JP6483199B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
(圧電デバイス100の構成)
第1実施形態に係る圧電デバイス100について図1を用いて説明する。図1は第1実施形態に係る圧電デバイス100を示し、(a)は、+Y側から中間層120と封止層140とを透過して見たときの平面図、(b)は、(a)のA−A線に沿った断面図である。図1(a)及び(b)に示すように、圧電デバイス100は、圧電振動片110と、中間膜120、130と、封止膜140、150と、を有しており、5層構造に構成された圧電振動子である。この圧電デバイス100は、Y方向から見たときに矩形状に形成される。
次に、圧電デバイス100の製造方法について、図2〜図5を用いて説明する。図2は、図1に示す圧電デバイス100の製造方法を説明するフローチャートである。図3〜図5は、図2に示すフローチャートのそれぞれに対応した工程を示している。以下の説明では、図2のフローチャートに沿いつつ、適宜図3〜図5を参酌して説明する。
続いて、第2実施形態について図6を用いて説明する。図6は、第2実施形態に係る圧電デバイス200の一例を示す平面図である。図6では、中間膜及び封止膜(図1参照)を透過した状態で示している。なお、以下の説明において、第1実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図6に示すように、圧電デバイス200は、圧電振動片210を有し、第1実施形態の圧電デバイス100と同様に、圧電振動片210の表面及び裏面に中間膜及び封止膜をそれぞれ有しており、5層構造に構成された圧電振動子である。この圧電デバイス200は、Y方向から見たときに矩形状に形成される。
110、210・・・圧電振動片
110a、210a・・・周辺部
110b、210b・・・振動部
120、130・・・中間膜
140、150・・・封止膜
Claims (4)
- 周辺部に対して薄肉の振動部を有する圧電振動片と、
前記圧電振動片の表面及び裏面に成膜されて前記振動部から離間して前記周辺部と接合する中間膜と、
前記中間膜の表面に成膜されて前記中間膜に積層される封止膜と、を含み、
前記封止膜は、前記中間膜の表面及び側面を覆った状態で形成される圧電デバイス。 - 前記振動部は、前記圧電振動片の厚さの中央部分において前記圧電振動片と平行に形成され、
前記振動部の表面側及び裏面側において、前記圧電振動片と前記中間膜とにより画定される空洞を有する請求項1記載の圧電デバイス。 - 前記封止膜は、前記圧電振動片の表面側及び裏面側に形成され、
前記圧電振動片の表面側の前記中間膜は前記圧電振動片の裏面側の前記中間膜と同一の材料で同一の厚さに形成され、かつ前記表面側の前記封止膜は前記裏面側の前記封止膜と同一の材料で同一の厚さに形成される請求項1または請求項2記載の圧電デバイス。 - 前記圧電振動片は、水晶振動片である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
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