KR102418431B1 - 팩토리 인터페이스에서 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들 - Google Patents

팩토리 인터페이스에서 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예들은, 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들을 제공한다. 실시예들은, 팩토리 인터페이스 또는 장비 전단 모듈 로봇의 동작을 방해하지 않고 로드 포트 도어(door)에 근접하여 안착되도록 구성된 프레임; 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어 내에 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 기판-간(inter-substrate) 노즐 어레이들; 및 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 커튼(curtain) 노즐 어레이들을 포함한다. 많은 부가적인 양태들이 개시된다.

Description

팩토리 인터페이스에서 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들{SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR PURGING A SUBSTRATE CARRIER AT A FACTORY INTERFACE}
관련 출원들
[0001] 본원은, "SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR PURGING A SUBSTRATE CARRIER AT A FACTORY INTERFACE" 라는 명칭으로 2014년 10월 24일 출원된 미국 가특허 출원 제 62/068,617 호(대리인 문서 번호 제 22017/L 호)의 이익 향유를 주장하고, 이로써, 미국 가특허 출원 제 62/068,617 호는 모든 목적들을 위하여 인용에 의해 그 전체가 본원에 포함된다.
[0002] 본 발명은 기판 캐리어들을 프로세싱하는 것에 관한 것이며, 더 구체적으로, 팩토리 인터페이스(factory interface) 또는 장비 전단 모듈(front end module)에서 기판 캐리어를 퍼징(purging)하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들에 관한 것이다.
[0003] 반도체 제조 산업이, 22nm, 14nm 등과 같은 점점 더 작은 기술들로 전환함에 따라, 산화 결함들 및 미립자 물질(particulate matter)은 해결해야 할 더 중요한 문제가 된다. 제조업자들 및 다른 연구자들에 의해 수행된 수많은 연구들은, 기판 캐리어들에서 불활성 환경을 유지하는 것이, 수분 및 산화에 의해 야기되는 결함들을 현저히 감소시킨다는 것을 나타냈다. 그러나, 기존의 해결책들은, 제조업자들이, 전자 디바이스 제조 설비들에서 사용되는 기판 캐리어들 및 로드 포트들(load ports)을 교체할 것을 요구한다. 이러한 컴포넌트들은 교체하기에 비싸며, 제조 설비들의 다른 시스템들과 양립 가능(compatible)하지 않을 수 있다. 따라서, 제조업자들이, 새로운 로드 포트들 또는 새로운 기판 캐리어들을 요구하지 않는 팩토리 인터페이스에서 프로세싱되고 있는 기판 캐리어들에서 불활성 환경을 유지하는 것을 허용하는 시스템들, 방법들, 및 장치가 필요하다.
[0004] 몇몇 실시예들에서, 본 발명은, 팩토리 인터페이스(FI)에서 또는 장비 전단 모듈(EFEM)에서 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트(kit)를 제공한다. 키트의 실시예들은, FI 또는 EFEM 로봇의 동작을 방해하지 않고 로드 포트 도어(door)에 근접하여 안착되도록 구성된 프레임; 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어 내에 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 기판-간(inter-substrate) 노즐 어레이들; 및 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 커튼(curtain) 노즐 어레이들을 포함한다.
[0005] 몇몇 다른 실시예들에서, 본 발명은 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템을 제공한다. 시스템은, 도어를 포함하고 기판 캐리어를 수용하도록 이루어진 로드 포트; FI 또는 EFEM 로봇의 동작을 방해하지 않고 로드 포트 도어에 근접하여 안착되도록 구성된 프레임; 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어 내에 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들; 및 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들을 포함한다.
[0006] 또 다른 실시예들에서, 본 발명은 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 방법을 제공한다. 방법은, 기판 캐리어를 로드 포트에 전달하고 캐리어의 도어를 개방하는 단계; 캐리어 도어가 개방되고 캐리어 내의 기판들이 맵핑될(mapped) 때 기판 캐리어에 가스 유동을 스프레잉하는 단계; 기판 맵에 기초하여 프로세스 퍼지 상태를 결정하는 단계; 및 결정된 프로세스 퍼지 상태에 대해 미리 정의된 스프레이 상태 구성을 사용하여 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 및 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들을 활성화하는(activating) 단계를 포함한다.
[0007] 본 발명의 또 다른 특징들, 양태들, 및 장점들은, 본 발명을 실행하기 위해 고려되는 최적의 모드를 포함하여, 다수의 예시적인 실시예들 및 구현예들을 예시함으로써, 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구항들, 및 첨부한 도면들로부터 더 완전히 자명해질 것이다. 본 발명의 실시예들은 또한, 다른 그리고 상이한 애플리케이션들이 가능할 수 있으며, 실시예들의 몇몇의 세부사항들은 다양한 측면들(respects)에서 수정될 수 있고, 이 모두는 본 발명의 사상 및 범위로부터 벗어나지 않으면서 이루어진다. 따라서, 도면들 및 설명들은 사실상 예시적인 것으로 간주되며, 제한적인 것으로 간주되지 않는다. 도면들이 반드시 실척으로 도시된 것은 아니다. 설명은 청구항들의 사상 및 범위 내에 속하는 모든 수정들, 등가물들 및 대안들을 커버하도록 의도된다.
[0008] 도 1은, 본 발명의 실시예들에 따른 예시적인 기판 캐리어 퍼지 시스템을 도시하는 개략도이다.
[0009] 도 2는, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 예시적인 가스 스프레이 패턴을 도시하는 개략도이다.
[0010] 도 3은, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 예시적인 노즐 어레이를 도시하는 개략도이다.
[0011] 도 4a 및 4b는, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 예시적인 프레임의 개략적인 정면도 및 측면도이다.
[0012] 도 5a는, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 제 1 예시적인 가스 유동 제어 회로를 도시하는 개략적인 공압 회로도(pneumatic circuit diagram)이다.
[0013] 도 5b는, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 제 1 예시적인 선택적 액츄에이터 회로를 도시하는 개략적인 공압 회로도이다.
[0014] 도 6은, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 제 2 예시적인 가스 유동 제어 회로를 도시하는 개략적인 공압 회로도이다.
[0015] 도 7은, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템의 제어 인터페이스의 예를 도시하는 스크린샷(screenshot)이다.
[0016] 도 8은, 본 발명의 실시예들에 따른, 팩토리 인터페이스에서 기판 캐리어를 퍼징하는 예시적인 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0017] 본 발명의 실시예들은, 팩토리 인터페이스에서 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템들, 장치, 및 방법들을 제공한다. 시스템들 및 방법들은, 산화, 수분, 및 입자 오염의 영향들을 줄이기 위해, 그리고 웨이퍼들의 아웃 개싱(out gassing), 등과 같은 다른 잠재적인 결함 유발 현상의 위험들을 줄이기 위해, 기판 캐리어 환경(예컨대, FOUP(front-opening unified pod)의 내부)이, 질소 또는 아르곤과 같은 불활성 가스를 이용하여 퍼징되는 것을 보장한다. 본 발명의 실시예들은, 기판 캐리어가 툴 상에서 프로세싱되고 있을 때 질소(N2) 또는 임의의 다른 실행 가능한 불활성 가스, 예컨대, 아르곤을 이용한 기판 캐리어의 퍼징을 허용하는 현장 개장-가능한(field retrofit-able) 팩토리 인터페이스(FI)/장비 전단 모듈(eFEM) 키트를 제공한다. 본 발명의 실시예들에 따른 범용 전면 퍼지 FI/eFEM 키트는, 2개의 수직으로 배치된 기판-간 퍼지 노즐 어레이들(FI/eFEM 도어 개구부의 측들 상에 포지셔닝됨) 및 하나의 커튼 노즐 어레이(FI/eFEM 도어 개구부의 측 상의 기판-간 퍼지 노즐 어레이들 중 하나의 옆에 포지셔닝됨)를 포함할 수 있다. 노즐 어레이들로부터의 가스 유동들의 조합은 기판 캐리어의 최적의 퍼지를 달성하도록 제어된다. 신규한 키트는, 모든 기판 캐리어들 및 자동 도어 개방기(ADO) 구성들과 함께 작동하도록 구성된다.
[0018] 키트는 추가로, FI 프레임/패널들/로봇 트랙 상에 또는 데이텀 플레이트(datum plate) 상에 장착되도록 구성된다. 퍼징 조립체(예컨대, 노즐 어레이들 및 프레임)는, 성능 요건들 및 공간 제약들에 기초하여, 고정적이거나 이동 가능할 수 있다. FI/eFEM 제어 시스템은 키트의 퍼징 동작을 제어하는 데에 사용되도록 구성될 수 있다. 퍼징 동작의 성능은 FI 안전 인터록들(interlocks), 로드 포트 상태, 및 로봇 운동에 의존할 수 있다(예컨대, 이들에 의해 게이팅될(gated) 수 있다). 키트는, 기판 캐리어 내부에 불활성 환경을 제공하고 그에 의해 미립자 물질로부터의 결함들을 감소시킴으로써, 연관된 툴의 수율을 개선하는 것을 돕는다.
[0019] 키트의, 모든 ADO 및 기판 캐리어 유형들과의 범용적인 양립 가능성은, 키트를, 기판 캐리어들 및 로드 포트들의 교체보다 FI들/eFEM들을 업그레이드하는 것으로 인해 상업적으로 더 실현 가능한 선택 사항으로 만든다. FI 제어들은, 불활성 가스의 유량 및 타이밍(timing)에 대한 정밀한 제어를 제공하도록 구성될 수 있다. 이러한 제어들은 FI 제어 소프트웨어 및 안전 시스템들 내에 완전하게 통합될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 가스들의 유동은, 임의의 주어진 시간에서 기판 캐리어에 있는 기판들의 포지션 및 개수에 대한 응답으로, 동적으로 그리고 연속적으로 조정될 수 있다.
[0020] 이제 도 1을 참조하면, FI를 위한 기판 캐리어 퍼지 시스템(100)의 예시적인 실시예가 도시된다. 시스템(100)은, FI 로봇 트랙(104) 상에, 그리고 몇몇 실시예들에서, FI 프레임(106) 상에 장착되도록 이루어진 기판 캐리어 퍼지 키트(102)를 포함한다. FI 로봇 트랙(104)은, FI 로봇(108)이 FI의 다양한 로드 포트들에 액세스하는 것을 허용하기 위해, FI 로봇(108)의 베이스의 정밀한 측방향 이동을 위한 레일(rail), 겐트리(gantry), 프레임, 또는 스테이지(stage)를 제공한다. FI 로봇 트랙(104)이 없는 시스템(100)(예컨대, 측방향으로 이동되는 FI 로봇의 베이스를 가질 필요 없이 다수의 로드 포트들에 도달할 수 있는 FI 로봇을 포함하는 시스템(100))의 실시예들에서, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)는, FI의 데이텀 플레이트 상에, FI 패널들에, 그리고/또는 FI 프레임(106)에 장착될 수 있다. 도시된 바와 같이, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)는, 다수의 가스 스트림들(110) 또는 유동들(도 1에서 파선 화살표들로서 표시됨)을, 도어(116)가 개방되었을 때, FI의 로드 포트(114) 상에 로딩된 기판 캐리어(112) 내로 지향시키도록 구성된다. 시스템(100)은, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)를 포함하는 다양한 컴포넌트들에 유선 또는 무선 통신 네트워크(들)를 통해 동작가능하게(operatively) 커플링될 수 있는 제어기(118)의 제어 하에서 동작한다.
[0021] 도 2는, 캐리어(112)의 기판들(202)을 향하는 가스 스트림들(110)의 확장되는 유동 방향(도 2에서 파선 삼각형들로서 표시됨)을 더 상세히 예시하는, 시스템(100)의 평면도(200)를 도시한다. 기판 캐리어 퍼지 키트(102) 내의 기판-간 노즐 어레이들(204)은, 기판들(202)의 주요(major) 표면들 위로 가스를 유동시키도록 조준된다(aimed). 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)은 (화살표들(206)에 의해 표시된 바와 같이) 기판 캐리어(112)의 측들에 대해 대략 45도의 각도로 조준된다. 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)의 조준 각도(즉, 화살표(206))는, 가스 스트림들(110)을 임의의 원하는 방향으로(예컨대, 기판들(202)의 중심점에) 조준하도록, 또는 가스 스트림들을, 직접적으로 기판 캐리어 내로의 각도(0도)로부터 기판 측들에 대해 수직인 각도(90도)까지의 각도로 향하게 하도록 조정될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)은 진동하도록(oscillate)(예컨대, 각도들의 범위, 예를 들어, 0 내지 90도에 걸쳐서 앞뒤로 스위핑하도록(sweep)) 구성될 수 있거나, 또는 각도가, 현재 캐리어(112)에 있는 기판들(202)의 개수 및/또는 위치에 기초하여 그리고/또는 원하는 가스 유동 패턴을 달성하도록 변화될 수 있다. 기판-간 노즐 어레이들(204)의 노즐들은, 가스 스트림들(110)로 하여금 대략 0도 내지 대략 120도의 각도(θ)로 확장되게 하도록 이루어진다. 몇몇 실시예들에서, 각도(θ)는, 현재 캐리어(112)에 있는 기판들(202)의 위치 및/또는 개수에 기초하여 그리고/또는 원하는 가스 유동 패턴을 달성하도록 시간에 걸쳐서 변화될 수 있다. 따라서, 몇몇 실시예들에서, 조정 가능한 그리고/또는 조준-가능한 노즐들이 기판-간 노즐 어레이들(204)에 사용될 수 있다.
[0022] 도 2는 또한, 기판-간 노즐 어레이들(204) 중 하나에 인접하여 배치된 커튼 노즐 어레이(208)의 예를 도시한다. 몇몇 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)는 기판-간 노즐 어레이들(204)과 동일한 전반적인 구조를 갖지만, 가스의 더 협소하고, 연속적이며, 균일하고 일정한 평면을 생성하도록 구성된 노즐들을 포함할 수 있다. 커튼 노즐 어레이(208)는, 확장 각도(θ')를 갖고 화살표(212)에 의해 표시되는 방향으로 조준되는 가스 커튼(210)을 형성하기 위해, 가스의 시트(sheet) 또는 평면을 기판 캐리어(112)의 개구부에 걸쳐서 측방향으로(예컨대, 기판 캐리어(112)의 개구부에 대해 대략 평행하게) 지향시키도록 구성된다. 몇몇 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)의 조준 각도(즉, 화살표(212))는, 가스 스트림(210)을 임의의 원하는 방향으로(예컨대, 기판 캐리어(112)의 개구부에 걸쳐서(0도)) 조준하도록, 또는 가스 스트림을, 기판 캐리어 내로의 각도(-45도)로부터 기판 캐리어에서 멀어지는 각도(+45도)까지의 각도로 향하게 하도록 조정될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 가스 커튼(210) 유동의 확장 각도(θ')는 대략 0도 내지 대략 120도일 수 있다. 커튼 노즐 어레이(208)로부터의 가스 커튼(210)은, FI에 있을 수 있는, 임의의 입자들, 수분, 또는 다른 가스들이 기판 캐리어(112)에 진입하는 것을 효과적으로 차단한다. 몇몇 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)는, 캐리어(112)로부터 가스를 끌어 당기고(draw) 캐리어(112)의 전면에 더 낮은 압력 지역을 생성하기 위해, 작은 각도로(예컨대, 캐리어 개구부의 평면으로부터 15도 미만) 기판 캐리어(112)로부터 멀리 조준될 수 있으며, 그에 의해, FI에 있을 수 있는, 입자들, 수분, 또는 다른 가스들이 기판 캐리어(112)에 진입할 가능성들을 더 감소시킨다.
[0023] 몇몇 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)는 기판-간 노즐 어레이들(204)에 대해 수평으로, 그리고 하방으로 조준하면서 기판 캐리어 개구부 위에 배치될 수 있다. 바꾸어 말하면, 커튼 노즐 어레이(208)는, 가스의 시트를 기판 캐리어(112)의 개구부에 걸쳐서 하방으로 지향시키기 위해, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)의 정상부에 걸쳐서 포지셔닝될 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)는, 가스의 시트를 기판 캐리어(112)의 개구부에 걸쳐서 상방으로 지향시키기 위해, 기판 캐리어 개구부 아래에 포지셔닝될 수 있다.
[0024] 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)과 커튼 노즐 어레이(208) 양자 모두는, 노즐 출구 속도, 스프레이 각도, 확장 각도, 유동 패턴, 진동 레이트(rate), 노즐 형상 및 크기, 등을 변화시키기 위해, 동작 동안 동적으로 조정될 수 있는 조정 가능한 노즐들을 포함할 수 있다.
[0025] 몇몇 실시예들에서, 가스 유량들 및 가스 유동 패턴들은, 입자들, 수분, 또는 다른 가스들이 캐리어(112)에 진입하는 것을 최적으로 감소시키도록 조정될 수 있다. 예컨대, FI의 공기 압력에 대해 캐리어(112)의 약간의 양압(positive pressure)(예컨대, 대략 0.005ATM)을 유지하는 것과, 공기를 캐리어(112)의 후면으로부터 캐리어 개구부의 중심 밖으로 이동시키는 소용돌이 패턴 층류(laminar flowing, swirl pattern)를 생성하는 것 둘 모두를 하기 위해, 가스는 특정 레이트들 및 각도들로 기판-간 노즐 어레이들(204)로부터 캐리어(112) 내로 유동될 수 있다. 예컨대, 25개의 기판들(202)이 로딩된 표준 25-슬롯 기판 캐리어를 사용하는 몇몇 실시예들에서, 커튼 노즐 어레이(208)가 대략 75SLM의 레이트로 가스를 스프레잉하는 동안, 캐리어(112)의 측들에 대해 45도 각도로 그리고 기판-간 노즐 어레이들(204)의 일 측으로부터 대략 60SLM의 레이트로 그리고 다른 측으로부터 대략 30SLM의 레이트로 N2를 캐리어(112) 내로 스프레잉하는 것에 의해, 최적의 결과들(예컨대, 캐리어(112) 내에서의 최소화된 O2 농도)이 달성될 수 있다.
[0026] 이제 도 3을 참조하면, 시스템(100)의 측면도(300)는, 기판-간 노즐 어레이들(204)로부터 캐리어(112) 내로의 그리고 기판들(202) 사이의 가스 스트림들(110)(도 2에서 파선 삼각형들로서 표시됨)의 유동 방향을 더 상세하게 예시한다. 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)(및 커튼 노즐 어레이(208))의 노즐 본체(302)는, 복수의 노즐들(306)을 포함하는 제거 가능한/교체 가능한 노즐 헤드(304)를 홀딩하도록 구성된다. 노즐들(306)의 개수는, 사용되는 기판 캐리어(112)의 크기에 따를 수 있다. 예컨대, 50개의 노즐들(306)을 갖는 노즐 헤드(304)가, 최대 25개의 기판들(202)을 홀딩하도록 구성된 기판 캐리어(112)와 함께 사용될 수 있다. 이러한 구성에서, 노즐들(306)의 쌍이, 각각의 기판(202)의 정상부와 바닥부에서 가스를 스프레잉하도록 배치될 수 있다. 최대 13개의 기판들을 홀딩하도록 이루어진 기판 캐리어(112)의 경우, 26개의 노즐들을 갖는 노즐 헤드(304)가 사용될 수 있다.
[0027] 노즐 본체(302) 내에 삽입될 때, 노즐 헤드(304) 내의 플레넘(plenum; 308)은 노즐 헤드(304)의 어느 한 쪽 또는 양쪽 모두의 단부들에서의 포트들을 통해 가스 공급 채널(310)과 유체 연통(fluid communication)하게 된다. 몇몇 실시예들에서, 노즐들(306)의 어레인지먼트 및 개수는 상이한 노즐 헤드들(304)에서 상이할 수 있으며, 따라서, 노즐 헤드(304)를 교체하는 것에 의해, 노즐들의 상이한 구성들이 달성될 수 있다. 노즐들(306)에 부가하여, 플레넘(308)의 형상은 상이한 노즐 헤드들(304)에 대해서 상이할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 플레넘(308)은, 상이한 노즐들(306)로 가는 가스의 상대 압력/양을 변경하기 위해, 플레넘(308)의 형상(예컨대, 플레넘(308)의 후면 벽과 다양한 노즐들(306) 사이의 상대 거리들)을 변화시킬 수 있는 조정 가능한 벨로우즈(bellows)(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 벨로우즈는 제어기(118) 상에서 실행되는 시스템 소프트웨어에 의해 제어될 수 있다.
[0028] 몇몇 실시예들에서, 개별 노즐들에 대해 제어를 제공하기 위해, 노즐 오리피스(orifice) 플레이트(312)가 노즐들(306)의 정면에 배치된다. 예컨대, 노즐 오리피스 플레이트(312)는, 노즐들(306)의 포지션 및 개수에 대응하도록 배치된, 다양한(varying) 크기 및 형상의 규칙적으로 이격된 오리피스들의 복수의 세트들을 포함할 수 있다. 따라서, 오리피스들의 상이한 세트들 사이에서 노즐 오리피스 플레이트(312)를 이동시킴으로써, 가스 스프레이 패턴의 다양한 특성들이 조정될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 노즐 오리피스 플레이트(312)의 포지션은 제어기(118) 상에서 실행되는 시스템 소프트웨어에 의해 제어된다. 노즐 오리피스 플레이트(312)의 포지션은, 밀봉된(sealed) 스테퍼(stepper) 모터(도시되지 않음)가 플레이트의 포지션을 변화시키고 추적하는(track) 것 둘 모두를 하도록 허용하는, 플레이트(312)의 일련의 노치들(notches)에 인덱싱될(indexed) 수 있다.
[0029] 제거 가능한 노즐 헤드(304)는, 기판 캐리어(112) 내로의 유동의 방향, 스프레이 각도, 및 노즐 출구 속도와 같은 가스 유동 특성들을 변경하기 위해, 현장에서의 상이한 노즐들의 상호 교환을 허용한다. 동일한 설계 철학이 커튼 노즐 어레이(208)에 적용된다. 커튼 노즐 헤드들은 또한, 기판 캐리어 개구부에 걸친 유동의 방향, 스프레이 각도, 및 노즐 출구 속도와 같은 유동 특성들을 변경하기 위해, 현장에서의 상이한 노즐들의 상호 교환을 또한 허용하도록 상호 교환 가능하다. 예컨대, 커튼 노즐 어레이(208)를 위한 노즐 헤드는, 퍼지 가스(예컨대, 이온화된 또는 이온화-되지 않은)가, 들어오는/나가는 기판(또는 엔드 이펙터(end effector)) 상에 존재할 수 있는 임의의 입자들을, 캐리어의 전면의 둘러싸인 소규모 환경(minienvironment) 내로 축출하고(dislodge), 이로써, 배기부를 향하는 공기 유동에 의해 FI 밖으로 강제되는(forced) 것을 허용하기 위해 기판 캐리어 개구부로부터 먼 각도를 이루는(angled) 노즐들을 포함할 수 있다.
[0030] 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204) 대신에, 또는 기판-간 노즐 어레이들(204) 중 하나 대신에, 진공 포트 어레이(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 유사하게, 커튼 노즐 어레이 대신에, 또는 그에 부가하여(예컨대, 캐리어 개구부에 걸쳐서 배치되어), 진공 포트 어레이가 제공될 수 있다. 진공 포트 어레이는 다수의 흡입(suction) 포트들, 또는 흡입 포트로서 역할을 하는 세장형(elongated) 슬롯을 포함할 수 있다. 진공 포트 어레이를 사용할 때에도, 가스가 빠져나가는 것보다 더 높은 레이트로 가스가 캐리어에 진입하는 것을 보장하는 것에 의해 기판 캐리어 내에서 양압을 유지하는 것이 바람직할 수 있다.
[0031] 몇몇 실시예들에서, 기판 캐리어의 4개의 에지들 각각은, 임의의 실행 가능한 어레인지먼트로 포지셔닝된, 기판-간 노즐 어레이, 커튼 노즐 어레이, 및/또는 진공 노즐 어레이 중 하나 또는 그 초과를 포함하도록 구성될 수 있다. 따라서, 기판-간 노즐 어레이들, 커튼 노즐 어레이들, 및/또는 진공 노즐 어레이들의 어레인지먼트는 완전히 구성 가능할 수 있으며, 단지 2개의 수직형 기판-간 노즐 어레이들 및 단일 수직형 또는 수평형 커튼 노즐 어레이로 제한되지 않는다.
[0032] 도 4a 및 4b는, 키트(102)가, SEMI®(Semiconductor Equipment and Materials International) 무역 협회의 E62 표준을 준수하는(compliant) 기판 캐리어들(112), 로드 포트들(114), 및 ADO들과 범용적으로 양립 가능하도록 허용하는, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)의 프레임 치수들을 나타낸다. 도 4a는, 키트(102)의 프레임의 정면도(400A)를 도시한다. 전체 외측 치수(A)는 대략 400mm 내지 대략 440mm의 범위에 있고; 내측 치수(B)는 대략 360mm 내지 대략 400mm의 범위에 있으며; 캐리어 도어 개구부에 대응하는 노즐 어레이 높이 치수(C)는 대략 250mm 내지 대략 300mm의 범위에 있다. 도 4b는, 키트(102)의 프레임의 측면도(400B)를 도시한다. 키트(102)의 전체 깊이 치수(D)는 대략 100mm 미만이다. SEMI E62 표준은 300mm 기판들에 대한 것이다. 상이한 표준들에 대해 실행 가능한 다른 치수들이 사용될 수 있다. 예컨대, SEMI E154 표준은 450mm 기판들에 대한 치수들을 정의하고, 기판 캐리어 퍼지 키트(102)는 E154 표준을 준수하는 디바이스들과 작업하도록 구성될 수 있다. 다시 말해서, 본 발명의 실시예들의 키트(102)는 모든 SEMI 준수 로드 포트들, ADO들, 및 기판 캐리어들과 양립 가능하도록 구성될 수 있다.
[0033] 이제 도 5a를 참조하면, 기판 캐리어 퍼지 시스템(100)에 대한 가스 유동 제어 공압 회로(500A)의 예를 도시하는 개략도가 도시된다. 가압된(pressurized) 불활성 가스 공급부(502)(예컨대, 질소, 아르곤, 등)는 공급 밸브(504)(예컨대, LOTO(lock-out tag-out) 밸브)에 커플링되며, 공급 밸브의 출력부는 기판-간 노즐 어레이들(204)을 위한 제 1 공기 필터 조절기(506)(AFR1) 및 커튼 노즐 어레이(208)를 위한 제 2 공기 필터 조절기(508)(AFR2)에 커플링된다. 제 1 공기 필터 조절기(506) 및 제 2 공기 필터 조절기(508)는, 기판-간 노즐 어레이들(204)에 전달되는 소스 가스 압력 대 커튼 노즐 어레이(208)에 전달되는 소스 가스 압력의 비율을 제어한다.
[0034] 제 1 공기 필터 조절기(506)로부터의 유동은, 2개의 기판-간 노즐 어레이들(204)을 위한 2개의 병렬 서브-회로들(510)로 분할된다. 2개의 서브-회로들(510)은 각각, 동일한 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 예컨대, 서브-회로들은 각각, 각각의 기판-간 노즐 어레이(204)를 턴 온(on) 또는 턴 오프(off)하기 위한 밸브(512)(예컨대, 솔레노이드(solenoid) 밸브)를 포함할 수 있다. 서브-회로들(510) 각각은 또한, 밸브(512)의 출력부에 커플링된 서로 병렬인 2개의 유동 스위치들(514)을 포함하며, 각각의 유동 스위치(514)는, 상이한 유량들을 허용하도록 각각 설정 가능한(settable) 상이한 유동 제한기(restrictor)(516)와 직렬로 커플링된다. 서브-회로들(510) 각각은 또한, 2개의 상이한 유동 스위치들(514)로부터의 유동들 사이에서의 선택을 허용하는, 유동 제한기들(516)의 출력부들에 커플링된 셔틀 밸브(518)를 포함한다. 따라서, 서브-회로들(510) 각각은, 3개의 상이한 유동 상태들: (1) 오프, (2) 제 1 유량(예컨대, "높음"), 그리고 (3) 제 2 유량(예컨대, "낮음") 사이에서의 선택을 허용한다. 서브-회로들(510)의 출력부는 각각의 기판-간 노즐 어레이(204)의 가스 공급 채널(310)에 커플링된다. 예컨대, 몇몇 실시예들에서, 하나의 서브-회로(510)는 기판 캐리어 퍼지 키트(102)의 우측 상의 기판-간 노즐 어레이(204)에 커플링되고, 다른 서브-회로(510)는 좌측 상의 기판-간 노즐 어레이(204)에 커플링된다.
[0035] 제 2 공기 필터 조절기(508)로부터의 유동은, 커튼 노즐 어레이(208)로의 가스의 유량을 설정하는 데에 함께 사용되는, 유동 제한기(521)와 직렬인 유동 스위치(520)로 피딩된다. 유동 제한기(521)의 출력부는, 커튼 노즐 어레이(208)를 턴 온 또는 오프하기 위한 밸브(522)(예컨대, 솔레노이드 밸브)의 입력부에 커플링된다. 밸브(522)의 출력부는 커튼 노즐 어레이(208)의 입력부에 커플링된다.
[0036] 기판-간 노즐 어레이들(204) 및/또는 커튼 노즐 어레이(208)의 각도가 조정 가능하거나 또는 동적으로 조정 가능한(예컨대, 사용 중에 그리고/또는 가스를 스프레잉하는 동안 조정 가능한), 또는 어레이들이 진동하도록 이루어진 실시예들에서, 도 5b에 도시된 바와 같은 하나 또는 그 초과의 공압 액츄에이터 회로들(500B)이, 어레이들을 이동시키는 데에 사용될 수 있다. 도시된 예시적인 공압 액츄에이터 회로(500B)는, 공급 밸브(526)(예컨대, LOTO 밸브)에 커플링된 CDA(clean dry air) 공급부(524)를 포함하며, 공급 밸브(526)의 출력부는 제 3 공기 필터 조절기(528)(AFR3)에 커플링된다. 제 3 공기 필터 조절기(528)의 출력부는, 공압 액츄에이터(532)(예컨대, 선형(linear) 또는 회전형(rotatory) 액츄에이터)의 동작을 제어하기 위한 밸브(530)(예컨대, 솔레노이드 밸브)의 입력부로 피딩된다. 몇몇 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 공압 액츄에이터 회로들(500B)은 기판-간 노즐 어레이들(204), 커튼 노즐 어레이(208), 노즐 헤드(304)의 플레넘(308)의 조정 가능한 벨로우즈, 기판-간 노즐 어레이들(204) 또는 커튼 노즐 어레이(208) 상의 노즐 오리피스 플레이트(312)(도 3), 및/또는 임의의 다른 이동 가능한 또는 조정 가능한 기계적 조립체들의 이동을 구동하는 데에 사용될 수 있다.
[0037] 도 6은, 기판 캐리어 퍼지 시스템(100)에 대한 가스 유동 제어 공압 회로(600)의 제 2 예를 도시한다. 가압된 불활성 가스 공급부(602)(예컨대, 질소, 아르곤, 등)가 공급 밸브(604)(예컨대, LOTO 밸브)에 커플링되며, 공급 밸브의 출력부는 기판-간 노즐 어레이들(204)을 위한 제 1 공기 필터 조절기(606)(AFR1) 및 커튼 노즐 어레이(208)를 위한 제 2 공기 필터 조절기(608)(AFR2)에 커플링된다. 제 1 공기 필터 조절기(606) 및 제 2 공기 필터 조절기(608)는, 기판-간 노즐 어레이들(204)에 전달되는 소스 가스 압력 대 커튼 노즐 어레이(208)에 전달되는 소스 가스 압력의 비율을 제어한다.
[0038] 제 1 공기 필터 조절기(606)로부터의 유동은, 2개의 기판-간 노즐 어레이들(204)(예컨대, 기판 캐리어 개구부의 좌측 및 우측 상에 포지셔닝됨)을 위한 2개의 병렬 서브-회로들(610)로 분할된다. 2개의 서브-회로들(610)은 각각, 동일한 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 예컨대, 서브-회로들은 각각, 각각의 기판-간 노즐 어레이(204)를 턴 온 또는 턴 오프하기 위한 밸브(612)(예컨대, 솔레노이드 밸브)를 포함할 수 있다. 서브-회로들(610) 각각은 또한, 밸브(612)의 출력부에 커플링된 질량 유동 제어기(614)를 포함할 수 있고, 각각의 질량 유동 제어기는 2개의 기판-간 노즐 어레이들(204) 중 하나에 커플링된다. 따라서, 서브-회로들(610)은, 제 1 공기 필터 조절기(606)에 의해 제공되는 최대 유량까지의 임의의 원하는 유량과 오프되는 것 사이에서의 선택을 허용한다. 서브-회로들(610)의 출력부는 각각의 기판-간 노즐 어레이(204)의 가스 공급 채널(310)(도 3)에 커플링된다. 예컨대, 몇몇 실시예들에서, 하나의 서브-회로(610)는 기판 캐리어 퍼지 키트(102)의 우측 상의 기판-간 노즐 어레이(204)에 커플링되고, 다른 서브-회로(610)는 좌측 상의 기판-간 노즐 어레이(204)에 커플링된다.
[0039] 제 2 공기 필터 조절기(608)로부터의 유동은, 커튼 노즐 어레이(208)로의 가스의 유량을 설정하는 데에 사용되는 질량 유동 제어기(616)로 피딩된다. 질량 유동 제어기(616)의 출력부는, 커튼 노즐 어레이(208)를 턴 온 또는 오프하기 위한 밸브(618)(예컨대, 솔레노이드 밸브)의 입력부에 커플링된다. 밸브(618)의 출력부는 커튼 노즐 어레이(208)의 입력부에 커플링된다.
[0040] 도 5의 가스 유동 제어 공압 회로(500A)와 마찬가지로, 도 6의 가스 유동 제어 공압 회로(600)는 또한, 공압 액츄에이터(532)(예컨대, 선형 또는 회전형 액츄에이터)의 동작을 제어하기 위한, 도 5b에 도시된 바와 같은 하나 또는 그 초과의 공압 액츄에이터 회로들(500B)을 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 표시된 바와 같이, 몇몇 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 공압 액츄에이터 회로들(500B)은 기판-간 노즐 어레이들(204), 커튼 노즐 어레이(208), 노즐 헤드(304)(도 3)의 플레넘(308)의 조정 가능한 벨로우즈, 기판-간 노즐 어레이들(204) 또는 커튼 노즐 어레이(208) 상의 노즐 오리피스 플레이트(312)(도 3), 및/또는 임의의 다른 이동 가능한 또는 조정 가능한 기계적 조립체들의 이동을 구동하는 데에 사용될 수 있다.
[0041] 이제 도 7을 참조하면, 기판 캐리어 퍼지 시스템(100)을 위한 예시적인 제어 인터페이스(700)의 스크린샷 윈도우가 도시된다. 많은 상이한 제어 인터페이스들이 사용될 수 있지만, 시스템(100)의 동작적 특징들을 예시하기 위해 이하의 예시적인 인터페이스가 상세하게 설명된다. 제어 인터페이스(700)는, 프로세스 상태 및/또는 구성 제어들을 제공하는 여러 가지 디스플레이/제어 지역들을 포함할 수 있다. 도 7에 도시된 예시적인 디스플레이/제어 지역들은 각각, 별도의 파선 직사각형으로 에워싸인다. 예컨대, 예시적인 제어 인터페이스(700)는, 기판 캐리어 상태 지역(702), 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704), 노즐 어레이 상태 지역(706), 노즐 어레이 구성 제어 지역(708), 키(key) 디스플레이 지역(710), 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712), 및 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714)을 포함한다. 부가적인 또는 더 적은 디스플레이/제어 지역들이 사용될 수 있다.
[0042] 기판 캐리어 상태 지역(702)은, 논리 구역들(718)로 그룹화된(grouped) 다수의 기판 슬롯들(716)을 포함하는, 기판 캐리어(112)의 표현을 포함한다. 각각의 슬롯은 하나의 기판(202)을 홀딩할 수 있고, 구역 당 슬롯들의 개수 및 캐리어 당 구역들의 개수는 사용자에 의해 구성될 수 있다. 예컨대, 도 7에 도시된 특정 구성에서, 캐리어(112)는 3개의 구역들(718)을 포함하며, 구역 1은 기판들(202)이 없고 8개의 슬롯들(716)을 포함하며, 구역 2는 7개의 기판들(202)을 갖고 9개의 슬롯들(716)(2개는 비어있음)을 포함하며, 구역 3은 기판들(202)이 가득 찼고 8개의 슬롯들(716)을 포함한다. 기판 캐리어(112)의 표현은, 시스템(100)과 함께 사용되는 (적절한 개수의 슬롯들을 갖는) 임의의 크기의 캐리어를 반영하도록 수정될 수 있다는 점을 주목한다.
[0043] 다른 예에서, 각각의 구역(718)은 오직 하나의 슬롯(716)만 포함할 수 있고, 캐리어(112)는 25개의 구역들(718)을 가질 수 있다. 또 다른 예에서, 캐리어(112)는 오직 하나의 구역(718)만 가질 수 있다. 일단 기판 캐리어(112)가 맵핑되면, 캐리어(112)에 존재하는 기판들(202)은 기판 캐리어 상태 지역(702)에 표현될 수 있다. 프로세싱을 위해 기판(202)이 캐리어(112)로부터 제거되거나 또는 프로세싱으로부터 캐리어(112)로 복귀될 때마다, 기판 캐리어 상태 지역(702)은 업데이팅된다. 따라서, 기판 캐리어 상태 지역(702)은, 캐리어(112)에서의 기판들(202)의 현재 맵으로서의 역할을 한다.
[0044] 동작 시에, 각각의 구역(718)은, 존재하는 적어도 하나의 기판(202)에 대해 확인된다. 기판(202)이 존재하면, 그러면 구역 상태는 참(TRUE)으로 설정될 것이다. 기판들(202)이 존재하지 않으면, 그러면 각각의 구역 상태는 거짓(FALSE)으로 설정될 것이다. 이는 각각의 개별 구역(718)에 대해 이루어진다. 도시된 특정 예에서, 3개의 구역들(718)로부터 가능한 8개의 프로세스 퍼지 상태들(704)의 조합이 있을 수 있다. 각각의 부가적인 구역(718)은, 이하의 공식: n=2y ― 여기서, n은 가능한 프로세스 퍼지 상태들의 개수를 나타내고, y는 구역들의 개수를 나타냄 ― 에 기초하여, 가능한 프로세스 퍼지 상태(704) 조합들의 개수를 증가시킬 것이다. 따라서, 2개의 구역들(718)은 4개의 프로세스 퍼지 상태(704) 조합들을 가질 것이고, 3개의 구역들(718)은 8개의 프로세스 퍼지 상태(704) 조합들을 가질 것이며, 4개의 구역들(718)은 16개의 프로세스 퍼지 상태(704) 조합들을 가질 것이고, 25개의 구역들(718)은 33,554,432개의 프로세스 퍼지 상태(704) 조합들을 산출할 것 등등이다. 각각의 구역(718)에 제공된 "웨이퍼들 클리어(clear)" 버튼은, 운영자가 시뮬레이션 모드에서 다양한 구역 구성들을 시험하는 것을 허용한다.
[0045] 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704)은, 시스템(100)의 현재 퍼지 상태를 반영하고, 현재 어떤 구역들(718)이 그 안에 적어도 하나의 기판(202)을 가지고 있는지에 기초하여 결정된다. 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704)의 행(row; 720)에 도시된 바와 같이, 상태 7이 하이라이팅되어(highlighted), 현재 프로세스 퍼지 상태가 상태 7임을 나타낸다. 이는, 구역 1은 기판들이 없는 반면 구역들 2 및 3은 각각, 존재하는 적어도 하나의 기판을 갖기 때문인 경우이다(구역들 2 및 3이 하이라이팅된 반면 구역 1은 하이라이팅되지 않았음을 주목한다). 행(722), 행(724), 및 행(726)은 함께, 모든 가능한 프로세스 퍼지 상태들(1 내지 8)의 진리표와-유사한(truth table-like) 표현을 제공한다. 표에 대한 검토는, 상태 7이 캐리어(112)의 구역들(718)의 현재 상태에 대응함을 드러낸다. 예시적인 예에서, 하나의 기판이 캐리어(112)의 구역 1의 슬롯(716)으로 복귀된다면, 프로세스 퍼지 상태는 상태 5로 변화될 것이다(즉, 모든 구역들이 적어도 하나의 기판을 포함한다). 그런 다음에, 구역들 2 및 3에 있는 모든 기판들이 제거되고 구역 1에 하나의 기판이 남는다면, 프로세스 퍼지 상태는 상태 3으로 변화될 것이다.
[0046] 노즐 어레이 상태 지역(706)은, 기판-간 노즐 어레이들(204) 및 커튼 노즐 어레이(208)의 현재 상태를 나타낸다. 어레이들의 상태는, 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704)에서 표시된 현재의 프로세스 퍼지 상태에 기초하여 노즐 어레이 구성 제어 지역(708)(이하에서 설명됨)에서 정의된 구성에 기초하여 결정된다. 이러한 예시적인 구성(예컨대, 도 5a)에서, 기판-간 노즐 어레이들(204)은, 기판-간 노즐 어레이들이 오프, 낮음, 또는 높음일 수 있음을 의미하는 3중-상태(tri-state)이며, 커튼 노즐 어레이(208)는, 커튼 노즐 어레이가 온 또는 오프임을 의미하는 2중-상태(bi-state)이다. 좌측 상의 기판-간 노즐 어레이(N1)(204)의 현재 상태는 상태 표시(728)에 의해 표시되고, 우측 상의 기판-간 노즐 어레이(N2)(204)의 현재 상태는 상태 표시(730)에 의해 표시되며, 중앙의 커튼 노즐 어레이(C1)(208)의 현재 상태는 상태 표시(732)에 의해 표시된다. 도시된 예를 예시하기 위해, 현재 시스템(100)이, 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704)에서 행(720)에 표시된 바와 같이 프로세스 퍼지 상태 7에 있는 동안, N1은 낮음이고, N2는 높음이며, C1은 온이다.
[0047] 노즐 어레이 상태 지역(706)에 표시되는, 어레이들의 현재 상태는, 노즐 어레이 구성 제어 지역(708) 및 현재 프로세스 퍼지 상태에 의해 지시된다. 노즐 어레이 구성 제어 지역(708)은, 각각의 프로세스 퍼지 상태에 대해 원하는 상태를 정의하는 커튼 노즐 어레이 행(734), 각각의 프로세스 퍼지 상태에 대해 원하는 상태를 정의하는 좌측 기판-간 노즐 어레이(N1) 행(736), 및 각각의 프로세스 퍼지 상태에 대해 원하는 상태를 정의하는 우측 기판-간 노즐 어레이(N2) 행(738)을 포함한다. 각각의 행 상의 각각의 입력 박스는, 각각의 프로세스 퍼지 상태(즉, 각각의 열(column))에 대한 특정 행의 어레이에 대해 원하는 상태의 선택을 허용한다.
[0048] 각각의 유형의 어레이에 대해 이용 가능한 다양한 상태들은 키 디스플레이 지역(710)에 표시되며, 가스 유동 제어 공압 회로(500A)(도 5a)의 하드웨어 구성에 대응한다. 도시된 바와 같이, 기판-간 노즐 어레이들은 오프(빈 입력 박스에 의해 표시됨), 낮음(체크된 입력 박스에 의해 표시됨), 및 높음(채워진 입력 박스에 의해 표시됨)이 되도록 구성될 수 있다. 커튼 노즐 어레이들은, 오프(빈 입력 박스에 의해 표시됨) 및 온(체크된 입력 박스에 의해 표시됨)이 되도록 구성될 수 있다. 대안적인 기호들 및 어레인지먼트들이 사용될 수 있다.
[0049] 각각의 구역에서의 적어도 하나의 기판의 부재 또는 존재에 기초하여 프로세스 퍼지 상태 디스플레이 지역(704)에서 정의된 8개의 프로세스 퍼지 상태들에 부가하여, 2개의 부가적인 퍼지 상태들이, 기판 캐리어의 FI 로봇의 엔드 이펙터의 존재에 기초하여 정의될 수 있다. 기판 캐리어 로드 동작 동안, 기판을 갖는 엔드 이펙터가 캐리어에 진입하고, 기판을 슬롯 내에 위치시키며, 그런 다음에 빈 엔드 이펙터가 후퇴한다. 기판 캐리어 언로드 동작 동안, 빈 엔드 이펙터가 캐리어에 진입하고, 기판을 슬롯으로부터 픽업하며, 그런 다음에 기판을 홀딩하고 있는 엔드 이펙터가 캐리어로부터 후퇴한다.
[0050] 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712)은, 기판 캐리어 로드 프로세스 동안의, 커튼 노즐 어레이(208) 및 기판-간 노즐 어레이들(204)의 구성 상태를 정의한다. 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714)은, 기판 캐리어 언로드 프로세스 동안의, 커튼 노즐 어레이(208) 및 기판-간 노즐 어레이들(204)의 구성 상태를 정의한다. 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712) 및 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714) 양자 모두에서, 키 디스플레이 지역(710)에서 사용된 동일한 기호들이 사용될 수 있다.
[0051] 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712) 및 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714) 양자 모두에 포함될 수 있는 부가적인 구성 제어는 엔드 이펙터-유형 인디케이터이다. 예컨대, 몇몇 실시예들에서, 기판을 단단히 홀딩하기 위한 클램핑 메커니즘을 포함하는 엔드 이펙터들이 사용될 수 있다. 다른 실시예들에서, 기판들을 클램핑하지 않는 엔드 이펙터들이 사용될 수 있다. 기판이 클램핑 메커니즘으로 엔드 이펙터에 고정되지 않는 경우에, 사용자는, 어레이들 중 하나 또는 그 초과로부터의 가스 유동에 의해, 기판이 엔드 이펙터로부터 축출되는 위험을 원하지 않을 수 있다. 따라서, 엔드 이펙터-유형 인디케이터는, 비(non)-클램핑 엔드 이펙터 블레이드가 사용되는 경우, 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712) 또는 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714)의 구성을 오버라이딩하는(override) 데에 사용될 수 있다.
[0052] 몇몇 실시예들에서, 기판-간 노즐 어레이들(204), 커튼 노즐 어레이(208), 노즐 헤드(304)의 플레넘(308)의 조정 가능한 벨로우즈, 기판-간 노즐 어레이들(204) 또는 커튼 노즐 어레이(208) 상의 노즐 오리피스 플레이트(312)(도 3), 및/또는 임의의 다른 이동 가능한 또는 조정 가능한 기계적 조립체들의 이동과 같은 부가적인 구성 선택 사항들을 제어하기 위해, 공압 액츄에이터 회로들(500B)(도 5b)의 동작을 제어하도록 부가적인 디스플레이/제어 지역이 제공될 수 있다.
[0053] 질량 유동 제어기들(614)을 갖는 가스 유동 제어 공압 회로(600)가 사용되는 실시예들에서, 단순한 3중- 또는 2중-상태 상태 입력 선택 사항들 대신에, 실제 유량들을 명시하는 파라미터 값들이, 노즐 어레이 구성 제어 지역(708)의 커튼 노즐 어레이 행(734), 좌측 기판-간 노즐 어레이(N1) 행(736), 및 우측 기판-간 노즐 어레이(N2) 행(738)의 입력 박스들 내에 입력될 수 있다. 가스 유동 제어 공압 회로(600)는, 입력된 파라미터 값들에 대한 응답으로 제어될 수 있다. 유사하게, 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712) 및 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714)의 입력 박스들은, 노즐 어레이들로부터의 가스 유동들을 제어하기 위해 실제 유량들을 명시하는 파라미터 값들을 수신하도록 이루어질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 노즐 어레이 구성 제어 지역(708)의 부가적인 제어 입력을 사용하여 대안적인 가스들이 선택될 수 있다.
[0054] 이제 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 캐리어 퍼지 시스템(100)을 동작시키는 예시적인 방법(800)을 도시하는 흐름도가 제공된다. 기판 캐리어가 로드 포트 상에 위치되고 캐리어 도어가 개방된다(802). 몇몇 실시예들에서, 캐리어 도어 개방 및 맵핑 상태가 정의될 수 있는데, 여기서 노즐 어레이들은, 캐리어 도어가 개방되고 내부의 기판들이 맵핑될 때 캐리어에 가스 유동을 스프레잉한다(804). 일단 도어가 개방되면, 캐리어 내의 기판들은, 실제로 캐리어에 있는 기판들의 위치 및 개수를 결정하거나 확정하도록 맵핑된다. 일단 기판들이 맵핑되면, 시스템(100)은, 기판 맵에 기초하여 프로세스 퍼지 상태를 결정하고, 결정된 프로세스 퍼지 상태에 대해 미리 정의된 구성에 기초하여 기판-간 노즐 어레이들 및 커튼 노즐 어레이를 활성화한다(806).
[0055] FI 로봇에 의해 기판들(202)이 기판 캐리어(112) 밖으로 그리고 안으로 이동될 때, 시스템(100)은, 캐리어 로드 노즐 어레이 제어 지역(712) 또는 캐리어 언로드 노즐 어레이 제어 지역(714)에 명시된 적절한 미리-정의된 스프레이 상태 구성으로 변화된다(808). 각각의 픽(pick) 또는 배치(place) 이후에, 맵이 업데이팅되고(810), 시스템(100)은, 프로세스 퍼지 상태가 변화되어야 하는지를 결정한다(812). 만약 그렇다면, 새로운 프로세스 퍼지 상태가 결정되고, 노즐 어레이들의 상태들은 새로운 상태에 따라 변화된다(806). 만약 그렇지 않다면, 노즐 어레이들은 현재 프로세스 퍼지 상태에 따라 가스를 유동시킨다(814).
[0056] 방법은, 모든 기판들이 프로세싱되고 그리고/또는 기판 캐리어가 밀봉되고 제거될 때까지 반복된다. 몇몇 실시예들에서, 캐리어 도어 폐쇄 상태가 정의될 수 있는데, 여기서 노즐 어레이들은, 캐리어 도어가 폐쇄될 때 캐리어에 가스 유동을 스프레잉한다.
[0057] 다수의 실시예들이 본 개시물에서 설명되고, 오직 예시적인 목적들을 위해서 제공된다. 설명되는 실시예들은 어떤 의미에서도 제한하지 않으며, 제한하는 것으로 의도되지 않는다. 현재 개시된 본 발명의 개념들은, 본 개시물로부터 용이하게 명백한 바와 같이, 다수의 실시예들에 대해 폭넓게 적용 가능하다. 당업자는, 개시된 실시예들이, 구조적, 논리적, 소프트웨어적 및 전기적 수정들과 같은 다양한 수정들 및 변경들로 실시될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 본 발명들의 개시된 실시예들의 특정한 특징들이 하나 또는 그 초과의 특정한 실시예들 및/또는 도면들을 참조하여 설명될 수 있지만, 그러한 특징들은, 달리 명백하게 명시되지 않는 한, 하나 또는 그 초과의 특정한 실시예들 또는 도면들(이러한 특정한 실시예들 또는 도면들을 참조하여 특징들이 설명됨)에서의 사용으로 제한되지 않는다는 것이 이해되어야 한다.
[0058] 본 개시물은, 모든 실시예들의 문언적 기재도 아니며, 모든 실시예들에 존재해야 하는, 본 발명의 실시예들의 특징들의 목록도 아니다.
[0059] (본 개시물의 제 1 페이지의 시작에 기재된) 명칭은, 어떤 식으로든, 개시된 본 발명(들)의 범위로서 제한되는 것으로 간주되지 않아야 한다.
[0060] "제품(product)"이라는 용어는, 달리 명백하게 명시되지 않는 한, 35 U.S.C. §101에 의해 고려되는 바와 같은 임의의 기계, 제조품(manufacture) 및/또는 물질의 구성물(composition)을 의미한다.
[0061] 단일 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품이 본원에서 설명될 때, 설명된 단일 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품 대신에, 하나 초과의 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품(이들이 협동하든 안하든)이 대안적으로 사용될 수 있다. 따라서, 디바이스에 의해 소유되는 것으로 설명되는 기능성은 대안적으로, 하나 초과의 디바이스, 컴포넌트 또는 물품(이들이 협동하든 안하든)에 의해 소유될 수 있다.
[0062] 유사하게, 하나 초과의 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품이 본원에서 설명되는 경우(이들이 협동하든 안하든), 설명된 하나 초과의 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품 대신에, 단일 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품이 대안적으로 사용될 수 있다. 예컨대, 복수의 컴퓨터-기반 디바이스들은 단일 컴퓨터-기반 디바이스로 대체될 수 있다. 따라서, 하나 초과의 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품에 의해 소유되는 것으로 설명된 다양한 기능성은 대안적으로, 단일 디바이스, 컴포넌트, 또는 물품에 의해 소유될 수 있다.
[0063] 설명된 단일 디바이스의 특징들 및/또는 기능성은 대안적으로, 설명되었지만 그러한 특징들 및/또는 기능성을 갖는 것으로 명시적으로 설명되지 않은 하나 또는 그 초과의 다른 디바이스들에 의해 구현될 수 있다. 따라서, 다른 실시예들은 설명된 디바이스 자체를 포함할 필요는 없으며, 오히려, 그러한 다른 실시예들에서, 그러한 기능성/특징들을 가질 하나 또는 그 초과의 다른 디바이스들을 포함할 수 있다.
[0064] 달리 명백하게 명시되지 않는 한, 서로 통신하는 디바이스들은 서로 연속적으로 통신할 필요는 없다. 반대로, 그러한 디바이스들은 필요하거나 바람직한 경우에만 서로에게 전송할 필요가 있으며, 실제로 대부분의 시간 동안 데이터를 교환하는 것을 삼갈 수 있다. 예컨대, 인터넷을 통해 다른 기계와 통신하는 기계는 한번에 몇 주 동안 다른 기계에 데이터를 전송하지 않을 수 있다. 부가적으로, 서로 통신하는 디바이스들은 하나 또는 그 초과의 중개자들을 통해 간접적으로 또는 직접적으로 통신할 수 있다.
[0065] 여러 가지 컴포넌트들 또는 특징들을 갖는 실시예의 설명은, 그러한 컴포넌트들 및/또는 특징들 중 전부 또는 심지어 어느 하나라도 요구된다는 것을 의미하지 않는다. 반대로, 본 발명(들)의 매우 다양한 가능한 실시예들을 예시하기 위해 다양한 선택적 컴포넌트들이 설명된다. 달리 명백하게 명시되지 않는 한, 컴포넌트 및/또는 특징은 필수적이거나 요구되지 않는다.
[0066] 또한, 프로세스 단계들, 알고리즘들 등이 순차적인 순서로 설명될 수 있지만, 그러한 프로세스들은 상이한 순서들로 작업하도록 구성될 수 있다. 다시 말해, 명백하게 설명될 수 있는, 단계들의 임의의 시퀀스 또는 순서가 반드시, 단계들이 그러한 순서로 수행되어야 한다는 요건을 나타내는 것은 아니다. 본원에서 설명되는 프로세스들의 단계들은 실현 가능한 임의의 순서로 수행될 수 있다. 또한, 일부 단계들은, (예컨대, 하나의 단계가 다른 단계 후에 설명되기 때문에) 비-동시적으로 발생하는 것으로 설명되거나 암시되기는 하지만, 동시에 또는 함께 수행될 수 있다. 게다가, 도면에서의 프로세스의 묘사에 의한 프로세스의 예시는, 예시된 프로세스가, 그에 대한 다른 변형들 및 수정들을 배제한다는 것을 의미하지 않고, 예시된 프로세스 또는 프로세스의 단계들 중 어느 하나가 본 발명에 필수적이라는 것을 의미하지 않으며, 예시된 프로세스가 바람직하다는 것을 의미하지 않는다.
[0067] 무엇인가를 "결정한다"는 것은 다양한 방식들로 수행될 수 있고 그러므로, "결정한다"는 용어(그리고 유사한 용어들)는, 계산(calculating), 컴퓨팅(computing), 연역(deriving), 검색(looking up)(예컨대, 테이블, 데이터베이스, 또는 데이터 구조에서), 확인(ascertaining), 인식(recognizing), 등을 포함한다.
[0068] 본원에서 사용될 때, "디스플레이"라는 용어는, 뷰어(viewer)에게 정보를 전달하는 지역이다. 정보는 동적일 수 있으며, 이러한 경우, 디스플레이를 형성하기 위해, LCD, LED, CRT, DLP(Digital Light Processing), 후면 프로젝션, 전면 프로젝션, 등이 사용될 수 있다. 디스플레이의 종횡비는 4:3, 16:9, 등일 수 있다. 또한, 디스플레이의 해상도는 480i, 480p, 720p, 1080i, 1080p 등과 같은 임의의 적절한 해상도일 수 있다. 디스플레이에 전송되는 정보의 포맷은, SDTV(Standard Definition Television), EDTV(Enhanced Definition TV), HDTV(High Definition TV) 등과 같은 임의의 적절한 포맷일 수 있다. 정보는 또한 정적일 수 있으며, 이러한 경우, 페인팅된 유리가 디스플레이를 형성하는 데에 사용될 수 있다. 정적인 정보는, 원하는 경우에, 동적인 정보를 디스플레잉할 수 있는 디스플레이 상에 표시될 수 있음을 주목한다. 잘 이해되는 바와 같이, 몇몇 디스플레이들은 대화식일 수 있으며 터치 스크린 피처들 또는 연관된 키패드들을 포함할 수 있다.
[0069] 본 개시물은 "제어 시스템", 인터페이스 또는 프로그램과 관련될 수 있다. 본원에서 사용될 때, 제어 시스템, 인터페이스, 또는 프로그램이라는 용어는, 제어 시스템에 대해 설명된 기능성을 제공하기 위한 명령들을 갖는, 운영 체제, 디바이스 드라이버들, 및 적절한 프로그램들(통칭적으로 "소프트웨어")과 커플링된 컴퓨터 프로세서일 수 있다. 소프트웨어는 연관된 메모리 디바이스(종종, 컴퓨터 판독 가능한 매체로서 지칭됨)에 저장된다. 적절하게 프로그래밍된 범용 컴퓨터 또는 컴퓨팅 디바이스가 사용될 수 있는 것이 고려되지만, 하드-와이어링된 회로(hard-wired circuitry) 또는 주문형 하드웨어(예컨대, ASIC(application specific integrated circuit))가, 다양한 실시예들의 프로세스들의 구현을 위한 소프트웨어 명령들 대신에 또는 그와 조합하여 사용될 수 있다는 것이 또한 고려된다. 따라서, 실시예들은, 하드웨어와 소프트웨어의 임의의 특정 조합으로 제한되지 않는다.
[0070] "프로세서"는, 임의의 하나 또는 그 초과의 마이크로프로세서들, CPU(Central Processing Unit) 디바이스들, 컴퓨팅 디바이스들, 마이크로제어기들, 디지털 신호 프로세서들, 또는 유사한 디바이스들을 의미한다. 예시적인 프로세서들은 INTEL PENTIUM 또는 AMD ATHLON 프로세서들이다.
[0071] "컴퓨터-판독 가능한 매체"라는 용어는, 컴퓨터, 프로세서, 또는 유사한 디바이스에 의해 판독될 수 있는 데이터(예컨대, 명령들)를 제공하는 데에 참여하는 임의의 법정 매체(statutory medium)를 지칭한다. 그러한 매체는, 비-휘발성 매체들, 휘발성 매체들 및 특정 법정 유형들의 전송 매체들을 포함하는 (그러나 이에 제한되지 않음) 많은 형태들을 취할 수 있다. 비-휘발성 매체들은, 예컨대, 광학 또는 자기 디스크들 및 다른 영구 메모리를 포함한다. 휘발성 매체들은, 전형적으로 주 메모리를 구성하는 DRAM을 포함한다. 법정 유형들의 전송 매체들은, 프로세서에 커플링된 시스템 버스를 포함하는 와이어들을 포함하여, 동축 케이블들, 구리선 및 광섬유들을 포함한다. 컴퓨터-판독 가능한 매체들의 일반적인 형태들은, 예컨대, 플로피 디스크, 플렉시블 디스크, 하드 디스크, 자기 테이프, 임의의 다른 자기 매체, CD-ROM, DVD(Digital Video Disc), 임의의 다른 광 매체, 펀치 카드들, 종이 테이프, 홀들의 패턴들을 갖는 임의의 다른 물리적 매체, RAM, PROM, EPROM, FLASH-EEPROM, USB 메모리 스틱, 동글(dongle), 임의의 다른 메모리 칩 또는 카트리지, 캐리어 웨이브(carrier wave), 또는 컴퓨터가 판독할 수 있는 임의의 다른 매체를 포함한다. "컴퓨터-판독 가능한 메모리" 및/또는 "유형 매체들(tangible media)"이라는 용어들은, 컴퓨터에 의해 판독가능함에도 불구하고, 신호들, 파들(waves) 및 파형들 또는 다른 무형(intangible) 또는 비-일시적인 매체들을 특히 배제한다.
[0072] 컴퓨터 판독 가능한 매체들의 다양한 형태들이, 프로세서에 명령들의 시퀀스들을 운반하는 데에 수반될 수 있다. 예컨대, 명령의 시퀀스들은 (i) RAM으로부터 프로세서에 전달될 수 있고, (ii) 무선 전송 매체를 통해 운반될 수 있으며, 그리고/또는 (iii) 다수의 포맷들, 표준들 또는 프로토콜들에 따라 포맷팅될 수 있다. 프로토콜들의 더 포괄적인 목록을 위해, "네트워크"라는 용어가 이하에서 정의되고, 여기에서 또한 적용 가능한 많은 예시적인 프로토콜들을 포함한다.
[0073] 본원에서 설명되는 다양한 방법들 및 알고리즘들이 제어 시스템에 의해 구현될 수 있고 그리고/또는 소프트웨어의 명령들이 본 발명의 프로세스들을 수행하도록 설계될 수 있음이 용이하게 자명할 것이다.
[0074] 데이터베이스들이 설명되는 경우, (i) 설명된 데이터베이스 구조들에 대한 대안적인 데이터베이스 구조들이 용이하게 채용될 수 있고, 그리고 (ii) 데이터베이스들 이외의 다른 메모리 구조들이 용이하게 채용될 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다. 본원에 제시된 임의의 샘플 데이터베이스들의 임의의 예시들 또는 설명들은, 정보의 저장된 표현들에 대한 예시적인 어레인지먼트들이다. 예컨대, 도면들 또는 다른 곳에 예시된 테이블들에 의해 제안된 어레인지먼트들 이외에, 임의의 개수의 다른 어레인지먼트들이 채용될 수 있다. 유사하게, 데이터베이스들의 임의의 예시된 엔트리들은, 단지 예시적인 정보만을 나타내며; 당업자는, 엔트리들의 개수 및 콘텐츠가, 본원에서 설명된 것들과 상이할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 테이블들로서의 데이터베이스들의 임의의 묘사에도 불구하고, 본원에서 설명되는 데이터 유형들을 저장하고 조작하기 위해, 다른 포맷들(관계형 데이터베이스들, 객체-기반 모델들, 계층적 전자 파일 구조들, 및/또는 분산 데이터베이스들을 포함)이 사용될 수 있다. 유사하게, 데이터베이스의 객체 메소드들(object methods) 또는 거동들은, 본원에서 설명된 것과 같은 다양한 프로세스들을 구현하는 데에 사용될 수 있다. 부가적으로, 데이터베이스들은, 공지된 방식으로, 그러한 데이터베이스의 데이터에 액세스하는 디바이스로부터 로컬로 또는 원격으로 저장될 수 있다. 또한, 통합된 데이터베이스들이 고려될 수 있지만, 데이터베이스들이, 다양한 디바이스들간에 분산되고 그리고/또는 복제될 수 있다는 것이 또한 가능하다.
[0075] 본원에서 사용되는 바와 같이, "네트워크"는 하나 또는 그 초과의 컴퓨팅 디바이스들이 서로 통신할 수 있는 환경이다. 그러한 디바이스들은, 인터넷, LAN, WAN 또는 이더넷(또는 IEEE 802.3), 토큰 링과 같은 유선 또는 무선 매체를 통해, 또는 임의의 적절한 통신 수단 또는 통신 수단의 조합을 통해, 직접적으로 또는 간접적으로 통신할 수 있다. 예시적인 프로토콜들은: 블루투스(Bluetooth™), TDMA(Time Division Multiple Access), CDMA(Code Division Multiple Access), GSM(Global System for Mobile communications), EDGE(Enhanced Data Rates for GSM Evolution), GPRS(General Packet Radio Service), WCDMA(Wideband CDMA), AMPS(Advanced Mobile Phone System), D-AMPS(Digital AMPS), IEEE 802.11(WI-FI), IEEE 802.3, SAP, BOB(best of breed), S2S(system to system), 등을 포함하지만, 이에 제한되지 않는다. 비디오 신호들 또는 대용량 파일들이 네트워크를 통해 전송되는 경우, 그러한 대용량 파일들의 전송과 연관된 지연들을 줄이기 위해 광대역 네트워크가 사용될 수 있지만, 그러한 것이 엄격하게 요구되는 것은 아님을 주목한다. 각각의 디바이스들은 그러한 통신 수단을 통해 통신하도록 이루어진다. 임의의 개수 및 유형의 기계들이 네트워크를 통해 통신할 수 있다. 네트워크가 인터넷인 경우, 인터넷을 통한 통신들은, 원격 서버상의 컴퓨터에 의해 유지되는 웹 사이트를 통해, 또는 상업적 온라인 서비스 제공자들, 전자 게시판 시스템(bulletin board system)들 등을 포함하는 온라인 데이터 네트워크를 통해 이루어질 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 디바이스들은 RF, 케이블 TV, 위성 링크들, 등을 통해 서로 통신할 수 있다. 독점 또는 기밀 정보를 보호하기 위해, 적절한 암호화, 또는 로그인들 및 암호들과 같은 다른 보안 조치들이 제공될 수 있다.
[0076] 본원에서 설명되는 다양한 방법들 및 알고리즘들이, 예컨대, 적절하게 프로그래밍된 범용 컴퓨터들 및 컴퓨팅 디바이스들에 의해 구현될 수 있다는 것이 용이하게 자명할 것이다. 전형적으로, 프로세서(예컨대, 하나 또는 그 초과의 마이크로프로세서들)는 메모리 또는 유사한 디바이스로부터 명령들을 수신할 것이고, 그러한 명령들을 실행할 것이며, 이로써, 그러한 명령들에 의해 정의된 하나 또는 그 초과의 프로세스들을 수행할 것이다. 또한, 그러한 방법들 및 알고리즘들을 구현하는 프로그램들은, 다수의 방식들로, 다양한 매체들(예컨대, 컴퓨터 판독 가능한 매체들)을 사용하여 저장될 수 있고 전송될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하드-와이어링된 회로 또는 주문형 하드웨어가, 다양한 실시예들의 프로세스들의 구현을 위한 소프트웨어 명령들 대신에 또는 그와 조합하여 사용될 수 있다. 따라서, 실시예들은, 하드웨어와 소프트웨어의 임의의 특정 조합으로 제한되지 않는다. 따라서, 프로세스의 설명은 마찬가지로, 프로세스를 수행하기 위한 적어도 하나의 장치를 설명하고, 마찬가지로 프로세스를 수행하기 위한 적어도 하나의 컴퓨터-판독 가능한 매체 및/또는 메모리를 설명한다. 프로세스를 수행하는 장치는, 프로세스를 수행하기에 적합한 컴포넌트들 및 디바이스들(예컨대, 프로세서, 입력 및 출력 디바이스들)을 포함할 수 있다. 컴퓨터-판독 가능한 매체는, 방법을 수행하기에 적절한 프로그램 엘리먼트들을 저장할 수 있다.
[0077] 본 개시물은, 당업자에게, 여러 가지 실시예들 및/또는 본 발명들의 실현 가능한 설명을 제공한다. 이러한 실시예들 및/또는 본 발명들 중 일부는, 본원에서 청구되지 않을 수 있지만, 그럼에도 불구하고, 본 출원의 우선권의 이익을 주장하는 하나 또는 그 초과의 계속 출원들(continuing applications)에서 청구될 수 있다.
[0078] 전술한 설명은 본 발명의 단지 예시적인 실시예들을 개시한다. 본 발명의 범위 내에 속하는 상기-개시된 장치, 시스템들 및 방법들의 수정들이 당업자에게 용이하게 자명할 것이다.
[0079] 따라서, 본 발명이 본 발명의 예시적인 실시예들과 관련하여 개시되었지만, 다른 실시예들이, 이하의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은 본 발명의 사상 및 범위 내에 있을 수 있음이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 장비 전단 모듈(equipment front end module)(EFEM) 또는 팩토리 인터페이스(factory interface)(FI)의 로드 포트(load port)에서 기판 캐리어를 퍼징(purging)하기 위한 키트(kit)로서,
    상기 키트는,
    FI 또는 EFEM 로봇의 동작을 방해하지 않고 로드 포트 도어(door)에 근접하여 안착(sit)되도록 구성된 프레임(frame);
    상기 프레임에 의해 지지되고 가스를 기판 캐리어 내에 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 기판-간(inter-substrate) 노즐 어레이들(arrays) ― 상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어 내 상기 기판의 개수 또는 위치 중 적어도 하나에 기초하여, 조정가능한 조준 각도를 가짐 ―; 및
    상기 프레임에 의해 지지되고 가스를 상기 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 커튼(curtain) 노즐 어레이들;을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 키트는, 기존의 팩토리 인터페이스들 또는 장비 전단 모듈들에 부가되도록 구성되는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 측 상에 각각 수직으로 배치된 2개의 기판-간 노즐 어레이들을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 측 상에 수직으로 배치된 하나의 커튼 노즐 어레이를 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 정상부 또는 바닥부 측 상에 수평으로 배치된 하나의 커튼 노즐 어레이를 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 커튼 노즐 어레이는, 가스를 상기 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 수직으로 스프레잉하도록 구성되는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 각각은, 상기 기판 캐리어 내의 각각의 슬롯(slot)을 위한 2개의 노즐들을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 키트.
  8. 기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템으로서,
    상기 시스템은,
    기판 캐리어를 수용하도록 이루어지고 도어를 포함하는 로드 포트;
    FI 또는 EFEM 로봇의 동작을 방해하지 않고 로드 포트 도어에 근접하여 안착되도록 구성된 프레임;
    상기 프레임에 의해 지지되고 가스를 상기 기판 캐리어 내에 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 ― 상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어 내 상기 기판의 개수 또는 위치 중 적어도 하나에 기초하여, 조정가능한 조준 각도를 가짐 ―; 및
    상기 프레임에 의해 지지되고 가스를 상기 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 스프레잉하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들;을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 측 상에 각각 수직으로 배치된 2개의 기판-간 노즐 어레이들을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 측 상에 수직으로 배치된 하나의 커튼 노즐 어레이를 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어의 개구부의 정상부 또는 바닥부 측 상에 수평으로 배치된 하나의 커튼 노즐 어레이를 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 커튼 노즐 어레이는, 가스를 상기 기판 캐리어의 개구부에 걸쳐서 수직으로 스프레잉하도록 구성되는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 각각은, 상기 기판 캐리어 내의 각각의 슬롯을 위한 2개의 노즐들을 포함하는,
    기판 캐리어를 퍼징하기 위한 시스템.
  14. 로드 포트에서 기판 캐리어를 퍼징하는 방법으로서,
    상기 방법은,
    기판 캐리어를 로드 포트에 전달하고 상기 캐리어의 도어를 개방하는 단계;
    상기 캐리어 도어가 개방되고 상기 캐리어 내의 기판들이 맵핑되는(mapped)경우 상기 기판 캐리어에 가스 유동을 스프레잉하는 단계;
    기판 맵에 기초하여 프로세스 퍼지 상태를 결정하는 단계; 및
    결정된 프로세스 퍼지 상태에 대해, 미리 정의된 스프레이 상태 구성을 사용하여, 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 및 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들을 활성화하는(activating) 단계 ― 상기 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들은, 상기 기판 캐리어 내 상기 기판의 개수 또는 위치 중 적어도 하나에 기초하여, 조정가능한 조준 각도를 가짐 ―;를 포함하는,
    로드 포트에서 기판 캐리어를 퍼징하는 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    기판들이 상기 기판 캐리어에 부가되거나 상기 기판 캐리어로부터 제거되는 경우, 상기 스프레이 상태 구성을 로드(load) 또는 언로드(unload) 스프레이 상태 구성으로 스위칭하는 단계;
    기판들이 상기 기판 캐리어에 부가되고 상기 기판 캐리어로부터 제거되는 경우 상기 기판 맵을 업데이팅하는(updating) 단계;
    업데이팅된 기판 맵에 기초하여 새로운 프로세스 퍼지 상태를 결정하는 단계; 및
    결정된 새로운 프로세스 퍼지 상태에 대해, 미리 정의된 스프레이 상태 구성을 사용하여, 하나 또는 그 초과의 기판-간 노즐 어레이들 및 하나 또는 그 초과의 커튼 노즐 어레이들을 활성화하는 단계;를 더 포함하는,
    로드 포트에서 기판 캐리어를 퍼징하는 방법.
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