JP6494505B2 - 硬質炭素皮膜 - Google Patents
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Description
また、本発明に係る硬質炭素皮膜の製造方法は、アーク電流が60A〜100A、パルスバイアス電圧が−2000V〜−800Vで処理を行う第1の成膜工程と、アーク電流が100A〜150A、パルスバイアス電圧が−2000V〜−800Vで処理を行う第2の成膜工程とを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る硬質炭素皮膜の製造方法は、前記第2の成膜工程の後にパルスバイアス電圧を−2000V〜−800Vの高電圧処理とパルスバイアス電圧を−200V〜−100Vの低電圧処理を所定の間隔で複数回繰り返す最表面成膜工程を更に備えると好適である。
で形成される硬質炭素皮膜12の硬度はビッカース硬さHvで1700程度に形成することができる。
[摩擦摩耗試験]
まず、φ80mmのピストンリング基材(JIS規格のSWOSC−V材に外周摺動面にCr−N系のPVD皮膜を25μm施したもの)の表面にイオンプレーティング法によって、下地層としてTi層を0.3μm形成した。このピストンリング基材11に以下の方法により硬質炭素皮膜を成膜して摩擦摩耗試験を行い、摩滅の有無を観察した。なお、ピストンリング基材は、C:0.55質量%,Si:1.35質量%,Mn:0.65質量%,Cr:0.70質量%,Cu:0.03質量%,P:0.02質量%,S:0.02質量%,残部:Fe及び不可避不純物から成るものを用いた。
第1の成膜工程(アーク電流90A,パルスバイアス電圧−1800V)において、18分で0.2μm、第2の成膜工程(アーク電流120A,パルスバイアス電圧−1800V)において、456分で5.2μm、全体として膜厚が5.4μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜工程(アーク電流90A,パルスバイアス電圧−1800V)において、18分で0.2μm、第2の成膜工程(アーク電流120A,パルスバイアス電圧−1800V)において、456分で5.2μm、最表面成膜工程(アーク電流120A,パルバイアス電圧を−1800Vと−150Vとを3秒間隔で720回繰り返し)において、0.8μm、全体として膜厚が6.2μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−1200V)において、41分で0.5μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−1200V)において、772分で11.0μm、全体として膜厚が11.5μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−1200V)において、41分で0.5μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−1200V)において、772分で11.0μm、最表面成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧を−1200Vと−100Vとを3秒間隔で720回繰り返し)において、1.0μm、全体として膜厚が12.5μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流60A,パルスバイアス電圧−2000V)において、14分で0.1μm、第2の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−2000V)において、105分で1.0μm、最表面成膜行程(アーク電流140A,パルスバイアス電圧を−2000Vと−200Vとを3秒間隔で720回繰り返し)において、1.0μm、全体として膜厚が2.1μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−2000V)において、41分で0.5μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−2000V)において、281分で4.0μm、全体として膜厚が4.5μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流60A,パルスバイアス電圧−1200V)において、14分で0.1μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−1200V)において、70分で1.0μm、全体として膜厚が1.1μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
スパッタリング法(電力3000W,パルスバイアス電圧−150V)にて硬度の低いDLCを75分で0.045μm、アークイオンプレーティング法(アーク電流120A,パルスバイアス電圧−150V)にて硬度の高いDLCを39分で0.45μm、2層で0.495μmを11回積層して膜厚が5.45μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
アークイオンプレーティング法(アーク電流90A,パルスバイアス電圧−200V)にて90分で膜厚が1.0μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流120A,パルスバイアス電圧−1200V)において、34分で0.5μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−1200V)において、358分で5.1μm、全体として膜厚が5.6μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−200V)において、16分で0.2μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−200V)において、386分で5.5μm、全体として膜厚が5.7μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−3000V)において、16分で0.2μm、第2の成膜行程(アーク電流150A,パルスバイアス電圧−3000V)において、365分で5.2μm、全体として膜厚が5.4μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流60A,パルスバイアス電圧−3000V)において、14分で0.1μm、第2の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−3000V)において、526分で5.0μm、全体として膜厚が5.1μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
第1の成膜行程(アーク電流60A,パルスバイアス電圧−300V)において、14分で0.1μm、第2の成膜行程(アーク電流100A,パルスバイアス電圧−300V)において、547分で5.2μm、全体として膜厚が5.3μmの硬質炭素皮膜を成膜した。
硬質炭素皮膜の水素含有量は、0.3原子%とし、ピストンリングを長さ20mmに切り出して摺動側試験片(ピン型試験片)40として使用した。
相手側試験片41は、JIS G4805に高炭素クロム軸受鋼鋼材として規定されるSUJ2鋼から、寸法φ24×7.9mm、硬さHRC62以上の相手側試験片41(ディスク型試験片)を使用し、下記条件によるSRV試験を図5に示すように実施した。
試験装置:SRV試験装置
荷重:100N,200N,300N
周波数:50Hz
試験温度:80℃
摺動幅:3mm
潤滑油:5W−30,125ml/hr
試験時間:10分
次に、上述した実施例1〜7及び比較例1〜7を用いて、摩耗試験を実施した。摩耗試験は、図6に示すようにアムスラー型摩耗試験機50を使用した。用いた試料51は、実施例1,2及び比較例1,2を7mm×8mm×5mmの固定片とし、相手材52(回転
片)にはドーナツ状(外径40mm,内径16mm、厚さ10mm)のものを用いて試料51と相手材52とを接触させて荷重Pを負荷して以下の試験条件によって行い固定片の摩耗比率を測定した。
試験装置:アムスラー型摩耗試験機
潤滑油:0W−20
油温:80℃
回転数:1.0m/s
荷重:784N
試験時間:7時間
相手材:ボロン鋳鉄
次に、上述した実施例1,2及び比較例2を用いて、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope:TEM)による観察試験を実施した。
13 下地層、 14 基材層。
Claims (8)
- ピストンリング基材の少なくとも外周摺動面上に形成される水素を0.1〜5.0原子%含有する硬質炭素皮膜であって、
前記硬質炭素皮膜は、透過型電子顕微鏡(TEM)に電子エネルギー損失分光法(EELS)を組み合わせたTEM−EELSスペクトルで測定されたsp2成分比が40%〜80%であり、含有するマクロパーティクルの硬質炭素皮膜表面における面積比が0.1%〜10.0%であり、
前記硬質炭素皮膜は、最表面に皮膜断面が透過型電子顕微鏡(TEM)にて縞状に観察される表層ナノ積層部を備え、
前記表層ナノ積層部は、合計厚さが0.1μm以上、2μm以下に成膜されることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項1に記載の硬質炭素皮膜において、
前記硬質炭素皮膜の下にTi,Cr又はSiから成る下地層を備えることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項2に記載の硬質炭素皮膜において、
前記下地層と前記ピストンリング基材の間にPVD皮膜,Crめっき皮膜又は窒化層のいずれかからなる基材層が形成されることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の硬質炭素皮膜において、
前記硬質炭素皮膜の表面粗さは、DIN4776規格に基づく初期摩耗高さRpkが0.2μm以下であることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の硬質炭素皮膜において、
前記硬質炭素皮膜は、膜厚が5μm以上に形成されることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の硬質炭素皮膜において、
前記硬質炭素皮膜は、膜厚が0.5μm以上、5μm未満に形成されることを特徴とする硬質炭素皮膜。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の硬質炭素皮膜の製造方法であって、
アーク電流が60A〜100A、パルスバイアス電圧が−2000V〜−800Vで処理を行う第1の成膜工程と、アーク電流が100A〜150A、パルスバイアス電圧が−2000V〜−800Vで処理を行う第2の成膜工程とを備えることを特徴とする硬質炭素皮膜の製造方法。 - 請求項7に記載の硬質炭素皮膜の製造方法において、
前記第2の成膜工程の後にパルスバイアス電圧を−2000V〜−800Vの高電圧処理とパルスバイアス電圧を−200V〜−100Vの低電圧処理を所定の間隔で複数回繰り返す最表面成膜工程を更に備えることを特徴とする硬質炭素皮膜の製造方法。
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