JP6564544B1 - ゲートバルブの制御方法 - Google Patents
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Landscapes
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
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Abstract
Description
110:チャンバ
120:真空ポンプ
130:上位装置
140a:開電磁弁
140b:閉電磁弁
200:ゲートバルブ
210:弁体
220:シール材
230:弁ロッド
240a:開位置センサ
240b:閉位置センサ
300:弁箱
310:開口部
320:弁座
330:支持枠
400:弁体駆動機構
410:シリンダ
420:ピストンロッド
430:可動体
440:カム
450:べローズ
460a:開圧力センサ
460b:閉圧力センサ
500:制御部
510:振動センサ
520:AD変換器
530:タイマー
540:通信手段
600a:開位置
600b:閉位置
610a:振動
610b:振動
610c:振動
Claims (3)
- 上位装置からの開閉指令に基づいて供給された加圧空気により弁体が開閉する圧空式のゲートバルブにおいて、
前記上位装置から開閉指令が出された時間と、前記弁体が開位置又は閉位置に来たことを位置センサで検出して開閉信号を前記上位装置に送った時間をタイマーで取得し、
前記上位装置が開閉指令を出してから開閉信号を受けるまでの開閉時間が、予め取得しておいた正常値の範囲外として設定した閾値を超えたときに、前記上位装置に通知して前記加圧空気を調整するように開閉指令を変更させる、
ことを特徴とするゲートバルブの制御方法。 - 前記加圧空気の圧力値を圧力センサで検出し、
前記加圧空気により前記弁体を開閉させたときに発生した振動状況を振動センサで検出し、
前記加圧空気の圧力値、前記弁体の開閉時間及び振動状況が、予め取得しておいた正常値の範囲外として設定した閾値を超えたときに、前記上位装置に通知して前記加圧空気を調整するように開閉指令を変更させる、
ことを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブの制御方法。 - 上位装置からの開閉指令に基づいて供給された加圧空気により弁体が開閉する圧空式のゲートバルブであって、
前記加圧空気の圧力値を検出する圧力センサと、
前記加圧空気により前記弁体を開閉させたときに発生した振動状況を検出する振動センサと、
前記弁体が開位置又は閉位置に来たことを検出して開閉信号を前記上位装置に送る位置センサと、
前記上位装置から開閉指令が出された時間と、前記位置センサから開閉信号を前記上位装置に送った時間を取得するタイマーと、を備え、
前記圧力センサ、位置センサ及び振動センサが、前記上位装置ではなくバルブ内部に設置され、
前記加圧空気の圧力値、前記上位装置が開閉指令を出してから開閉信号を受けるまでの開閉時間及び振動状況が、予め取得しておいた正常値の範囲外として設定した閾値を超えたときに、開閉指令を変更して前記加圧空気を調整するように前記上位装置に通知される、
ことを特徴とするゲートバルブ。
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2019
- 2019-04-19 JP JP2019079720A patent/JP6564544B1/ja active Active
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