JP6496819B2 - 高分子フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液、を調整する工程、
(2)前記溶液を、支持体上に流延し、フィルム状に成形した後に熱処理を行ってゲルフィルムを作製した後、当該ゲルフィルムを当該支持体より引き剥して、当該ゲルフィルムを得る工程、および
(3)前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を把持して、さらに当該ゲルフィルムを熱処理する工程、を含み、
前記(3)の工程において、前記ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱風を送風する、第一の熱処理を行うとともに、前記把持された前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行うことを特徴とする、高分子フィルムの製造方法に関する。
本発明の一実施形態に係る高分子フィルムの製造方法は、以下に示す特徴的な構成を有するものであればよく、その他の具体的な構成、材料、条件および設備等については特に限定されるものではない;
(1)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液、を調整する工程、
(2)前記溶液を、支持体上に流延し、フィルム状に成形した後に熱処理を行ってゲルフィルムを作製した後、当該ゲルフィルムを当該支持体より引き剥して、当該ゲルフィルムを得る工程、および
(3)前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を把持して、さらに当該ゲルフィルムを熱処理する工程、を含み、
前記(3)の工程において、前記ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱風を送風する、第一の熱処理を行うとともに、前記把持された前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行う。
本高分子フィルムの製造方法は、(1)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液、を調整する工程を含むものであればよく、その他の構成は特に限定されるものではない。
ポリアミド酸は、通常、芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物とを、実質的に等モル量となるように有機溶媒中に溶解させて、得られた溶液を、制御された温度条件下で、前記芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンとの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。このようにして得られたポリアミド酸を含むポリアミド酸溶液は、通常5重量%〜35重量%の濃度で得られ、より好ましくは10重量%〜30重量%の濃度で得られる。前記範囲の濃度である場合には、ポリアミド酸溶液は、適当な分子量と溶液粘度とを得る。
本実施形態において硬化剤とは、脱水剤および触媒の少なくとも一方を含む趣旨である。
本実施形態で用いられる高分子の溶液は、必要に応じて各種添加剤を含んでいても良い。
ポリアミド酸および硬化剤を含む高分子の溶液、または、ポリアミド酸、添加剤および硬化剤を含む高分子の溶液を調製する方法は特に限定されるものではなく、ポリアミド酸溶液中に、硬化剤および場合によっては添加剤を十分に分散または溶解できるような方法であれば良い。
本実施形態の高分子フィルムの製造方法は、(2)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を支持体上に流延し、フィルム状に成形した後に熱処理を行って、ゲルフィルムを作製した後、当該ゲルフィルムを当該支持体より引き剥して、当該ゲルフィルムを得る工程を含むものであればよい。なお、ゲルフィルムを得る(2)の工程を、製膜工程と称する場合がある。
ポリイミドの製膜工程では、前記高分子の溶液をダイスから押し出して、支持体上へキャストして液膜化した後に、さらに加熱および乾燥することによって、ゲルフィルムとする。すなわち、本製膜工程では、キャストされた高分子の溶液からなる液膜を加熱および乾燥することにより、当該液膜中の溶媒を蒸発させるとともに、一定程度イミド化を進行させることによって、自己支持性を発現させ、自己支持性を有するゲルフィルムを得る。ゲルフィルムは、半乾燥状態であり、ゲルフィルムは液膜中に含まれていた溶媒、すなわち揮発成分を含んでいる。
本実施形態の高分子フィルムの製造方法は、(3)前記(2)の工程で得られたゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を把持して、さらに当該ゲルフィルムを熱処理する工程を含み、当該(3)の工程において、当該ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱風を送風する、第一の熱処理を行うとともに、当該把持された当該ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行うものであればよく、その他の構成は特に限定されるものではない。
前記(2)の工程(製膜工程)により得られたゲルフィルムを、当該ゲルフィルムの両端部を把持部材により固定して加熱炉で加熱する。すなわち、本加熱および乾燥工程では、製膜工程により得られたゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を固定した状態で加熱炉を通し、残存する溶媒の除去ならびにイミド化を完了させることにより、ポリイミドフィルムを得る。
本実施形態の第一の熱処理は、ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱を加えることである。
本実施形態では、第一の熱処理を行うとともに、前記把持された前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行うことを特徴とする。
Y<0.0283X2−1.715X+32.467・・・(1)
本実施形態の高分子フィルムの製造方法のコストパフォーマンス、生産性および歩留まりなどの効果は、上述したXおよびYを用いて、以下の式(2)によって定義づけられる、残揮発物量除去率によって表されることも可能である。
残揮発物量除去効率=(0.0283X2−1.715X+32.467)−Y・・・(2)
本実施形態の前記残揮発物量除去率は、特に限定されないが、コストパフォーマンス、生産性、および製品の歩留まりの観点から、0より大きいことが好ましく、0.5より大きいことがより好ましく、1.0より大きいことがより好ましく、2.0より大きいことがさらに好ましく、3.0より大きいことが特に好ましい。また、残揮発物量除去効率の上限値も、特に限定されないが、製品が裂けたり、または破れたりしない範囲であることがより好ましい。
[1]高分子フィルムの製造方法であって、
(1)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液、を調整する工程、
(2)前記溶液を、支持体上に流延し、フィルム状に成形した後に熱処理を行ってゲルフィルムを作製した後、当該ゲルフィルムを当該支持体より引き剥して、当該ゲルフィルムを得る工程、および
(3)前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を把持して、さらに当該ゲルフィルムを熱処理する工程、を含み、
前記(3)の工程において、前記ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱風を送風する、第一の熱処理を行うとともに、前記把持された前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行うことを特徴とする、高分子フィルムの製造方法。
[2]前記第一の熱処理の温度T1(℃)と前記第二の熱処理の温度T2(℃)とで表されるT1−T2が、0.1〜30であることを特徴とする、[1]に記載の高分子フィルムの製造方法。
[3]前記第一の熱処理を行うための第一の熱処理部と前記ゲルフィルムとの距離D1、および、前記第二の熱処理を行うための第二の熱処理部と当該ゲルフィルムとの距離D2で表されるD2/D1が、0.30以下であることを特徴とする、[1]または[2]に記載の高分子フィルムの製造方法。
[4]前記高分子フィルムがポリイミドフィルムであることを特徴とする、[1]〜[3]の何れか1つに記載の高分子フィルムの製造方法。
[5]前記第一の熱処理と前記第二の熱処理とを通じた加熱および乾燥時間(sec)をXとし、前記(3)の工程後の前記ゲルフィルムに含まれる残揮発物量(%)をYとするとき、以下の式(1)を満たすことを特徴とする、[1]〜[4]の何れか1つに記載の高分子フィルムの製造方法。
Y<0.0283X2−1.715X+32.467・・・(1)
フィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は、加熱炉から出てきたフィルムについて、フィルム幅方向において、中央部側に一番近い側のピンから外側で且つ流れ方向に200mmの長さでフィルムを切り取った。切り取ったフィルムの重量を測定した後に、エスペック株式会社製、高温恒温器STPH−101を使用して、450℃で、20分間、乾燥し、乾燥後に再びフィルムの重量を測定した。また、乾燥後のフィルムの厚さを測定した。本発明の残揮発物量は、以下の式(3)により、定義される。
前記式(3)において、Wは乾燥前のフィルム重量を表し、W0は乾燥後のフィルムの重量を表し、Tcは乾燥後のフィルム中央部の厚さ(μm)を表し、そしてTeは、乾燥後のフィルム端部の厚さ(μm)を表す。
フィルム傷は、加熱炉から出てきたフィルムについて、フィルムを目視することによって、フィルム傷の有無を判定した。
フィルム裂けは、加熱炉から出てきたフィルムについて、フィルムを目視することによって、フィルムの裂け目の有無を判定した。
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)中で、ピロメリット酸二無水物、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、p−フェニレンジアミンのモル比が4/3/1の割合になるように重合し、高分子の前駆体の溶液である、ポリアミド酸溶液を得た。
合成例1で得られたポリアミド酸溶液に、脂肪族酸無水物である無水酢酸、複素環式3級アミンであるイソキノリンおよびDMFからなる硬化剤を混合して高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液とし、これをTダイから連続的に押出し、ステンレス製のエンドレスベルト上に塗布した。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、110℃で75秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は259℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、25秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は7.0重量%であり、残揮発物量除去効率は、0.28であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、110℃で75秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理のみを行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本比較例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理は行わなかった。第一の熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、25秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は7.7重量%であり、残揮発物量除去効率は、−0.42であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。なお、比較例1における第二の熱処理の温度は、実施例1において第二の熱処理の温度を測定した位置と同位置において測定した、雰囲気温度である。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、120℃で60秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は259℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、20秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は8.8重量%であり、残揮発物量除去効率は、0.69であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、120℃で60秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理のみを行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本比較例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理は行わなかった。第一の熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、20秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は10.2重量%であり、残揮発物量除去効率は、−0.71であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。なお、比較例2における第二の熱処理の温度は、実施例1において第二の熱処理の温度を測定した位置と同位置において測定した、雰囲気温度である。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は259℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は10.3重量%であり、残揮発物量除去効率は、1.19であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理のみを行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本比較例において、第一の熱処理の温度T1は、275℃とし、第二の熱処理は行わなかった。第一の熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は12.3重量%であり、残揮発物量除去効率は、−0.81であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。なお、比較例3における第二の熱処理の温度は、実施例1において第二の熱処理の温度を測定した位置と同位置において測定した、雰囲気温度である。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、110℃で75秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、25秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は6.4重量%であり、残揮発物量除去効率は、0.88であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、120℃で60秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、20秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は7.4重量%であり、残揮発物量除去効率は、2.09であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は10m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は8.2重量%であり、残揮発物量除去効率は、3.29であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は8m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は10.6重量%であり、残揮発物量除去効率は、0.89であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は6m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は11.3重量%であり、残揮発物量除去効率は、0.19であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、130℃で50秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理および第二の熱処理を行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本実施例において、第一の熱処理の温度T1は、300℃とし、第二の熱処理の風速は11m/secとした。この時、温度T2は286℃であった。第一の熱処理および第二の熱処理は、同時に行い、両熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、17秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量は6.0重量%であり、残揮発物量除去効率は、5.48であった。運転条件および得られた結果を表1に示す。
製造例1で塗布したポリアミド酸溶液と硬化剤との、高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液を、120℃で60秒間、加熱および乾燥させ、自己支持性を有したゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がした後、ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部をテンターピンで把持し、搬送しながらテンター炉内で、第一の熱処理のみを行うことによって、ゲルフィルムを加熱および乾燥し、膜厚12.5μmのポリイミドフィルムを得た。本比較例において、第一の熱処理の温度T1は、250℃とし、第二の熱処理は行わなかった。第一の熱処理によるゲルフィルムの加熱および乾燥の時間は、20秒間とした。得られたフィルムのフィルム幅方向の両端部の残揮発物量および残揮発物量除去効率は、フィルムが裂けたため、測定できなかった。運転条件および得られた結果を表1に示す。なお、比較例4における第二の熱処理の温度は、実施例1において第二の熱処理の温度を測定した位置と同位置において測定した、雰囲気温度である。
2 第一の熱処理部
3 第二の熱処理部
4 フィルム流れ方向(MD方向)
5 フィルム幅方向(TD方向)
6 テンターピン
7 搬送装置カバー
8 ブラケット
Claims (5)
- 高分子フィルムの製造方法であって、
(1)高分子の溶液、当該高分子の前駆体の溶液、または当該高分子の前駆体の溶液と硬化剤とを含む溶液、を調整する工程、
(2)前記溶液を、支持体上に流延し、フィルム状に成形した後に熱処理を行ってゲルフィルムを作製した後、当該ゲルフィルムを当該支持体より引き剥して、当該ゲルフィルムを得る工程、および
(3)前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部を把持して、さらに当該ゲルフィルムを熱処理する工程、を含み、
前記(3)の工程において、前記ゲルフィルムのフィルム幅方向に、均一に熱風を送風する、第一の熱処理を行うとともに、前記把持された前記ゲルフィルムのフィルム幅方向の両端部に、当該ゲルフィルムのフィルム流れ方向と平行に、連続的に熱風を送風する、第二の熱処理を行うことを特徴とする、高分子フィルムの製造方法。 - 前記第一の熱処理の温度T1(℃)と前記第二の熱処理の温度T2(℃)とで表されるT1−T2が、0.1〜30であることを特徴とする、請求項1に記載の高分子フィルムの製造方法。
- 前記第一の熱処理を行うための第一の熱処理部と前記ゲルフィルムとの距離D1、および、前記第二の熱処理を行うための第二の熱処理部と当該ゲルフィルムとの距離D2で表されるD2/D1が、0.30以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の高分子フィルムの製造方法。
- 前記高分子フィルムがポリイミドフィルムであることを特徴とする、請求項1〜3の何れか1項に記載の高分子フィルムの製造方法。
- 前記第一の熱処理と前記第二の熱処理とを通じた加熱および乾燥時間(sec)をXとし、前記(3)の工程後の前記ゲルフィルムに含まれる残揮発物量(%)をYとするとき、以下の式(1)を満たすことを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載の高分子フィルムの製造方法。
Y<0.0283X2−1.715X+32.467・・・(1)
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