成する。その他の構成と作用効果は、第１〜第３実施形態と同様である。なお、第１専用吹き出し部材２２αの第１ノズル口２６から吹き出されるガスの向きは、図４Ｆに限定されないことは、前述した実施形態と同様である。

第５実施形態
図４Ｇは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０ａおよび２０ｂの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｇに示すように、第１ノズル口２６は、第１専用吹き出し部材２２αに形成してあり、第２ノズル口２８が第２専用吹き出し部材２２βに形成してある。

本実施形態では、第２専用吹き出し部材２２βを有すると共に第１専用吹き出し部材２２αを有するガスパージユニット２０ａは、壁１１の内面で開口１３の一方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。また、第１専用吹き出し部材２２αを有して第２専用吹き出し部材２２βを有さないガスパージユニット２０ｂは、壁１１の内面で開口１３の他方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。

本実施形態では、一対の第１専用吹き出し部材２２αにより容器内向き流れを形成し、単一の第２専用吹き出し部材２２βでカーテン流れを形成する。その他の構成と作用効果は、第１〜第４実施形態と同様である。なお、第１専用吹き出し部材２２αの第１ノズル口２６から吹き出されるガスの向きは、図４Ｇに限定されないことは、前述した実施形態と同様である。

第６実施形態
図４Ｈは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０および２０ｂの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｈに示すように、双方向吹き出し部材２２を有するガスパージユニット２０は、壁１１の内面で開口１３の一方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。また、第１専用吹き出し部材２２αを有して第２専用吹き出し部材２２βを有さないガスパージユニット２０ｂは、壁１１の内面で開口１３の他方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。

本実施形態では、一対の第１ノズル口２６により容器内向き流れを形成し、単一の第２ノズル口２８でカーテン流れを形成する。その他の構成と作用効果は、第１〜第５実施形態と同様である。なお、双方向吹き出し部材２２の第１ノズル口２６から吹き出されるガスの向きは、図４Ｈに限定されないことは、前述した実施形態と同様である。

第７実施形態
図４Ｉは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０および２０ｃの組み合わせを示す。この実施形態では、図４Ｉに示すように、双方向吹き出し部材２２を有するガスパージユニット２０は、壁１１の内面で開口１３の一方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。また、第２専用吹き出し部材２２βを有して第１専用吹き出し部材２２αを有さないガスパージユニット２０ｃは、壁１１の内面で開口１３の他方の側辺部１３ａのＺ軸方向に沿って固定してある。

本実施形態では、単一の第１ノズル口２６により容器内向き流れを形成し、一対の第２ノズル口２８でカーテン流れを形成する。その他の構成と作用効果は、第１〜第６実施形態と同様である。なお、双方向吹き出し部材２２の第１ノズル口２６から吹き出されるガスの向きは、図４Ｉに限定されないことは、前述した実施形態と同様である。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。

たとえば、上述した実施形態では、本発明のガスパージユニットを、ロードポート装置１０に適用したが、それ以外の装置にも適用しても良い。たとえば本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所で、クリーンな環境が求められる装置や場所に設置しても良い。

１… ウエハ
２… 密封搬送容器
２ａ… ケーシング
２ｂ… 開口
２ｃ… 開口縁
３… 位置決め部
４… 蓋
５… 給気ポート
６… 排気ポート
１０… ロードポート装置
１１… 壁
１２… 設置台
１３… 壁側開口
１３ａ… 側辺部
１３ｂ… 上辺部
１３ｂ… 下辺部
１４… 可動テーブル
１６… 位置決めピン
１８… ドア
２０，２０ａ〜２０ｃ… ガスパージユニット
２１… フィルタ
２２，２２ａ〜２２ｃ… 双方向吹き出し部材
２２α… 第１専用吹き出し部材
２２β… 第２専用吹き出し部材
２３… 吹き出し流路
２４… 給気部材
２５… 給気流路
２６… 第１ノズル口
２７… 連通孔
２８… 第２ノズル口２８
２９… 連通孔
３０… カーテンノズル
４０… ＦＦＵ
５０… ロボットアーム
６０… 中間室
７０… 処理室

Claims (5)

1. 開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
   前記パージ対象容器の内部に向けて、前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第１ノズル口と、
   前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出し、前記開口の開口面に沿う方向にガスの流れを形成する第２ノズル口とを有し、
   前記第１ノズル口と第２ノズル口とが単一の双方向吹き出し部材に形成してあり、
   前記双方向吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してあるガスパージユニット。
2. 開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
   前記パージ対象容器の内部に向けて、前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第１ノズル口と、
   前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出し、前記開口の開口面に沿う方向にガスの流れを形成する第２ノズル口とを有し、
   前記第１ノズル口が第１専用吹き出し部材に形成してあり、前記第２ノズル口が第２専用吹き出し部材に形成してあり、
   一対の前記第２専用吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してあり、
   前記第１専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してあるガスパージユニット。
3. 前記第１専用吹き出し部材が、前記第２専用吹き出し部材よりも前記開口に近い位置に配置してある請求項２に記載のガスパージユニット。
4. 前記第１ノズル口および前記第２ノズル口は、前記開口の側辺部の長手方向に沿って連続的または断続的に形成してある請求項１〜３のいずれかに記載のガスパージユニット。
5. 前記パージ対象容器は、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
   前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
   請求項１〜４のいずれかに記載のガスパージユニットは、前記壁の内側で、前記壁側開口の少なくともいずれか一方の側辺部に取り付けてあるガスパージ装置。

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