JP6491390B1 - 電動バルブの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電動バルブの制御方法は、電動バルブの開口部を開閉させる弁体と、前記弁体を動作させる駆動部300と、前記弁体の振動を測定する振動センサ500と、前記駆動部に前記弁体の動作を指示する制御部400と、を備え、前記制御部は、前記振動センサで測定した振動波形と、予め記録しておいた正常時の波形データとを比較し、抽出された相違部分の位置における振動に関与する部位の候補を挙げ、さらに当該位置で当該部位において推測される障害内容の候補を挙げて、前記電動バルブの障害を特定するための情報を出力する、ことを特徴とする。
【選択図】図6
Description
110:チャンバ
120:真空ポンプ
200:電動バルブ
210:弁箱
220:弁口
230:弁体
240:シール材
250:弁座
260:弁棒
300:駆動部
310:モータ
320:カップリング
330:ボールネジ
340:ガイド
400:制御部
410:演算手段
420:入力手段
430:記憶手段
430a:波形データ
430b:位置データ
430c:部位データ
430d:履歴データ
440:出力手段
500:振動センサ
Claims (4)
- 電動バルブの開口部を開閉させる弁体と、
前記弁体を動作させる駆動部と、
前記弁体の振動を測定する振動センサと、
前記駆動部に前記弁体の動作を指示する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記振動センサで測定した振動波形と、予め記録しておいた正常時の波形データとを比較し、抽出された相違部分の位置における振動に関与する部位の候補を挙げ、さらに当該位置で当該部位において推測される障害内容を発生頻度が高い順に候補を挙げて、前記電動バルブの障害を特定するための情報を出力する、
ことを特徴とする電動バルブの制御方法。 - 前記制御部は、当該振動波形の比較において、段階的に複数設定された閾値と比較することで相違の程度を判断して当該相違部分を抽出し、当該相違の程度に応じて障害内容として推測される順に候補を挙げる、
ことを特徴とする請求項1に記載の電動バルブの制御方法。 - 前記制御部は、振動の方向ごとに相違の程度を判断し、当該振動の方向によって障害内容として推測される順に候補を挙げる、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電動バルブの制御方法。 - 請求項1乃至3の何れか一に記載の電動バルブの制御方法により制御される、
ことを特徴とする電動バルブ。
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