JP6494353B2 - マグネトロン - Google Patents

Description

本発明は、マグネトロンに関するものであり、電子レンジ等のマイクロ波加熱機器に用いられる連続波マグネトロンに適用して好適なものである。

２４５０ＭＨｚ帯の電波を発振する一般的な電子レンジ用マグネトロンは、発振部と入力部と出力部とを有している。発振部、入力部及び出力部は、マグネトロンの中心軸である管軸に沿って設けられている。具体的には、発振部の管軸方向の一端側に入力部が設けられ、他端側に出力部が設けられている。

発振部は、筒状の陽極円筒と、この陽極円筒の内周面から中心の管軸に向かって突出する複数のベインと、管軸上に設けられた螺旋状陰極（カソード）などを有している。

陽極円筒の入力側の端部と出力側の端部には、磁石が配置されている。さらに、陽極円筒と磁石の外側には、これらを囲うヨークが配置され、磁石とヨークによって磁気回路が形成されている。ヨークは、入力側のインプットヨークと出力側のアウトプットヨークとで構成されている。また、陽極円筒には、ラジエータを構成する複数の冷却フィンが圧入され、複数の冷却フィンは、陽極円筒とインプットヨークとの間に管軸を横切る方向に広がり、先端部がインプットヨークの内面に接触するようになっている（例えば特許文献１参照）。

カソードから陽極円筒に伝わった熱は、ラジエータを構成する複数の冷却フィンによって放熱され、さらに複数の冷却フィンを介してインプットヨークにも伝わることで、インプットヨークによっても放熱される。

特開２０１３−２０６７３１号公報

ところで、マグネトロンは、動作時に高温となる為、各部品が少なからず熱膨張を起こす。その後、動作が停止してマグネトロンの温度が低下すると、熱膨張していた各部品は収縮する。また、インプットヨークの材料は例えば鉄であり、線膨張率は１２×１０Ｅ−６／Ｋ、冷却フィンの材料は例えばアルミであり、線膨張率は２３×１０Ｅ−６／Ｋとなっている。つまり、冷却フィンよりもインプットヨークの方が熱膨張率が小さい。

インプットヨークは、アウトプットヨークにカシメ（又はネジ留め）されている為、熱膨張と収縮を繰り返しても大きく変形することはない。これに対して、図７（Ａ）に示すように、冷却フィン１００は、先端部１０１がインプットヨーク１０２の内面に接触しているだけであり、且つインプットヨーク１０２よりも線膨張率が高い為、熱膨張と収縮を繰り返すと、図７（Ｂ）に示すように、先端部１０１がインプットヨーク１０２から離れてしまうことがあった。

このように、冷却フィンの先端部が、インプットヨークから離れてしまうと、陽極円筒からの熱が、冷却フィンからインプットヨークへと伝わりにくくなり、全体的な冷却性能が低下する。この結果、マグネトロンの発振部の温度も高くなる。

そこで、本発明は、上記課題を解決する為になされたものであり、冷却性能の低下を防ぐことのできるマグネトロンを提供することを目的とする。

上記目的を達成する為に、本発明に係るマグネトロンは、入力側から出力側に向かう中心軸に沿って延びる円筒状の陽極円筒と、前記陽極円筒の入力側の端部と出力側の端部にそれぞれ設けられた磁石と、前記陽極円筒と前記磁石とを囲い、前記磁石とともに磁気回路を形成するヨークと、前記陽極円筒と前記ヨークとの間に、前記中心軸を横切る方向に広がる冷却フィンとを有し、前記冷却フィンは、前記ヨーク側に位置する先端部の一部が前記ヨークの外側に位置するとともに、前記ヨークの外面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の他部が前記ヨークの内側に位置するとともに、前記ヨークの内面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の一部と他部が、前記ヨークを挟み込むようにして前記ヨークと接触することを特徴とする。

本発明によれば、冷却フィンの先端部が、ヨークを厚さ方向に挟み込むようにしてヨークと接触することにより、熱膨張と収縮を繰り返しても、冷却フィンの先端部がインプットヨークから離れてしまうことを防ぐことができ、かくして冷却性能の低下を防ぐことができる。

本発明に係るマグネトロンの全体の縦断面図である。 本発明に係るマグネトロンの冷却フィンの平面図及び側面図である。 本発明に係るマグネトロンの冷却フィンの先端部の拡大図である。 本発明に係るマグネトロンの全体の斜視図である。 本発明に係るマグネトロンの全体の斜視図である。 本発明に係るマグネトロンの他の実施の形態における冷却フィン及びインプットヨークの構成を示す斜視図である。 従来のマグネトロンの冷却フィンとインプットヨークとの接触部分を示す側面図である。

本発明に係るマグネトロンの一実施の形態を、図面を参照して説明する。尚、以下の実施の形態は、単なる例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。

［１．マグネトロンの構成］
まず、第１の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態のマグネトロン１の概略を示す縦断面図である。このマグネトロン１は、２４５０ＭＨｚ帯のマイクロ波を発生する電子レンジ用のマグネトロンである。マグネトロン１は、２４５０ＭＨｚ帯のマイクロ波を発生する発振部２、発振部２の中心に位置するカソード３に電力を供給する入力部４、発振部２から発振されたマイクロ波を管外（マグネトロン１外）に取り出す出力部５を有している。発振部２、入力部４及び出力部５は、マグネトロン１の中心軸である管軸ｍに沿って設けられている。つまり、発振部２の管軸方向の一端側（図中下側）に入力部４が設けられ、他端側（図中上側）に出力部５が設けられている。

これら入力部４及び出力部５は、それぞれ発振部２に対し、入力側の金属封着体６及び出力側の金属封着体７によって真空気密に接合されている。

発振部２は、陽極部８と陰極部９とを有している。陽極部８は、陽極円筒１０と、複数枚（例えば１０枚）のベイン１１を有している。陽極円筒１０は、円筒状に形成され、その中心軸が、マグネトロン１の中心軸である管軸ｍを通るように配置されている。

各ベイン１１は、板状に形成され、陽極円筒１０の内側に管軸ｍを中心に放射状に配置されている。各ベイン１１の外側の端部は陽極円筒１０の内周面に接合され、内側の端部は遊端になっている。そして、複数枚のベイン１１の遊端に囲まれた円筒状の空間が電子作用空間となっている。

陰極部９は、カソード３、２つのエンドハット１２、１３、２本のサポートロッド１４、１５を有している。カソード３は、螺旋状の陰極であり、電子作用空間の管軸ｍ上に設けられている。このカソード３の入力側の端部（下端部）と出力側の端部（上端部）とに、それぞれ電子の飛び出しを防ぐ為のエンドハット１２、１３が固定されている。

さらにカソード３は、エンドハット１２、１３を介して、サポートロッド１４、１５と接続されている。２本のサポートロッド１４、１５は、中継板１６を介して管外へ導出されている。

さらに、発振部２には、陽極円筒１０の入力側の端部（下端部）の内側と出力側の端部（上端部）の内側に、一対のポールピース１７、１８が、エンドハット１２、１３の間の空間を挟むように対向して設けられている。

入力側のポールピース１７には、その中央部に、貫通孔が設けられ、この貫通孔を中心として、入力側（下方）に向かって広がる漏斗状に形成されている。一方、出力側のポールピース１８も、その中央部に、貫通孔が設けられ、この貫通孔を中心として、出力側（上方）に向かって広がる漏斗状に形成されている。これらポールピース１７、１８は、それぞれ貫通孔の中心を管軸ｍが通るように配置される。

さらに、入力側のポールピース１７には、外周部に、管軸ｍ方向に延びる略筒状の金属封着体６の上端部が固着されている。この金属封着体６は、陽極円筒１０の下端部に気密状態で固定されている。一方、出力側のポールピース１８には、外周部に、管軸ｍ方向に延びる略筒状の金属封着体７の下端部が固着されている。この金属封着体７は、陽極円筒１０の上端部に気密状態で固定されている。

入力側の金属封着体６は、その下端部に、入力部４を構成するセラミックステム１９が気密状態で接合されている。つまり、セラミックステム１９に植立されたサポートロッド１４、１５は、金属封着体６の内側を通ってカソード３に接続されている。

一方、出力側の金属封着体７は、その上端部に、出力部５を構成するセラミックでなる絶縁筒２０が気密接合されていて、さらに絶縁筒２０の上端には排気管２１が気密接合されている。さらに、複数のベイン１１のうちの１つから導出されたアンテナ２２が、出力側のポールピース１８を貫通し、金属封着体７の内側を通ってその上端側へと延び、先端が排気管２１に挟持され気密状態で固定されている。

金属封着体６、７の外側には、陽極円筒１０を管軸ｍ方向に挟むように、一対のリング状の磁石２３、２４が対向して設けられている。さらに、陽極円筒１０と磁石２３、２４は、ヨーク２５によって囲われていて、一対の磁石２３、２４とヨーク２５によって強固な磁気回路が形成されている。

尚、ヨーク２５は、入力側の磁石２３と陽極円筒１０とを囲うコの字型のインプットヨーク２５Ａと、インプットヨーク２５Ａのコの字の開口部分を塞ぎ、出力側の磁石２４を囲うコの字型のアウトプットヨーク２５Ｂとで構成されていて、インプットヨーク２５Ａがアウトプットヨーク２５Ｂにカシメ（又はネジ留め）されている。また、ヨーク２５は、陽極円筒１０と磁石２３、２４の全面を完全に覆うのではなく、例えば、管軸ｍを挟んで対向する一側面側（図中手前側）と他側面側（図中奥側）については覆わないように開口となっている。

さらに、陽極円筒１０とインプットヨーク２５Ａの間には、管軸ｍ方向に並べて配置された複数の冷却フィン２６によって構成されるラジエータ２７が設けられていて、カソード３からの輻射熱及び発振部２の熱損失は陽極円筒１０を介してラジエータ２７に伝わり、さらにラジエータ２７からインプットヨーク２５Ａ、アウトプットヨーク２５Ｂへと伝わることでマグネトロン１の外部に放出されるようになっている。尚、インプットヨーク２５Ａとアウトプットヨーク２５Ｂの材料は、それぞれ例えば鉄であり、冷却フィン２６の材料は、例えばアルミとなっている。

また、カソード３は、サポートロッド１４、１５を介して、コイル及び貫通コンデンサを有するフィルター回路２８に接続されている。フィルター回路２８は、フィルターボックス２９に収められている。マグネトロン１の構成の概略は、以上のようになっている。

[２．冷却フィンとインプットヨークの構成]
次に、冷却フィン２６とインプットヨーク２５Ａの構成についてさらに詳しく説明する。まず、図２を用いて、冷却フィン２６の構成から説明する。尚、図２（Ａ）は、ラジエータ２７を構成する複数の冷却フィン２６のうちの１枚を出力側から見た平面図であり、図２（Ｂ）は側面図である。尚、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す冷却フィン２６は、プレス成形直後のものである。また、図２（Ｂ）は、図１とは上下逆であり、上側が入力側、下側が出力側となっている。

冷却フィン２６は、全体として板状でなり、長方形の平板部４０と、その長辺から突出する突出板部４１、４２を有している。平板部４０には、その中央に、陽極円筒１０の外径と同径でなる円形の貫通孔４０Ａが設けられている。つまり、冷却フィン２６は、この貫通孔４０Ａに陽極円筒１０を通すようにして、陽極円筒１０に圧入されるようになっている。尚、冷却フィン２６の中心軸ｎは、陽極円筒１０に圧入されると、管軸ｍと同軸となる。

突出板部４１は、平板部４０から出力側に折れ曲がり、さらにその先で入力側に折れ曲がるとともに、平板部４０の長辺方向に二手に別れ、それぞれの先の先端部４１Ａが出力側に折れ曲がっている。一方、突出板部４２は、平板部４０から入力側に折れ曲がって、平板部４０の長辺方向に三手に分かれ、それぞれの先の先端部４２Ａが出力側に折れ曲がっている。

平板部４０の一方の長辺側には、長辺方向の両端にそれぞれ突出板部４１が設けられ、両端の突出板部４１の間に突出板部４２が設けられている。平板部４０の他方の長辺側にも、同様に、長辺方向の両端にそれぞれ突出板部４１が設けられ、両端の突出板部４１の間に突出板部４２が設けられている。

プレス成形された冷却フィン２６は、このような構成となっている。ここで、図３を用いて、冷却フィン２６の突出板部４１についてさらに詳しく説明する。尚、図３（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ突出板部４１の拡大図であり、上側が出力側から見た平面図、下側が側面図である。

冷却フィン２６は、突出板部４１の２個の先端部４１Ａのうち、突出板部４２に近い側の先端部４１Ａの一部５０を、冷却フィン２６の中心軸ｎ（図２参照）と直交するように（すなわち厚さ方向が中心軸ｎと平行になるように）折り曲げ、その後、冷却フィン２６の中心軸ｎと平行になるように（すなわち厚さ方向が中心軸ｎと直交するように）９０度ねじる。この結果、先端部４１Ａの一部５０は、冷却フィン２６の中心軸ｎに対して平行な向きで、先端部４１Ａの他部５１よりも外側に突出する板部となる。冷却フィン２６は、この状態で、陽極円筒１０に圧入されることになる。

尚、詳しくは後述するが、冷却フィン２６の先端部４１Ａの一部５０は、インプットヨーク２５Ａの外面に接触する部分であり、外面接触部５０と呼ぶ。一方、先端部４１Ａの他部５１は、インプットヨーク２５Ａの内面に接触する部分であり、内面接触部５１と呼ぶ。

ところで、外面接触部５０と内面接触部５１は、そもそも先端部４１Ａとして一体に成形されている部分である為、外面接触部５０のみを折り曲げるには、これらの間に切り込みを入れる作業が必要となるが、例えば、冷却フィン２６のプレス成形時に、これらの間に切り込みを入れるようにすれば、この作業は省略できる。

次に、図４を用いて、インプットヨーク２５Ａの構成について説明する。尚、図４は、マグネトロン１の斜視図である。尚、この図４も、図１とは上下逆であり、上側が入力側、下側が出力側となっている。

インプットヨーク２５Ａは、管軸ｍと平行で冷却フィン２６と接触する板状の両側壁部６０Ａ、６０Ｂにそれぞれ、２本のスリット６１が形成されている。

各スリット６１は、それぞれ両側壁部６０Ａ、６０Ｂの、出力側の端から管軸ｍ方向に延び、入力側の端の近くまで達している。各スリット６１は、上述した冷却フィン２６の先端部４１Ａの外面接触部５０が挿入される部分であり、先端部４１Ａの外面接触部５０と対向する位置に形成され、その幅は、外面接触部５０の厚さよりわずかに大きい。インプットヨーク２５Ａは、このような構成となっている。

次に、マグネトロン１の組立工程について簡単に説明する。マグネトロン１は、まず、発振部２に入力部４と出力部５が気密接合される。その後、発振部２の陽極円筒１０に、複数の冷却フィン２６が圧入される。次に、陽極円筒１０の出力側の端部に磁石２４が取り付けられ、さらにこの磁石２４の外側にアウトプットヨーク２５Ｂが取り付けられる。

次に、陽極円筒１０の入力側の端部に磁石２３が取り付けられ、その後、インプットヨーク２５Ａが、入力部４側から管軸ｍ方向に嵌入されて、磁石２３と陽極円筒１０の外側に取り付けられる。このとき、インプットヨーク２５Ａの両側壁部６０Ａ、６０Ｂの入力側の端面に位置する、各スリット６１の端の入口となる部分から、各スリット６１内へと各冷却フィン２６の外面接触部５０が挿入される。

その後、インプットヨーク２５Ａは、アウトプットヨーク２５Ｂにカシメ（又はネジ留め）される。このとき、図５に示すように、インプットヨーク２５Ａの各スリット６１からは、各冷却フィン２６の外面接触部５０が突出した状態となっている。尚、図５は、フィルターボックス２９が取り付けられた状態の図となっているが、実際、この時点では、まだ取り付けられていない。

ここで、各スリット６１から突出している各冷却フィン２６の外面接触部５０を、インプットヨーク２５Ａの両側壁部６０Ａ、６０Ｂと接触するように、スリット６１と直交する方向（管軸ｍ方向と直交する方向）に折り曲げる。このとき、図５に矢印で示すように、スリット６１から両側壁部６０Ａ、６０Ｂの内側に向かう方向に折り曲げてもよいし、スリット６１から両側壁部６０Ａ、６０Ｂの外側に向かう方向に折り曲げてもよい。

これにより、インプットヨーク２５Ａは、その内面に、各冷却フィン２６の内面接触部５１が接触するとともに、その外面に、各冷却フィン２６の外面接触部５０が接触する。つまり、各冷却フィン２６は、内面接触部５１と外面接触部５０との間にインプットヨーク２５Ａを挟み込むようにして、先端部４１Ａがインプットヨーク２５Ａに固定される。

そして最後に、入力部４にフィルター回路２８とフィルターボックス２９が取り付けられることで、マグネトロン１の組立工程が完了する。尚、スリット６１から突出している外面接触部５０の折り曲げは、フィルターボックス２９の取り付け後に行うようにしてもよい。

[３．まとめと効果]
ここまで説明したように、本実施の形態のマグネトロン１は、冷却フィン２６のインプットヨーク２５Ａ側の先端部４１Ａに、インプットヨーク２５Ａのスリット６１からインプットヨーク２５Ａの外側に突出し、インプットヨーク２５Ａの外面に沿って例えば外面と平行になるよう折り曲げられて外面と接触する外面接触部５０と、インプットヨーク２５Ａの内側に位置し、インプットヨーク２５Ａの内面に沿って例えば内面と平行になるよう折れ曲がっていて内面と接触する内面接触部５１とを設け、外面接触部５０と内面接触部５１とでインプットヨーク２５Ａを厚さ方向に挟み込むようにして、冷却フィン２６の先端部４１Ａがインプットヨーク２５Ａと接触するようにした。

このように、冷却フィン２６の先端部４１Ａは、インプットヨーク２５Ａを厚さ方向に挟み込むようにしてインプットヨーク２５Ａと接触している為、材質の異なる冷却フィン２６とインプットヨーク２５Ａとが熱膨張と収縮を繰り返しても、冷却フィン２６の先端部４１Ａがインプットヨーク２５Ａから離れてしまうことを防ぐことができ、かくしてマグネトロン１全体の冷却性能の低下を防ぐことができる。

また、冷却フィン２６の先端部４１Ａの外面接触部５０は、先端部４１Ａの一部を折り曲げ及びねじり加工しただけの簡易な構造の為、従来と同等の材料コストで実現できるという利点も有する。

ところで、冷却フィン２６の先端部４１Ａに外面接触部５０を形成せずに、先端部４１Ａをインプットヨーク２５Ａにネジなどの固定具を用いて固定する方法も考えられるが、電子レンジに用いられるような小型のマグネトロン１の場合、冷却フィン２６同士の間隔が狭すぎるなどの理由から、このような固定方法を採用することは難しい。これに対して、本実施の形態では、冷却フィン２６の先端部４１Ａの一部を折り曲げ及びねじり加工するだけなので、極小部分での加工が容易であり、電子レンジに用いられるような小型のマグネトロン１にも容易に採用できる。

さらに、マグネトロン１では、インプットヨーク２５Ａを陽極円筒１０と磁石２３の外側に取り付ける際に、インプットヨーク２５Ａのスリット６１の出力側の端に、冷却フィン２６の先端部４１Ａの外面接触部５０の位置を合わせて、インプットヨーク２５Ａを入力部４側から管軸ｍ方向に嵌入するだけでよい為、別途特殊な治具を用いたりする必要がなく、従来と同様、簡単にインプットヨーク２５Ａを取り付けることができる。

[４．他の実施の形態]
［４−１．他の実施の形態１］
尚、上述した実施の形態では、インプットヨーク２５Ａの両側壁部６０Ａ、６０Ｂにスリット６１を設け、このスリット６１に、冷却フィン２６の先端部４１Ａの外面接触部５０を挿入することで、外面接触部５０をインプットヨーク２５Ａの外側に突出させるようにした。これに限らず、例えば、図６に示すように、インプットヨーク２５Ａにはスリット６１を設けず、インプットヨーク２５Ａの両側壁部６０Ａ、６０Ｂの両脇から、外面接触部５０をインプットヨーク２５Ａの外面側に突出させるようにしてもよい。

この場合、例えば、冷却フィン２６の平板部４０の長辺の長さを、インプットヨーク２５Ａの管軸ｍ方向と直交する方向の長さ（両側壁部６０Ａ、６０Ｂの両脇の間隔）よりも長くして、さらに、冷却フィン２６の４隅に位置する計４個の先端部４１Ａのそれぞれの外側の一部５０を外面接触部５０とする。

そして、インプットヨーク２５Ａを取り付ける際には、インプットヨーク２５Ａの側壁部６０Ａ側に位置する２個の外面接触部５０の間に、インプットヨーク２５Ａの側壁部６０Ａを挟み込み、側壁部６０Ｂ側に位置する２個の外面接触部５０の間に、側壁部６０Ｂを挟み込んだ状態で、インプットヨーク２５Ａを入力部４側から管軸ｍ方向に嵌入する。

その後、冷却フィン２６の４個の外面接触部５０を、それぞれインプットヨーク２５Ａ側に折り曲げて、インプットヨーク２５Ａの外面に接触させる。このようにしても、上述した実施の形態と同様、冷却フィン２６の先端部４１Ａがインプットヨーク２５Ａから離れてしまうことを防ぐことができ、マグネトロン１全体の冷却性能の低下を防ぐことができる。

［４−２．他の実施の形態２］
さらに、上述した実施の形態では、先端部４１Ａの他部５１はそのまま内面接触部５１とする一方で、先端部４１Ａの一部５０は、冷却フィン２６の中心軸ｎと直交するように折り曲げ、その後、９０度ねじることで外面接触部５０とした。これに限らず、例えば、先端部４１Ａの一部５０については、プレス成形時に、あらかじめ冷却フィン２６の中心軸ｎと直交するように成形するようにしてもよい。このようにすれば、先端部４１Ａの一部５０を９０度ねじるだけで外面接触部５０とすることができるので、外面接触部５０の加工工程を簡略化することができる。

また、外面接触部５０を、内面接触部５１よりも長く形成するようにしてもよい。実際、冷却フィン２６は、管軸ｍ方向に複数並べて配置される為、管軸ｍ方向に延びる内面接触部５１の長さは冷却フィン２６同士の間隔以下に制限される。これに対して、外面接触部５０は、インプットヨーク２５Ａのスリット６１からインプットヨーク２５Ａの外側に出た後、管軸ｍ方向と直交する方向に折り曲げられる為、冷却フィン２６同士の間隔以下に制限しなくてもよく、内面接触部５１よりも長くできる。このように、外面接触部５０を、内面接触部５１よりも長くすれば、その分、冷却フィン２６からインプットヨーク２５Ａへの熱の伝導性が良くなるという利点が得られる。

［４−３．他の実施の形態３］
さらに、上述した実施の形態では、冷却フィン２６の突出板部４１の先端側に位置する２個の先端部４１Ａのうちの内側の先端部４１Ａの一部を外面接触部５０とした。これに限らず、たとえば、突出板部４１の２個の先端部４１Ａのうちの一方の全部分を、外面接触部５０としてもよい。また、これに限らず、たとえば、突出板部４２の先端側に位置する３個の先端部４２Ａのうちの１個の一部もしくは全部分を外面接触部５０とするなどしてもよい。要は、冷却フィン２６全体として、先端部４１Ａ及び先端部４２Ａの一部が外面接触部５０となっていればよい。

１……マグネトロン、２……発振部、３……カソード、４…入力部、５……出力部、２５……ヨーク、２５Ａ……インプットヨーク、２５Ｂ……アウトプットヨーク、２６……冷却フィン、２７……ラジエータ、４０……平板部、４１、４２……突出板部、４１Ａ、４２Ａ……先端部、５０……外面接触部、５１……内面接触部、６０Ａ、６０Ｂ……側壁部、６１……スリット。

Claims (6)

1. 入力側から出力側に向かう中心軸に沿って延びる円筒状の陽極円筒と、
   前記陽極円筒の入力側の端部と出力側の端部にそれぞれ設けられた磁石と、
   前記陽極円筒と前記磁石とを囲い、前記磁石とともに磁気回路を形成するヨークと、
   前記陽極円筒と前記ヨークとの間に、前記中心軸を横切る方向に広がる冷却フィンと、
   を有し、
   前記冷却フィンは、
   前記ヨーク側に位置する先端部の一部が前記ヨークの外側に位置するとともに、前記ヨークの外面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の他部が前記ヨークの内側に位置するとともに、前記ヨークの内面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の一部と他部が、前記ヨークを挟み込むようにして前記ヨークと接触する
   ことを特徴とするマグネトロン。
2. 前記ヨークは、
   前記中心軸と平行な板状の側壁部を有し、
   前記冷却フィンは、前記先端部の一部が、前記側壁部の外側に位置するとともに、前記側壁部の外面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の他部が前記側壁部の内面に位置するとともに、前記側壁部の内面に沿うように折り曲げられ、前記先端部の一部と他部が、前記側壁部を厚さ方向に挟み込むようにして前記側壁部と接触する
   ことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。
3. 前記ヨークの前記側壁部には、前記中心軸と同一方向に延びるスリットが形成され、
   前記冷却フィンは、前記先端部の一部が前記スリットから前記側壁部の外側に突出して前記側壁部の外面に沿うように折り曲げられている
   ことを特徴とする請求項２に記載のマグネトロン。
4. 前記冷却フィンは、板状でなり、前記ヨークの側壁部に沿うように折り曲げられている前記先端部の一部が、厚さ方向が前記中心軸と同一方向となり前記側壁部と直交するように折り曲げられ、さらに厚さ方向が前記中心軸と直交するようにねじられた後、前記スリットに挿入される
   ことを特徴とする請求項３に記載のマグネトロン。
5. 前記ヨークは、入力側のインプットヨークと出力側のアウトプットヨークとでなり、前記インプットヨークの側壁部に、出力側の端から延びる前記スリットが形成され、
   前記冷却フィンの先端部の一部は、厚さ方向が前記中心軸と直交するようにねじられた状態で、前記インプットヨークが前記磁石及び前記冷却フィンが取り付けられた前記陽極円筒に対して入力側から出力側へと向かう方向に取り付けられる際に、前記スリットの出力側の端から挿入される
   ことを特徴とする請求項４に記載のマグネトロン。
6. 前記冷却フィンは、前記先端部の一部が、前記ヨークの側壁部の脇から前記側壁部の外側に突出して前記側壁部の外面に沿うように折り曲げられている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のマグネトロン。

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